Przedmiotem wynalazku jest palnik wodorowo-tlenowy, stosowany jako zródlo pary wodnej w techno¬ logii przyrzadów pólprzewodnikowych, a zwlaszcza w procesach termicznego utleniania orazdomieszkowa¬ nia krzemu.Znany palnik wodorowo-tlenowy, amerykanskiej firmy Thermco, jest zbudowany w postaci wspólo¬ siowo usytuowanych dwóch dysz, wykonanych w postaci kwarcowych rurek o przekroju kolowym. Zewne¬ trzna dysza sluzy do doprowadzania tlenu, a wewnetrzna jest doprowadzany wodór. Wewnatrz dyszy wodorowej znajduje sie rurka kwarcowa, zabezpieczajaca umieszczona w niej termopare. W scianke kazdej z dysz sa wtopione kwarcowe rurki, na których mocowane sa przylacza gazów roboczych. Montowanie palnika w rurze, w której prowadzi sie procesy technologiczne, odbywa sie za pomoca dodatkowego elementu posredniczacego.Zasadnicza niedogodnoscia znanego palnika wodorowo-tlenowego jestjego mala wytrzymalosc mecha¬ niczna, powodowana kruchoscia kwarcu oraz trudna technologia wytwarzania.Wynalazek dotyczy palnika wodorowo-tlenowego, zbudowanego w postaci wspólosiowo usytuowa¬ nych dysz, tlenowej i wodorowej, przy czym wewnatrz dyszy wodorowej jest umieszczczona rurka zabezpie¬ czajaca czujnik temperatury. Istota wynalazku polega na tym, ze dysze oraz rurka zabezpieczajaca czujnik temperatury sa zamocowane w korpusie, skladajacym sie z przelotowych segmentów. Konce kazdej z dysz i rurki zabezpieczajacej sa umieszczone w przelotowych segmentach mocujacych, natomiast pomiedzy tymi segmentami znajduja sie pierscieniowe segmenty z otworami, przeznaczonymi na zamontowanie przylaczy tlenu i wodoru. Przelotowe segmenty mocujace sa wykonane w postaci nakretki, w którajest wkrecona tuleja, przy czym wewnetrzne powierzchnie nakretki i tulei tworza gniazdo, a w gniezdzie tym jest umieszczony elastyczny pierscieniowy lacznik. Powierzchnia gniazda i zewnetrzna powierzchnia lacznika elastycznegb maja ksztalt pobocznie stozków, przylegajacych do siebie podstawami. Korzystne jest wykonanie pierscie¬ niowych segmentów o zmiennej wzdluz ich obwodu grubosci. Pozwala to na zmniejszenie ciezaru calego palnika i usytuowanie otworów do montowania przylaczy gazów roboczych w najgrubszych czesciach segmentów.Palnik wodorowo-tlenowy wedlug wynalazku charakteryzuje sie latwoscia montazu i demontazu, zapewniajac jednoczesnie szczelnosc doprowadzenia gazów roboczych, a wraz z tym wysoka czystosc wytwarzanej pary wodnej.Przedmiot wynalazku jest objasniony w przykladzie wykonania na rysunku, który przedstawia palnik wodorowo-tlenowy, w pólprzekroju osiowym.1 120 832 Przykladowy palnik wedlug wynalazku sklada sie / kwarcowej rurki, stanowiacej tlenowa dysze 1, wewnatrz której jest wspólosiowo umieszczona druga rurka kwarcowa, stanowiaca wodorowa dysze 2.Wewnatrz, wodorowej dyszy 2 znajduje sie rurka 3 zabezpieczajaca terrnopare, sluzaca do pomiaru tempera¬ tury u wylotu palnika. Dlugosc tlenowej dyszy 1 jest mniejsza od dlugosci wodorowej dyszy 2. a dlugosc wodorowej dyszy 2jest mniejsza od dlugosci zabezpieczajacej rurki 3. Na koncach obu dysz 1,2 i zabezpiecza¬ jacej rurki 3 sa umieszczone elastyczne, pierscieniowe laczniki 4, wykonane z tarilenu, których zewnetrzna powierzchnia ma ksztalt pobocznie stozków, przylegajacych do siebie podstawami. Lacznik 4 jest umie¬ szczony w gniezdzie, utworzonym przez wewnetrzne powierzchnie stalowej, przelotowej nakretki 5i stalowej tulei 6, wkreconej w nakretke 5 na czesci jej dlugosci. Gniazdo ma ksztalt odpowiadajacy ksztaltowi zewnetrznej pow ierzchni lacznika 4, lecz kat nachylenia tworzacych stozków gniazda jest mniejszy od Kata nachylenia tworzacych stozków lacznika 4. Laczniki 4, nakretki 5 i tuleje 6 stanowia segmenty mocujace dysze 1,2 i zabezpieczajaca rurke 3. Miedzy tymi segmentami sa umieszczone stalowe pierscieniowe segmenty 7, których dlugosc wzdluz obwodu jest rózna, przy czym w najgrubszej czesci segmentów 7 sa wykonane boczne otwory, przeznaczone do wykrecania przylaczy 8 tlenu i wodoru. Segment mocujacy tlenowa dysze 1 jest zakonczony nagwintowana tulejka, sluzaca do wkrecenia palnika w koncówke rury technologicznej.Tlen i wodór sa doprowadzane za posrednictwem przylaczy 8 do wnetrza pierscieniow ych segmentów 7.Wodór, z wnetrza segmentu 7 przedostaje sie przez otwór miedzy tuleja 6 a zewnetrzna powierzchnia zabezpieczajacej rurki 3 do wnetrza wodorowej dyszy 2, natomiast tlen przedostaje sie do tlenowej dyszy 1 otworem miedzy tuleja 6a zewnetrzna powierzchnia wodorowej dyszy 2. Elastyczne laczniki 4, pod wplywem dzialajacych na nie sil, ulegaja odksztalceniu i zaciskajac sie wokól dysz 1, 2 i zabezpieczajacej rurki 3, zapewniaja mocne i szczelne ich zamocowanie.Zastrzezenia patentowe 1. Palnik wodorowo-tlenowy, zawierajacy dwie, wspólosiowo usytuowane dysze, oraz rurke zabezpie¬ czajaca czujnik temperatury, umieszczona wewnatrzdyszy wewnetrznej, znamienny tym, ze konce dysz (1,2) i zabezpieczajacej rurki (3) sa umieszczone w przelotowych segmentach, miedzy którymi znajduja sie pierscie¬ niowe segmenty (7) z otworami, przeznaczonymi do montowania przylaczy (8) gazów roboczych, natomiast przelotowe segmenty skladaja sie z nakretki (5) w która jest w krecona tuleja (6), zas wew netrzne powierzchnie nakretki (5) i tulei (6) tworza gniazdo, a w gniezdzie jest umieszczony elastyczny, pierscieniowy lacznik (4), przy czym powierzchnia gniazda i zewnetrzna powierzchnia lacznika (4) maja ksztalt pobocznie stozków, przylegajacych do siebie podstawami. 2. Palnik wedlug zastrz. 1. znamienny tym, ze pierscieniowe segmenty (7) maja grubosc zmieniajaca sie wzdluz obwodu.Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 120 egz.Cena 100 zl PL