Przedmiotem wynalazku jest piec do wytwarzania cienkich warstw dielektrycznych na podlo¬ zach metalicznych i niemetalicznych w polach stalych i zmiennych.Znane piece do wytwarzania cienkich warstw dielektrycznych skladaly sie z elektrycznych grzejników, z których jeden sluzy do podgrzewania ceramiki dielektrycznej, a drugi do podgrzewa¬ nia podloza, na którym uzyskuje sie cienkie warstwy dielektryczne. Nakladanie warstw dielektry¬ cznych na podloza odbywa sie pod zmniejszonym cisnieniem polach stalych i zmiennych.Grzejniki stosowane w tych piecach byly wykonane w calosci przy czym grzejnik ceramik byl umieszczony trwale w szkle kwarcowym zalepionym ogniotrwalym tworzywem. Wada tego rodzaju grzejników byla mala sprawnosc termiczna wymagajaca dluzszego nagrzewania lub stoso¬ wania wiekszych mocy. W przypadku przepalania sie spirali elektrycznej caly drogi grzejnik nie nadawal sie do regeneracji. Uciazliwe bylo równiez dopasowywanie ceramiki do srednicy wewne¬ trznej rurki kwarcowej oraz samo wykonanie calej grzalki. Grzejniki do podgrzewania podlozy na których otrzymywano cienkie warstwy zarówno w polach stalych i zmiennych posiadaly nieko¬ rzystny stosunek mocy grzalki do masy wlasnej, co wiaze sie przede wszystkim ze zbyt niska temperatura na powierzchni podloza. Niedostatecznie rozwiazana byla równiez sprawa z mocowa¬ niem maski jako elementu nosnego podloza oraz sposób pomiaru temperatury grzejnika.Wymienione niedomagania zostaly usuniete dzieki zastosowaniu konstrukcji pieca wedlug niniejszego wynalazku.Istota wynalazku polega na tym, ze piec posiada grzalke ceramik dielektrycznych zaopatrzona w stalowa kolowa wkladke z przelotowymi otworami, wewnatrz których osadzone sa kwarcowe rurki ze spiralami elektrycznymi. Calosc jest umieszczona w specjalnie uformowanej ceramicznej oslonie, która stanowi jego podstawe. Bezposrednio na stalowej wkladce jest umieszczona cera¬ mika dielektryczna, która pod wplywem pola stalego lub zmiennego i obnizonego cisnienia emituje czastki ceramiki dielektrycznej. Natomiast grzejnik podlozy stanowi wielokatny stalowy blok z przelotowymi otworami, wewnatrz których osadzone sa kwarcowe rurki ze spiralami elektry¬ cznymi i jest wyposazony w maske z otworem, przez który nanoszona jest cienka warstwa oraz w otwory boczne na sruby mocujace. Tak wykonany piec umozliwia szybka i latwa wymiane poszczególnych elementów, zwlaszcza grzewczych w przypadku ich uszkodzenia.2 123846 Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykladowym rysunku.Piec sklada sie z podstawy 1 w której jest osadzony grzejnik ceramik dielektrycznych 2, a nad nim w tej samej osi pionowej grzejnik podlozy 3 zamocowany do ramienia 4 statywu 5. Calosc w znany sposób jest umieszczona w prózniowym kloszu 6.Grzejnik ceramik dielektrycznych 2 sklada sie ze stalowej wkladki 7z przelotowymi otworami 8, w których osadzone sa kwarcowe rurki 9 z elektrycznymi spiralami 10. Grzejnik 2 jest umie¬ szczony w ceramicznej oslonie 11 stanowiacej jednoczesnie jego podstawe. Na wkladce 7 umie¬ szczona jest ceramika 12.Grzejnik podlozy 3 stanowi wielokatny stalowy blok 13 z otworami 14. W otworach tych umieszczone sa kwarcowe rurki 15, w których znajduje sie elektryczna spirala 16. Blok 13 po jego zewnetrznej stronie zaopatrzony jest w maske 17, która od dolu posiada otwór 18 odslaniajacy ta czesc podloza 19, na której ma byc naniesiona warstwa dielektryczna. Maska 17 obejmuje swoimi pionowymi ramionami 25 blok 13, a sruby 20 ustalaja polozenie maski wzgledem bloku.Do grzejnika 2 sa podlaczone w znany sposób przewody elektryczne 21 doprowadzajace prad zarzenia spirali oraz wysokie napiecie ujemne. Do grzejnika 3 oprócz przewodów 22 doprowadza¬ jacych prad zarzenia spirali elektrycznej doprowadzone sa przewody 23 polaczone z termopara.Statyw 5 oraz grzejnik 3 polaczony jest elektrycznie z masa urzadzenia, która znajduje sie na wysokim potencjale anody.Na rysunku liniami przerywanymi 24 pokazano kierunek emisji czastek materialu ceramiki 12 rozpylanej w kierunku podloza 19.Zastrzezenie patentowe Piec laboratoryjny do wytwarzania cienkich warstw dielektrycznych skladajacy sie zgrzejnika ceramik dielektrycznych oraz grzejnika podlozy umieszczony w jednej osi pionowej, znamienny tym, ze grzejnik ceramik dielektrycznych (2) posiada w stalowa kolowa wkladke (7) z przelotowymi otworami (8), w których osadzone sa kwarcowe rurki (9) z elektrycznymi spiralami (10) oraz w ceramiczna oslone (11) stanowiaca równoczesnie jego podstawe, natomiast grzejnik podlozy (3) stanowi wielokatny stalowy blok (13) z otworami (14), w których umocowane sa rurki kwarcowe (15) ze spiralami elektrycznymi (16), oraz jest wyposazony w maske (17) z otworem (18) i otworami bocznymi pod sruby mocujace (20).123846 PL