PL125064B1 - Dual measuring interferometer - Google Patents

Description

*** fr^Tyyj Twórca wynalazku: Lecih Pyrzak Uprawniony z patentu: Polski Komitet Normalizacji i Miar, Warszawa (Polska) Podwójny interferometr pomiarowy Przedmiotem wynalazku jest podwójny inter¬ ferometr pomiarowy przeznaczony do bezposred¬ niego pomiaru srednicy wewnetrznej i ksztaltu ge¬ ometrycznego wewnetrznej powierzchni pierscieni wzorcowych.Znany jest powszechnie interferometr Michel- sona zlozony z plytki pólprzepuszczalnej, ustawio¬ nej pod katem 45° do strumienia zródla swiatla.Nad plytka umieszczone jest zwierciadlo zas pod plytka ustawiona jest luneta obserwacyjna. Za plytka póJiprzepuszczalna znajduje sie plytka kom¬ pensujaca, a za nia plytka odbijajaca. Wchodza¬ cy strumien zródla swiatla rozdzielony jest na dwie wiazki spójne, które po przebyciu róznych dróg optycznych interferuja ze soba. Otrzymane charakterystycznie prazki interferencyjne sa zró¬ dlem informacji pomiarowych.Celem wynalazku bylo opracowanie takiej kon¬ strukcji podwójnego interferometru pomiarowego, który pozwalalby na równoczesny pomiar dwóch wielkosci: srednicy wewnetrznej i ksztaltu ge¬ ometrycznego pierscienia wzorcowego.Cel ten zostal osiagniety dzieki opracowaniu po¬ dwójnego interferometru pomiarowego, tzn. zlo¬ zonego z dwóch niezaleznych optycznych ukladów interferencyjnych, zwiazanych ze soba wspólnym zródlem swiatla.W interferometrze wedlug wynalazku, za pryz¬ matem dzielacym w pionie umieszczone sa dwa pryzmaty dzielace w poziomie. Pryzmaty ustawio¬ ne sa tak, ze ich powierzchnie pólprzepuszczalne tworza kat prosty, a za nimi w poziomie znajduje sie pryzmat narozny posiadajacy trzy powierzch¬ nie odbijajace ustawione wzgledem siebie pod 5 katem prostym. Wyjsciowa wiazka laserowa dzie¬ lona jest przez pryzmat na dwie równolegle wia¬ zki, z których pierwsza pada na jeden z dwóch pryzmatów dzielacych w poziomie, druga zas pa¬ da na pryzmat dzielaco-projektujacy. 10 Pryzmat ten posiada powierzchnie pólprzepusz- czalna i dwie powierzchnie odbijajace. Jedna z nich ustawiona jest pod katem prostym do po¬ wierzchni pólprzepuszczalnej, druga pod katem 45° do tej powierzchni. Za pryzmatem projektu- w jacym znajduje sie ekran, a przed pryzmatem ustawiony jest mikroskop fotoelektryczny. Pod pryzmatem ustawiony jest mierzony pierscien wzorcowy oraz stozek pomiarowy, fetory odbiera wiazke od pryzmatu dzielaco-projektujacego. Wia- 20 zka ta kierowana jest na mierzony pierscien, aby nastepnie zawrócic ta sama droga.Przedmiot wynalazku zostanie wyjasniony na przykladzie wykonania interferometru przedsta¬ wionego na rysunku, w Ukladzie schematycznym. 25 Podwójny interferometr sklada sie z pryzmatu dzielacego w pionie 1, który posiada powierzchnie przepuszczalna 2 i równolegla do niej powierz¬ chnie odbijajaca 3. W osi wiazki laserowej wy¬ chodzacej ze zródla 4 za powierzchnia pólprzepu- * szczalna pryzmatu dzielacego w pionie 1, umie- 125 064125 064 3 4 powierzchni tego pierscienia odwzorcowany jest na ekranie 12.Zastrzezenie patentowe Podwójny interferometr pomiarowy posiadajacy 5 zródlo swiatla laserowego, znamienny tym, ze za pryzmatem dzielacym w pionie (1) umieszczone sa dwa pryzmaty dzielace w poziomie (5) ustawione tak, ze ich powierzchnie pólprzepuszczalne tworza kat prosty, a za nimi w poziomie znajduje sie 10 pryzmat narozny (6) z trzema powierzchniami od¬ bijajacymi ustawionymi wzgledem siebie pod ka¬ tem prostym, przy czym wyjsciowa wiazka lase¬ rowa dzielona jest przez pryzmat (1) na dwie ró¬ wnolegle wiazki, z których pierwsza pada na je- 15 den z dwóch pryzmatów dzielacych iw poziomie (5), druga wiazka równolegla do wiazki wyjscio¬ wej pada na pryzmat dzielaco-projektujacy (8), posiadajacy powierzchnie pólprzepuszczalna (9) i dwie powierzchnie odbijajace (10) i <11), z któ- 20 rych jedna ustawiona jest pod katem prostym do powierzchni pólprzepuszczalnej, a druga pod ka¬ tem 45° do tej powierzchni, zas za pryzmatem projektujacym (8) znajduje sie ekran (12), nato¬ miast przed pryzmatem ustawiony jest mikroskop 25 fotoelektryczny (13), ponadto pod pryzmatem usta¬ wiony jest mierzony pierscien wzorcowy (14) oraz stozek pomiarowy (15) o kacie wierzcholkowym okolo 90°, który odbiera wiazke od pryzmatu dzielaco-projektujacego (8) kierujac ja na mierzo¬ no ny pierscien (14), aby nastepnie zawrócic wiazke ta sama droga, przy czym z interferometrem zwiazany jest system elektroniczny zliczajacy prazki interferencyjne (7).Drukarnia Narodowa, Zaklad Nr 6, Mft/M Cena 100 ri szczone sa dwa pryzmaty dzierace w poziomie 5 posiadajace dwie powierzchnie pólprzepuszczalne ustawione wzgledem isiebie pod katem prostym.W MnM za pryzmatami dzielacymi w poziomie 5 znajduje sie pryzmat narozny 6 posiadajacy trzy powierzchnie odbijajace ustawione wzgledem sie¬ bie pod katem prostym.Z interferometrem zwiazany jest system elek¬ troniczny zliczajacy prazki interferencyjne 7.Równolegle do pryzmatów dzielacych i naroznego umieszczony jest pryzmat dzielaco-projektujacy 8, który posiada powierzchnie pólprzepuszczalna 9 i dwie powierzchnie odbijajace 10 i 11, ustawione jedna'' *pod * 4ate*n prostym do powierzchni pól¬ przepuszczalnej, a druga pod katem 45° do tej powierzchni. Za pryzmatem projektujacym 8 znajdujeJfe, ekran *12, natomiast przed pryzma¬ tem ustawiony jes*t mikroskop fotoelektryczny 13.Ponadto pod pryzmatem ustawiony jest mierzony pierscien wzorcowy 14 oraz stozek pomiarowy 15 o kacie wierzcholkowym okolo 90°.Podwójny interferometr pomiarowy pracuje w ten sposób, ze na powierzchnie pólprzepuszczalna pryzmatu dzielacego w pionie 1 kieruje sie wiaz¬ ke swiatla laserowego, która dzielona jest opty¬ cznie na dwie wiazki. Jedna z nich kierowana jest na pryzmat dzielacy w poziomie 5 oraz pryz¬ mat narozny 6, wracajac przechodzi przez dnugi pryzmat dzielacy w poziomie 5 i po zajsciu zja¬ wiska interferencji kierowana jest do systemu elektronicznego 7 zliczajacego prazki. Druga wiaz¬ ka kierowana jest na pryzmat dzielaco-projektu¬ jacy 8 skad przechodzi na stozek pomiarowy 15 i na pierscien wzorcowy 14. Interferencyjny obraz PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Podwójny interferometr pomiarowy posiadajacy 5 zródlo swiatla laserowego, znamienny tym, ze za pryzmatem dzielacym w pionie (1) umieszczone sa dwa pryzmaty dzielace w poziomie (5) ustawione tak, ze ich powierzchnie pólprzepuszczalne tworza kat prosty, a za nimi w poziomie znajduje sie 10 pryzmat narozny (6) z trzema powierzchniami od¬ bijajacymi ustawionymi wzgledem siebie pod ka¬ tem prostym, przy czym wyjsciowa wiazka lase¬ rowa dzielona jest przez pryzmat (1) na dwie ró¬ wnolegle wiazki, z których pierwsza pada na je- 15 den z dwóch pryzmatów dzielacych iw poziomie (5), druga wiazka równolegla do wiazki wyjscio¬ wej pada na pryzmat dzielaco-projektujacy (8), posiadajacy powierzchnie pólprzepuszczalna (9) i dwie powierzchnie odbijajace (10) i <11), z któ- 20 rych jedna ustawiona jest pod katem prostym do powierzchni pólprzepuszczalnej, a druga pod ka¬ tem 45° do tej powierzchni, zas za pryzmatem projektujacym (8) znajduje sie ekran (12), nato¬ miast przed pryzmatem ustawiony jest mikroskop 25 fotoelektryczny (13), ponadto pod pryzmatem usta¬ wiony jest mierzony pierscien wzorcowy (14) oraz stozek pomiarowy (15) o kacie wierzcholkowym okolo 90°, który odbiera wiazke od pryzmatu dzielaco-projektujacego (8) kierujac ja na mierzo¬ no ny pierscien (14), aby nastepnie zawrócic wiazke ta sama droga, przy czym z interferometrem zwiazany jest system elektroniczny zliczajacy prazki interferencyjne (7). Drukarnia Narodowa, Zaklad Nr 6, Mft/M Cena 100 ri szczone sa dwa pryzmaty dzierace w poziomie 5 posiadajace dwie powierzchnie pólprzepuszczalne ustawione wzgledem isiebie pod katem prostym. W MnM za pryzmatami dzielacymi w poziomie 5 znajduje sie pryzmat narozny 6 posiadajacy trzy powierzchnie odbijajace ustawione wzgledem sie¬ bie pod katem prostym. Z interferometrem zwiazany jest system elek¬ troniczny zliczajacy prazki interferencyjne 7. Równolegle do pryzmatów dzielacych i naroznego umieszczony jest pryzmat dzielaco-projektujacy 8, który posiada powierzchnie pólprzepuszczalna 9 i dwie powierzchnie odbijajace 10 i 11, ustawione jedna'' *pod * 4ate*n prostym do powierzchni pól¬ przepuszczalnej, a druga pod katem 45° do tej powierzchni. Za pryzmatem projektujacym 8 znajdujeJfe, ekran *12, natomiast przed pryzma¬ tem ustawiony jes*t mikroskop fotoelektryczny 13. Ponadto pod pryzmatem ustawiony jest mierzony pierscien wzorcowy 14 oraz stozek pomiarowy 15 o kacie wierzcholkowym okolo 90°. Podwójny interferometr pomiarowy pracuje w ten sposób, ze na powierzchnie pólprzepuszczalna pryzmatu dzielacego w pionie 1 kieruje sie wiaz¬ ke swiatla laserowego, która dzielona jest opty¬ cznie na dwie wiazki. Jedna z nich kierowana jest na pryzmat dzielacy w poziomie 5 oraz pryz¬ mat narozny 6, wracajac przechodzi przez dnugi pryzmat dzielacy w poziomie 5 i po zajsciu zja¬ wiska interferencji kierowana jest do systemu elektronicznego 7 zliczajacego prazki. Druga wiaz¬ ka kierowana jest na pryzmat dzielaco-projektu¬ jacy 8 skad przechodzi na stozek pomiarowy 15 i na pierscien wzorcowy 14. Interferencyjny obraz PL