Przedmiotem wynalazku jest uklad do korekcji rezystorów cienkqwarstwowych, majacy zaetoso- sowanie w elektronice, glównie zas przy wytwarzaniu warstwowych ukladów rezysterowych.Znane sa uklady do korekcji rezystorów, wykorzystujace impulsy pradu o niskim napieciu, przy czym uklady te zawieraja przelacznik elektroniczny przelaczajacy z duza czestotliwoscia korygowany rezystor raz do zródla pradu korygujacego, a raz do wejscia ukladu pomiarowego* Uklady te zawieraja przetworniki opornosciowo-napieciowe polaczone z wzorcem opornosci i z ko¬ rygowanym rezystorem przez uklad przelaczajacy* Na wyjsciu ukladu korekcji jest usytuowany wskaznik analogowy podajacy odchylke rezystora korygowanego od wartosci wzorcowej.Uklad do korekcji rezystorów cienkowarstwowych zawiera przetwornik opornosci na napiecie polajzony z wzorcowym rezystorem 1 z korygowanym rezystorem oraz zródlo napiecia odniesienia, które to elementy polaczone sa z napieciowym komparatorem* Uklad zaopatrzony jest w sterowane zródlo pradu impulsowego polaczone z korekcyjna elektroda, przy czym sterowane zródlo pradu impulsowego poprzez logiczny element jest sterowane z generatora napiecia prostokatnego* • Blstabilny przerzutnik poprzez element logiczny NOR jest polaczony z wyjsciem napieciowego komparatora o minimalnej histerezie 1 jednoczesnie blstabilny przerzutnik poprzez element logiczny NAND jeat polaczony ze sterowanym zródlem pradu impulsowego dostarczajacym Impulsów wysokiego napiecia* Monoatabllny przerzutnik jeat polaczony z elementem logicznym NOR, a po¬ przez opózniajacy element z generatorem napiecia prostokatnego* Uklad wedlug wynalazku pozwala na prowadzenie korekcji bezkontaktowej sterowanej automatycznie pradem impulsowym wyaoklego napiecia w sposób cykliczny usuwajacy warstwy oporowe korygowanych rezystorów przy pomocy korekcyjnej elektrody i automatycznego wyladowania iskrowego, co umozliwia dokladny pomiar korygowanych rezystorów oraz zapewnia automatyczne wypalanie i wylaczanie procesu korekcji po uzyskaniu zadanej wartosci bez manualnego prowadzenia elektrody korekcyjnej*2 145 259 Uklad eliminuje ponadto zaklócenia, a takze zabezpiecza warstwe oporowa przed mechanicznym uszkodzeniem.Przedmiot wynalazku Jest uwidoczniony w przykladzie wykonania na ryaunku przedstawiajacym schemat blokowy ukladu do korekcji.Uklad do korekcji rezystorów cienkowarstwowych jest zbudowany z przetwornika 1 opornosc na napiecie, polaczonego z wzorcowym rezystorem L 1 z korygowanym rezystorem R i ze zró¬ dla 2 napiecia odniesienia, polaczonych z napieciowym komparatorem 3 o minimalnej histerezie.Sterowane zródlo 4 pradu Impulsowego jest polaczone z korekcyjna elektroda 5 1 jednoczesnie poprzez element RAND zródlo 4 pradu Impulsowego jest sterowane z generatora 6 napiecia pros¬ tokatnego.Bista bliny przerzutnik 7 poprzez element NOR jest polaczony z wyjsciem napiecio¬ wego komparatora 3 1 równoczesnie poprzez element NAND ze sterowanym zródlem 4 pradu impulso¬ wego dostarczajacym Impulsów wysokiego napiecia. Monostabliny przerzutnik 8 jest polaczony z logicznym elementem NOR, a poprzez opózniajacy element 9 z generatorem 6 napiecia prosto¬ katnego.Uklad dziala nastepujaco: warstwa oporowa korygowanego rezystora R jest wypalana pradem wysokiego napiecia w postaci Impulsów wytwarzanych przez zródlo 4 pradu Impulsowego traktowa¬ ne napieciem z generatora 6 napiecia prostokatnego/ z którego pojedynczy Impuls pradu pojawia sie pod wplywem okreslonego zbocza napiecia sterujacego. Porównanie wartosci korygowanego rezystora R z wartoscia zadana wzorcowego rezystora RN dokonywane jest w przedziele czssu wybranym miedzy dwoma kolejnymi impulsami pradowymi dzieki zastosowaniu opózniajacego elemen¬ tu 9 wprowadzajacego opznienie czasowe monostabilnego przerzutnika 8 oraz elementu odpowiada¬ jacego logicznej bramce NOR* Jezeli wartosc korygowanego rezystora R przekroczy nieznacznie wartosc wzorcowego rezystora R„ to nastapi trwala zmiana stanu na wyjsciu napieciowego kompa¬ ratora 3* Po krótkim czasie od tej chwili nowy stan napieciowego komparatora 3 pojawia sie no wejiclu bistabllnego przerzutnika 7, powodujac jego zadzialanie i zablokowanie wejscia ste¬ rujacego zródls 4 pradu impulsowegox, wówczas korekcja zostanie zakonczona.Zastrzezenie patentowe Uklad do korekcji rezystorów cienkowarstwowych, zawierajacy przetwornik opornosci na napiecia polaczony z wzorcowym rezystorem i z korygowanym rezystorem oraz zródlo napiecia odniesienie, które to elementy polaczone sa z napieciowym komparatorem, zaopatrzony w sterowe¬ ne zródlo pradu impulsowego polaczone z korekcyjna elektroda, przy czym sterowane zródlo pradu impulsowego poprzez logiczny element Jest sterowane z generatora napiecia prostokatnego, znsmienny tym, ze bistabilny przerzutnik /!/ poprzez element logiczny NOR jest polaczony z wyjsciem napieciowego komparatora /3/ o minimalnej histerezie i jednoczesnie bista¬ bilny przerzutnik III poprzez element logiczny NAND jest polaczony ze sterowanym zródlem IM pradu impulsowego dostarczajacym Impulsów wysokiego napiecia, podczas gdy monostabilny przerzut¬ nik ISi jest polaczony z elementem logicznym NOR, a poprzez opózniajacy element /9/ z genera¬ torem IGI napiecia prostokatnego.Pracownia Poligraficzni UP PRL. Naklad 100 egz.Cena 220 zl PL