PL220910B1 - Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami - Google Patents

Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami

Info

Publication number
PL220910B1
PL220910B1 PL397475A PL39747511A PL220910B1 PL 220910 B1 PL220910 B1 PL 220910B1 PL 397475 A PL397475 A PL 397475A PL 39747511 A PL39747511 A PL 39747511A PL 220910 B1 PL220910 B1 PL 220910B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
vacuum
layer
temperature
ceramics
inert gas
Prior art date
Application number
PL397475A
Other languages
English (en)
Other versions
PL397475A1 (pl
Inventor
Katarzyna Pietrzak
Wiesława Olesińska
Dariusz Kaliński
Konrad Choręgiewicz
Original Assignee
Inst Technologii Materiałów Elektronicznych
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Technologii Materiałów Elektronicznych filed Critical Inst Technologii Materiałów Elektronicznych
Priority to PL397475A priority Critical patent/PL220910B1/pl
Publication of PL397475A1 publication Critical patent/PL397475A1/pl
Publication of PL220910B1 publication Critical patent/PL220910B1/pl

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami, mających zastosowanie zwłaszcza do aplikacji próżniowych, bądź w technikach jądrowych. Sposób polega na tym, że na powierzchnię ceramiki tlenkowej nanosi się warstwę mieszaniny proszków Cu z 5-60% wagowych Cu2O i wygrzewa w temperaturze 1338-1345K w atmosferze gazu obojętnego lub w próżni, po czym tak przygotowaną ceramikę, metalowe elementy konstrukcyjne oraz lut cermetowy w postaci drutu lub folii z miedzi, pokrytej warstwą Cu2O, składa się w kasecie, a następnie całość wygrzewa w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego lub w próżni. Sposób wytwarzania polega również na tym, że na powierzchnię ceramiki tlenkowej nanosi się warstwę mieszaniny proszków Cu z 5-60% wagowych Cu2O i tak przygotowaną ceramikę, metalowe elementy konstrukcyjne oraz lut cermetowy w postaci drutu lub folii z miedzi, pokrytej warstwą Cu2O, składa się w kasecie, a następnie całość wygrzewa się w temperaturze 1338-1345K w atmosferze gazu obojętnego lub w próżni.

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami, mających zastosowanie, zwłaszcza do aplikacji próżniowych, bądź w technikach jądrowych.
Złącza ceramiczno-metalowe, zwłaszcza do aplikacji próżniowych, bądź do zastosowania w technikach jądrowych nie tylko muszą spełniać określone wymagania techniczne, ale zachować je przy obciążeniach mechanicznych takich jak nacisk, wibracje i termicznych, występujących podczas montażu i eksploatacji. Złącza te powinny odznaczać się wytrzymałością mechaniczną około 70 MPa,
-9 3 -1 próżnioszczelnością - naciek helu 1,33-10- Pam s- - a dla zastosowań w elektrowniach jądrowych również odpornością pożarową około 950°C bez utraty próżnioszczelności.
Uzyskanie złączy próżnioszczelnych o odpowiedniej wytrzymałości mechanicznej, przy zastosowaniu do ich wytwarzania materiałów różniących się znacznie właściwościami chemicznymi, fizycznymi i cieplnymi, wymaga opracowania technik spajania oraz konstrukcji pozwalających na redukcję naprężeń własnych termicznych, powstających w wysokotemperaturowych procesach technologicznych, a spowodowanych między innymi różnicami współczynników rozszerzalności cieplnej.
Chronologicznie najstarszą techniką spajania materiałów elektroizolacyjnych z metalami jest wciąż unowocześniana technika spajania bezpośredniego poprzez szkła, opisana w publikacjach M.E.Twentymen, J.Mater.Sci. 10(1975) 765-776 oraz M.E.Twentymen, P.Popper, J.Mater.Sci. 10(1975) 777-798.
Znana jest również z publikacji W.Olesińska, Prace ITME, 59 (2008) metoda spajania przez warstwy metaliczne wytworzone z dodatkiem szkieł lub składników szkłotwórczych.
Znany jest sposób, polegający na tym, że na płytkę z ceramiki nanosi się warstwę sproszkowanego metalu, takiego jak wolfram lub molibden, z dodatkiem szkieł lub składników szkłotwórczych w postaci pasty metalizacyjnej i przeprowadza spiekanie warstwy w temperaturze 1573-1723 K w atmosferze wilgotnego wodoru. Na tak pokrytą płytkę nanosi się drugą warstwę metalu, takiego jak nikiel lub żelazo, po czym warstwę tę spieka się w atmosferze suchego wodoru w temperaturze 1173-1473 K. Tak przygotowane elementy ceramiczne i metalowe, przeznaczone do spajania, układa się w odpowiednich szablonach z grafitu lub ze stali, a następnie lutuje za pomocą stopów lutown iczych z układu miedź-srebro, na przykład AgCu28 w atmosferze wodoru lub w próżni. Sposób ten zwany metodą metalizacji proszkowej pozwala na wytworzenie złączy próżnioszczelnych podobnie jak przez spajanie szkłami.
Spajanie ceramiki z metalami z wykorzystaniem lutów aktywnych można również prowadzić w jednym cyklu temperaturowym. Kształtkę ceramiczną, elementy metalowe i lut lub szkło wygrzewa się razem w próżni lub bardzo czystym - o punkcie rosy 203 K - wodorze, argonie lub azocie w temperaturze 1223-1373 K.
Z polskiego opisu patentowego nr 144 117 znany jest sposób spajania bez zastosowania szkieł, polegający na wprowadzeniu do miedzi ściśle określonych dodatków stopowych z metali aktywnych, takich jak tytan, mangan, cyrkon lub hafn i zgrzewania jej z ceramiką korundową w próżni w temperaturze 1073-1353 K. W wyniku reakcji w warstwie wierzchniej ceramiki z aktywnym chemicznie ciekłym stopem powstają nowe fazy dobrze zwilżające ceramikę i wiążące ją z metalem. Jednak w wyniku tej metody następuje nadtrawienie powierzchniowe korundu, co może skutkować przypadkowym uszkodzeniem. Granicę ceramiki i metalu uszczelnia ciekły stop metaliczny wzbogacony w pierwiastek aktywny w celu uzyskania zwilżalności.
Technika lutów aktywnych nie jest stosowana powszechnie z powodu poważnych ograniczeń. Dyfuzja aktywnych składników lutowania, niezbędnych do spojenia łączonych materiałów, prowadzi do silnego zdefektowania ceramiki i metalu z powodu nadmiernego nadtrawienia, redukcji korundu przez tytan, na powierzchni ceramiki przez metale aktywne. To powoduje przypadkowe katastrofalne uszkodzenia złączy podczas obciążeń mechanicznych, zwłaszcza rozciągających. Konsekwencją tych procesów, jak też niedostatecznej zwilżalności ceramiki przez stopione luty aktywne jest również niezadowalająca próżnioszczelność złączy. Ponadto dyfuzja tytanu do ceramiki korundowej pogarsza jej odporność dielektryczną. Brak gwarantowanej powtarzalności parametrów powoduje ograniczenia w stosowaniu mimo dość prostej techniki spajania. Wadą jest również nieporównywalnie niższa wydajność spajania w próżni w piecach komorowych niż w piecach z atmosferą gazową w ruchu ciągłym.
PL 220 910 B1
Najszersze zastosowanie w produkcji masowej mają techniki metalurgii proszkowej i spajanie przez szkła, które można realizować w piecach o ruchu ciągłym. Jednak obie te metody są skomplikowane i nieekologiczne.
Złącza o złożonej konstrukcji w niewielkich seriach wytwarzane są techniką lutów aktywnych. Wadą tej metody jest mało powtarzalna próżnioszczelność złączy i niższa wydajność niż w technikach realizowanych w piecach taśmowych.
Znany jest również sposób Copper Direct Bonding, w skrócie CDB, polegający na wykorzystaniu aktywnego tlenu do wytwarzania eutektyki miedź - tlenek miedzi i spinelu glinowo - miedzianego na powierzchni ceramiki korundowej. Sposób, znany z polskiego opisu patentowego nr 153 802, polega na tym, że na powierzchnię ceramiki korundowej nakłada się proszek CuO w postaci pasty, po czym spieka się w temperaturze 1100-1800 K w atmosferze utleniającej. Następnie wytworzoną warstwę CuO redukuje się do miedzi w atmosferze redukcyjnej, korzystnie w suchym wodorze w temperaturze 1100-1600 K. Pokrytą miedzią płytkę ceramiczną zgrzewa się z płytką miedzianą o grubości powyżej 0,2 mm w temperaturze około 1353 K w atmosferze azotu. Ten sposób wymaga przeprowadzenia trzech procesów temperaturowych, w tym jednego w atmosferze wodoru, co niewątpliwie utrudnia zastosowanie.
Z polskiego opisu patentowego nr 171 603 znany jest sposób wytwarzania płaskich pakietów ceramiki korundowej z miedzią i metalami o dużym powinowactwie do tlenu z wykorzystaniem mieszaniny proszków CuO i Cu2O. Ten proces spajania prowadzi się w jednym cyklu temperaturowym w temperaturze 1338-1353 K w atmosferze gazu obojętnego.
Obydwa sposoby CDB dotyczą spajania bezpośredniego jedynie płaskich złączy miedzi z ceramiką, nie pozwalają na wykonanie złączy o dowolnym kształcie, na przykład cylindrycznych. Obydwie metody stosowane są do otrzymywania płaskich podłoży odprowadzających ciepło, nie wymagających spełniania warunku próżnioszczelności. W obu przypadkach opisanych technik CDB otrzymane złącza nie spełniają tego warunku, a ponadto korozja międzykrystaliczna w łączonych materiałach może ograniczać zastosowania na podłoża odprowadzające ciepło.
Celem wynalazku jest wytwarzanie próżnioszczelnych złączy o dowolnej konfiguracji geometrycznej pomiędzy ceramiką tlenkową a metalami, zarówno w piecach komorowych, jak i w piecach o ruchu ciągłym.
Istotę wynalazku stanowi wykorzystanie cermetu Cu-Cu2O do wytworzenia na ceramice tlenkowej warstwy stopu eutektycznego miedź-tlenek miedziawy, zabezpieczającej zwilżanie ceramiki.
Sposób według wynalazku polega na tym, że na powierzchnię ceramiki tlenkowej, korzystnie korundowej, nanosi się warstwę mieszaniny proszków Cu z 5-60% wagowych Cu2O, korzystnie wygrzewa się wstępnie w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego, korzystnie azotu, lub w próżni, po czym tak przygotowaną ceramikę, metalowe elementy konstrukcyjne, korzystnie z miedzi oraz lut cermetowy w postaci drutu lub folii z miedzi pokrytej warstwą Cu2O, składa się w kasecie, korzystnie ze stali żaroodpornej lub z grafitu, a następnie całość wygrzewa się w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego, korzystnie azotu, lub w próżni.
Spajane z ceramiką metalowe elementy konstrukcyjne pokrywa się korzystnie warstwą miedzi.
Jako gaz obojętny stosuje się korzystnie gaz o zawartości tlenu nie większej niż 1,5 ppm.
Wytwarzane sposobem według wynalazku złącza dzięki bardzo dobrej zwilżalności powierzchni ceramiki przez cienką - o grubości rzędu 1 μm - warstwę stopu eutektycznego, wytworzoną z lutu cermetowego Cu-Cu2O, odznaczają się wysoką próżnioszczelnością - graniczny naciek helu
-9 3 -1
1,33-10- Pam s- - oraz wysoką wytrzymałością mechaniczną rzędu 70 MPa, jak również odpornością pożarową 950°C bez utraty próżnioszczelności, co ma ogromne znaczenie, zwłaszcza w elektrowniach jądrowych.
W łączonych - bez udziału metali aktywnych, które między innymi mogą pogarszać stałą dielektryczną ceramiki - sposobem według wynalazku materiałach nie występuje korozja międzykrystaliczna.
Zastosowany lut cermetowy odznacza się ponadto dużą plastycznością, w związku z czym znacznie lepiej i dokładniej, niż w znanych sposobach, uszczelnia granicę między ceramiką i metalem, docierając jednocześnie do powierzchni o dowolnym kształcie, co pozwala na wytwarzanie złączy o dowolnej konfiguracji geometrycznej - zarówno płaskich, jak też przykładowo cylindrycznych wewnętrznych i zewnętrznych.
Proces sposobem według wynalazku może być prowadzony zarówno w piecach komorowych, jak i w piecach o ruchu ciągłym bez wpływu na wydajność spajania, jak również powtarzalność próżnioszczelności złączy.
PL 220 910 B1
Podane niżej przykłady przedstawiają sposób według wynalazku w konkretnych przypadkach jego wykonania, nie ograniczając zakresu jego stosowania, w oparciu o rysunek, przedstawiający pierścień ceramiczny ze złączem cylindrycznym wewnętrznym i płaskim.
P r z y k ł a d 1. Otwór wewnętrzny i powierzchnię płaską izolatora korundowego 1 pokryto mieszaniną cermetową, stanowiącą 70% wagowych proszku Cu i 30% wagowych proszku Cu2O w lepiku nitrocelulozowym i wygrzewano wstępnie w temperaturze 1338 K w atmosferze azotu o zawartości tlenu 1,5 ppm w ciągu 10 min.
Tak przygotowany izolator korundowy 1, tuleję z miedzi 2 i element kształtowy 3 do płaskiej powierzchni ze stopu FeNi42 platerowanego miedzią oraz lut cermetowy w postaci pierścienia lutowniczego z drutu z miedzi 4, pokrytego warstwą Cu2O o grubości około 1 μm i krążek z folii z miedzi 5 pokryty warstwą Cu2O o grubości około 1 μm, złożono w kasecie z grafitu, po czym spajano w atmosferze azotu o zawartości tlenu 1,5 ppm w temperaturze 1338 K w piecu taśmowym o ruchu ciągłym w ciągu 15 min.
-9 3 -1
Otrzymano próżnioszczelne złącze - naciek helu 1,33-10' Pam s - o wytrzymałości mechanicznej 70 MPa i odporności pożarowej 950°C.
P r z y k ł a d 2. Powierzchnię cylindryczną izolatora korundowego w postaci krążka pokryto mieszaniną cermetową, stanowiącą zawiesinę 80% wagowych proszku Cu i 20% wagowych proszku Cu2O w lepiku nitrocelulozowym. Na tak przygotowany krążek korundowy nałożono tuleję z miedzi, a wewnątrz umieszczono lut cermetowy w postaci drutu z miedzi z warstwą Cu2O o grubości około 1 μm. Przygotowany zestaw umieszczono w kasecie ze stali żaroodpornej i spajano w próżni w temperaturze 1345 K w piecu komorowym w ciągu 5 min.
-9 3 -1
Otrzymano próżnioszczelne złącze - naciek helu 1,33-10-9 Pam3s-1 - o wytrzymałości mechanicznej 70 MPa i odporności pożarowej 950°C.

Claims (3)

1. Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami poprzez stop eutektyczny miedź - tlenek miedziawy oraz wygrzewanie warstw złączy w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego lub w próżni, znamienny tym, że na powierzchnię ceramiki tlenkowej, korzystnie korundowej, nanosi się warstwę mieszaniny proszków Cu z 5-80% wagowych Cu2O, korzystnie wygrzewa się wstępnie w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego, korzystnie azotu, lub w próżni, po czym tak przygotowaną ceramikę, metalowe elementy konstrukcyjne, korzystnie z miedzi oraz lut cermetowy w postaci drutu lub folii z miedzi pokrytej warstwą Cu2O składa się w kasecie, korzystnie ze stali żaroodpornej lub z grafitu, a następnie całość wygrzewa się w temperaturze 1338-1345 K w atmosferze gazu obojętnego, korzystnie azotu, lub w próżni.
2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że stosuje się metalowe elementy konstrukcyjne pokryte warstwą miedzi.
3. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że stosuje się atmosferę gazu obojętnego o zawartości tlenu nie większej niż 1,5 ppm.
PL397475A 2011-12-20 2011-12-20 Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami PL220910B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL397475A PL220910B1 (pl) 2011-12-20 2011-12-20 Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL397475A PL220910B1 (pl) 2011-12-20 2011-12-20 Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL397475A1 PL397475A1 (pl) 2013-06-24
PL220910B1 true PL220910B1 (pl) 2016-01-29

Family

ID=48671867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL397475A PL220910B1 (pl) 2011-12-20 2011-12-20 Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL220910B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL397475A1 (pl) 2013-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100574953C (zh) 热膨胀系数相匹配的钎焊体系
KR102162549B1 (ko) 납땜 조성물 및 관련 장치
US10103410B2 (en) Method for joining ceramic to metal, and sealing structure thereof
US8511535B1 (en) Innovative braze and brazing process for hermetic sealing between ceramic and metal components in a high-temperature oxidizing or reducing atmosphere
JP2010520063A (ja) セラミック微粒子をともなう金属‐セラミック複合大気ろう材
Mao Brazing diamond/Cu composite to alumina using reactive Ag-Cu-Ti alloy
CN109384474B (zh) 陶瓷低温活性金属化用膏体、陶瓷金属化方法及依据该方法制备的真空电子器件
US20130224561A1 (en) Braze compositions, and related articles and methods
JP2006327888A (ja) セラミックスと金属のろう付け構造体
CN106312369A (zh) 一种陶瓷和可伐合金连接的焊料
Intrater Review of some processes for ceramic‐to‐metal joining
CN107162640B (zh) 一种氧化锰-二氧化钛系活化剂金属化层及其制备工艺
CN117447223B (zh) 一种玻璃-陶瓷封接AlN陶瓷的方法
PL220910B1 (pl) Sposób wytwarzania próżnioszczelnych złączy pomiędzy ceramiką tlenkową i metalami
Pietrzak et al. The relationship between microstructure and mechanical properties of directly bonded copper-alumina ceramics joints
JP7534171B2 (ja) セラミックス封着部品およびその製造方法
Do Nascimento et al. Brazing Al2O3 to sintered Fe-Ni-Co alloys
Chen et al. Enhanced shear strength of Cu/AlN/Cu gradient materials with continuous and quasi‐continuous interfacial structures
RU2336980C2 (ru) Способ пайки керамики с металлами и неметаллами
US10668574B2 (en) High temperature devices and applications employing pure aluminum braze for joining components of said devices
JP5809896B2 (ja) 炭化ホウ素含有セラミックス−酸化物セラミックス接合体及び該接合体の製造方法
JP3152087B2 (ja) セラミックスのメタライズ及び接合方法
JP7631412B2 (ja) セラミックス封着部品およびその製造方法
US4950503A (en) Process for the coating of a molybdenum base
JP7477418B2 (ja) 金属積層体およびその利用