PL209455B1 - Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych - Google Patents
Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowychInfo
- Publication number
- PL209455B1 PL209455B1 PL368954A PL36895404A PL209455B1 PL 209455 B1 PL209455 B1 PL 209455B1 PL 368954 A PL368954 A PL 368954A PL 36895404 A PL36895404 A PL 36895404A PL 209455 B1 PL209455 B1 PL 209455B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- polymer
- microstructures
- flow
- glass
- fabrication
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 title description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000010147 laser engraving Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- -1 poly (dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 2
- 229920001486 SU-8 photoresist Polymers 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych do analizy mediów wieloskładnikowych.
Miniaturowe systemy analityczne do analizy mediów wieloskładnikowych są obecnie jedną z najdynamiczniej rozwijających się dziedzin nowoczesnej chemii analitycznej. W porównaniu z konwencjonalnymi analizatorami, zintegrowane systemy miniaturowe wykazują wiele zalet i nowych możliwości m.in.: niewielkie wymiary, szybkość i wydajność analizy przy niewielkiej ilości analizowanej próbki i minimalnym zużyciu odczynników chemicznych.
Pierwsze konstrukcje zminiaturyzowanych układów analitycznych projektowane były z wykorzystaniem krzemu lub szkła jako materiału do wytwarzania mikrokanałów. Stosowano przy tym techniki głębokiego trawienia dobrze znane z technologii obróbki półprzewodników. Poważną wadą zarówno szkła jak i krzemu jest bardzo wysoki koszt jednostkowy wytworzenia nowej struktury. W związku z tym obecnie coraz częściej mikrostruktury wykonuje się z różnego rodzaju materiałów polimerowych. Jednym z takich materiałów jest poli(dimetylosiloksan) (PDMS).
Podstawowym problemem w opracowaniu mikrostruktury przepływowej jest uzyskanie szczelnego mikrokanału, przez który transportowany będzie analit. Znanych jest kilka metod prowadzących do wytworzenia mikrokanału. Jedną z nich jest technika grawerowania laserowego. Płaskorównoległą płytkę z polidimetylosiloksanu poddaje się obróbce promieniem lasera CO2. W innej technice przygotowuje się odpowiednią formę (tzw. pieczątkę), którą oblewa się ciekłym PDMS-em. Do wytworzenia pieczątki wykorzystuje się fotorezyst grubowarstwowy (SU8) naniesiony na podłoże szklane lub krzemowe. Warstwa fotorezystu jest naświetlana przez maskę odwzorowującą kształt kanału. Po usunięciu nienaświetlonych obszarów na podłożu pozostaje „negatyw mikrokanału. Technologia ta umożliwia uzyskanie głębokości rowków w strukturze polimerowej w zakresie nawet do 100 nm. Końcowym etapem wytworzenia mikrostruktury jest przykrycie mikrorowka płaską płytką polimerową lub szklaną.
Technika grawerowania laserowego charakteryzuje się poważnymi wadami wynikającymi z charakteru oddziaływania promieniowania laserowego z materiałem. Wypalony rowek ma przekrój trójkątny, o głębokości zależnej od mocy i zjustowania lasera, przy czym ściany boczne mikrokanału nie są gładkie. Wprowadzać to może dodatkowe opory przepływu cieczy. Podczas grawerowania laserowego materiał jest usuwany metodą termiczną i przed użyciem z uzyskanego mikrorowka należy usunąć pozostałe zwęglenia i okruchy materiału. Ponadto niedokładności w prowadzeniu wiązki laserowej mogą być przyczyną powstania dodatkowego mikrokanału, co ogranicza zastosowania uzyskanej struktury w praktycznych badaniach chemicznych. Dobór mocy lasera, jego zogniskowania oraz szybkości przesuwania wiązki odbywa się na drodze doświadczalnej - przy każdej zmianie materiału bazowego służącego do wykonania mikrostruktury konieczne są wstępne badania optymalizujące parametry pracy lasera tak, aby uzyskać żądane rozmiary mikrokanału. Cały zestaw do grawerowania laserowego jest bardzo drogi i tylko nieliczne placówki naukowo-badawcze dysponują odpowiednim oprzyrządowaniem.
Znacznie lepsze rezultaty można osiągnąć z wykorzystaniem fotorezystu SU8. Niezwykle istotny jest jednak dobór i przygotowanie odpowiedniego podłoża. Typowa fotolitografia, jaka jest stosowana w tym procesie, może być prowadzona z wykorzystaniem płytek szklanych lub podłoży krzemowych. W przypadku podłoża szklanego o końcowym sukcesie decyduje gatunek szkła. Najlepsze rezultaty osiąga się używając szkło boro-krzemowe. Jeśli płytka szklana, na której jest rozprowadzany fotorezyst, jest z nieodpowiedniego szkła mogą nastąpić odwarstwienia fotorezystu i uszkodzeniu ulega cała pieczątka. W technologii tej, o jakości uzyskanego mikrokanału decyduje maska, przez którą naświetlany jest fotorezyst. Najlepsze efekty daje zastosowanie tzw. maski chromowej (płytki szklanej pokrytej warstwą metalu, na której w procesie elektrolitografii wytworzono odpowiedni wzór). Cały proces fotolitografii, podobnie jak grawerowanie laserowe, jest skomplikowany i wymaga użycia specjalistycznego oprzyrządowania. Tego typu procesy prowadzone są w laboratoriach mikroelektronicznych, które dysponują pomieszczeniami o wysokiej czystości, wirówką do rozprowadzania fotorezystu oraz zestawem do naświetlania z lampą rtęciową o regulowanej energii promieniowania.
Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych według wynalazku stanowi alternatywną technologię wytwarzania mikrostruktur przepływowych. Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych polegający na wykonaniu mikrokanałów na powierzchni płytki z polimeru a następnie uszczelnieniu powstałych mikrokanałów drugą płytką ze szkła, polega na tym, że w formie o płaskim dnie na dnie umieszcza się odPL 209 455 B1 cinki rurek lub prętów metalowych w formie meandra, następnie wlewa się roztwór prepolimeru ze środkiem sieciującym. Po zakończeniu procesu sieciowania odcinki te usuwa się bez uszkodzenia polimeru. Powstała po nich przestrzeń tworzy mikrokanał przepływowy na powierzchni płytki z tworzywa. Mikrokanały następnie uszczelnia się drugą płytką z polimeru lub szkła.
Technologia ta umożliwia uzyskanie kanałów przepływowych o przekroju kołowym o średnicach zależnych od zatapianych a następnie wyciąganych z polimeru rurkach lub prętach metalowych. Podstawową zaletą sposobu według wynalazku jest możliwość taniego i szybkiego wytworzenia mikrokanału o gładkich powierzchniach bocznych, odwzorowujących meandryczny zatapiany kształtownik. Można uzyskać mikrokanały o dowolnym kształcie.
P r z y k ł a d
Na spodzie naczynia o płaskim dnie umieszczono pręt metalowy o średnicy 1 mm ukształtowany w formie meandra. Następnie do naczynia wlano roztwór prepolimeru dimetylosiloksanu ze środkiem sieciującym. Po usieciowaniu polimer usunięto z naczynia. Na powierzchni płytki polimerowej pozostał zatopiony odcinek pręta metalowego, który wyciągnięto z polimeru. Po wyciągnięciu pręta na powierzchni płytki polimerowej utworzony został mikrorowek o średnicy i długości odpowiadającej wymiarom geometrycznym pręta. Mikrorowek tworzył mikrokanał po przykryciu go płaskorównoległą płytką szklaną.
Claims (1)
- Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych polegający na wykonaniu mikrokanałów na powierzchni płytki z polimeru a następnie uszczelnieniu powstałych mikrokanałów drugą płytką z polimeru lub szkła, znamienny tym, że w formie o płaskim dnie na dnie umieszcza się odcinki rurek lub prętów metalowych w formie meandra, następnie wlewa się roztwór prepolimeru ze środkiem sieciującym a następnie po procesie sieciowania polimeru odcinki te usuwa się.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL368954A PL209455B1 (pl) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL368954A PL209455B1 (pl) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL368954A1 PL368954A1 (pl) | 2006-01-09 |
| PL209455B1 true PL209455B1 (pl) | 2011-09-30 |
Family
ID=37714999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL368954A PL209455B1 (pl) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL209455B1 (pl) |
-
2004
- 2004-07-06 PL PL368954A patent/PL209455B1/pl not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL368954A1 (pl) | 2006-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Becker et al. | Polymer microfluidic devices | |
| Wu et al. | Plant leaves as templates for soft lithography | |
| Lei | Materials and fabrication techniques for nano-and microfluidic devices | |
| JP4073023B2 (ja) | 微小流路デバイスおよびその作製方法 | |
| Jia et al. | PDMS microchannel fabrication technique based on microwire-molding | |
| Brower et al. | Multi-step variable height photolithography for valved multilayer microfluidic devices | |
| Langelier et al. | Flexible casting of modular self-aligning microfluidic assembly blocks | |
| Sato et al. | In-channel 3-D micromesh structures using maskless multi-angle exposures and their microfilter application | |
| JP2003156502A (ja) | 流体マイクロチップ用ブレッドボードを用いたアセンブリマイクロチップ | |
| Haraldsson et al. | 3D polymeric microfluidic device fabrication via contact liquid photolithographic polymerization (CLiPP) | |
| Jiang et al. | A single low-cost microfabrication approach for polymethylmethacrylate, polystyrene, polycarbonate and polysulfone based microdevices | |
| US20030029723A1 (en) | Thin film capillary process and apparatus | |
| Li | Fundamentals of microfluidics and lab on a chip for biological analysis and discovery | |
| PL209455B1 (pl) | Sposób wytwarzania planarnych mikrostruktur przepływowych z materiałów polimerowych | |
| Isobe et al. | Perfusable multi-scale channels fabricated by integration of nanoimprint lighography (NIL) and UV lithography (UVL) | |
| Mahmoodi et al. | A quick method to fabricate large glass micromodel networks | |
| Cheng et al. | Design and fabrication of a hybrid nanofluidic channel | |
| CN1811421A (zh) | 一种微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法 | |
| Locascio et al. | Fabrication of polymer microfluidic systems by hot embossing and laser ablation | |
| KR101053772B1 (ko) | 마이크로 플루이딕 칩 몰드를 제조하기 위한 성형 모듈, 이를 이용한 마이크로 플루이딕 칩 몰드 제조 방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 플루이딕 칩 몰드 | |
| KR100867851B1 (ko) | 수지제 마이크로 화학 칩의 제조방법 | |
| Park et al. | Arbitrary-shaped nanochannels fabricated by polymeric deformation to achieve single DNA stretching | |
| WO2006098370A1 (ja) | 流路の実効的な通過時間の調整機構を具える遅延回路、マイクロチップ、およびその作製方法 | |
| Mao | Fabrication and characterization of nanofluidic channels for studying molecular dynamics in confined environments | |
| Chartier et al. | Fabrication of a hybrid plastic-silicon microfluidic device for high-throughput genotyping |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Decisions on the lapse of the protection rights |
Effective date: 20120706 |