NO154668B - Fremgangsmaate og apparat for trekking av optisk fiber. - Google Patents

Description

Foreliggende oppfinnelse angår forbedringer i produksjon av optiske fibre. Mer spesielt angår oppfinnelsen en fremgangsmåte og et apparat for å tilveiebringe forbedret fibertrekking fra optiske preformer (emner).

I tidligere kjent teknikk som angår trekking av en optisk fiber fra en optisk preform, er det nødvendig å varme opp en del av preformen til dens trekketemperatur. En tynn tråd av glass trekkes ut fra den oppvarmede delen av preformen slik at det dannes en optisk fiber, og varmekildene som benyttes, er kjente varmekilder som f.eks. C- 0^~laser, motstands- eller induksjons-oppvarming, oksygen/hydrogenbrennere. De ønskede lystransmisjonskarakteristikker og de best mulige mekaniske egenskaper kan fås ved en omsorgsfull regulering av diameteren til fiberen som trekkes fra preformen. For å få en optisk fiber med ensartede lystransmisjonskarakteristikker langs hele sin lengde, er det viktig at diameteren til fiberen holdes konstant langs hele fiberens lengde. Andre faktorer, slik som fiberens trekketemperatur og strekk, trekkehastigheten og beskyttelsen som gis til den ferdigtrukne fiber, er alt sammen parametre som påvirker den optiske karakteristikk til den trukne fiber.

Strekket som opptrer under fibertrekkingen, påvirker på en betydningsfull måte de optiske transmisjonsegenskaper til den ferdige glassfiber. Da trekketemperaturen både påvirker de optiske og de mekaniske egenskaper til den trukne fiber, må den optimale trekketemperatur benyttes for å få en best mulig fiber med de ønskede egenskaper. Trekketemperaturen er også knyttet til andre fibertrekking-parametre, slik som trekkehastighet, preform- og fiber-diameter, og preformens matehastighet.

Derfor må strekket i fiberen under trekking, en faktor som hovedsakelig er avhengig av trekketemperaturen, bli omhyggelig overvåket og styrt under trekkeprosessen. Således kan f.eks. et strekk under trekkeprosessen på ca. 50 g benyttes for å trekke fibre med små optiske tap.

På den annen side vil et lite strekk i "fiberen under trekkeprosessen, f.eks-, mindre enn 5 g, benyttes under trekking av lange fiberlengder av fibertyper med høy strekkstyrke. Det lave strekket som benyttes i slike tilfeller, oppnås ved å benytte en tilsvarende høy trekketemperatur. Imidlertid vil en høy trekketemperatur føre til en sterk fordampning av siliciumoksyd. Den øvre grense til trekketemperaturen med hensyn på optimalt strekk under trekkeprosessen, avhenger av forholdene under trekkingen.

Under trekking av optiske fibre er det viktig å sikre seg at varmestrømmen inn i preformen ved den delen fra hvilken fiberen trekkes ut, er så konstant som mulig, ikke bare regnet over tid under selve trekkeoperasjonen, men også fra punkt til punkt på preformens overflate ved de respektive tverrsnitt av denne, fordi viskositeten og dermed også flythastigheten til materialet fra preformen inn i fiberen, avhenger av dette. Hvis varmestrømmen inn i preformen og dermed også temperaturen og viskositeten til materialet i preformen varierer langs periferien ved et bestemt tverrsnitt, vil tverrsnittet til den trukne fiber få en irregulær form istedenfor en nøyaktig sirkulær form, og dette fører til forstyrrelser i de lystransmitterende egenskaper til fiberen. En ren trekkeatmosfære må opprettholdes ved å benytte et ytterst rent rom, som ofte inspiseres ved hjelp av en teller som teller antall støvpartikler pr. volumenhet. En av kildene til urenheter som kan forurense fiberoverflaten og føre til en reduksjon av fiberstyrken, kan være selve varmekilden som kan generere fremmede partikler av varmeelementene, slik som karbonpartikler og zir-koniumpartikler, da dette er materialer som i stor grad benyttes i motstadselementer eller i elementer i induksjonsvarmeanordninger. En typisk økonomisk ren varmekilde er en oksygen/hydrogen-flamme-brenner, hvor filtrerte oksygen- og hydrogengasser blandes og tennes for å danne en såkalt oksyhydrogenflamme. Brennerens utførelse er optimalisert for å gi en jevn varmestrøm som resulterer i dannelse av et innsnevringsområde under fibertrekking under bruk av preformer med relativt stor ytre diameter.

I konvensjonelle konstruksjoner, som gjør bruk av oksyhydro-genf lammebrenner under trekkeprosessen, er varmestrømmen fra flammen inn i preformen uregelmessig, både på grunn av innflytelse fra omgivelsene, slik som omgivende luftstrømmer, og på grunn av formen til selve flammen. For å redusere eller unngå denne ulempen er det blitt foreslått å bruke flere oksyhydrogen-flamme-brennere som er fordelt omkring aksen-til-preformen og rettet mot det område som skal oppvarmes for å gjøre materialet flytende før trekkeoperasjonen. Men endog med slike løsninger vil varmefluksen inn i preformen variere fra ett punkt på overflaten til et annet, og av denne grunn foretas ofte relative vinkelforskyvninger omkring trekkeaksen mellom preformen og brenneren eller brennerne, slik at mengden av varme som overføres til preformen ved det spesielle punktet av dens omkrets, blir jevnet ut over et tidsrom. Imidlertid vil behovet for slike relative vinkelforskyvninger av utstyret komplisere oppbygningen av trekkearrangementet og føre med seg andre problemer som påvirker kvaliteten av den ferdigtrukne fiber.

Det er derfor et hovedformål med foreliggende oppfinnelse å unngå ulempene som følger med de tidligere kjente varmekilder som benyttes ved trekking av optiske fibre fra en preform.

Mer spesielt er det et formål med foreliggende oppfinnelse å utvikle en varmekilde for ovennevnte bruk, som ikke innebærer de ulemper som hører sammen med tidligere kjente varmekilder av denne typen.

Et ytterligere formål med foreliggende oppfinnelse er å kon-struere varmekilden slik at man unngår behovet for relativ vinkel-forskyvning omkring trekkeaksen mellom varmekilden og preformen som fiberen trekkes ut av.

Dette oppnås ved å benytte en fremgangsmåte eller et

apparat i overensstemmelse med de nedenfor fremsatte patentkrav.

En særlig fordel med en konstruksjon i henhold til foreliggende oppfinnelse er at det ringformede plasma utgjør en ren varmekilde med en svært homogen varmeutstråling både når man be-trakter den langs omkretsen til plasmaet og når man ser over et tidsrom, i hvert fall etter et begynnende oppvarmingsintervall. Dessuten kan plasmaet begrenses bare til den ønskede varmesone, mens de deler av preformen og varmearrangementet for øvrig, og da særlig fiberen, som ikke skal oppvarmes, kan beskyttes mot for sterk varmepåvirkning fra plasmaet. En ekstra fordel ved å bruke plasma som varmekilde, er at det ikke frembringer noen avfallspro-dukter som vil føre til en komplisert behandling eller utgjøre en belastning på omgivelsenes renhet. Den ringformede eller smult-ringformede utførelse av plasmasonen sikrer at materialet til den trukne fiber ikke vil smelte.

En fordelaktig konstruksjon av apparatet i henhold til foreliggende oppfinnelse fås når det for å opprettholde plasma-sonen benyttes kanaler og rør for å danne en ringformet strøm av et plasmadannende gassformet medium som flyter gjennom varmesonen. På denne måten kan tilførselen av det plasmadannende gassformede medium i varmesonen skje kontinuerlig. I denne konstruksjonen er det fordelaktig når varmeanordningen omfatter en plasmabrenner med minst to rør sentrert om en felles akse, og hvor det ene omgir det andre slik at det mellom dem oppstår en ringformet kanal som har en oppstrømsende fjernt fra og en nedstrømsende som åpner seg inn mot varmesonen og som benyttes for gjennomstrømning av det plasmadannende gassformede medium, mens det indre rør avgrenser en innvendig kanal for koaksial fremføring av fiberen som trekkes gjennom apparatet, og hvor det dessuten omfatter minst ett inntaksrør som tillater at det plasmadannende gassformede medium føres inn i oppstrømsdelen til strømningskanalen.

I henhold til et ytterligere trekk ved foreliggende oppfinnelse er det tilveiebragt kanaler for å skjerme plasmaet mot påvirkninger fra omgivelsene, slik at det ikke vil bli introdu-sert noen ustabilitet i plasmaet. Skjermeutstyret kan fortrinnsvis omfatte et ekstra rør som på koaksial måte omgir det ytre rør og har en utvidelse som strekker seg i nedstrøms retning forbi den nedstrøms avslutning av strømningskanalen og i hvert fall delvis omgir varmesonen.

Det er også fordelaktig dersom plasmabrenneren omfatter kjøleutstyr som kjøler i hvert fall utvidelsen av det ekstra rør fra dets utside. Slikt kjøleutstyr kan fortrinnsvis omfatte et kjølekammer som omgir det ekstra rør samt utstyr for å sirkulere et kjølemiddel gjennom kjølekammeret. Kjøleutstyret kan omfatte rør for å føre kjølemiddel inn i og trekke kjølemiddel ut fra kjølekammeret.

I henhold til et ytterligere trekk ved foreliggende oppfinnelse kan det benyttes en dekkgass som strømmer koaksielt omkring plasmasonen. Gassen kan omfatte argon, oksygen og/eller nitrogen, og kanalen som fører dekkgassen inn i brenneren kan være forsynt med utvidelser.

For å sikre at plasmaet vil få den ønskede ringformede fasong, kan apparatet dessuten være forsynt med kanaler og rør for å sende en kjølegass, f.eks. nitrogen, inn mellom varmesonen

og preformen slik at kjølegassen på koaksial måte omgir preformen. Apparatet kan omfatte kanaler for å styre kjølegassen gjennom den indre kanalen rundt fiberen som trekkes og inn i senter av varmesonen. For å unngå at den nedtrukne fiber blir for sterkt av-kjølt av kjølegassen, kan det dessuten settes inn et rør i den indre kanalen slik at denne kanalen blir inndelt i en innerste kanal for fiberen og en ringformet koaksial ytre kanal for kjølegassen og inntaksrør for å føre kjølegassen inn i denne ytre kanalen for strømning langs denne mot varmesonen og nær senter av denne.

For å gi en klarere forståelse av foreliggende oppfinnelse, vises til nedenstående detaljerte beskrivelse av utførelses-eksempler, samt til de ledsagende tegninger, hvor: - fig. 1 viser et aksielt snitt gjennom en plasmabrenner i henhold til foreliggende oppfinnelse i bruk, - fig. 2 viser et snitt i likhet med det i fig. 1, men av en forbedret versjon av plasmabrenneren, og

- fig. 3 er et tverrsnitt tatt gjennom linjen III-III i fig. 2.

I fig. 1 viser 21 en optisk preform som henger ned fra en egnet støtte 20, som holder preformen 21 i en egnet posisjon for trekking av en optisk fiber'22 av denne. Egnet trekkeposisjon krever at et avsmalnende område 2 3 i preformen holdes nær varmesonen, hvor plasmaet 31 induseres som et resultat av at høyfre-kvent elektrisk strøm passerer gjennom en spole 33. En frekvens på f.eks. 23 MHz vil resultere i induksjon av den ønskede ringformede plasmasky 31. Den optiske fiber 22 trekkes fra preformen 21 ved hjelp av et trekkeverktøy som er av en konvensjonell ut-forming og derfor ikke er vist på figuren. Gass som underholder og opprettholder plasmasonen, slik som argon eller en blanding av argon og oksygen, innføres gjennom et rør 41 til den innerste

(50) av to konsentriske, rørformede strømningskanaler 49 og 50. Kanalen 49 befinner seg mellom et ytre rør 45, og et rør 46, mens kanalen 50 befinner seg mellom røret 46 og et innenfor liggende rør 47. Fiberen 22 passerer gjennom kanalen 51 i det innerste røret 47. Den høye temperaturen som oppstår i plasmasonen eller plasmaskyen 31, krever en eller annen form for kjøling av den øvre delen 52 av røret 45. En dekkgass kan tilsettes gjennom et rør 4 2 til kanalen 49. Dekkgassene og de plasmadannende gasser passerer oppover gjennom sine respektive konsentriske kanaler 50, 4 9 til området hvor den ringformede plasmaskyen 31 foreligger. Dersom det ønskes, og under forutsetning av at dette ikke vil påvirke de optiske eller mekaniske egenskaper til fiberen 22 i uheldig retning, kan kjølegass, slik som nitrogen, føres inn gjennom den kanalen 51 til det sentrale området i plasmasonen 31 for å skjerme den allerede trukne fiber 22 slik at denne ikke smelter.

I enkelte tilfeller kan det være ønskelig å bruke ekstra kjøling. Således kan det, som vist i fig. 1, innføres et kort rør 48 som omgir rørdelen 52 slik at det her dannes et kjøle-kammer 53 som kan være åpent eller lukket i retning oppover. Et kjølefluidum, slik som vann, føres inn i kjølekammeret 53 gjennom et rør 44 og tappes ut derfra gjennom et rør 43. Det sirkule-rende vann eller annet kjølefluidum, opprettholder temperaturen i rørdelen 52 på et relativt lavt nivå.

Under visse driftstilstander kan det være ønskelig å rever-sere eller bytte om posisjonene til strømningene av de ulike gassmedia.' Det plasmadannende, gassformede medium kan f.eks. føres inn i kanalen 49, mens skjermgassen kan føres inn i kanalen 50, nå for å beskytte preformen 21 eller dens del 23 mot overdreven oppheting fra plasmaet 31. Under slike forhold må kjø-lingen til rørdelen 52 selvfølgelig måtte utføres på en annen måte enn ved hjelp av det skjermende gassmedium, - f.eks. ved hjelp av den ovenfor nevnte vannkjøling.

Imidlertid er det også mulig å sørge for kjøling av det ytre rør 45 eller dets forlengelse 52 ved hjelp av et gassformet kjølemedium samtidig som preformen 21 og/eller dens del 23 kjøles av dekkgass, uten at det er nødvendig å introdusere den innerste strømmen av gassformet medium gjennom kanalen 51. En plasma-brenner som er egnet for en slik anvendelse, er vist i fig. 2, hvor de samme referansetall som benyttet i fig. 1 er anvendt for å betegne tilsvarende deler.

I fig. 2 omfatter plasmabrenneren i tillegg til rørene 45, 46 og 47 et ekstra rør 54, som delvis ligger inne i røret 47 og er koaksielt omgitt av dette, for å danne en ekstra kanal 55. En kjølegass, som f.eks. argon eller nitrogen, kan føres inn i kanalen 55 gjennom et rør 56. Denne kjølegassen strømmer, etter at den kommer ut av kanalen 55, til preformen 21 for å kjøle denne og beskytte den mot overdreven oppvarming fra plasmaet 31. Fiberen 22 trekkes gjennom kanalen 51, som er adskilt fra kanalen 55 ved røret 54. På denne måten blir den nettopp trukne fiber 22 beskyttet mot for sterk avkjøling.

Fig. 2 viser også at forlengelsen 52 av røret 45 kan omfatte en sylindrisk del 56 med større diameter enn røret 45. En praktisk talt konisk overgangssone 57 forbinder den sylindriske delen 58 av røret 52 med røret 45. Overgangssonen 57 ligger nedstrøms for varmesonen som inneholder plasma 31, og etterfølges i nedstrøms retning av den forstørrede sylindriske delen 58. På denne måten kan tverrsnittsarealet til gjennomstrømningsåpningen i brenneren økes nedstrøms for varmesonen. Dette resulterer i en reduksjon av hastigheten til det gassformede medium slik at oppholdstiden for det gassformede medium i dette området, og dermed også varmemengden som overføres til en volumenhet av denne gassen, øker.

For å oppnå den ønskede form på plasma-sonen eller -skyen 31, må inngangseffekten til den høyfrekvente generator (33) og strøm-ningshastigheten til gassen styres. Disse parametre må justeres omhyggelig i forhold til hverandre for å sikre at en ringformet plasmasone fås. Et eksempel på parametre som egner seg for å få en ringformet plasmasone kan f.eks. være som følger: Den høyfre-kvente generator har en effektutgang som er omtrent 10-11% av dens maksimale 20 kW når bare argon ble benyttet som plasmafor-mende gass. Gitterstrømmen var omtrent 110 mA, anodespenningen var omtrent 5,8 kV, anodestrømmen var ca. 0,4 A, mens frekvensen var 23,6 MHz. Effektuttaket fra den høyfrekvente kilden ble øket til omkring 12-13% når en 50-50 blanding av argon og oksygen ble benyttet som plasmadannende gassformet medium.

I plasmabrenneren i henhold til fig. 2 hadde rørene 45, 46, 47 og 54 følgende dimensjoner: Røret 45: Dets hoveddel har en ytre diameter på 28 mm og en veggtykkelse på 1,0 mm, mens dets forlengelse 52 har en ytre diameter på 35 mm. Røret 46 har følgende dimensjoner: En ytre diameter på 25 mm og en veggtykkelse på 1,0 mm. Røret 47 har følgende dimensjoner: En ytre diameter på 12 mm og en veggtykkelse på 1,0 mm. Det innerste røret 54 har følgende dimensjoner: En ytterdiameter på 7 mm og en veggtykkelse på 1,0 mm. Lignende dimensjoner ble benyttet i plasmabrenneren på fig. 1. I plasmabrenneren hadde de plasma-dannende gasser argon eller blandinger av argon og oksygen, følgende strømningshastigheter: Argon 0,5 - 1,0 l/min. ved et trykk på 1,4 kg/cm 2, og/eller oksygen 0,5 - 1,0 l/min ved et trykk på 1,75 kg/cm 2, for en total strøm på ca. 1,0 1 pr. min. For kjølegassen "i kanalen 49 -gjelder: Argon 12,0 - 17,0 l/min. ved et trykk på 1,4 kg/cm 2, og/eller oksygen 5,0 - 10,0 l/min. ved et trykk på 1,75 kg/cm 2 for en total strøm på ca. 17 l/min. Kjølegass i kanalen 55: Argon eller nitrogen ca. 2-3 l/min. ved et trykk på 1,4 kg/cm <2>.

Rørene 42, 41 og/eller 56 hadde en ytre diameter på ca. 4 mm og en veggtykkelse på ca. 1 mm. For å få en uniform fordeling av de forskjellige gassformede medier fra de respektive kanaler 49, 50 og/eller 55 i varmesonen, er rørene 42, 41 og/eller 56 orien-tert praktisk talt tangensielt til sine respektive kanaler 49, 50 og/eller 55, som vist i fig. 3. På denne måten entrer de respektive gassformede medier sine kanaler 49, 50 og/eller 55 med en bevegelseskomponent bare eller hovedsakelig i omkretsretning, slik at de gassformede media blir jevnt fordelt over tverrsnittene til de respektive kanalene 49, 50 og/eller 55 ved deres oppstrøms-ender, mens bevegelsene av slike gassformede media mot varmesonen forårsakes utelukkende eller hovedsakelig av trykkforskjellen mellom oppstrømaendene til kanalene 49, 50 og/eller 55 og varmesonen. Periferikomponenten til bevegelsen blir hovedsakelig undertrykt eller eliminert før det respektive gassformede medium når nedstrømsenden til den respektive kanal 49, 50 eller 55. Således vil plasmaet 31 dannes i en uforstyrret omgivelse.

Mens rørene 42, 41 og 56 i fig. 3 er vist anbragt slik at de overfører en roterende bevegelse til de respektive gassformede media som strømmer ut fra dem, inn i de respektive kanaler 50, 4 9 og 55, er det også mulig å forandre orienteringen til et av rørene 42, 41 og 56, og da særlig den førstnevnte, slik at et spinn i motsatt retning vil bli meddelt mediet.

En ringformet plasmaflamme har en lavere temperatursone i sentrum av ringen enn rundt selve ringen, slik at preformen 21, og da spesielt den nytrukne fiberen 22, ikke blir oppvarmet for kraftig.

Claims (10)

1. Fremgangsmåte for fremstilling av en optisk fiber fra en optisk preform hvor preformens ene ende befinner seg i en varmesone, og hvor fiberen trekkes ut av preformen fra denne varmesonen, karakterisert ved at

- preformens ene ende anbringes i en atmosfære av plasma-dannende gass, - den plasmadannende gassen eksiteres fra en energikilde slik at det dannes en plasmasky ved eller nær preformens endeparti, - den plasmadannende atmosfære opprettholdes ved at plasma-dannende gass ledes gjennom varmesonen.

2. Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at den dessuten omfatter ett eller flere av de neden-nevnte trekk: - plasmaskyen.skjermes mot forstyrrelser fra omgivelsene, - utvalgte områder av preformen og fiberen beskyttes mot for sterk oppvarming, - utvalgte områder av preformen, fiberen og/eller den benyttede apparatur avkjøles.

3. Apparat for bruk ved trekking-av en optisk fiber (22) fra en preform (21), og hvor den enden av preformen (23) som skal trekkes ut til en fiber (22) føres gjennom en varmesone i apparatet, karakterisert ved at den omfatter rør (41, 46, 47) for opprettholdelse av en plasmadannende atmosfære i varmesonen, samt eksiteringsutstyr (33) for å eksitere, i atmosfæren som foreligger i varmesonen, en ringformet plasmasky (31) som omgir enden (2 3) av preformen (21) på en perifer måte.

4. Apparat ifølge krav 3, karakterisert ved rør (41, 46, 47) for forsyning av varmesonen med en plasmadannende gass (Ar og/eller O^) i form av en gass-strøm (50) med ringformet tverrsnitt.

5. Apparat ifølge krav 4, karakterisert ved at det omfatter minst to rør (46,47) sentrert omkring en felles akse, slik at det ene rør (46) omgir det andre (47),og slik at de to rørene sammen avgrenser en ringformet strømningskanal (50) , for den plasmadannende gassen, med sin oppstrømsende fjernt fra varmesonen og med sin nedstrømsende i varmesonen, mens det innerste (47) av rørene avgrenser en innvendig kanal (51) for koaksiell fremføring av den uttrukne fiber (22) , og hvor det dessuten omfatter minst ett rør (41) for å lede den plasma-dannende gassen inn i strømningskanalens oppstrømsdel.

6. Apparat ifølge krav 5, karakterisert ved at det dessuten omfatter: - avskjermingsutstyr for avskjerming av plasmaskyen (31) mot påvirkninger fra omgivelsene, fortrinnsvis i form av et ekstra dekkrør (45) som forløper koaksialt med de to rørene (4 6, 47) og fortrinnsvis er forsynt med en forlengelse (52) som strekker seg i nedstrøms retning forbi nedstrømsenden til strømnings-kanalen (50) og der omslutter i hvert fall varmesonen på en perifer måte, og eventuelt også omfatter avkjølingsutstyr (48) for avkjøling i hvert fall av forlengelsen (52) av røret (45) fra dets utside, fortrinnsvis i form av et kjølekammer som utvendig omgir i hvert fall forlengelsen (52) av røret (45) og rør (43, 44) for å tilføre, sirkulere og fjerne et kjølemedium i kjølekammeret.

7. Apparat ifølge krav 6, karakterisert ved at avskjermingsutstyret dessuten omfatter en dekkgasskanal (49) som styrer en strøm av dekkgass, hvilken strøm har et ringformet tverrsnitt, og forløper koaksialt i forhold til plasmaskyen, idet dekkgassen er valgt fra en gruppe gasser som omfatter argon, oksygen, nitrogen og blandinger av disse, og at dekkgassen fortrinnsvis tilføres gjennom en koaksialdekkgasskanal (49) som er dannet mellom rørene (45 og 46), hvilken dekkgasskanal (49) har en nedstrømsende ved nedstrømsenden til strømnings-kanalen (50) og benyttes for å lede dekkgassen, idet dekkgasskanalen (49) også omfatter et inntaksrør (42), hvorgjennom dekkgassen føres inn i oppstrømsenden av dekkgasskanalen (49).

8. Apparat ifølge krav 6 eller 7, karakterisert ved at avskjermingsutstyret dessuten er forsynt med en utvidet del (58) av dekkrøret (45) som rager i nedstrømsretning utover nedstrømsenden til strømningskanalen (50), slik at dekkelementet perifert omgir i hvert fall varmesonen og avgrenser strømmen til dekkgassen som passerer varmesonen og kjøles av denne, idet forlengelsen (58) har en diameter som overskrider den som gjelder for resten av dekkelementet (4 5).

9. Apparat ifølge krav 6 eller 7, karakterisert ved at den dessuten omfatter rør for å tilføre kjølegass gjennom den indre kanalen (51, fig. 1 el. fig. 2), som rommer fiberen (22) som trekkes, og inn i varmesonen, fortrinnsvis ved at det er innført et ytterligere rør i kanalen (51), slik at denne blir inndelt i en indre fiberkanal (51) og en dermed koaksial kanal (5 5) for kjølegassen, idet kanalen (5 5) også omfatter et inntaksrør (56) for å lede kjølegassen inn i kanalen (51) for langsgående strømning i denne mot og inn i senter av varmesonen.

10. Apparat ifølge krav 5, 6, 7, 8 eller 9, karakterisert ved at kanaler og rør for den plasmadannende gass og dekkgassen er sammenkoblet på en slik måte at de respektive gasser, for et visst tidsrom, og eventuelt automatisk styrt av detekterte driftsparametre, kan omkobles slik at de ledes gjennom kanaler som normalt blir gjennomstrømmet av en annen gasstype.