Przedmiotem wynalazku jest filtr elektromecha¬ niczny, w którym sa pobudzone powierzchniowe fale sprezyste. Filtry te sa stosowane w liniach opózniajacych i filtrach. Filtr taki sklada sie z podloza, na którego powierzchni sa usytuowane przetworniki przeznaczone do wytwarzania i od bierania powierzchniowych fal sprezystych, takich jak na przyklad fale Rayleigha.Wedlug znanych typowych rozwiazan filtr elek¬ tromechaniczny zawiera stanowiace przetworniki grupy elektrod, po dwie elektrody w kazdej gru¬ pie, wykonanych w postaci grzebieni tak, ze kazdy zabek jednej elektrody jest usytuowany miedzy dwoma zabkami drugiej elektrody za wyjatkiem skrajnych zabków elektrod — nalozonych na po¬ wierzchni podloza, na przyklad z niobianu litu.Energia elektryczna, podlegajaca przeksztalceniu, jest doprowadzana do jednej pary elektrod, w wyniku czego w plytce piezoelektrycznej sa wyt¬ warzane sprezyste fale powierzchniowe, odbierane przez inny przetwornik, skladajacy sie z innej pa¬ ry elektrod, na zaciskach których indukuje sie na¬ piecie, którego charakterystyki sa okreslane ty¬ pem wymuszonych drgan oraz uksztaltowaniem elektrod.Znane jest, ze w plytce filtru elektromechanicz¬ nego pobudzone drgania powierzchniowe sa sprze¬ zone z drganiami grubosciowymi i objetosciowy¬ mi traktowanymi wówczas jako drgania pasozyt¬ nicze. Podejmuje sie wówczas starania, aby w 15 20 25 30 maksymalnym stopniu odsprzegnac drgania paso¬ zytnicze od drgan wykorzystywanych.W celu przeciwdzialania niepozadanemu pobu¬ dzaniu drgan objetosciowych w znanych filtrach elektromechanicznych, w których sa pobudzane- powierzchniowe fale sprezyste, sa stosowane pro¬ wadnice utworzone z równoleglych elementów prowadzacych. Wspomniane prowadnice wyzna¬ czaja odcinki drogi, jaka przechodza fale powierz¬ chniowe. Dzieki temu mozliwym jest umieszczenie przetwornika wejsciowego — pobudzajacego drga¬ nia — w pewnej odleglosci od przetwornika wyj¬ sciowego — odbierajacego drgania. Takie rozwia¬ zanie umozliwia zmniejszenie tej czesci energii, która jest tracona na wzbudzenie drgan objetos¬ ciowych.Znane rozwiazanie ma jednak te wade, ze wy¬ maga zwiekszenia wymiarów gabarytowych plytki filtru. Poza tym prowadnice wprowadzaja dodat¬ kowe tlumienie i odbicie fal, a jednoczesnie nie eliminuja calkowicie warunków powstawania fal objetosciowych. Oprócz tego, aby zapewnic mozli¬ wosc rozchodzenia sie fali powierzchniowej w dwóch kierunkach, koniecznym jest zastosowanie dla kazdego kierunku odrebnych przetworników pobudzajaco-odbierajacych, co stanowi dodatkowa przyczyne zwiekszenia tlumienia.Celem wynalazku jest wyeliminowanie wskaza¬ nych niedogodnosci.Przedmiotem wynalazku jest filtr elektromecha- 113 990113 990 3 niczny, w którym pobudzane sa powierzchniowe fale sprezyste, zrealizowany na podlozu z mate¬ rialu piezoelektrycznego, skladajacy sie z przetwor¬ nika srodkowego wytwarzajacego fale sprezyste powierzchniowe i objetosciowe, rozchodzace sie w dwóch przeciwnych kierunkach od srodka geo¬ metrycznego przetwornika srodkowego, przy czym przetwornik srodkowy zawiera dwie elektrody grzebieniowe, z których kazda jest uksztaltowana z wielu pasków przewodzacych, polaczonych jed¬ nym koncem z przyporzadkowanym paskiem la¬ czacym, bedacym podstawa elektrody, oraz dwóch przetworników koncowych usytuowanych w pobli¬ zu obu krawedzi podloza piezoelektrycznego z obu stron przetwornika srodkowego, z których kazdy sklada sie z dwóch elektrod grzebieniowych i z których kazdy jest przeznaczony do odbioru fal sprezystych, generowanych przez przetwornik srod¬ kowy, przy czym te dwa przetworniki koncowe sa usytuowane w jednakowej odleglosci od srod¬ ka geometrycznego przetwornika srodkowego.W przetworniku srodkowym paski przewodzace elektrod maja rózne dlugosci, a wolne od warstwy przewodzacej obszary miedzy dwoma naprzeciw¬ leglymi paskami przewodzacymi sa tak rozmiesz¬ czone, ze odwzorowuja charakterystyke czestotli¬ wosciowa przenoszenia filtru elektromechanicznego.Pierwsza elektroda pierwszego przetwornika koncowego i pierwsza elektroda drugiego prze¬ twornika koncowego sa polaczone razem i dola¬ czone do wspólnego punktu filtru, bedacego jed¬ nym z jego zacisków wyjsciowych. Druga elek¬ troda pierwszego przetwornika koncowego i druga elektroda drugiego przetwornika koncowego sa polaczone razem i dolaczone do drugiego zacisku wyjsciowego filtru tak, iz skladowa sygnalu wyj¬ sciowego filtru indukowana objetosciowymi fala¬ mi sprezystymi, wytwarzanymi przez przetwornik srodkowy, jest zasadniczo równa zeru.Miedzy przetwornikiem srodkowym i przynaj¬ mniej jednym z przetworników koncowych usytu¬ owanych w poblizu krawedzi podloza piezoelek¬ trycznego usytuowana jest elektroda przesuwa¬ jaca faze, polaczona ze wspólnym punktem filtru, która powoduje przesuniecie fazowe w jednym z dwóch torów propagacji sprezystych fal powierz¬ chniowych wzgledem drugiego toru propagacji, na skutek czego napiecie indukowane przez fale po¬ wierzchniowe odbierane przez przetworniki kon¬ cowe dodaja sie.Elektrody przesuwajace faze, usytuowane na po¬ wierzchni podloza piezoelektrycznego miedzy prze¬ twornikiem srodkowym a przetwornikami kon¬ cowymi usytuowanymi z obu stron przetwornika srodkowego w poblizu krawedzi powierzchni pod¬ loza piezoelektrycznego, maja niejednakowe sze¬ rokosci.Elektrody przesuwajace faze stanowia obszary powierzchni podloza piezoelektrycznego, na któ¬ rych sa wytworzone warstwy przewodzace w technologii naparowania prózniowego metalu lub natryskiwania metalu.Korzystnym jest, gdy elektrody przesuwajace faze stanowia obszary powierzchni podloza piezo¬ elektrycznego, na których warstwy przewodzace 4 sa utworzone we wglebieniu w podlozu piezoelek¬ trycznym wytworzonym w technologii erozji jo¬ nowej.Korzystnym jest równiez, gdy elektrody przesu- 5 wajace faze stanowia obszary powierzchni podloza piezoelektrycznego, na których warstwy przewo¬ dzace sa wytworzone w technologii wstrzykiwania jonowego.Przedmiot wynalazku jest blizej objasniony w io przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia rozmieszczenie elementów skla¬ dowych filtru elektromechanicznego wedlug wy¬ nalazku w rzucie aksonometrycznym, fig. 2 — filtr elektromechaniczny w widoku z góry, wy- 15 konany w wyniku realizacji wynalazku, fig. 3 — charakterystyke przenoszenia filtru przedstawio¬ nego na fig. 2, a fig. 4, 5 — przedstawiaja czescio¬ we przekroje poprzeczne przetwornika wedlug wynalazku. 20 Na figurze 1 przedstawiony jest filtr elektrome¬ chaniczny, w którym sa pobudzone powierzchnio¬ we fale sprezyste. Jest to filtr pasmowo-prze- pustowy z jedna para zacisków wejsciowych 17, 18 i jedna para zacisków wyjsciowych 15, 16. Filtr 25 sklada sie z plytki 2 stanowiacej podloze, na któ¬ rego powierzchni 1 sa pobudzone powierzchniowe fale sprezyste.Na tym rysunku uwidoczniono uklad osi wspól¬ rzednych 0 x y z. Powierzchnia 1 plytki 2 stanowi 30 plaszczyzne wyznaczona przez osie wspólrzedne x i y, przy czym kierunki rozchodzenia sie po¬ wierzchniowych fal sprezystych sa wyznaczone kierunkami osi x i —x.Plytka 2 moze byc, na przyklad, wycieta z ma- 35 terialu piezoelektrycznego, takiego jak niobian li¬ tu. Przetwornik srodkowy pobudzajacy fale po¬ wierzchniowe jest utworzony przez zespól elektrod 5, 7, 6, 8, nalozonych w srodkowej czesci powierz¬ chni 1 plytki 2. Srodek geometryczny o tego przet- 40 wornika elektrod jest jednoczesnie geometrycznym srodkiem powierzchni 1.Kazda z elektrod przetwornika ma postac wza¬ jemnie od siebie oddzielonych równoleglych pas¬ ków 5, 6 przewodzacych prad elektryczny polaczo- 45 nych ze soba od strony zewnetrznej krawedzi plyt¬ ki paskiem materialu przewodzacego 7, 8, do któ¬ rych sa dolaczone zaciski wejsciowe 17, 18. Paski przewodzace 5, 6 sa niejednakowej dlugosci. Sa one nalozone na powierzchni plytki piezoelektrycz- so nej tak, ze krótszy pasek z zespolu pasków 5 jed¬ nej elektrody jest nalozony w jednej linii z dluz¬ szym paskiem z zespolu pasków 6 drugiej elektro¬ dy.Miedzy koncami odpowiednich pasków 5, 6oby- 55 dwóch elektrod pozostawiono swobodny obszar po¬ wierzchni nie pokrytej materialem przewodzacym.Kazda para pasków 5, 6 oraz znajdujacy sie mie¬ dzy ich zakonczeniami swobodny obszar powierzch¬ ni plytki tworza elementarny przetwornik piezo- 60 elektryczny, w którym nastepuje przeksztalcenie energii elektrycznej w energie drgan mechanicz¬ nych. Paski 5, 6 elektrod pobudzajacych sa uksztal¬ towane tak, ze zbiór punktów geometrycznych srodków elementarnych przetworników tworzy fi- 65 gure geometryczna, przedstawiona na fig. 1 linia113 990 5 6 przerywana. Jezeli do zacisków 17, 18 zostanie doprowadzone przemienne napiecie Vt o czestotli¬ wosci f, wówczas w plytce 2 zostanie wytworzona fala powierzchniowa, rozchodzaca sie od srodka 0 w kierunkach 21, 22 ku przeciwleglym krawedziom plytki 2. W poblizu krawedzi plytki 2 sa nalozone na powierzchnie 1 elektrody dwóch identycznych przetworników wyjsciowych 3, 4, 11, 12 oraz 9, 10, 13; 14. Kazdy z tych przetworników jest zrealizo¬ wany z elektrod grzebieniowych i jest przeznaczo¬ ny do przeksztalcania mechanicznej energii drgan powierzchniowych w energie elektryczna.Elektrody przetworników odbierajacych energie fal powierzchniowych sa polaczone ze soba tak, ze na zaciskach wyjsciowych 15, 16 napiecie wyjscio¬ we jest równe zeru, o ile plytka jest jednorodna w calej swej objetosci i o ile caly zespól prze¬ tworników pobudzajacych i odbierajacych jest sy¬ metryczny wzgledem srodka geometrycznego po¬ wierzchni plytki 2.Przy pobudzeniu w plytce 2 fali powierzchnio¬ wej rozchodzacej sie w kierunkach 21, 22, pobu¬ dza sie w plytce równiez fala objetosciowa, której drogi rozchodzenia sie wewnatrz plytki 2 sa za¬ znaczone strzalkami 23, 24. Przy omówionym Wy¬ zej polaczeniu ukladu elektrod skladowa napiecia wyjsciowego V0 wywolana powstaniem w plytce 2 fal objetosciowych równiez jest równa zeru.Aby zapewnic najbardziej efektywne przekazy¬ wanie energii od zacisków wejsciowych 17, 18 do zacisków wyjsciowych 15, 16, wedlug wynalazku; miedzy przetwornikiem pobudzajacym drgania po¬ wierzchniowe 5, 6, 7, 8, a co najmniej jednym z przetworników odbierajacych 9, 15, 13, 14 umiesz¬ cza sie polaczona z punktem zerowym ukladu elektrode 20 nalozona na powierzchnie plytki 2.Umieszczenie warstwy przewodzacej o potencjale zerowym na powierzchni plytki 2, miedzy prze¬ twornikiem pobudzajacym fale powierzchniowa a przetwornikami odbierajacymi, powoduje zmiane fazy drgan powierzchniowych rozchodzacych sie w kierunku, gdzie jest umieszczona elektroda ekra¬ nujaca.Jednakze korzystnym jest umieszczenie drugiej elektrody 19 przesuwajacej faze na drodze rozcho¬ dzenia sie drugiej fali powierzchniowej. Jezeli te dwie elektrody 19, 20 przesuwajace faze beda mia¬ ly rózne szerokosci, wówczas wplyw wywierany przez nie na faze drgan rozchodzacych sie odpo¬ wiednio w kierunkach 21, 22 bedzie niejednakowy.Elektrody przesuwajace faze nie wywieraja przy tym zadnego wplywu na rozchodzenie sie fal obje¬ tosciowych 23, 24. Przy odpowiednim doborze sto¬ sunku szerokosci elektrod 19, 20, przesuwajacych faze, róznica faz drgan powierzchniowych w punk¬ tach umiejscowienia zespolów elektrod 3, 4, 11, 12 oraz 9, 10, 13, 14 bedzie wynosila II. Wówczas na zaciskach wyjsciowych 15, 16 otrzymuje sie mak¬ symalne napiecie V©.Elektrody 19, 20 przesuwajace faze moga byc wytworzone na powierzchni 1 plytki 2 poprzez na- parowanie prózniowe, lub innym znanym sposo¬ bem. Jako material na elektrody przesuwajace fa¬ ze moze byc wykorzystane aluminium lub inny metal, na przyklad zloto — w zaleznosci od tego jak wielka róznice faz rozchodzacych sie w róz¬ nych kierunkach fal powierzchniowych chce sie uzyskac. 5 Rozmieszczenie przetworników odbierajacych energie fal powierzchniowych oraz wzajemne po¬ laczenie elektrod powinny byc takie, aby przy do¬ prowadzeniu sygnalów wejsciowych do zacisków 17, 18 na zaciskach wyjsciowych otrzymac napiecie równe zeru.Po czym nalozenie elektrody przesuwajacej faze na powierzchni miedzy przetwornikiem pobudza¬ jacym fale powierzchniowe a jednym z przetwor¬ ników odbierajacych te fale powoduje, ze przy tym przylozeniu napiecia do zacisków wejsciowych 17, 18 na zaciskach wyjsciowych 15, 16 pojawia sie napiecie V0 rózne od zera. Wymiary, usytuowanie i material elektrody przesuwajacej faze wplywa na amplitude i/lub faze fal powierzchniowych.W przypadku filtru przedstawionego na fig. 1 zaciski 15, 16 moga byc wykorzystane jako zaciski wejsciowe, do których doprowadza sie sygnaly elektryczne, wówczas zaciski 17, 18 sa zaciskami wyjsciowymi. Ksztalt elektrod, do których sa zala¬ czone zaciski 15, 16 moze byc dowolny. Moga byc to elektrody w ksztalcie grzebieni z paskami prze¬ wodzacymi jednakowej lub róznej dlugosci.Na figurze 2 przedstawiono filtr piezoelektrycz¬ ny w widoku z góry. Filtr taki moze byc zastoso¬ wany w odbiorniku telewizyjnym jako filtr pas¬ mowy we wzmacniaczu czestotliwosci posredniej toru wizji.Plytka, z której jest wytworzony filtr, jest wy¬ cieta z niobianu litu i ma postac równolegloscianu, na którego górnej wyszlifowanej odpowiednio po¬ wierzchni 1 sa ulozone przetwornik wzbudzajacy i przetworniki odbierajace. Wyprowadzenia elek¬ trod 11, 7, 13 sa ze soba polaczone mostkami la¬ czacymi 44, 42 i 43, dzieki czemu zapewniona jest mozliwosc polaczenia elektrod 19, 20 przesuwaja¬ cych faze z punktem zerowym przy pózniejszym ich nalozeniu.Elektrody 19 i 20 przesuwajace faze sa naklada¬ ne na powierzchnie plytki piezoelektrycznej meto¬ da naparowania prózniowego lub natryskiwania — przy wykorzystywaniu odpowiednio uksztaltowa¬ nej maski. Dzieki zastosowaniu wyprowadzen 44, 42, 43, po nalozeniu elektrod przesuwajacych faze, od razu zapewnione jest ich wlasciwe polaczenie z odpowiednimi elementami przetworników. Na zakonczenie nalezy jedynie dolaczyc odpowiednie elektrody odpowiednich przetworników punktów wyprowadzeniowych.Wymiary gabarytowe filtru sa zasadniczo okres¬ lane wymiarami srodkowego przetwornika wzbu¬ dzajacego w plytce piezoelektrycznej powierzch¬ niowe fale sprezyste.Znane jest, ze charakterystyka przenoszenia fil¬ tru jest przeksztalceniem Fouriera odpowiedzi fil¬ tru na pobudzajacy impuls Diraca. Synteza tej odpowiedzi jest dokonywana na drodze ekspery¬ mentalnej.Próby sa wykonywane przez badanie wlasciwos¬ ci elementarnych przetworników, z których jest 15 20 29 30 39 40 43 M 59113 990 8 utworzony przetwornik srodkowy. Jak to uwidocz¬ niono na fig. 2 kazdy elementarny przetwornik przetwornika srodkowego sklada sie z dwóch pas¬ ków przewodzacych, z których jeden nalezy do zbioru pasków tworzacych jedna z elektrod grze¬ bieniowych 8, a drugi nalezy do zbioru pasków tworzacych druga elektrode grzebieniowa 7. Mie¬ dzy koncami tych dwóch pasków przewodzacych pozostawiono wolny obszar.Zbiór punktów geometrycznych srodków tych wolnych obszarów wszystkich przetworników ele¬ mentarnych przetwornika srodkowego stanowi krzywa odwzorowujaca charakterystyke czestotli¬ wosciowa przenoszenia filtru H(f). Krzywa ta jest przedstawiona na fig. 3 i swiadczy o tym, ze filtr przedstawiony na fig. 2 jest filtrem pasmowo — przepustowym, którego czestotliwosc srodkowa jest równa fo. Prosta pozioma 34 odwzorowuje poziom sygnalów zaklóceniowych spowodowanych falami objetosciowymi wytworzonymi w plytce piezoele¬ ktrycznej.Poziom ten jest znacznie obnizony na skutek zastosowania rozwiazania wedlug wynalazku. Po¬ za tym, co nalezy szczególnie podkreslic, wspól¬ czynnik przenoszenia filtru w pasmie przenoszenia jest dosc duzy, gdyz wykorzystuje sie sumowanie energii fal rozchodzacych sie w dwóch kierunkach wytwarzanych przez przetwornik srodkowy.Nalezy przy tym zaznaczyc, ze w przypadku fil¬ trów elektromechanicznych wedlug wynalazku przeznaczonych do zastosowania w filtrach czesto¬ tliwosci posrednich w torach sygnalu wizyjnego odbiorników telewizyjnych, przetworniki koncowe sa umieszczane w odstepie równym okolo 1 cm.Daje to ogólny poglad na wymiary geometryczne plytki podloza dla takiego filtru.Elektrody 19, 20 przesuwajace faze drgan po¬ wierzchniowych, usytuowane na drodze rozchodze¬ nia sie fal powierzchniowych od przetwornika srodkowego, ku przetwornikom koncowym, moga bj'c wytworzone w dowolnej technologii.Mozna na przyklad, jak to uwidoczniono na czesciowym przekroju fig. 4, utworzyc miedzy przetwornikiem srodkowym 5, 6 a przetwornikiem koncowym 9, 10 miseczke 30 uzyskana przez eroz¬ je jonowa powierzchni 1 plytki, stanowiacej pod- - loze filtru.Poniewaz wspomniana miseczka nie zapewnia przesuwu fazy, warstwa przewodzaca 31 polaczona z masa moze byc ulozona w tym celu w poblizu przetwornika.Na figurze 5 uwidoczniono inny przyklad wy¬ twarzania elektrod przesuwajacych faze, polegaja¬ cy na zastosowaniu wstrzykiwania jonowego, ce¬ lem miejscowego zmodyfikowania wlasnosci fizycz¬ nych podloza 2. W przypadku zastosowania plytki wycietej z krysztalu kwarcu, przez wstrzykiwanie jonowe mozna utworzyc strefe bezpostaciowa 32, w której powierzchniowe fale sprezyste rozchodza sie szybciej, anizeli w sasiednich strefach krysta¬ licznych. Do zapewnienia przesuwu fazy mozna równiez zastosowac warstwe przewodzaca 31 po¬ laczona z masa.Pomimo, ze opis dotychczasowy dotyczy tylko przypadku filtrów elektromechanicznych, jest rów¬ niez rzecza mozliwa zastosowac zasade wynalaz¬ ku przy projektowaniu linii opózniajacej z po¬ wierzchniowymi falami sprezystymi, jak równiez kazdego innego zespolu z falami powierzchniowy- 5 mi, zapewniajacego przetwarzanie kodowanych sygnalów elektrycznych przez odpowiednie filtro¬ wanie. 10 Zastrzezenia patentowe 1. Filtr elektromechaniczny, w którym pobudza¬ ne sa powierzchniowe fale sprezyste, zrealizowany na podlozu z materialu piezoelektrycznego, skla- 15 dajacy sie z przetwornika srodkowego wytwarza¬ jacego fale sprezyste powierzchniowe i objetoscio¬ we, rozchodzace sie w dwóch przeciwnych kierun¬ kach od srodka geometrycznego przetwornika srod¬ kowego, przy czym przetwornik srodkowy zawie- 20 ra dwie elektrody grzebieniowe, z których kazda jest uksztaltowana z wielu pasków przewodzacych, polaczonych jednym koncem z przyporzadkowa¬ nym paskiem laczacym, bedacym podstawa elek¬ trody, oraz dwóch przetworników koncowych usy- 25 tuowanych w poblizu obu krawedzi podloza piezo¬ elektrycznego z obu stron przetwornika srodkowe¬ go, z których kazdy sklada sie z dwóch elektrod grzebieniowych i z których kazdy jest przeznaczo¬ ny do odbioru fal sprezystych, generowanych przez 30 przetwornik srodkowy, przy czym te dwa prze¬ tworniki koncowe sa usytuowane w jednakowej odleglosci od srodka geometrycznego przetwornika srodkowego, w którym to przetworniku srodko¬ wym paski przewodzace elektrod maja rózne dlu- 35 gosci, a wolne od warstwy przewodzacej obszary miedzy dwoma naprzeciwleglymi paskami prze¬ wodzacymi sa tak rozmieszczone, ze odwzorowuja charakterystyke czestotliwosciowa przenoszenia fil¬ tru elektromechanicznego, znamienny tym, ze pier- 40 wsza elektroda (11) pierwszego przetwornika kon¬ cowego i pierwsza elektroda (14) drugiego prze¬ twornika koncowego sa polaczone razem i dolaczo¬ ne do wspólnego punktu (16) filtru, bedacego jed¬ nym z jego zacisków wyjsciowych, druga elektro- 45 da (12) pierwszego przetwornika koncowego i dru¬ ga elektroda (13) drugiego przetwornika koncowe¬ go sa polaczone razem i dolaczone do drugiego zacisku wyjsciowego (15) filtru tak, iz skladowa sygnalu wyjsciowego filtru indukowana objetoscio- 50 wymi falami sprezystymi, wytwarzanymi przez przetwornik srodkowy, jest zasadniczo równa zeru, a miedzy przetwornikiem srodkowym (8, 7) i przy¬ najmniej jednym z przetworników koncowych (11, 12, 13, 14) usytuowanych w poblizu krawedzi pod- 55 loza piezoelektrycznego (2) usytuowana jest elek¬ troda (19, 20) przesuwajaca faze, polaczona ze wspólnym punktem filtru, która powoduje prze¬ suniecie fazowe w jednym z dwóch torów propa¬ gacji sprezystych fal powierzchniowych wzgledem eo drugiego toru propagacji, na skutek czego napie¬ cia indukowane przez fale powierzchniowe odbie¬ rane przez przetworniki koncowe (11, 12, 13, 14) dodaja sie. 2. Filtr wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze ele- 65 ktrody (19, 20) przesuwajace faze, usytuowane na9 113 990 10 powierzchni (1) podloza piezoelektrycznego (2) mie¬ dzy przetwornikiem srodkowym (8, 7) a przetwor¬ nikami koncowymi (12, 11, 14, 13) usytuowanymi z obu stron przetwornika srodkowego (8, 7) w po¬ blizu krawedzi powierzchni (1) .podloza piezoelek¬ trycznego (2), maja niejednakowe szerokosci. 3. Filtr wedlug zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, ze elektrody (19, 20) przesuwajace faze stanowia obszary powierzchni (1) podloza piezoelektrycznego (2), na których sa wytworzone warstwy przewo¬ dzace w technologii naparowania prózniowego me¬ talu lub natryskiwania metalu. 10 4. Filtr wedlug zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, ze elektrody (19, 20) przesuwajace faze stanowia obszary powierzchni (1) podloza piezoelektrycznego (2), na których warstwy przewodzace sa utworzo¬ ne we wglebieniu (30) w podlozu piezoelektrycz¬ nym (2) wytworzonym w technologii erozji jono¬ wej. 5. Filtr wedlug zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, ze elektrody (19, 20) przesuwajace faze stanowia obszary powierzchni (1) podloza piezoelektrycznego na których warstwy przewodzace sa wytworzone w technologii wstrzykiwania jonowego.FIG.1. 113 990 s- 15-l6 £H6 FIG.3 FIG. 4 FIG.5 Cena 45 sl.Druk WZKart. 1-5030 PL