NO319562B1 - Optisk flerveis omkobler bestaende av elektrisk omkoblingsbare ortoelektroniske krystaller - Google Patents
Optisk flerveis omkobler bestaende av elektrisk omkoblingsbare ortoelektroniske krystaller Download PDFInfo
- Publication number
- NO319562B1 NO319562B1 NO19984000A NO984000A NO319562B1 NO 319562 B1 NO319562 B1 NO 319562B1 NO 19984000 A NO19984000 A NO 19984000A NO 984000 A NO984000 A NO 984000A NO 319562 B1 NO319562 B1 NO 319562B1
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- optical
- photonic
- light
- crystals
- geometry
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 79
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 27
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims abstract description 47
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 7
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005329 nanolithography Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920006125 amorphous polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000005266 side chain polymer Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/295—Analog deflection from or in an optical waveguide structure]
- G02F1/2955—Analog deflection from or in an optical waveguide structure] by controlled diffraction or phased-array beam steering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
- B81B1/006—Microdevices formed as a single homogeneous piece, i.e. wherein the mechanical function is obtained by the use of the device, e.g. cutters
- B81B1/008—Microtips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1225—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths comprising photonic band-gap structures or photonic lattices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3132—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure of directional coupler type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0126—Opto-optical modulation, i.e. control of one light beam by another light beam, not otherwise provided for in this subclass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/061—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on electro-optical organic material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/293—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection by another light beam, i.e. opto-optical deflection
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/02—Materials and properties organic material
- G02F2202/022—Materials and properties organic material polymeric
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/32—Photonic crystals
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/778—Nanostructure within specified host or matrix material, e.g. nanocomposite films
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/778—Nanostructure within specified host or matrix material, e.g. nanocomposite films
- Y10S977/781—Possessing nonosized surface openings that extend partially into or completely through the host material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/887—Nanoimprint lithography, i.e. nanostamp
Description
Den foreliggende oppfinnelsen vedrører optisk flerveis omveksler med elektrisk omvekslbare fotoniske krystaller, omfattende en optisk geometri dannet av avstembare, fotoniske krystaller som består av lange miniatyriserte nåler og virker som høypresisjons optiske speil.
Til belysning av den kjente teknikk skal det vises til: Applied physics letters, vol. 67, no. 15, 9. oktober 1995, sidene 2138-2140, XP000578479 Brown E.R. et al.: "Large Electromagnetic Stop Bands in Metallodielectric Photonic Crystals", som beskriver en periodisk struktur bestående av et flate-sentrert-kubisk (fcc) Bravais gitter av metallsfærer, støttet av et dielektrikum med lavt tap. Strukturen blir kalt en metalldielektrisk fotonisk krystall fordi stoppbåndenes karakteristikk varierer sterkt med størrelsen på de metalliske sfærene.
Fotoniske krystaller med båndgap er kjente som to- og tredimensjonale dielektriske strukturer der forplantningen av elektromagnetiske bølger, i avhengighet av eller uavhengig av deres forplantningsretning, er forbudt. Dette fremgår blant annet av følgende publikasjoner:
1 ] John, Phys. Rev. Lett. 58,2486 (1987).
2] Yablonovitch, Phys. Rev. Lett. 58, 2058 (1987).
3] L. McCall, P. w: Platzmann, R. Dalichaouch, D. Smith, S. Schulz, Phys. Rev.
Lett. 67, 2017(1991).
4] M. Leung, Y.F. Liu, „ „ , Phys. Rev. Lett. 65,2646 (1990).
5] L. McCall, A.F.J. Levi, R.E. Slusher, SJ. Pearton, R.A. Logan. Appl. Phys.
Lett. 60, 289 (1992).
6] Yablonivitch, T.M. Gmitter, Phys. Rev. Lett. 63, 1950 (1989).
7] Yablonivithc, T.M. Gitter, K.M. Leung,Phys. Rev. Lett. 67, 2295 (1991).
8] K.M. Ho, C.T. Chan. CM. Soukoulis, Phys. Rev. Lett. 65, 3152 (1990).
Beregninger av mikrobølgemålinger har vist at kubiske flate-sentrerte eller også to-dimensjonale kubiske anordninger av hull i en dielektrisk matrise, eller av dielektriske staver, oppviser slike fotonisk båndgap.
Til belysning av her kjent teknikk vises det til:
9] S.Y. Lin, A. Arjavalingam, "Photonic bound states in two-dimensional photonic crystals probed by coherent microwave transient spectroscopy", J. Opt. Soc. Am. B/vol. 11, No. 10 (1994), 2124.
10] S.Y. Lin, G. Arjavalingham, "Tunneling of electromagnetic waves in two-dimensional photonic crystals", Optics Letters, Vol. 18, No. 19 (1993), 666.
11] D.R. Smith, S. Schulz, S.L. McCall, P.M. Platzmann, "Defect studies in a two-dimensional periodic photonic lattice", Journal of Modern Optics, Vol. 41,2
(1994), 395.
12] CC. Cheng, A. Scherer, "Fabrication of photonic bandgap crystals", J. Vac.Sci.
Technol (1995), Nov./Dec.
Så få som seks plan er tilstrekkelig for å sikre en høy elementkvalitet [9]. To- og tre-dimensjonale strukturer av denne type er ofte benevnt "fotoniske krystaller" [2]. Slik det er velkjent, kan disse strukturer genereres med høy presisjon ved hjelp av nanolitografi ved anvendelse av elektronstrålebevirket avsetning. Dersom hulrommene i slike fotoniske krystaller fylles med ulineære optiske materialer eller flytende krystaller og hele strukturen utsettes for et sterkt elektrisk felt, kan den optisk aktive gitterkonstant (lattice constant) i et krystall settes innenfor grenser ved variasjon av den optiske banen og derfor kan filtreringseffekten hos elementet varieres elektrisk. Det er også kjent en fremstillingsmåte som anvender den utvidede silylasjonsprosess med tørretsning, inndiffundering og påfølgende elementfylling, hvilket tillater fremstillingen av meget integrerte komponenter til lav kostnad.
Avstembare filtre som anvendes innenfor optisk kommunikasjon og telekommunikasjon implementeres i øyeblikket i form av lange optiske fibere hvis filtreringseffekt skapes av Bragg-gitteret som innskrives i spesielle fibere ved hjelp av ultrafiolett lys.
Til belysning av her kjent teknikk vises det til:
13] R. kashyap, "Photosensitive optical fibers: Devices and applications", Opt.
Fibres Techn. 1, sidene 17-34 (1994).
14] C. Cremer, H. Heise, R. Mårz, M. Schienle, G. Schulte-Roth, H. Unzeitig,
"Bragg gratings on InGaAsP/InP-waveguides as polarization independent optical filters", J. of Lightwave Techn., 7, 11, 164 (1989).
15] R.C. Alferness, L.L. Buhll, U. Koren, B.J. Miller, M.G. Young, T.L. Koch, CA.
Burrus, G. Raybon, "Broadly tunable InGaAsP/InP buried rib waveguide vertical coupler filter", Appl. Phys. Lett. 60, 8, 980 (1992).
16] C Wu, C. Rolland, F. Sheperd, C. Laroque, N. Puetz, K.D. Chik, J.M. Xu,
"InGaAsP/InP vertical coupler filter with optimally designed wavelength tunability", IEEE Photonics Technol. 4,4, 457 (1993).
17] Z.M. Chuang, L.A. Coldren, "Enhanced wavelength tuning in grating assisted codirectional coupler filter", IEEE Photonics Technology Lett., 5,10,1219
(1993).
Fremstilling av slike forskjellige diffraksjonsgitre med høy presisjon over betydelige lengder av flere mm til cm er en stor teknologisk utfordring. Spesielle prosedyrer tilsikter å korrigere sammensyingsfeil (stitching errors) som vanligvis erfares innenfor elektronstrålelitografi.
Teknikk som dette fremgår blant annet av:
18] H.W.P Koops, J. Kretz, M. Weber, "Combined lithographies for the reduction of stitching errors in lithography", Proe. EJPS 94, J. Vac. Sei. Technol. B 12 (6) 1994), sidene 3265-3269.
19] B.H. Koek, T. Chrisholm, A.J. van Run, J. Romijn, "Sub 20 nm stitching and overlay for nanolithography applications", Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 33 (1994).
20] V.V. Wong, J.R. Ferrera, N.J. Damask, H.I. Smith, "Fabrication and measurement of highly coherent electron-beam-written Bragg resonators", Abstracts EJPB '95, Scottsdale N3, 331 (1995).
Inkorporering av fiberfilter og flberkoblere i en makroskopisk optisk anordning trenger alltid å bli gjennomført ved hjelp av koblingsorganer eller skjøter som anvender en hybridteknologi. En miniatyrisering av komponenter er ikke oppnåelig på denne måte. Prosessen som kalles additiv litografi anvender datamaskinstyrt elektronstråle bevirket avsetning for å bygge miniatyriserte fotoniske krystaller, betegnet som to- og tre-dimensjonale anordninger av lange miniatyriserte nåler, fra dielektriske materialer med nanometerpresisjon.
Aspekter ved denne teknikk fremgår blant annet av:
21] H.W.P. Koops, R. Weiel, D.P. Kem, T.H. Baum, "High resolution electron beam induced deposition", Proe. 31 3Ist Int. Symp. on Electron, Ion, and Photon Beams, J. Vac. Sei. Technol. B (1) (1988), 477.
Disse krystaller kan innføres direkte i den optiske banen. Høypresisjons datamaskinstyring av elektronstrålen med hensyn til sted, tid og bevegelsesretning muliggjør genereringen av nærmest samtlige ønskede geometrier av krystaller og deres selektive deformering som behøves for å tjene det tilsiktede, optiske formål. Derfor kan den optiske oppførsel av deres struktur skreddersys til å passe til de ønskede behov. Ved å fylle de meget brytende nålstrukturer med ulineært optisk materiale fremgår blant annet av: 22] M. Eich, H. Looser, D.Y. Yoon, R. Twieg, G.C. Bjorklund, "Second harmonic
generation in poled organic monomeric glasses", J. Op. Soc. Am. B, 6, 8 (1989).
23] M. Eich, A. Sen, H. Looser, D.Y. Yoon "Corona poling and real time second harmonic generation study of a novel covalently functionalized amorphous nonlinear polymer", J. Appl. Phys. 66, 6 (1989).
24] M. Eich, G.C. Bjorklund, D.Y. Yoon, "Poled amorphous polymers of second order nonlinear optics", Polymers for Advanced Technologies, 1, 89 (1990).
Menes det å fylle de meget brytende nålstrukturer med flytende-krystaller fremgår blant annet av: 25] R. Birenheide, M. Eich, D.A. Jungbauer, O. Hermann-Schonher, K. Stoll, J.H. Wendorff, "Analysis of reorientational processes in liquied crystalline side chain polymers using dielectronic relaxation, electro-optical relaxation and switching studies", Mol. Cryst. Liq. Cryst., 177,13 (1989).
Ved å påføre et sterkt elektrisk felt på den fylte strukturen, kan den optiske banen i krystallet, og derfor dens egenskaper innstilles elektrisk. Dette tillater den optiske transmisjonskarakteristikk å bli forskjøvet forsiktig og den optiske speileffekt akkurat som refleksjonsretningen og eventuelt intensiteten å bli variert. Ettersom slike elementer innehar en meget høy kvalitet og en meget liten størrelse likeså (deres dimensjoner er kun få (im i lengde, bredde og høyde), kan optiske anordninger og kretser utstyrt med slike filtre og speil implementeres med en høy pakkingstetthet.
I tillegg er løsninger som anvender multistråleskrivingssystemer med korpuskulære stråler kjente. De tillater optoelektroniske anordninger og integrerte optiske kretser å bli fremstilt mest økonomisk ved hjelp av additiv litografi. I denne forbindelse vises det til: 26] H. Koops, 1974 tysk patent søknad P 2446 789.8-33,
"Korpuskularstrahloptisches Geråt zur Korpuskelbestrahlung eines Praparates", US Patent No. 4021675, bevilget 4'. mai 1977.
27] H. Koops, 1974, tysk patentsøknad P 2460 716.7, "Korpuskularstrahloptisches Geråt zur Korpuskelbestrahlung eines Praparates", German Patent granted on 30 Decemer 1976.
28] H. Koops, 1974, German Patent Application P 2460 715.6,
"Korpuskularstrahloptisches Geråt zur Korpuskelbestrahlung eines Praparates in Form eines Flachenmusters mit mehreren untereinander gleicher Flåchenelementen", (tysk patent bevilget 31. desember 1979).
29] H. Koops, 1975, tysk patentsøknad P 2515 550.4, "Korpuskularstrahloptisches Geråt zur Abbildung einer Maske auf ein zu bestrahlendes Pråparat", (tysk patent bevilget 18. mai 1977).
30] M. Rtib, H.W.P. Koops, T. Tschudi, "Electron beam induced deposition in a reducing image projector", Microelectronic Engineering 9 (1989), sidene 251-254.
31] H. Elsner, H.-J. Doring, H. Schacke, G. Dahm, H.W.P. Koops, "Advanced multiple beam-shaping diaphragm for efficient exposure", Microelectronic Engineering 23 (1994), sidene 85-88.
Det er siktemålet med denne oppfinnelse å konstruere en lav-taps omveksleranordning basert på elektriske avstembare fotoniske krystaller og derfor å tilveiebringe en høy pakkingstetthet.
Ifølge oppfinnelsen kjennetegnes den innlednings nevnte, optisk flerveis omveksler ved at deformasjoner som virker som fotoniske båndgap er generert selektivt i den optiske geometri, idet hulrom mellom nålene er fylt med ulineære optiske materialer eller flytende-krystaller, slik at den optiske transmisjonskarakteristikk for hele den optiske geometri opp til refleksjon kan varieres ved å anbringe elektroder i den optiske geometrien og tilfører et sterkt elektrisk felt, at den optiske geometrien er utstyrt med ytterligere, delte elektroder for å tilveiebringe separat feltleding i krystallområder, slik at den optiske transmisjonskarakteristikk for den optiske geometrien også kan variere separat i individuelle krystallområder opp til refleksjon, og at den optiske geometrien er anordnet mellom speil av faste fotoniske krystaller som er orientert slik at lys treffer den optiske geometrien med en forutbestemt vinkel, der lys kobles inn og ut via speilene som er konstruert av faste fotoniske krystaller, slik at en omvekslerfunksjon oppnås ved varierbarheten av transmisjonskarakteristikken for den optiske geometrien og dermed evnen til å koble ut lys selektivt via speilene av faste fotoniske krystaller.
Ifølge oppfinnelsen blir et to- eller tre-dimensjonalt fotoniske krystall laget av sterkt brytende dieelektrisk materiale ved bruk av elektronstrålebevirket avsetning eller nanolitografi. Fotoniske krystaller er tre-dimensjonale dielektriske strukturer der elektromagnetiske bølger med et bestemt bølgelengdeområde er forbudt, uansett deres forplantningsretning. Disse fotoniske krystaller med båndgap og ett eller flere smalbånds transmisjonsfrekvensområder, avhengig av deres utforming, virker som smalbåndsfiltre. Beregninger og mikrobølgemålinger har vist at kubiske flate-sentrerte eller også to-dimensjonale kubiske anordninger av hull i en dielektrisk matrise, eller av dielektriske staver, oppviser slike båndgap. Så få som seks plan er tilstrekkelig for å sikre en høy elementkvalitet.
Prosessen som benevnes "additiv litografi" anvendes for å bygge to- og tre-dimensjonale anordninger av lange miniatyriserte nåler av dielektriske materialer med nanometerpresisjon, direkte i den optiske banen. På grunn av høypresisjons datamaskinstyring av elektronstrålen hva angår sted, tid og bevegelsesretning, tillates det genereringen av nesten samtlige ønskede geometrier av krystaller og deres selektive deformering som behøves for å tjene det tilsiktede optiske formål. Dette gjør det mulig å skreddersy den optiske opptreden av krystallstrukturen for å tilfredsstille de ønskede behov. Lignende strukturer kan også skapes ved hjelp av nanolitografiske prosedyrer og den utvidede silylasjonsprosessen som gjør bruk av tørretsning.
Ved å fylle hulrommene mellom nålene med ulineære optiske materialer og anbringe krystallet i det elektriske feltet, kan anordningen elektrisk avstemmes innenfor et bestemt bølgeområde og justeres med høy presisjon. Flytende-krytallmaterialer, som tjener til å fylle strukturen, tillater avstembarhet av filteret over et bredt frekvensområde. Ved å anvende flytende krystaller som fyllmaterialer, kan filteret operere som en middel-hastighetomveksler. På denne måte kan et omvekslbart speil konstrueres av et krystall fylt med ulineært materiale.
En omveksler som frembringes ved oppfinnelsen består av avstembare fotoniske krystaller. Disse krystaller består av lange miniatyriserte nåler som virker som høy-presisjonsoptiske speil. Slike nåler tjener til å generere en optisk geometri der deformasjoner som virker som fotoniske båndgap skapes selektivt. Hulrommene mellom nålene fylles opp med ulineære optiske materialer eller flytende-krystaller. Ved passende plassering av elektroder i den optiske geometri, dvs. anvendelsen av et sterkt elektrisk felt, kan den optiske transmisjonskarakteristikk for hele geometrien endres opp til refleksjon. Anordning av ytterligere delte elektroder for separat styring av de elektriske felt i individuelle krystallområder av den optiske geometri sikrer at den optiske geometrien er samtidig separat variabel i individuelle krystallområder opp til refleksjon. Faste fotoniske speil blir plassert direkte i den optiske banen i vinkler i forhold til de individuelle retninger, slik at lyset kan kobles inn og ut gjennom disse speil. På denne måte blir en optisk omvekslingsfunksjon utført ved variasjonen av transmisjonskarakteristikken av den optiske geometrien i kombinasjon med den selektive kobling ut av lys via de individuelle, faste fotoniske speilene.
Utførelsesformer av den foreliggende oppfinnelse er belyst nedenfor med henvisning til tegningene. Figur 1 viser et skjema over et avstembart fotonisk krystall som anvendes som et smalbåndsfilter i en monomodus bølgeleder.
Figur 2 viser et skjema over en toveis optisk justerbar, lav-taps omveksler.
Figur 3 viser et skjema over en treveis optisk justerbar, lav-taps omveksler.
Figur 4 viser et skjema over en elektrisk styrbar, multibane omveksler bestående av et flertall av treveis omvekslere.
Figur 5 viser et skjema over en elektrisk omvekslbar flerveis omveksler.
Med utgangspunkt i skjemaet på figur 1 som viser et avstembart fotonisk krystall som anvendes som et smalbåndsfilter i en monomodus bølgeleder kan en optisk lav-taps toveis omveksler utformes, eksempelvis som vist på fig. 2. For å oppnå dette blir en optisk geometri som virker som et avstembart speil anbrakt i den optiske banen mellom faste fotoniske speil. Disse speil orienteres slik at lys avspeiles med en vinkel lik 22,5 grader og derfor treffer geometrien av fotoniske krystallet, hvilket er fylt med ulineært materiale og virker som et avstembart speil i en 45 graders vinkel. Dersom geometrien av det fotoniske krystallet som virker som et avstembart speil omveksles til transmisjonsretning, kan lyset passere uhindret. Når geometrien av det fotoniske krystallet som virker som et avstembart speil omveksles til refleksjon, blir lyset reflektert nøyaktig mot det faste speilet, som kobler lyset inn i den forbindende bølgeleder.
Komponenter av denne type finner anvendelse i omvekslingsnettverk og tjener tjenestevelgingsformål. Pakkingstettheten som anvendes ved denne teknologi blir sterkt økt på grunn av at anordningen som består av speil og filteromvekslere er mindre enn 12 jim lang og bred.
Dersom feltplatene i krystallområdet er strukturert i fire deler, kan en transmisjon og refleksjon innstilles i den ene eller andre halvdel ved hjelp av vekselvis omveksling av de fire krystallkvadrantene. På denne måte kan en tre-veis omveksler ifølge fig. 3 være konstruerbar, bestående av et element med strålebaner orientert i 90 graders vinkel i forhold til hverandre.
Ved selektiv omveksling av transmisjon og refleksjon i krystallområder mellom finere strukturerte feltplater, kan stråleintensiteten også oppsplittes under elektronisk styring.
En annen mulighet for å påvirke den elektriske innstilling av omveksleren er å koble ytterligere lys inn i det fotoniske krystallet ved hjelp av en styrbar lyskilde som er rettet mot krystallet som er fylt med ulineært optisk materiale. Dette tillater hurtig omveksling i det øvre gigahertz-området. I prosessen kan lyset også dirigeres mot bølgeleder lysledingsplanet fra rommet over eller under dette. Dette gjør leding av omvekslingen og det omvekslede lys mulig i separate plan. Fig 4 representerer skjematisk en elektrisk styrbar flerveis omveksler som består av flere treveis omvekslere dannet av fotoniske krystallområder som er separat avstembare elektrisk og av defleksjonsspeil som er bygget av fotoniske krystaller. Denne løsning danner derfor en kaskadeutformet kobleromveksler som består av miniatyriserte omvekslbare fireveis direktive koblere laget av fotoniske krystaller med et justerbart båndpassfilter. Fig. 5 viser skjemaet over en elektrisk omvekslbar flerveis omveksler. Den sistnevnte omfatter flere treveis omvekslere dannet av fotoniske krystallområder som er separat avstembare elektrisk og således danner en kaskadeformet kobleromveksler som består av miniatyriserte omvekslbare, fireveis direktive koblere med et justerbart båndpassfilter.
Disse anordninger kan kombineres med lignende eller forskjellige integrerte komponenter, eksempelvis speil, faseforskyvere og reflektorer, for å bygge integrerte kretser for optisk signalbehandling og optiske datamaskiner med høy pakkingstetthet. Det er også mulig å fremstille faste eller variable målekretser som tjener til å oppfylle sikkerhetsfunksjoner og utføre datakommunikasjonstester på optiske fibere.
Løsningen som er basert på oppfinnelsen representerer en ny elektrisk styrbar oppstilling av omvekslere utformet i integrert teknologi og med høy pakkingstetthet. Den tjener til å omveksle spenninger og/eller lys mellom, eller for å kryssforbinde, minst to optiske baner. Takket være bruken av høyintegrasjonsteknologi kreves intet rom for innføring av elementet i de optiske baner av, f.eks. en datamaskinkrets.
Claims (7)
1.
Optisk flerveis omveksler med elektrisk omvekslbare fotonidkrkrystaller, omfattende en optisk geometri dannet av avstembare fotoniske krystaller som består av lange miniatyriserte nåler og virker som høypresisjons optiske speil,karakterisert vedat deformasjoner som virker som fotoniske båndgap er generert selektivt i den optiske geometri, idet hulrommene mellom nålene er fylt med ulineære optiske materialer eller flytende-krystaller, slik at den optiske transmisjonskarakteristikk for hele den optiske geometri opp til refleksjon kan varieres ved å anbringe elektroder i den optiske geometrien og tilføre et sterkt elektrisk felt, at den optiske geometrien er utstyrt med ytterligere, delte elektroder for å tilveiebringe separat feltleding i krystallområder, slik at den optiske transmisjonskarakteristikk for den optiske geometrien også kan variere separat i individuelle krystallområder opp til refleksjon, og at den optiske geometrien er anordnet mellom speil som er konstruert av faste fotoniske krystaller som er orientert slik at lys treffer den optiske geometrien med en forutbestemt vinkel, der lys kobles inn og ut via speilene som er konstruert av faste fotoniske krystaller, slik at en omvekslerfunksjon oppnåes ved varierbarheten av transmisjonskarakteristikken for den optiske geometrien og derved evnen til å koble ut lys selektivt via speilene av faste fotoniske krystaller.
2.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertved at en optisk geometri utformet som et avstembart speil er anordnet i den optiske banen mellom speilene av fast fotonisk krystall, der speilene av fast fotonisk krystall er orientert slik at lyset avspeiles med en 22,5 graders vinkel og derfor treffer geometrien av det fotoniske krystallet som er fylt med ulineært materiale og som er utformet som et avstembart speil, med en vinkel lik 45 grader, og at geometrien av det fotoniske krystallet virker som et avstembart speil, når omvekslet til transmisjon, lar lyset passere uhindret, og når omvekslet til refleksjon, reflekterer lyset nøyaktig i det faste speilet som så kobler lyset inn i en forbindende bølgeleder, slik at en toveis omveksler med evne til strålekryssforbindelse dannes.
3.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertv e d at det fotoniske krystallet som virker som en omveksler og er fylt med ulineært optisk materiale er anbrakt mellom elektriske feltplater, at feltplatene er anordnet og delt i fire separate kvadranter, at de elektriske feltene i de individuelle kvadranter er justerbare separat, slik at individuelle delkrystaller er omvekslbare for transmisjon eller refleksjon, slik at det fotoniske krystallet er i stand til å la en innfallende lysstråle passere uhindret eller å reflektere en innfallende lysstråle i en av to forutbestemte retninger, hvorved funksjonen av en elektrisk omvekslbar treveis omveksler utføres.
4.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertved at et fotoniske krystall som er oppdelt i flere områder anvendes enten for å rette lys fra en retning til forbindelsesretninger eller til et hosliggende, tilsvarende styrbart krystall, slik at en avgrening til andre retninger dannes, idet dette fører til en kaskadeanordnet omvekslingsstruktur av dekadisk eller annen modulær anordning.
5.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertved at de elektrisk omvekslbare, fotoniske krystaller retter sitt lys mot fotoniske speil som orienterer orienteringen til 45 graders vinkel ifølge et rektangulært mønster, slik at de elektrisk omvekslbare krystaller er tilpasset geometrisk.
6.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertv e d at det elektrisk omvekslbare fotoniske krystallet er delt ved hjelp av selektivt anordnede deformasjoner i mer enn fire områder, slik at en finere separering av de justerbare krystallområder er mulig, og at ikke bare intensiteten av de avbøyde lysstråler, men også forskjellige retninger kan tilpasses.
7.
Optisk flerveis omveklser som angitt i krav 1,karakterisertv e d at omveksleren innstilles elektrisk ved hjelp av en styrbar lyskilde rettet mot det fotoniske krystallet, hvilket tjener til å koble ytterligere lys inn i det fotoniske krystallet.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19610656A DE19610656A1 (de) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | Optische Mehrwege-Weiche mit elektrisch einstellbaren Photonenkristallen |
PCT/EP1997/001064 WO1997033192A1 (de) | 1996-03-05 | 1997-03-03 | Optische mehrwege-weiche aus elektrisch einstellbaren photonen-kristallen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO984000D0 NO984000D0 (no) | 1998-08-31 |
NO984000L NO984000L (no) | 1998-08-31 |
NO319562B1 true NO319562B1 (no) | 2005-08-29 |
Family
ID=7788668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO19984000A NO319562B1 (no) | 1996-03-05 | 1998-08-31 | Optisk flerveis omkobler bestaende av elektrisk omkoblingsbare ortoelektroniske krystaller |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6064506A (no) |
EP (1) | EP0885402B1 (no) |
JP (1) | JP3887421B2 (no) |
AT (1) | ATE209791T1 (no) |
CA (1) | CA2248372C (no) |
DE (2) | DE19610656A1 (no) |
ES (1) | ES2169354T3 (no) |
NO (1) | NO319562B1 (no) |
TW (1) | TW331938U (no) |
WO (1) | WO1997033192A1 (no) |
Families Citing this family (78)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19745324C2 (de) | 1997-10-14 | 1999-09-16 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zur wellenlängenselektiven Mischung und/oder Verteilung von polychromatischem Licht |
EP1055141B1 (de) * | 1998-02-10 | 2003-03-19 | Infineon Technologies AG | Optische struktur und verfahren zu deren herstellung |
US6130780A (en) | 1998-02-19 | 2000-10-10 | Massachusetts Institute Of Technology | High omnidirectional reflector |
US6278105B1 (en) * | 1999-01-25 | 2001-08-21 | Lucent Technologies Inc. | Transistor utilizing photonic band-gap material and integrated circuit devices comprising same |
US6388815B1 (en) | 2000-08-24 | 2002-05-14 | The Ohio State University | Device and method for producing optically-controlled incremental time delays |
KR20020062625A (ko) * | 1999-08-26 | 2002-07-26 | 더 오하이오 스테이트 유니버시티 | 광학적으로 제어 가능한 증분 시간 지연을 형성시키는 장치 |
DE19961970A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-06-28 | Deutsche Telekom Ag | Anordnung zur Herstellung optischer Schaltungen durch Ätzung aus Halbleitermaterial |
JP4774146B2 (ja) * | 1999-12-23 | 2011-09-14 | パナソニック株式会社 | レーザを用いて波長より小さなピッチで穴を開けるための方法および装置 |
JP4161498B2 (ja) | 1999-12-28 | 2008-10-08 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 光モジュールの製造方法 |
JP2001281714A (ja) | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Minolta Co Ltd | 光機能素子及び光集積化素子 |
JP2001209037A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Olympus Optical Co Ltd | 可変ホログラム素子及びそれらを用いた光学装置 |
US6433919B1 (en) * | 2000-05-19 | 2002-08-13 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and apparatus for wavelength conversion and switching |
WO2002010843A2 (en) | 2000-07-31 | 2002-02-07 | Matsura Naomi | Configurable phontonic device |
US6580845B1 (en) | 2000-08-11 | 2003-06-17 | General Nutronics, Inc. | Method and device for switching wavelength division multiplexed optical signals using emitter arrays |
US6674949B2 (en) | 2000-08-15 | 2004-01-06 | Corning Incorporated | Active photonic crystal waveguide device and method |
WO2002014913A1 (en) | 2000-08-15 | 2002-02-21 | Corning Incorporated | Active photonic crystal waveguide device |
JP3923244B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2007-05-30 | 富士フイルム株式会社 | 光素子 |
CA2423736A1 (en) * | 2000-09-25 | 2002-03-28 | Marconi Optical Components Limited | Mechanical deformation based on optical illumination |
JP4619507B2 (ja) * | 2000-09-26 | 2011-01-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光ファイバ結合装置、波長可変器、圧力センサ、加速度センサ及び光学装置 |
JP4627362B2 (ja) * | 2000-09-26 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 波長可変光源 |
US6470127B2 (en) * | 2001-01-31 | 2002-10-22 | Intelligent Optical Systems, Inc. | Photonic band-gap light-emitting fibers |
US6822784B2 (en) * | 2001-03-22 | 2004-11-23 | Matsushita Electric Works, Ltd | Light-beam deflecting device with photonic crystal, optical switch using the same, and light-beam deflecting method |
JP2002303836A (ja) | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Nec Corp | フォトニック結晶構造を有する光スイッチ |
US6936854B2 (en) * | 2001-05-10 | 2005-08-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Optoelectronic substrate |
WO2002093248A1 (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-21 | Massachussets Institute Of Technology | Mach-zehnder interferometer using photonic band gap crystals |
US6542654B1 (en) | 2001-07-10 | 2003-04-01 | Optical Switch Corporation | Reconfigurable optical switch and method |
US20030066998A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-04-10 | Lee Howard Wing Hoon | Quantum dots of Group IV semiconductor materials |
US6710366B1 (en) | 2001-08-02 | 2004-03-23 | Ultradots, Inc. | Nanocomposite materials with engineered properties |
US6819845B2 (en) * | 2001-08-02 | 2004-11-16 | Ultradots, Inc. | Optical devices with engineered nonlinear nanocomposite materials |
US7005669B1 (en) | 2001-08-02 | 2006-02-28 | Ultradots, Inc. | Quantum dots, nanocomposite materials with quantum dots, devices with quantum dots, and related fabrication methods |
US6794265B2 (en) * | 2001-08-02 | 2004-09-21 | Ultradots, Inc. | Methods of forming quantum dots of Group IV semiconductor materials |
US6813057B2 (en) * | 2001-09-27 | 2004-11-02 | Memx, Inc. | Configurations for an optical crossconnect switch |
JP2005505795A (ja) * | 2001-10-17 | 2005-02-24 | リソ ナショナル ラボラトリー | 電磁場変換システム |
FR2832513B1 (fr) * | 2001-11-21 | 2004-04-09 | Centre Nat Rech Scient | Structure a cristal photonique pour la conversion de mode |
CN100573312C (zh) | 2001-12-13 | 2009-12-23 | 索尼公司 | 屏幕、屏幕的制造方法和图像显示系统 |
JP3828426B2 (ja) * | 2002-01-08 | 2006-10-04 | アルプス電気株式会社 | 光導波路装置 |
US6991847B2 (en) * | 2002-02-07 | 2006-01-31 | Honeywell International Inc. | Light emitting photonic crystals |
US6760140B1 (en) | 2002-03-01 | 2004-07-06 | The Ohio State University Research Foundation | Binary optical interconnection |
WO2003075054A1 (en) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Pirelli & C. S.P.A. | Device for bending an optical beam, in particular in an optical integrated circuit |
US6724951B1 (en) | 2002-03-26 | 2004-04-20 | The Ohio State University | Using fibers as shifting elements in optical interconnection devices based on the white cell |
US6674939B1 (en) | 2002-03-26 | 2004-01-06 | The Ohio State University | Using fibers as delay elements in optical true-time delay devices based on the white cell |
US6766073B1 (en) | 2002-05-17 | 2004-07-20 | The Ohio State University | Optical circulator with large number of ports and no polarization-based components |
DE10222150B4 (de) * | 2002-05-17 | 2009-11-26 | Photeon Technologies Gmbh | Photonischer Kristall |
US6876784B2 (en) * | 2002-05-30 | 2005-04-05 | Nanoopto Corporation | Optical polarization beam combiner/splitter |
US7283571B2 (en) * | 2002-06-17 | 2007-10-16 | Jian Wang | Method and system for performing wavelength locking of an optical transmission source |
US20040047039A1 (en) * | 2002-06-17 | 2004-03-11 | Jian Wang | Wide angle optical device and method for making same |
US7386205B2 (en) * | 2002-06-17 | 2008-06-10 | Jian Wang | Optical device and method for making same |
EP1520203A4 (en) | 2002-06-18 | 2005-08-24 | Nanoopto Corp | OPTICAL COMPONENT WITH ADVANCED FUNCTIONALITY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
US6791732B2 (en) * | 2002-06-20 | 2004-09-14 | Agilent Technologies, Inc. | Systems and methods for altering the propagation of optical signals within optical media |
US6738178B2 (en) * | 2002-06-27 | 2004-05-18 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electrically configurable photonic crystal |
US20040013384A1 (en) * | 2002-07-17 | 2004-01-22 | Greg Parker | Optical waveguide structure |
CN1692291A (zh) | 2002-08-01 | 2005-11-02 | 纳诺普托公司 | 精密相位延迟装置和其制造方法 |
WO2004031820A1 (en) * | 2002-10-01 | 2004-04-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical deflector based on photonic bandgap structure |
US7013064B2 (en) * | 2002-10-09 | 2006-03-14 | Nanoopto Corporation | Freespace tunable optoelectronic device and method |
US6920272B2 (en) * | 2002-10-09 | 2005-07-19 | Nanoopto Corporation | Monolithic tunable lasers and reflectors |
US7236238B1 (en) | 2002-12-02 | 2007-06-26 | The Ohio State University | Method and apparatus for monitoring the quality of optical links |
US6958861B1 (en) * | 2002-12-02 | 2005-10-25 | The Ohio State University | Method and apparatus for combining optical beams |
EP1597616A4 (en) * | 2003-02-10 | 2008-04-09 | Nanoopto Corp | UNIVERSAL BROADBAND POLARIZER, DEVICES COMPRISING THE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER |
JP2004258169A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Alps Electric Co Ltd | 光偏向素子及びそれを用いた光スイッチ |
JP2004334190A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-25 | Ricoh Co Ltd | 光制御素子及び光制御デバイス |
US20040240784A1 (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-02 | General Electric Company | Apparatus for coupling electromagnetic energy and method of making |
US20040258355A1 (en) * | 2003-06-17 | 2004-12-23 | Jian Wang | Micro-structure induced birefringent waveguiding devices and methods of making same |
JP4539050B2 (ja) * | 2003-07-30 | 2010-09-08 | パナソニック電工株式会社 | フォトニック結晶に光線を入射させる際の入射角の決定方法 |
US6879432B1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-04-12 | National Central University | Beamsplitter utilizing a periodic dielectric structure |
US7310182B2 (en) * | 2004-02-20 | 2007-12-18 | Intel Corporation | Method and apparatus for modulating an optical beam in an optical device with a photonic crystal lattice |
US7633670B2 (en) * | 2004-07-16 | 2009-12-15 | The Ohio State University | Methods, systems, and devices for steering optical beams |
US7430347B2 (en) * | 2004-07-16 | 2008-09-30 | The Ohio State University | Methods, systems, and apparatuses for optically generating time delays in signals |
US20060034567A1 (en) * | 2004-07-16 | 2006-02-16 | Anderson Betty L | Optical beam combiner |
US7394958B2 (en) * | 2006-02-14 | 2008-07-01 | Coveytech, Llc | All-optical logic gates using nonlinear elements-claim set II |
US7630598B2 (en) * | 2006-05-10 | 2009-12-08 | The Ohio State University | Apparatus and method for providing an optical cross-connect |
US7911671B2 (en) * | 2006-05-10 | 2011-03-22 | The Ohio State University | Apparatus and method for providing true time delay in optical signals using a Fourier cell |
CN100582656C (zh) * | 2006-12-27 | 2010-01-20 | 清华大学 | 微位移传感器 |
DE102008048759B3 (de) * | 2008-09-24 | 2010-05-20 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Dreidimensionale optomechanische Struktur |
USD758372S1 (en) | 2013-03-13 | 2016-06-07 | Nagrastar Llc | Smart card interface |
US9888283B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-02-06 | Nagrastar Llc | Systems and methods for performing transport I/O |
US9703050B2 (en) * | 2013-12-27 | 2017-07-11 | City University Of Hong Kong | Device for routing light among a set of optical waveguides |
DE102014215373A1 (de) | 2014-08-05 | 2016-02-11 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Kamerasystem, Verfahren zum Betrieb eines solchen, Verwendung eines solchen und Kraftfahrzeug mit einem solchen |
USD864968S1 (en) | 2015-04-30 | 2019-10-29 | Echostar Technologies L.L.C. | Smart card interface |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3622792A (en) * | 1969-12-29 | 1971-11-23 | Bell Telephone Labor Inc | Optical switching system |
DE3642897A1 (de) * | 1986-12-16 | 1988-06-30 | K O Prof Dr Thielheim | Doppelbrechendes optisches material und verfahren zu seiner herstellung |
US5299054A (en) * | 1990-06-25 | 1994-03-29 | Petrolaser, Inc. | Optical switch |
US5172267A (en) * | 1990-12-21 | 1992-12-15 | Bell Communications Research, Inc. | Optical reflector structure, device, method of fabrication, and communications method |
US5091979A (en) * | 1991-03-22 | 1992-02-25 | At&T Bell Laboratories | Sub-micron imaging |
US5260719A (en) * | 1992-01-24 | 1993-11-09 | Polaroid Corporation | Laminar electrooptic assembly for modulator and printer |
US5406573A (en) * | 1992-12-22 | 1995-04-11 | Iowa State University Research Foundation | Periodic dielectric structure for production of photonic band gap and method for fabricating the same |
US5373393A (en) * | 1993-06-01 | 1994-12-13 | General Electric Company | Opical interferometric device with spatial light modulators for switching substantially coherent light |
JPH0720418A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Hitachi Maxell Ltd | 光学フィルタ |
US5432624A (en) * | 1993-12-03 | 1995-07-11 | Reliant Technologies, Inc. | Optical display unit in which light passes a first cell, reflects, then passes a second cell |
US5909303A (en) * | 1996-01-04 | 1999-06-01 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Optical modulator and optical modulator array |
-
1996
- 1996-03-05 DE DE19610656A patent/DE19610656A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-03 WO PCT/EP1997/001064 patent/WO1997033192A1/de active IP Right Grant
- 1997-03-03 CA CA002248372A patent/CA2248372C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-03 JP JP53144697A patent/JP3887421B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-03 ES ES97906812T patent/ES2169354T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-03 US US09/142,405 patent/US6064506A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-03 EP EP97906812A patent/EP0885402B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-03 AT AT97906812T patent/ATE209791T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-03-03 DE DE59705549T patent/DE59705549D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-16 TW TW086205918U patent/TW331938U/zh unknown
-
1998
- 1998-08-31 NO NO19984000A patent/NO319562B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE209791T1 (de) | 2001-12-15 |
EP0885402B1 (de) | 2001-11-28 |
US6064506A (en) | 2000-05-16 |
NO984000D0 (no) | 1998-08-31 |
CA2248372A1 (en) | 1997-09-12 |
JP2000506281A (ja) | 2000-05-23 |
CA2248372C (en) | 2006-05-16 |
TW331938U (en) | 1998-05-11 |
DE19610656A1 (de) | 1997-09-11 |
DE59705549D1 (de) | 2002-01-10 |
WO1997033192A1 (de) | 1997-09-12 |
NO984000L (no) | 1998-08-31 |
EP0885402A1 (de) | 1998-12-23 |
ES2169354T3 (es) | 2002-07-01 |
JP3887421B2 (ja) | 2007-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO319562B1 (no) | Optisk flerveis omkobler bestaende av elektrisk omkoblingsbare ortoelektroniske krystaller | |
US5973823A (en) | Method for the mechanical stabilization and for tuning a filter having a photonic crystal structure | |
US5410625A (en) | Optical device for beam splitting and recombining | |
DE69733670T2 (de) | Optischer demultiplexer mit einem beugungsgitter | |
US5937115A (en) | Switchable optical components/structures and methods for the fabrication thereof | |
CA2289201C (en) | Photonic crystal-based integrated optical circuit | |
DE60318762T2 (de) | Faser-zu-Wellenleiter-Koppler mit Beugungsgitter für polarisationserhaltende optische integrierte Schaltungen | |
WO2000050938A1 (en) | Vertically coupled optical resonator devices over a cross-grid waveguide architecture | |
KR20010022911A (ko) | 절환가능한 광학 소자 | |
JPH0682848A (ja) | チューナブル光学フィルタ、及び選択された光波長の提供方法 | |
DE60118264T2 (de) | Polarisationsunabhängige optische Wellenleiterschaltung | |
DE60201298T2 (de) | Wellenleiter-Typ Verarbeitungsschaltung für optisches Signal | |
DE3406207A1 (de) | Integriert-optische wellenlaengenmultiplex- und -demultiplexeinrichtung fuer monomode-uebertragungssysteme und ihre verwendung | |
CN105739026A (zh) | 一种高端口数目波长选择开关 | |
US6661942B1 (en) | Multi-functional optical switch (optical wavelength division multiplexer/demultiplexer, add-drop multiplexer and inter-connect device) and its methods of manufacture | |
DE4432410B4 (de) | Optoelektronisches Multi-Wellenlängen-Bauelement | |
DE60117292T2 (de) | Optische raumschaltmatrix | |
CN1209646C (zh) | 二维限制的多模干涉功分器 | |
CN114815052B (zh) | 一种交叉波导结构的光子晶体光学路由器 | |
US20230152516A1 (en) | Optical Waveguide Structure and Manufacturing Method, Optical Waveguide Module, Optical Switching Device, and System | |
US6650796B2 (en) | Waveguide optical frequency router | |
WO2002088799A1 (de) | Integriert-optischer feldweitentransformator zur adiabatischen, monomodigen feldanpassung | |
Damask et al. | Optical distributed-feedback channel-dropping filters: design and fabrication | |
Berghmans et al. | A cascadable polarization-based 1-to-9 multimode optical fiber switch using a PMMA fiber array holder | |
Blais | Design and realization of a Bragg grating prism on planar integrated optical waveguides for wideband photonic true time-delay beamforming |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM1K | Lapsed by not paying the annual fees |