Przedmiotem wynalazku jest mikromanipulator zwlaszcza do pozycjonowania elementów pólprzewodnikowych w procesach recznego lub pólautomatycznego mikromontazu.Stosowane dotychczas rozwiazania konstrukcyjne manipulatorów w procesach mikromon¬ tazu elementów pólprzewodnikowych, oparte sa o zasade dzialania pantografu lub uklady ciegnowe.Zblizone rozwiazania dzwigniowe opisane w polskich opisach patentowych nr 83 287 i nr 111 514, zawieraja dzwignie napedowa polaczona poprzez mieszki sprezyste, badz z uchwytem napedowym lub stolikiem roboczym, albo w drugim rozwiazaniu zastosowano elastyczne sprzeglo mieszkowe wspólpracujace z przegubem kulowym i dodatkowa tuleja.Rozwiazania te stwarzaja szereg ograniczen uniemozliwiajacych uniwersalne zastosowanie tych mikromanipulatorów. W obu rozwiazaniach stoliki robocze oparte sa bezposrednio o tuleje obrotowe, a wiec lozyskowane slizgowo z koniecznoscia stosowania w tym wezle konstrukcyjnym smarów tlumiacych drgania. Drgania te pochodza nie tylko od przypadkowych czynników, ale równiez od wprowadzanych do elementów mieszkowych naprezen, przy geometrycznym ich odksztalcaniu na skutek wychylenia dzwigni napedowej. Odksztalcenia te w kierunku poosiowym, a szczególnie promieniowym powoduja pojawienie sie naprezen w mieszkach, co przy obrocie lub wychyleniu dzwigni napedowej wywoluje drgania skretne wymuszajace samoczynny oscylacyjny powrót dzwigni napedowej i stolika roboczego do polozenia wyjsciowego. Zmusza to operatora do stalego wywierania nacisku na uchwyt napedowy albo rekojesc dzwigni, lub stosowanie duzej masy uchwytu.Odchylenie sprzegiel mieszkowych w kierunku promieniowym zmienia ich charakterystyke obciazeniowa a zatem zmienia w kazdym polozeniu dzwigni napedowej opory ruchu /zjawisko sleepstickW, szczególnie przy wychyleniu stolika manipulatora. Stosowanie smarów tlumiacych drgania, wymaga ich stalej konserwacji lub wymiany na skutek starzenia sie, lub przedostajacych sie zanieczyszczen. Ponadto rozwiazania te nie posiadaja mozliwosci regulacji wielkosci przeloze¬ nia nawet w niewielkim zakresie.POLSKA RZECZPOSPOLITA LUDOWA URZAD PATENTOWY PRL2 145 126 Mikromanipulator zaopatrzony w dzwignie dwustronna z dwoma przegubami kulowymi polaczona ze stolikiem, wedlug wynalazku, wyróznia sie tym, ze dzwignia dwustronna jest osa¬ dzona obrotowo w zewnetrznej napedowej tulei, wyposazonej w pierscieniowy przegub Cardana, korzystnie lozyskowany pierwsza para lozysk kielkowych w osi symetrii pierwszego przegubu dzwigni dwustronnej i druga para lozysk, korzystnie kielkowych w podstawie zawierajacej zespól dwóch par prowadnic tocznych, korzystnie pryzmatycznych z kulkami tocznymi. Kazda para prowadnic jest wzgledem siebie obrócona o kat 90°C, zas do prowadnicy napedzanej drugim przegubem kulowym zamocowany jest stolik roboczy.Korzystne jest jesli zewnetrzna tuleja napedowa, zaopatrzona jest w przesuwnie osadzona rekojesc, ustalajaca wielkosc przelozenia mikromanipulatora.Zgodnie z wynalazkiem, dzieki zastosowaniu pierscieniowego przegubu Cardana wyelimino¬ wano drgania w ukladzie dzwigni napedzajacej, a sprzegniecie go z zewnetrzna tuleja napedowa , umozliwia w dowolnym polozeniu katowym tej dzwigni obrót stolika o kat 360°C. Oparcie stolika <*•¦ roboczego na dwóch parach prowadnic tocznych wzajemnie prostopadlych realizuje ruchy robocze w plaszczyznach pionowej i poziomej, zapewniajac jednoczesnie stale zminimalizowane opory ruchu w calym zakresie pola roboczego.Poprzez wyeliminowanie elementów sprezystych, ruchy robocze realizowane sa bez drgan ° wlasnych, histerezy polozeniowej, a tym samym umozliwiaja precyzyjne i powtarzalne dojscie elementu pozycjonowanego z dowolnej strony do krzyza lub innej bazy obserwacyjnej.Regulowane polozenie pozwala na dobranie w zadanej skali odwzorowania ruchu dzwigni napedowej, a tym samym stolika roboczego w zaleznosci od wielkosci struktur pólprzewodniko¬ wych montowanych w obudowach lub azurach wymiarów poletek kontaktowych, srednicy narze¬ dzia montazowego, powiekszenia mikroskopu obserwacyjnego lub telewizyjnego toru kame¬ rowego.Przedmiot wynalazkujest uwidoczniony w przykladzie wykonania na rysunku, który na fig. 1 przedstawia mikromanipulator w przekroju osiowym, zas na fig. 2 - przekrój A-Apierscieniowego przegubu Cardana w powiekszeniu 2:1.Dzwignia dwustronna 1 odwzorowujaca ruch ustawczy na stoliku roboczym 6 osadzona jest obrotowo w tulei napedowej 2, zaopatrzonej w przesuwna rekojesc 7 do ustawienia zadanej wielkosci a/b przelozenia mikromanipulatora. Rekojesc 7 blokowana jest wkretem dociskowym 13. Przegub kulowyKi dzwigni 1 osadzony jest w gniezdzie stozkowym tulei 5 i docisniety sprezyna 12, a przegub kulowy K2 umieszczony jest suwliwie w otworze prowadnicy tocznej 8. Tuleja 5 ulozyskowana jest obrotowo, lozyskami 11 w korpusie 10, a na jej górnym kolnierzu zamocowane sa dwie pary pryzmatowych prowadnic tocznych 8, 8'z kulkami tocznymi 9. Prowadnica 8 jest obrócona o kat 90° w stosunku do prowadnicy 8, do której przykreconyjest na stale stolik roboczy 6.Odchylenie dzwigni 1 w dowolnym kierunku za pomoca rekojesci 7 z tuleja 2, powoduje przesuniecie prowadnicy 8 lub prowadnicy 8'przegubem kulowym K2 tak, ze zamocowany na prowadnicy 8 stolik 6 odwzorowuje zadany ruch w plaszczyznie pionowej i poziomej rekojesci 7 pomniejszony o wielkosc a/b przelozenia.Przegub Cardana 3 ulozyskowany jest za pomoca lozysk kielkowych 4 na stozkowej czesci tulei napedowej 2 i za pomoca lozysk kielkowych 4 na walcowej czesci tulei 5. Takielozyskowanie umozliwia w kazdym polozeniu katowym dzwigni 1 obrót tulei napedowej 2 za pomoca rekojesci 7, a tym samym obrót tulei 5 z zespolem prowadnic tocznych 8,8 i kulkami tocznymi 9 z przymoco¬ wanym do nich stolikiem roboczym 6 o kat n x 360°.Zastrzezenia patentowe 1. Mikromanipulator zwlaszcza do pozycjonowania elementów pólprzewodnikowych w pro¬ cesach montazowych, zaopatrzony w dzwignie dwustronna z dwoma przegubami kulowymi pola¬ czona ze stolikiem, znamienny tym, ze dzwignia dwustronna (1) osadzonajest obrotowo w zewnetrz¬ nej tulei napedowej (2), wyposazonej w pierscieniowy przegub Cardana (3), korzystnie lozysko¬ wany pierwsza para lozysk kielkowych (4) w osi symetrii pierwszego przegubu kulowego (KI) dzwigni dwustronnej (1) i druga para lozysk, korzystnie kielkowych (4) w podstawie (5) zawieraja-145 126 3 cej zespól dwóch par prowadnic tocznych (8, 8), korzystnie pryzmatycznych z kulkami tocznymi (9), przy czym kazda para prowadnic (8,8) obrócona jest wzgledem siebie o kat 90°, zas prowadnicy (8) napedzanej drugim przegubem kulowym (K2), zamocowany jest stolik roboczy (6). 2. Mikromanipulator wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze zewnetrzna tuleja napedowa (2), zaopatrzona jest w przesuwnie osadzona rekojesc (7), ustalajaca wielkosc (a/b) przelozenia mikromanipulatora. PL