NO155892B - Fremgangsmaate til fremstilling av en tynnsjiktelektrode. - Google Patents

Description

Foreliggende oppfinnelse angår en fremgangsmåte for fremstilling av en elektrode av den art som er angitt i innledningen til kravet.

Det er kjent slike føleelementer som er utformet som rørlibeller for anvisning av skråstillingen i bare en retning og i form av rundlibeller for registrering av skråstillingen i alle retninger. Det er kjent ved fremstillingen av slike føleelemen-ter i kombinasjon med elektroder av godt ledende materiale å benytte en elektrolyttoppløsning med god ledningsevne, f. eks. en løsning av et alkalihalogenid i en alkohol, og å fylle beholderen delvis med denne løsning, hvorved det blir tilbake en gassboble, hvis posisjon bestemmer strømlinjene mellom elektrodene og således den målte impedans. Forandringen av impedansen mellom to elektroder blir frembragt i avhengighet av kantstillingen til føleelementet ved forandring av likevektsstillingen for væsken, henholdsvis gassboblene i beholderen. Det er også kjent å innføre elektroder i en elektrisk isolerende vegg i beholderen og utforme den mot væsken vendte side av denne struktur som ut-snitt av en hul kuleformet eller ringformet overflate. På en motsattliggende vegg blir det ofte anbragt en såkalt basiselektrode, hvorved den med elektrodene utstyrte vegg har minst ett felles, i normalstilling vertikalt symmetriplan. De enkelte elektrodetilkoblinger blir forbundet med de tilsvarende elektroder ved hjelp av ledninger som føres gjennom veggene, hvis ikke elektrode, ledning og elektrodetilkobling består av en enkelt del som ligger kittet fast i og går gjennom den.

Kravene med hensyn til geometrisk form og stilling for elektrodene og veggen står i direkte sammenheng med den ønskede presisjon for skråstillingsmålingen og blir spesielt skjerpet ved tendensen til stadig mindre føleelementer. Som fø-leelementkarakteristikk, dvs. som variasjon av den målte impedans i avhengighet av kantstillingen, blir det tilstrebet en forutbestemt, vanligvis lineær funksjon, hvorved det er vanske-lig å holde avvikelsene for karakteristikken fra lineariteten samt påvirkning av temperaturen, som har en innvirkning over utvidelsen til væsken på dimensjonen til gassboblen minst mulig. Dertil kommer kravene til tetthet, til korrosjonsbestandighet, til mekanisk bestandighet osv., og med hensyn' til alle disse krav er innsetting og fastkitting av elektrodene i veggen og sliping av denne struktur til den ønskede nøyaktige form temmelig vanskelige og dyre fremstillingsprosesser, ved hvilke tross alle tiltak det må tas med på kjøpet en stor vrakprosent og en utilstrekkelig pålitelighetsgrad for produktet.

Det er kjent å omgå de ved innsetting og fastkitting av elektrodene i veggen og slipingen av strukturen fremkomne vanskeligheter ved at elektrodene er utformet som pasta eller lakk som er påført som sjikt, f. eks. påførte platina- eller sølvsjikt. Dette muliggjør riktignok at det av hvert enkelt og samme sjikt kan utformes en elektrode, en tilhørende elektrodetilkobling og en lederbane, hvorved lederbanene føres fra beholderens indre ut til sammenklebningssteder hvor de føres gjennom, og hvor de til en beholder sammenføyde bestanddeler av føleele-mentet står i berøring. Ved denne løsning er det imidlertid ufordelaktig at ved visse anvendelser, f. eks. til militære for-mål, for horisontalstilling av et skytevåpen den nødvendige geometriske presisjon for føleelementet på grunn av sjikttykkelsen og ruheten til de som pasta eller lakk påførte elektroder absolutt ikke er oppnåelig. Dette vedrører såvel formpresisjo-nen for den indre vegg på beholderen i området ved elektrodene som presisjonen med hensyn til sammenføyning av beholderen ved sammenklebingsstedet i området ved lederbanene. På den annen si-de er det også ufordelaktig at festeevnen til de påførte sjikt, blant annet ved den nevnte anvendelse ikke tilfredsstiller kravene .

Den oppgave som ligger til grunn for oppfinnelsen er å tilveiebringe en fremgangsmåte til fremstilling av en tynnsjiktelektrode, som f. eks. et føleelement, som muliggjør en vesentlig mer prisgunstig fremstilling og ikke bare tilfredsstiller de bestående krav, men også forbedrer tilpasningen av karakteristikken til anvendelsesformålet ved et friere valg av elek-trodeformen.

Det ble funnet at løsningen av denne oppgave ble gjort lettere ved anvendelsen av den såkalte tynnsjiktteknikk. Ved tynnsjikt, slik de f. eks. benyttes ved fremstillingen av elek-troniske byggeelementer, forstår man slike sjikt som dannes på et underlag hvor sjikttykkelsen vanligvis forblir under 5 pm og vanligvis i området 0,01 - 1 ym. De til dannelse av tynnsjikt i betraktning kommende fremgangsmåter er f. eks. pådamping, for-støvning, galvanisering, kjemisk utskilling, påføring av pasta, hvorved andre til teknikkens stand svarende fremgangsmåter ikke skal være utelukket, som f. eks. anodisering for dannelse av isolerende tynnsjikt på visse metaller. Derimot er de såkalte tykksjikt utelukket, som blant annet dannes ved påføring av pasta eller lakk, f. eks. i sikttrykkemetoden og hvis tykkelse typisk ligger i området 20 ym.

Oppfinnelsen angår således en fremgangsmåte hvis

karakteristiske trekk fremgår av kravet.

Slike som tynnsjikt påførte elektroder i et føleele-ment er ikke vesentlig hevet over veggens overflate. Den om tykkelsen til elektrodesjiktet frembragte høydeøkning for elek-trodeoverflaten har i det vesentlige ingen virkning på likevektsstillingen for væsken, henholdsvis gassboblen.

De som tynnsjikt påførte elektroder .er utformet i flere lag. På den ytre, fra veggen bortvendte side av flerlags-elektrodestrukturen befinner det seg et pådampet elektrokjemisk aktivt svartsjikt, som etter pådampingen fordelaktig er galvanisk behandlet.

Med slike elektrokjemisk aktive svarte sjikt kan det oppnås en bedre nettdannelse av en væske samt en reduksjon av overgangsmotstanden mellom elektrodene og væsken.

F. eks. i en libelle med på denne måte frembragte elektroder består denne f. eks. av a) et opptil ca. 0,2 ym tykt festesjikt av 50:50 Ni-Cr-legering,

b) et opptil ca. 0,06 ym tykt beskyttelsessjikt av gull,

c) et opptil ca. 1,1 ym tykt sjikt av svartgull (Goldenschwarz).

Festesjiktet og beskyttelsessjiktet blir pådampet under vanlige

vakuumbetingelser. Pådampingen av svartgullsjiktet skjer ved tilstedeværelsen av nitrogen- eller heliumrestgass i trykkområ-det fra 0,1 - 2 torr med høy pådampningshastighet. Som gass kan det også f. eks. benyttes argon, og de svarte belegg kan isteden for av gull også bestå av andre edelmetaller, som platina, iri-dium, rhodium, osmium osv., eller også av visse overgangselemen-ter, som f. eks. antimon, vismut osv., samt av deres legeringer.

Ved en annen utforming kan elektrodene bygges opp ved

a) et festesjikt,

b) et beskyttelsessjikt som i det foranstående eksempel, videre av c) et pådampet eller ved forstøvning dannet metallisk platina-sj ikt, d) av et galvanisk utskilt opptil ca. 1 ym tykt platinasvart-sj ikt.

Det metalliske platinasjikt under c kan også dannes galvanisk

med en tykkelse opptil ca. 1 ym.

Ved alle disse eksempler forblir totaltykkelsen for tynnsjiktelektrodene i det vesentlige under 5 ym.

Med de som tynnsjikt påførte elektroder blir det oppnådd den fordel at de av veggmaterialet og elektrodematerialet krevede egenskaper er uavhengig av hverandre, slik at material-valget ikke blir begrenset av krav til kompakthet.

Materialet til en vegg blir med fordel før påføringen av elektrodene bragt til den ønskede geometriske form, slik at det bare bearbeides homogent materiale og ikke som ved de kjente utførelser en uhomogen struktur av isolasjonsmateriale, elektrode-materiale og kittmateriale. Den mekaniske bearbeidelse blir tilsvarende lettere og billigere. Det er kjent for materialet til en vegg å benytte elektrisk isolerende stoff på hvilket elektrodene ifølge oppfinnelsen kan påføres. Det benyttes vanligvis hårdglass, som i handelen er velkjent som "Pyrex" eller "Duran". Ved påføringen ifølge oppfinnelsen av en elektrode som tynnsjikt blir imidlertid også den variant muliggjort hvoretter en vegg er utformet av elektrisk ledende materiale, f. eks. av et korrosjons-bestandig metall, som tantal eller edelstål eller også av silicium.

Ved denne fremstillingsmåte ifølge oppfinnelsen vil

en av elektrisk ledende materiale bestående vegg, f. eks. på fø-leelementet, være overtrukket minst på sin mot væsken vendte overflate med et som tynnsjikt påført elektrisk isolerende materiale, hvorved det er tilveiebragt en vegg med elektrisk isolert overflate.

Påføringen av slike isolasjonsmaterialer er velkjent

i tynnsjiktteknikken. Benyttet blir f. eks. forstøvning av ok-syder i høyfrekvensfelt eller oksydativ forstøvning av egnede oksyddannende metaller. I tilfelle av anvendelsen av tantal og silicium, kan det dannes et ekstremt tynt, men høyisolerende oksydsjikt ved anodisering. Også sjikt av kunststoff kan benyttes.

Fordelen ved denne variant er at det for veggens materiale kan velges et stoff på grunn av dets bestandighet, lettere og mer presis bearbeidelse og lignende egenskaper uten begrensning på grunn av de elektriske forhold. Veggens materiale blir med fordel først gitt den ønskede geometriske form og først deretter blir den mot væsken vendte overflate utstyrt med et isolasjonssjikt, på hvilket de eventuelt nødvendige antall elektroder påføres.

Takket være påføringen av elektrodene ifølge oppfinnelsen på den elektrisk isolerende overflate til beholderens vegg, kan formen til elektrodene optimaliseres for oppnåelse av den ønskede karakteristikk.

Det er kjent at den størst mulige steilhet for en lineær karakteristikk oppnås med en elektrodesats som består av en basiselektrode og for hvert kantstillingsplan som skal registreres, av et par tilnærmet som sirkelflater utformede elektroder, hvorved på den ene side elektrodeparet og på den andre side basiselektroden er symmetrisk om et felles symmetriplan. Ved denne tilnærmet sirkelflate form for elektrodene er det ufordelaktig at en temperaturbetinget forandring av gassboblens dimensjon virker sterkt inn på karakteristikkens steilhet.

Det er også kjent å gi elektrodene et firkantet omriss, hvorved hver gang et sidepar i en firkant forløper paral-leit til et symmetriplan for føleelementet. Hvis dette omriss kan sammenlignes med en smal strimmel, hvis lengderetning ligger i det kanstillingsplan som skal registreres og hvis ender er relativt langt fjernet fra avgrensningslinjen mellom gassboble, elektrolyttoppløsning og beholder, er karakteristikken til føle-elementet temmelig uavhengig av det geometriske omriss for strimmelen i området ved disse ender. Derved kan på enkel måte disse ender gis en vilkårlig, f. eks. avrundet form. Ufordelaktig er ved denne løsning at den stiller krav til føleelementets dimensjon, hvilke krav står i motsetning til kravene for minia-tyrisering. Påvirkningen av gassbobledimensjonen og avvikelsene fra lineariteten til karakteristikken blir bare holdt små hvis bredden til elektrodestrimlene er liten i forhold til lengden og i forhold til gassbobledimensjonen.

Det ble funnet at det kan oppnås en linær karakteristikk ved en annen spesiell form for elektrodeflåtene, hvorved med denne spesielle form gassbobledimensjonens påvirkning på karakteristikkens steilhet reduseres meget.

Ved et føleelement kan minst to flateformede elektroder være tilordnet til hverandre som om et i normalstilling vertikalt plan, symmetrisk par, og omrisset til en elektrodeflate er det på veggens overflate loddrett projiserte omriss av en plan firkant, som er avledet av en firkant som har til symmetriplanet parallelle sider, ved innsetting av sirkelbuer med mot symmetriplanet vendt konkavitet isteden for de nevnte sider.

Fortrinnsvis består i et elektrodepar elektrodenes omriss av projeksjonen av to symmetriske firkanter, hvis sirkelbueformede sider er utformet som like buer for to like sirkler som skjærer hverandre på symmetriplanet.

Ved en slik utførelsesform for et føleelement blir impedansen hensiktsmessig fastlagt mellom basiselektroden og hver av elektrodene til elektrodeparet som ledd i en bro som er utlignet i normalstilling, og den av kantstillingen forårsakede utligningsfeil svarer til føleelementets karakteristikk. En med mulig lineær karakteristikk og en minst mulig avhengighet for karakteristikken av gassbobledimensjonen oppnås hvis gassboblen i normalstilling tildekker omtrent halvdelen av hver elektrode. Føleelementet kan såvel være utformet rørformet med et enkelt elektrodepar og en basiselektrode som også ringformet eller eskeformet med to elektrodepar oq en basiselektrode, hvorved fø-leelementet i det første tilfelle har ett og i det siste tilfelle to innbyrdes loddrette symmetriplan. Varianter med tre eller flere elektrodepar og svmmetriplan er riktiqnok ikke sær-liq hensiktsmessig, men ikke utelukket.

Med utformingen ifølqe oppfinnelsen av elektrodene som tynnsjikt på den elektrisk isolerende overflate til beholderveggen blir det også mulig ved anvendelsen av andre elektro-deomriss å oppnå diverse ikke-lineære karakteristikker, f. eks. og alt etter anvendelsesformål kvadratiske, logaritmiske og andre karakteristikker. Takket være den med tynnsjiktteknikken oppnåbare presisjon for elektrodeomrissene blir ikke bare de nevnte nye muligheter gjort tilgjengelige, men også reproduser-barheten for produktene blir gjort vesentlig lettere og forbed-ret i forhold til de kjente utførelser.

En videre fordel ved utformingen ifølge oppfinnelsen av-elektrodene som tynnsjikt er at det til forbedring av deres festeevne og korrosjonsbestandigheten kan utføres en påføring av elektrodene med tynnsjiktteknikken på kjent måte i flere lag. Det kan benyttes praktisk talt alle kjente kombinasjoner av et nedre sjikt som gir bedre festing, og et elektrisk og kjemisk fordelaktig øvre sjikt. F. eks. blir det på en vegg av hårdglass påført et tynnsjikt som består av et nedre sjikt av nikkel-kromlegering og et øvre sjikt av gull eller platina. Det er kjent mange isolerende kunststoffer som ikke skades ved påfør-ingen av visse tynnsjikt, f. eks. aluminium eller gull, slik at blant annet disse materialer kan benyttes som nedre sjikt for å forbedre påføringen av elektroder på kunststoffbelagte vegger og lette anvendelsen av slike o<y>erflateisolerte vegger.

Som allerede nevnt blir i de kjente utførelser for et føleelement de enkelte elektrodetilkoblinger forbundet med tilsvarende elektroder ved hjelp av ledninger som er ført gjennom veggen eller ført gjennom sammenklebningssteder, noe som forår-saker vanskeligheter med hensyn til fremstillingskostander, presisjon og pålitelighet for føleelementene, og i mange tilfeller praktisk talt utelukker anvendelsen av elektrisk ledende materiale for beholderveggen. Det ble funnet at løsningen av også

dette problem blir lettere ved anvendelsen av tynnsjiktteknikken.

En elektrode med en tilhørende elektrodetilkobling kan være elektrisk forbundet ved hjelp av en lederbane som er påført som tynnsjikt på i og for seg kjent måte på elektrisk isolerende overflatedeler på bestanddelene av føleelementet som er sammenføybare til en beholder.

Dermed blir det oppnådd den fordel at lederbaner takket være den mindre sjikttykkelse kan føres gjennom fra det indre av beholderne og ut ved sammeklebningsstedene ved hvilke de til en beholder sammenføyde bestanddeler av føleelementet står i berøring uten at dette påvirker føleelementets presisjon.

Det er fordelaktig, selv om ikke ubetinget nødvendig, at lederbanene og elektrodene består av de samme tynnsjikt. Dessuten kan lederbanene enten være frittliggende eller på kjent måte være tildekket ved hjelp av et derpå påført elektrisk isolerende tynnsjikt. I sistnevnte tilfelle kommer lederbanene ikke i kontakt med væsken, og de deltar ikke i elektrodeflaten.

I det første tilfelle er, hvis den delflate av lederbanene som er i kontakt med væsken er liten i forhold til flaten for de tilsvarende elektroder, en tildekning ikke nødvendig, og denne særlig gunstige utførelsesmåte blir oppnådd med korte og smale lederbaner .

Ved anvendelsen av tynnsjiktteknikken er det mulig med enda en annen oppbygging av et føleelement. Det er i tynnsjiktteknikken kjent å tilveiebringe sjikt ved påføring av visse'legeringer, som f. eks. nikkel-kromlegeringer, på hvis overflate det mellom to vilkårlige steder kan måles en vesentlig større elektrisk motstand enn mellom to likt beliggende steder på over-flaten til en god leder, f. eks. et tykt kobbersjikt. Det samme resultat kan oppnås ved påføring av et ekstremt tynt sjikt av en også god elektrisk leder. Ved fremstillingen av motstander i tynnsjiktteknikken blir vanligvis begge parametre, nemlig sjikt-sammensetningen og sjikttykkelsen benyttet på egnet måte.

Det ble funnet at i et føleelement er lokalisert på fordelaktig måte en betydelig elektrisk motstand i elektrodene og at disse elektroder bringes i kontakt av en relativt god ledende væske på en variabel andel av sin flate, hvorved denne andel derved praktisk talt blir kortsluttet.

I denne fremstillingsmåte vil i fravær av væske den elektriske motstand mellom to steder på en elektrodeoverflate være vesentlig større enn ved kontaktdannelse mellom disse steder ved hjelp av væske.

Som væske kan det benyttes kvikksølv, hvorved imid-

lertid visse metaller som gull og sølv er utelukket for dannel-

sen av elektrodene. Ved tilstrekkelig stor spesifikk flatemot-

stand for elektrodene kan det som væske også benyttes en i og for seg kjent føleelementvæske, f. eks. en alkalihalogenidopp-

løsning i en alkohol. Alt etter anvendelsesformål for føleele-

mentet fører de mellom organiske oppløsninger og kvikksølv be-

stående forskjeller i spesifikk vekt, viskositet, nettdannelse osv. til valg av den ene eller den andre væske, hvorved det er gitt en ny mulighet for en optimal tilpasning av føleelementet til anvendelsesformålet.

Oppfinnelsen skal i det følgende nærmere beskrives

ved hjelp av utførelseseksempler som er fremstilt på tegningen og som illustrerer oppfinnelsen anvendt til et føleelement.

Tegningen viser:

fig. 1 en første utførelsesform for et føleelement i

snitt, med av tynnsjikt bestående elektroder, lederbaner og elektrodetilkoblinger,

fig. 2 kuvetten til føleelementet på fig. 1 i snitt,

med av oversiktsgrunner sterkt forstørret inntegnet sjikttykkel-

se for tynnsjiktet,

fig. 3 tildekningen av føleelementet på fig. 1 i

snitt, med av oversiktsgrunner sterkt forstørret inntegnet sjikttykkelse for tynnsjiktene,

fig. 4 tildekningen av føleelementet ifølge fig. 1 i

et oppriss som viser en første utførelsesform for elektrodene,

fig. 5 tildekningen av føleelementet på fig. 1 i et

oppriss som viser en andre utførelsesform for elektrodene,

fig. 6 en andre utførelsesform for et føleelement i

snitt, med av tynnsjikt bestående elektroder, lederbaner og elektrodetilkoblinger.

I det følgende vedrører eksempel I fig. 1, 2, 3 og 4.

Eksempel II vedrører særlig fig. 4. Eksempel III vedrører sær-

lig fig. 5, og likeledes vedrører eksemplene IV og V fig. 5.

Eksempel VI vedrører spesielt fig. 6. På alle tegninger blir

det benyttet de samme henvisningstall for de samme elementer.

Eksempel I

Ifølge fig. 1, 2, 3 og 4 består et føleelement i form

av en rundlibelle av en kuvette 1 og en tildekning 2 som sammen-

føyet og sammenkittet danner beholderen for føleelementet, hvorved i normalstilling tildekningen vil komme til å ligge over kuvetten og i det vesentlige vannrett. Begge deler er fremstilt av hårdglass ("Pyrex"). Kuvetten er tilnærmet et sylindrisk hul-legeme med bunn, hvis diameter innvendig er 24 mm og utvendig 28 mm. På et sted ved forbindelsen mellom sylinderen 11 og bunnen 12 er det anordnet en avsmeltbar ifyllingsstuss 3. Bunnen 12 er ca. 2 mm tykk. Den øvre kant 13 til sylinderen 11 er likeledes slipt. Tildekningen 2 er tilnærmet en flat sylinder, hvis øvre side 21 er plan og hvis nedre side 22 er slipt og po-lert som kuleavsnitt med 360 mm radius. Målt langs den sylind-riske kant 23 har man en høyde på 3 mm. Diameteren er 28 mm, slik at kuvetten 1 og tildekningen 2 i ytre diameter føyer seg eksakt til hverandre.

Alle elektroder 40, 44 består av to ved pådamping over hverandre påførte sjikt, nemlig et nedre ca 0,15 ym tykt sjikt 41 av 50:50 nikkel-kromlegering og et øvre ca. 0,02 ym tykt gullsjikt 42. Lederbanene 43, 45 består av det samme tynn-sjiktmateriale og er ikke tildekket. Basiselektroden 44 ut-strekkes over hele bunnen 12 i det indre av kuvetten 1, og en 1 mm bred lederbane 4 5 fører fra basiselektroden langs en indre mantellinje på sylinderen 11 over kanten 13 og langs den ytre mantellinje til en omtrent i halv høyde anbragt flekk 4 6 med 5 mm diameter som tjener som elektrodetilkobling. Fire sirkel-formede elektroder 40 med 7 mm diameter er påført på den nedre side av tildekningen 2 i firkant med hver gang 7 mm avstand fra sentrum på en elektrode til sentrum for tildekningen. Fra hver elektrode 4 0 løper det radielt utover en 1 mm bred lederbane 4 3 som utstrekker seg over den tilsvarende mantellinje på kanten 23 over den øvre side 21 til tildekningen 2 til en flekk 47 på

5 mm diameter som tjener som elektrodetilkobling.

Kuvetten 1 og tildekningen 2 er kittet fast til hverandre ved hjelp av en vanlig epoksyharpiks 5 ("Araldit"). Den derved dannede beholder er fylt med en 1,5 prosentig oppløsning av LiCl i etanol 6, hvorved det blir tilbake en gassboble 7 som ved romtemperatur har en diameter på ca. 14 mm. I en optimal brokobling blir ved romtemperatur og en matespenning på 1 volt (4 00 Hz) typisk oppnådd en lineær karakteristikk på 50 mv/mrad - 10 %.

Eksempel II

Ifølge fig. 4 er et føleelement utformet i samsvar med eksempel I, men avviker deri at diameteren til de på tildekningen påførte fire elektroder er 5 mm og diameteren til gassboblen er ca. 16 mm. Det blir oppnådd en typisk lineær kjent karakteristikk på 140 mv/mrad - 10 %.

Eksempel III

Ifølge fig. 5 er et føleelement oppbygget som i eksempel I, men avviker fra dette ved at det blir benyttet en annen elektrodeform for de fire på tildekningen påførte elektroder. Disse elektroder blir avledet av den loddrette projeksjon av en plan firkant, som har to rette og parallelle sider med 6 mm leng-de i 4 mm avstand fra hverandre og to sirkelbueformede sider med 7 mm radius. Den største avstand mellom to overfor hverandre

liggende elektroder er 8 mm, slik at den fremre sirkelbueformede

side på en elektrode ligger på den samme sirkel som den bakre sirkelbueformede side på den motsatt liggende elektrode. Diameteren til gassboblen er ved romtemperatur ca. 14 mm. Det blir oppnådd en typisk lineær karakteristikk på 60 mv/mrad - 10 %.

Eksempel IV

Et føleelement er oppbygget i samsvar med eksempel III, men avviker herfra ved at det blir benyttet andre dimensjo-ner for elektrodene. Lengden til de rette sider er 4,1 mm, slik at de sirkelbueformede sider til elektrodene ikke ligger på de samme sirkler. Det blir oppnådd en typisk lineær karakteristikk på 160 mv/mrad - 10 %.

Eksempel V

Et føleelement er oppbygget som i eksempel IV, men avviker fra dette ved at tildekningen består av silicium som er overtrukket med et 0,2 ym tykt, termisk tilveiebragt elektrisk, isolerende oksydsjikt. Det blir oppnådd de samme resultater som i eksempel IV.

Eksempel VI

Ifølge fig. 6 er et føleelement bygget opp som i eksempel III, men avviker fra dette ved at basiselektroden og lederbanene består av rent nikkel, mens de fire på tildekningen påførte elektroder består av et 0,01 ym tykt sjikt av en 80:20 nikkel-kromlegering og at det som væske benyttes kvikksølv. I normalstilling vil tildekningen 2 ligge under kuvetten 1. Kvikk-sølvet danner på tildekningen en væskedråpe 8 med ca. 14 mm diameter. Det blir oppnådd en tilnærmet lineær karakteristikk på 50 mv/mrad.

Claims (1)

1. Fremgangsmåte til fremstilling av en tynnsjiktelektrode i et føleelement for å bestemme et avvik i loddelinjen ved måling av en i avhengighet av kantstillingen forandret elektrisk impedans mellom flateformede elektroder, som på en av kantstillingen avhengig del av sin flate er i kontakt med en i en beholder anordnet elektrisk ledende væske og forbundet med respektive elektrodetilslutninger, som kan bringes i kontakt utenfra, karakterisert ved at det i et første fremgangsmåtetrinn påføres et tynnsjikt på en mot væsken vendt elektrisk isolerende overflate til en veggdel i beholderen, og at det i et andre fremgangsmåtetrinn påføres et ytterligere tynnsjikt på det tid-ligere påførte tynnsjikt, idet dette andre fremgangsmåte-trinnet gjennomføres minst én gang som en pådampning av gull i et vakuumkammer under et i området mellom 0,1-2 torr redu-sert trykk av en restgass, hvorved et elektrokjemisk aktivt svart gullsjikt påføres i løpet av det siste fremgangsmåte-trinnet.