Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie ustaw¬ cze do szlifowania i polerowania plytek pólprze¬ wodnikowych, ograniczajace grubosc koncowa ob¬ rabianych plytek.Dotychczas znane rozwiazania tego typu to uchwyty z uskokiem dystansujacym, wykonane z jednego bloku materialu lub z dystansownikami punktowymi wykonanymi z diamentu. Stosowane sa równiez uchwyty bezdystansowe, przy których kontrola grubosci odbywa sie przez okreslenie przecietnej szybkosci obróbki.Uchwyty dystansowe stale lub z jednego bloku materialu zuzywaja sie i rozkalibrowuja stosun¬ kowo szybko przez co sa nieekonomiczne do zasto¬ sowan produkcyjnych.Uchwyty* z punktowymi dystansownikami dia¬ mentowymi (nastawnymi) sa równiez niepraktycz¬ ne, gdyz niezaleznie od ich nieekonomicznosci po¬ woduja one czeste uszkodzenia twardych tarcz szlifierskich, zas sa zupelnie nieskuteczne przy stosowaniu do tarcz srednio twardych i miekkich z uwagi na zbyt mala plaszczyzne oporowa dys- tansowników diamentowych. Sposób obróbki bez dystansowników jest trudny do kontroli, przez co jego zastosowanie jest ograniczone.Istota wynalazku jest to, ze plyta wzorcowa urzadzenia ma plaszczyzne wewnetrzna i zewne¬ trzna, przesuniete plasko-równolegle wzgledem siebie 9 uskok, zalezny od grubosci koncowej ply¬ tek pólprzewodnikowych. Uchwyt do plytek z jed¬ li 19 nostronnie wydrazonego bloku ma na obwodzie równomiernie rozmieszczone, co najmniej trzy trzpienie dystansujace o plaskiej, utwardzonej po¬ wierzchni czolowej, wysuwane ponad plaszczyzne robocza plyty wzorcowej. Plytki pólprzewodnikowe umieszczone sa pomiedzy trzpieniami dystansuja¬ cymi.Urzadzenie zapewnia proste i precyzyjne ograni¬ czenie grubosci koncowej obrabianych plytek.Trzpienie dystansujace maja stosunkowo duza plaska powierzchnie, co skutecznie zabezpiecza plytki pólprzewodnikowe przed przeszlifowaniem na tarczy twardej, a takze przed przepolerowaniem na tarczy srednio twardej. Zwiekszona powierz¬ chnia dystansujaca zapobiega równiez uszkodzeniu tarcz szlifierskich i polerskich nawet wówczas, gdy czas potrzebny na szlifowanie plytek zostanie dwukrotnie przekroczony.Istotna zaleta rozwiazania wedlug wynalazku jest nieskomplikowane ustawienie trzpieni dystan¬ sujacych na plycie wzorcowej.Urzadzenie wedlug wynalazku zostanie blizej objasnione na przykladzie wykonania przedstawio¬ nym na rysunku, którego fig. 1 pokazuje widok z góry uchwytu kalibrowanego, fig. 2 — widok uchwytu w pólprzekroju wzdluznym i pólwidoku, fig. 3 — plyte wzorcowa w pólprzekroju wzdluz¬ nym i pólwidoku.Plyta wzorcowa 1 urzadzenia ma dwie plasz¬ czyzny wewnetrzna 2 i zewnetrzna 3 przesuniete 1191173 119 117 4 wzgledem siebie w sposób plaskorównolegly o us¬ kok 4, plaszczyzna zewnetrzna ponizej plaszczyzny wewnetrznej. Uskok 4 odpowiada zamierzonej gru- gosci koncowej plytki pólprzewodnikowej zwiek¬ szonej o przecietna grubosc warstwy lepiszcza uzy¬ tego do klejenia plytek do uchwytu szlifierskiego.Ustawienie trzpieni odbywa .sie przed przykleje¬ niem plytek pólprzewodnikowych 5. Do tego celu wykorzystuje sie plyte wzorcowa 1, na której kla¬ dzie sie koncentrycznie uchwyt szlifierski (plasz¬ czyzna robocza ku plycie wzorcowej). Koncen¬ tryczne ulozenie ulatwia kolek prowadzacy 10 na plycie, oraz wglebienie centrujace na srodku plasz¬ czyzny roboczej 9 uchwytu szlifierskiego. Po kon¬ centrycznym ustawieniu uchwytu 6 na plycie wzorcowej 1 opiera sie on srodkowa czescia plasz¬ czyzny roboczej 9 na wewnetrznej plaszczyznie 2 plyty wzorcowej 1, zas czesc zewnetrzna uchwytu 6 wraz z trzpieniami dystansujacymi 7 znajduje sie nad zewnetrzna plaszczyzna 3 plyty wzorcowej 1, która jest przesunieta o uskok 4 ponizej plaszczyzny wewnetrznej 2. Gdy zluzuje sie sruby blokujace 12 to trzpienie dystansujace 7 opadna na zewnetrzna plaszczyzne plyty wzorcowej 1 o uskok 4. Dociska¬ jac trzpienie 7 kolejno do plyty wzorcowej 1 ustala sie ich polozenie srubami blokujacymi.Tak wykalibrowany uchwyt jest gotowy do na¬ klejania plytek pólprzewodnikowych 5. Plytki pól¬ przewodnikowe 5 sa naklejane na zewnetrzna plaszczyzne bloku stalowego tak, aby znajdowaly sie pomiedzy trzpieniami dystansujacymi 7. Wy¬ drazenie z drugiej strony bloku jest tak dobrane, aby przy wykorzystaniu 50% jego powierzchni uzytecznej nacisk jednostkowy na plytki pólprze¬ wodnikowe byl zblizony do optymalnego dla da¬ nego pólprzewodnika, np. GaAs. Trzpienie dystan¬ sujace sa utwardzone na koncach stykajacych sie z tarcza szlifierska. Po naklejeniu plytek pólprze¬ wodnikowych 5 i wystudzeniu uchwytu umieszcza sie go na tarczy szlifierskiej i ewentualnie obciaza dodatkowo obciaznikami.Gdy plytki zostana zeszlifowane do plaszczyzny trzpieni dystansujacych myje sie uchwyt z plytka¬ mi, kontroluje zgodnosc grubosci plytek z wysunie¬ ciem trzpieni dystansujacych i ewentualnie kory¬ guje doszlifowanie, az nastapi calkowita zgodnosc.W zaleznosci od twardosci i scieralnosci ma¬ terialu uzytego na wykonanie trzpieni dystansuja¬ cych co pewien czas kontroluje sie stopien ich zeszlifowania i koryguje ustawienie na plycie wzorcowej opisanym sposobem.Zastrzezenie patentowe Urzadzenie ustawcze do szlifowania i polerowa¬ nia plytek pólprzewodnikowych, wyposazone w plyte wzorcowa oraz kalibrowany uchwyt szlifier¬ ski, koncentrycznie ustawiony na tej plycie, z trzpieniami dystansujacymi, znamienne tym, ze plyta wzorcowa (1) posiada plaszczyzne wewne¬ trzna (2) i zewnetrzna (3), przesuniete plasko-rów- nolegle wzgledem siebie o uskok (4), zalezny od grubosci koncowej plytek pólprzewodnikowych (5), a zbudowany z jednostronnie wydrazonego bloku uchwyt szlifierski (6) plytek (5) ma na obwodzie równomiernie rozmieszczone, co najmniej trzy, trzpienie dystansujace (7) o plaskiej, utwardzonej powierzchni czolowej (8), wysuwane ponad plasz¬ czyzne robocza (9) plyty wzorcowej (1), przy czym plytki pólprzewodnikowe (5) umieszczone sa mie¬ dzy trzpieniami dystansujacymi (7). 10 15 20 21 30 t119 117 1L R}4 PL