PL428122A1 - Sposób wytwarzania diody elektroluminescencyjnej - Google Patents

Abstract

Sposób wytwarzania organicznej diody elektroluminescencyjnej, polega na tym, że na podłoże (1) transparentne dla światła widzialnego, korzystnie ze szkła borokrzemowego, z warstwą anody (2) z tlenku indowo - cynowego, których grubość wynosi 80 - 120 nm, nanosi się aktywną warstwę przewodzącą, którą stanowi amorficzna uwodorniona warstwa węglowa dotowana azotem (3), o grubości 20 - 100 nm, w której stosunek molowy N/C ? 0,2 i która jest wytwarzana w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej z użyciem plazmy o częstotliwości 13,56 MHz oraz niskiej mocy generatora plazmy w zakresie 3 - 15 W. Proces prowadzony jest bez grzania, w czasie do 45 minut, w środowisku metanu i azotu oraz obecności argonu jako gazu nośnego, przy następujących prędkościach przepływu gazowych reagentów: metanu 5 - 15 sccm, azotu 80 - 100 sccm oraz argonu 70 - 100 sccm, przy ciśnieniu gazów w reaktorze 0,2 - 1 Tr. Na amorficzną uwodornioną warstwę węglową dotowaną azotem (3) naparowuje się następnie zewnętrzną warstwę, katodę (4) z aluminium, z prędkością 5 - 15 nm/min, w próżni 10-6 Tr, a grubość tej warstwy wynosi 100 - 200 nm.