PL117417B2 - Method and system for fabrication of diffraction grating - Google Patents

Method and system for fabrication of diffraction grating Download PDF

Info

Publication number
PL117417B2
PL117417B2 PL21859579A PL21859579A PL117417B2 PL 117417 B2 PL117417 B2 PL 117417B2 PL 21859579 A PL21859579 A PL 21859579A PL 21859579 A PL21859579 A PL 21859579A PL 117417 B2 PL117417 B2 PL 117417B2
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
interference
diffraction grating
copy layer
mirror
producing
Prior art date
Application number
PL21859579A
Other languages
English (en)
Other versions
PL218595A2 (pl
Inventor
Andrzej Malag
Original Assignee
Polska Akademia Nauk Instytut
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Polska Akademia Nauk Instytut filed Critical Polska Akademia Nauk Instytut
Priority to PL21859579A priority Critical patent/PL117417B2/pl
Publication of PL218595A2 publication Critical patent/PL218595A2/xx
Publication of PL117417B2 publication Critical patent/PL117417B2/pl

Links

Landscapes

  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania siatki dyfrakcyjnej oraz uklad do wytwarzania siatki dyfrakcyjnej realizujacy powyzszy sposób.Znany sposób wytwarzania siatki dyfrakcyjnej polega na tym, ze koherentna wiazke swiatla rozdziela sie na dwie odrebne wiazki, które nastepnie doprowadza sie do interferencji na warstwie kopiowej. Utworzony obraz interferencyjne wywoluje sie.Znany uklad do wytwarzania siatki dyfrakcyjnej sklada sie z lasera, ekspendera wiazki umieszczonego na osi strumienia laserowego oraz z holograficznego ukladu interferencyjnego, usytuowanego za ekspanderem.Uklad holograficzny zawiera zwierciadlo pólprzepuszczalne, na które pada z ekspandera wiazka swiatla. Wiazka ta rozdzielana jest na dwie odrebne wiazki, z których kazda pada na zwierciadlo odbijajace, kierujace wiazke swiatla na podloze z warstwa kopiowa. Obie wiazki na podlozu tym interferuja ze soba, tworzac obraz interferencyjny. Obraz ten po wywolaniu tworzy siatke dyfrakcyjna.Duza niedogodnoscia przedstawionego wyzej ukladujest jego mala zawartosc, co utrudnia praktycznie jego zastosowanie, ajednoczesnie uklad ten jest bardzo czuly na drgania podloza. Inna niedogodnodsciajest klopotliwa koniecznosc dokladnego wyrównania dróg optycznych rozdzielonych strumieni.Sposób wytwarzania siatki dyfrakcyjnej wedlug wynalazku polega na tym, ze dzieli sie format falowy koherentnej wiazki swietlnej na dwie, korzystnie równe czesci, a nastepnie doprowadza sieje d) interferencji na warstwie kopiowej.Uklad wedlug wynalazku zawiera koherentne zródlo swiatla emitujace wiazke swietlna, na osi której znajduje sie ekspander wiazki oraz za ekspanderem, uklad interferencyjny, skladajacy sie z usytuowanych wzajemnie prostopadle podloza pokrytego warstwa kopiowa i zwierciadla. Krawedz wspólna zwierciadla i podloza z warstwa kopiowa znajduje sie na osi wiazki swietlnej. Uklad interferencyjny umieszczony jest ewentualnie w osrodku cieklym. Uklad wedlug wynalazku odznacza sie wieksza zwartoscia w porównaniu do ukladów znanych. Poprawia to znacznie odpornosc ukladu na wibracje podloza, przy czym dobra izolacja podstawy od tych wibracji nie jest sprawa tak krytyczna, jak w ukladach znanych.Ponadto male gabaryty ukladu wedlug wynalazku zapewniaja zawsze mala wartosc róznicy dróg optycznych interferujacych wiazek, co nie zawsze jest latwo osiagalne w ukladach znanych. Daje to mozli¬ wosc zastosowania do ekspozycji laserów o malej dlugosci koherencji. Uklad wedlug wynalazku odznacza sie wreszcie znacznym uproszczeniem ukladu interferencyjnego, mniejsza iloscia potrzebnych elementów opty¬ cznych, a co za tym idzie, mniejsza wrazliwoscia na wplyw czynników zewnetrznych (glównie osiadajacy kurz).2 117417 Przedmiot wynalazku zostanie blizej objasniony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia schemat ukladu interferencyjnego bedacego zasadnicza czescia ukladu do wytwarzania siatki dyfrakcyjnej, a fig.2 —immersyjny uklad interferencyjny.Uklad interferencyjny sklad sie z podloza 2 z naniesiona warstwa kopiowa 1 oraz prostopadle do podloza usytuowanego zwierciadla 3 calkowicie odbijajacego. Krawedz wspólna podloza 2 z warstwa kopiowa 1 i zwierciadla 3 znajduje sie na osi symetrii wiazki laserowej 5 emitowanej z ekspandera wiazki.„Dolna polowa" frontu falowego pada na podloze 2 z naniesiona warstwa kopiowa 1, natomiast „górna polowa" pada na powierzchnie zwierciadla 3 i odbita jest na warstwe kopiowa 1. Wefekcie warstwa kopiowa 1 naswietlona jest dwoma skrzyzowanymi wiazkami, które generuja w niej obraz interferencyjny, to jest uklad prazków na przemian naswietlonych i nienaswietlonych. Obraz ten wywoluje sie, co pozwala uzyskac w warstwie kopiowej 1 siatke dyfrakcyjna o stalej siatki X A= 2n sina gdzie: X—jest dlugoscia fali swiatla laserowego, n — wspólczynnikiem zalamania fali w osrodku, w którym znajduje sie uklad interferencyjny, a—katem, jaki tworzy os wiazki 5 z normalna do podloza 2.Dla zmniejszenia stalej A siatki, przy zastosowaniu tego samego lasera, uklad interferencyjny umie¬ szczony zostal w pojemniku szklanym 6, z ciecza 7, w której wspólczynnik zalamania swiatla n 1. Scianka pojemnika, na która pada wiazka swiatla 5 bezposrednio z ekspandera, uksztaltowanajest pryzmatycznie dla unikniecia naswietlania warstwy kopiowej 1 niepozadanymi wiazkami, jakie moga powstawac w wyniku odbic wiazki glównej 5 od granic osrodków powietrze-szklo-ciecz.Siatka dyfrakcyjna otrzymana w warstwie kopiowej stosowana jest w niektórych przyrzadach optoelek¬ tronicznych wprost lub przez „przeniesienie*4 do podloza metoda trawienia chemicznego lub jonowego.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzania siatki dyfrakcyjnej polegajacy na zarejestrowaniu na warstwie kopiowej obrazu interferencji dwóch koherentnych strumieni swiatla, znamienny tym, ze interferencje realizuje sie przez podzial frontu falowego jednej koherentnej wiazki swiatla na dwie, korzystnie równe czesci. 2. Uklad do wytwarzania siatki dyfrakcyjnej zawierajacy koherentne zródlo swiatla emitujace wiazke swiatla, na osi której znajduje sieekspander wiazki, a za ekspanderem usytuowanyjest uklad interferencyjny, aMunienny tym, ze uklad interferencyjny zawiera usytuowane prostopadle dopodloza (2),pokrytego warstwa kopiowa (1), zwierciadlo (3), przy czym krawedz wspólna podloza (2) i zwierciadla (3) znajduje sie na osi wiazki swietlnej (5). 3. Uklad wedlug zastrz. 2, znamienny tym, ze uklad interferencyjny umieszczonyjest w osrodku cieklym (7).117 417 FIG.1117 417 FIG. 2 Prac. Poligraf. UP PRL. Naklad 120 egz.Cena 100 zl PL

Claims (3)

  1. Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzania siatki dyfrakcyjnej polegajacy na zarejestrowaniu na warstwie kopiowej obrazu interferencji dwóch koherentnych strumieni swiatla, znamienny tym, ze interferencje realizuje sie przez podzial frontu falowego jednej koherentnej wiazki swiatla na dwie, korzystnie równe czesci.
  2. 2. Uklad do wytwarzania siatki dyfrakcyjnej zawierajacy koherentne zródlo swiatla emitujace wiazke swiatla, na osi której znajduje sieekspander wiazki, a za ekspanderem usytuowanyjest uklad interferencyjny, aMunienny tym, ze uklad interferencyjny zawiera usytuowane prostopadle dopodloza (2),pokrytego warstwa kopiowa (1), zwierciadlo (3), przy czym krawedz wspólna podloza (2) i zwierciadla (3) znajduje sie na osi wiazki swietlnej (5).
  3. 3. Uklad wedlug zastrz. 2, znamienny tym, ze uklad interferencyjny umieszczonyjest w osrodku cieklym (7).117 417 FIG.1117 417 FIG. 2 Prac. Poligraf. UP PRL. Naklad 120 egz. Cena 100 zl PL
PL21859579A 1979-09-28 1979-09-28 Method and system for fabrication of diffraction grating PL117417B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL21859579A PL117417B2 (en) 1979-09-28 1979-09-28 Method and system for fabrication of diffraction grating

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL21859579A PL117417B2 (en) 1979-09-28 1979-09-28 Method and system for fabrication of diffraction grating

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL218595A2 PL218595A2 (pl) 1980-07-28
PL117417B2 true PL117417B2 (en) 1981-08-31

Family

ID=19998607

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL21859579A PL117417B2 (en) 1979-09-28 1979-09-28 Method and system for fabrication of diffraction grating

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL117417B2 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL218595A2 (pl) 1980-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4286838A (en) Compact optical structure with integrated source
EP0092395B1 (en) Method of forming diffraction gratings
EP0000810B1 (en) Method of and apparatus for forming focusing diffraction gratings for integrated optics
US4311389A (en) Method for the optical alignment of designs in two near planes and alignment apparatus for performing this method
JP2779102B2 (ja) 多重波長干渉計装置
CN207557633U (zh) 具备编码光的结构光投影装置和电子设备
US4286871A (en) Photogrammetric measuring system
Switkes et al. Patterning of sub-50 nm dense features with space-invariant 157 nm interference lithography
US4367046A (en) Optical system for aligning two patterns and a photorepeater embodying such a system
US20080186502A1 (en) Holographic optical element
JP2764373B2 (ja) 多座標測定装置
US4395124A (en) Apparatus for position encoding
PL117417B2 (en) Method and system for fabrication of diffraction grating
JP2562479B2 (ja) 反射式xyエンコーダ
JPH0694401A (ja) 光の反射により光学的に読み取られる測微尺とその製造方法
US7800733B2 (en) Methods and systems for improved optical lithographic processing
US20030072003A1 (en) System and method for recording interference fringes in a photosensitive medium
US5372900A (en) Method of reproducing reflecting type hologram and apparatus therefor
KR19990067888A (ko) 내부 전반사 홀로그래픽 장치 및 방법과, 그 장치의 광학 어셈블리
US7042604B2 (en) Self-aligning holographic optical system and related methods
JPS6340316A (ja) 半導体製造装置
JPS5680133A (en) Formation of pattern
CA2452600C (en) Holographic optical element
JP3119476B2 (ja) ホログラム作成装置
JPS61116837A (ja) 回折格子によるギヤツプ・位置合せ制御法