NL9300744A - Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten. - Google Patents

Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten. Download PDF

Info

Publication number
NL9300744A
NL9300744A NL9300744A NL9300744A NL9300744A NL 9300744 A NL9300744 A NL 9300744A NL 9300744 A NL9300744 A NL 9300744A NL 9300744 A NL9300744 A NL 9300744A NL 9300744 A NL9300744 A NL 9300744A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
laser light
elements
mirrors
light
basic body
Prior art date
Application number
NL9300744A
Other languages
English (en)
Other versions
NL193987B (nl
NL193987C (nl
Original Assignee
Iai Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Iai Bv filed Critical Iai Bv
Priority to NL9300744A priority Critical patent/NL193987C/nl
Publication of NL9300744A publication Critical patent/NL9300744A/nl
Publication of NL193987B publication Critical patent/NL193987B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL193987C publication Critical patent/NL193987C/nl

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • B23K26/0676Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/10Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

INRICHTING VOOR HET OPPAKKEN, POSITIONEREN EN DOOR MIDDEL VAN LASERLICHT OP EEN DRAGER BEVESTIGEN VAN COMPONENTEN
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van toevoer van licht op een drager bevestigen van component=n, waarbij de inrichting omvat: een oppakorgaan voor het oppakken en positioneren van componenten en middelen voor het naar de gepositioneerde component toevoeren van licht.
Een dergelijke inrichting is bekend uit de Nederlandse octrooiaanvrage met nummer 8902537.
Bij deze bekende inrichting is in essentie sprake van verscheidene inrichtingen; een inrichting voor het oppakken en positioneren van de componenten, en twee afzonderlijke inrichtingen voor het toevoeren vai energie. Deze laatste inrichtingen zijn afzonderlijk uitgsvoerd als laserstraalmanipulator, waarbij van elk van deze laser-straalmanipulatoren de richting, waaronder zij laserlicht uitstralen, en de focussering afzonderlijk bestuurbaar zijn. Dit leidt tot een gecompliceerde besturing van een dergelijke gecombineerde inrichting. Bovendien is de kostprijs van een dergelijke inrichting hoog; laserstraal-manipulatoren zijn kostbare bouwstenen, evenals ie voor focussering benodigde lenzenstelsels. Tevens verjen deze bouwstenen tijdrovende uitrichtprocedures.
Het doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een dergelijke gecombineerde inrichting, waarvan de kostprijs aanzienlijk lager is, die gsmakke-lijker kan worden bestuurd, veel compacter is en zich daardoor veel eenvoudiger in een systeem laat integreren. Door het feit dat de oppakinrichting gecombineeri is met de middelen voor het toevoeren van licht behoeft slechts één aandrijforgaan aanwezig te zijn voor het in aen horizontaal vlak bewegen van de gecombineerde inrichting.
Dit doel wordt bereikt, doordat het oppakorgaan en de middelen voor het toevoeren van licht aan eenzelfde beweegbaar basislichaam zijn bevestigd.
Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm worden de middelen voor het toevoeren van energie gevormd door ten minste een in het lichaam opgenomen element dat ingericht is voor het uitzenden van laserlicht langs een zich onder een veranderende hoek in een vlak uitstrekkende bundel.
Andere aantrekkelijke voorkeursuitvoeringsvormen zullen blijken uit de volgende beschrijving van de uitvinding in samenhang met de bijgaande tekeningen, waarin voorstellen: fig. 1: een zijaanzicht van een uitvoeringsvorm van de uitvinding; fig. 2: een schematisch doorsnede-aanzicht van de optische componenten van de in fig. 1 weergegeven inrichting; en fig. 3: een gedeeltelijk weggebroken perspectivisch schematisch aanzicht van een uitvoeringsvorm van de uitvinding.
De in fig. 1 weergegeven inrichting volgens de uitvinding omvat een basislichaam 1 dat door middel van niet in de tekening weergegeven inrichtingen in het horizontale vlak beweegbaar is op de wijze van zogenaamde "pick and place"-machines. Aan de onderzijde van het basislichaam 1 is een oppakinrichting 2 aangebracht die gevormd wordt door een aandrijfinrichting 3 die aan het basislichaam 1 bevestigd is en door een zich vanaf de aandrijfinrichting 3 naar beneden toe uitstrekkende stang 4 en een daarop bevestigd opneemelement 5. Mede door een vertikale beweging, welke gerealiseerd wordt in de aandrijf inrichting 3 dan wel door de complete inrichting in vertikale richting te verplaatsen, is de beschreven inrichting op overeenkomstige wijze als een zogenaamde "piek and place"-inrichting geschikt voor het uit een voorraad-houder opnemen van een te bevestigen component 6 door middel van zijn opneemelement 5 en het op een drager 7 plaatsen van het component.
Verder is boven op het basislichaam 1 een cilinder 8 aangebracht, waarin een deel van een nader toe te lichten optische voorzieningen zijn aangebracht. Aan de boven- zijde van de cilinder is een flexibele lichtgeleider 9 aangebracht. Aan de onderzijde van het basislichaam 1 treden twee laserlichtbundels 10,11 uit, waarbij het manipuleren daarvan in het vervolg zal worden toegelicht.
Ten slotte bevindt zich aan de zijkant van het basislichaam 1 een videocamera 12.
De in fig. 2 schematisch weergegeven opto-mechani-sche voorzieningen zijn opgenomen in de in fig. 1 opgenomen inrichting.
Zoals reeds in fig. 1 getoond is, wordt via een lichtgeleider 9 van een uitwendige, in de tekeningen niet weergegeven laserlichtbron licht toegevoerd. Dit treedt aan het einde 13 van de geleider 9 uit in de vorm van een enigszins divergerende bundel 14 die, door middel van een stelsel van optische componenten, zoals bijvoorbeeld de lenzen 15 en 16, opgewijd wordt tot een parallelle bundel van voldoende diameter om door middel van een prismavormig lichaam 20 voldoende nauwkeurig gesplitst te kunnen worden. Het is echter eveneens mogelijk het laserlicht toe te voeren via een reeks vezels, via een reeks spiegels of via een direct op het basislichaam 1 geplaatste bron.
De parallelle lichtbundel passeert een deels doorlatende spiegel 18 en een focusseringslens 19, waarna de nu convergerende lichtbundel op het prismavormig lichaam 20 terechtkomt dat aan zijn schuine zijden 21,22 van spiegels is voorzien. Door de twee spiegels 21,22 wordt de bundel gesplitst in twee afzonderlijke bundels 23,24 die gereflecteerd worden door instelbare spiegels 26,27 en vervolgens in de vorm van bundels 10,11 uit het basislichaam treden en het component 6 op de drager 7 kunnen verwarmen.
Door het roteren van het prismavormige lichaam 20 verplaatsen de punten, waar de bundels de drager 7 treffen in het dragervlak, zich langs rechte lijnen.
De spiegels 26,27 zijn draaibaar rond de assen 28,29. Door draaiing van de spiegels rond de assen 28,29 kunnen de lijnen die in het dragervlak beschreven worden in de richting loodrecht op de lijnen verplaatst worden. Hierdoor kan de ligging van de lijnen aangepast worden aan de afmetingen van de component.
De lengte van de lijnen kan gestuurd worden door, gesynchroniseerd met de rotatie van het prismavormige lichaam 20, de toevoer van laserenergie op de juiste momenten aan en uit te schakelen, dan wel door de hoek waarom het prismavormig lichaam roteert te bepalen.
Teneinde in het vlak van de drager de focussering langs de eerder beschreven rechte lijnen constant te houden, dient de positie van lens 19 aangepast te worden aan de positie van het punt op de lijn en dus aan de hoekpositie van het prismavormig lichaam.
Hiervoor kan een mechanische constructie worden toegepast die aan de hand van fig. 3 zal worden toegelicht.
Bij verplaatsing van de lijnen in het vlak van de drager in de richting loodrecht op de lijn door rotatie van de spiegels 26,27 rond de assen 28,29 treedt verandering van focussering op. Een geschikte keuze van de ligging van de assen 28,29 minimaliseert dit ongewenste effect. Het resterende effect kan worden opgeheven door aanpassing van de positie van lens 19.
Ten slotte is ter hoogte van de deels doorlatende spiegel 18 een lens 30 aangebracht die gedeelten van het dragervlak en/of de component afbeeldt op een ontvangend element 31 van een niet in de tekening weergegeven videocamera, bijvoorbeeld een CCD-element. De door de videocamera opgenomen beelden kunnen bijvoorbeeld gebruikt worden voor het visueel controleren van het plaatsvindende proces, voor het bepalen van onderlinge posities van oppak-middel en component bij het oppakken, voor het bepalen van de onderlinge posities van component en drager bij het plaatsen en voor visuele inspectie van de component. De positie-informatie kan benut worden om componenten op de gewenste manier op te nemen en de plaatsen.
De inrichting voor het aanpassen van de focusse- ring van de lens 19 aan de hand van de rotatiepositie van het prismavormige lichaam 20 wordt toegelicht aan de hand van fig. 3. Het prismavormige lichaam 20 is bevestigd op een ronde plaat 32 die in zijn geheel, tezamen met het prismavormige lichaam 20 roteerbaar is. Op de buitenzijde van de plaat is een cilinder 33 aangebracht die aan zijn bovenzijde van een geprofileerde rand 34 is voorzien. Een mechanisme, zoals 36,37, zorgt ervoor dat lens 19 conform het profiel bewogen wordt bij rotatie van het prismavormige lichaam. Door correcte profielkeuze wordt bereikt dat de focussering langs de lijnen in het dragervlak constant blijft. Verder zijn tegenover de spiegelvlakken 21,22 van het prismavormige lichaam 20 in de cilinder 33 twee ope-ningen 35 aangebracht, waarvan er slechts één in de tekening getoond is.
Bij de in fig. 3 weergegeven uitvoeringsvorm is bovendien sprake van extra spiegels 38,39 die bijvoorbeeld toepassing vinden bij het solderen van een component 6 die aan vier zijden van aansluitdraden is voorzien.
Indien het prismavormig lichaam vervangen wordt door een piramidevormig lichaam en elke spiegel 26,27, 38,39 voorzien wordt van een corresponderend gat in cilinder 33, dan is het zelfs mogelijk vierkante componenten aan vier zijden gelijktijdig te solderen.
De spiegels kunnen individueel of per paar tegenover elkaar gelegen spiegels worden versteld. Aandrijving kan handmatig en motorisch gerealiseerd worden. De handmatige aandrijving is bijvoorbeeld geschikt voor een uitvoeringsvorm van de uitvinding die geschikt is voor het lossolderen van componenten bij herstel van gedrukte bedradingskaarten, en het opnieuw plaatsen van vervangende componenten. Voor het richten kan dan bijvoorbeeld gebruik gemaakt worden van zichtbaar laserlicht.
De bovenstaande uitvoeringsvorm heeft betrekking op laserlicht; de uitvinding is echter ook toepasbaar op andere soorten licht die via een vezel transporteerbaar zijn.

Claims (15)

1. Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van toevoer van licht op een drager bevestigen van componenten, waarbij de inrichting omvat: een oppakor-gaan voor het oppakken en positioneren van componenten en middelen voor het naar de gepositioneerde component toevoeren van licht, met het kenmerk, dat het oppakorgaan en de middelen voor het toevoeren van licht aan eenzelfde beweegbaar basislichaam zijn bevestigd.
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de middelen voor het toevoeren van licht gevormd worden door ten minste één in het basislichaam opgenomen element, dat ingericht is voor het uitzenden van licht langs een zich onder een veranderende hoek in een vlak uitstrekkende bundel.
3. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat in het basislichaam twee elementen zijn opgenomen, en dat de hoek, waaronder elk van de elementen hun lichtbundel uitzenden, synchroon bestuurbaar is.
4. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat in het basislichaam vier elementen zijn opgenomen, die symmetrisch ten opzichte van elkaar zijn gerangschikt, en dat de hoek, waaronder de elementen hun lichtbundel uitzenden synchroon bestuurbaar is.
5. Inrichting volgens conclusie 2, 3 of 4, met het kenmerk, dat de inrichting met behulp van een optische verbinding met een externe laserlichtbron is verbonden, en dat in het basislichaam een verdeelinrichting voor laserlicht aanwezig is, waarvan de ingangsaansluiting met een laserlichtbron is verbonden, en waarvan de uitgangsaan-sluiting met de elementen is verbonden.
6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de verdeelinrichting een van afgeschuinde top-vlakken voorziene lichaam op de topvlakken waarvan spie- gels zijn aangebracht, en een met de ingangsaansluiting gekoppeld lenzenstelsel omvat voor het op het van afgeschuinde topvlakken voorziene lichaam werpen van een laserlichtbundel, en dat de elementen elk een spiegel met een instelbare positie omvatten.
7. Inrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het van afgeschuinde topvlakken voorziene lichaam om zijn centrale as roteerbaar is.
8. Inrichting volgens conclusie 6 of 7, met het kenmerk, dat de as, waarom de spiegels instelbaar zijn, buiten de spiegel is gelegen.
9. Inrichting volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat de as, waarom de spiegels instelbaar zijn, zodanig is gelegen, dat bij verandering van de hoekpositie van de spiegels, de hieruit voortvloeiende defocussering van de laserbundel op het component minimaal is.
10. Inrichting volgens een van de conclusies 6-9, met het kenmerk, dat de positie van ten minste één, tot het lenzenstelsel behorende lenzen veranderbaar is.
11. Inrichting volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat de lens, waarvan de positie veranderbaar is, wordt aangedreven in afhankelijkheid van de rotatiepositie van het van afgeschuinde topvlakken voorziene element.
12. Inrichting volgens een van de conclusies 6-11,met het kenmerk, dat in het lenzenstelsel een deeldoor-latende spiegel is aangebracht voor het uitkoppelen van een lichtbundel naar een videocamera.
13. Inrichting volgens een van de conclusies 5-12, met het kenmerk, dat tussen de verdeelinrichting en de elementen een sluiter is geplaatst.
14. Inrichting volgens een van de conclusies 5-13, met het kenmerk, dat de verdeelinrichting ingericht is voor het veranderen van de verhouding, waarin de energie van de gesplitste laserlichtbundels verdeeld worden.
15. Inrichting volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk, dat de inrichting koppelbaar is met een laserlichtbron die ingericht is voor het uit- zenden van zichtbaar laserlicht, en dat de hoekposities van de spiegels met de hand instelbaar is.
NL9300744A 1993-05-03 1993-05-03 Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten. NL193987C (nl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9300744A NL193987C (nl) 1993-05-03 1993-05-03 Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9300744A NL193987C (nl) 1993-05-03 1993-05-03 Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten.
NL9300744 1993-05-03

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL9300744A true NL9300744A (nl) 1994-12-01
NL193987B NL193987B (nl) 2000-12-01
NL193987C NL193987C (nl) 2001-04-03

Family

ID=19862355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL9300744A NL193987C (nl) 1993-05-03 1993-05-03 Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL193987C (nl)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19618533A1 (de) * 1996-05-08 1997-11-13 Siemens Ag Vorrichtung zur ortsgenauen Fixierung von Mikrochips
US6538229B1 (en) 1996-05-08 2003-03-25 Infineon Technologies Ag Method for the positionally accurate adjustment and fixing of a microoptical element

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60172023A (ja) * 1984-02-17 1985-09-05 Nec Corp レ−ザ集光装置
DE3627420A1 (de) * 1985-08-13 1987-02-26 Toshiba Kawasaki Kk Optisches system zur strahlenlenkung
EP0426069A2 (en) * 1989-10-31 1991-05-08 Japan Tobacco Inc. Perforating apparatus for cylindrical articles

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60172023A (ja) * 1984-02-17 1985-09-05 Nec Corp レ−ザ集光装置
DE3627420A1 (de) * 1985-08-13 1987-02-26 Toshiba Kawasaki Kk Optisches system zur strahlenlenkung
EP0426069A2 (en) * 1989-10-31 1991-05-08 Japan Tobacco Inc. Perforating apparatus for cylindrical articles

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KREUTZ ET AL.: "TECHNIC AND DESIGN OF HANDLING, FORMING AND EXPLOITING HIGH POWER LASER BEAMS IN APPLICATIONS", 5ÈME COLLOQUE INTERNATIONAL SUR LE SOUDAGE ET LA FUSION PAR FAISCEAUX D'ELECTRONS ET LASER, 18 June 1993 (1993-06-18), LA BAULE, pages 629 - 640, XP000379820 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 10, no. 19 (P - 423)<2076> 24 January 1986 (1986-01-24) *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19618533A1 (de) * 1996-05-08 1997-11-13 Siemens Ag Vorrichtung zur ortsgenauen Fixierung von Mikrochips
US6538229B1 (en) 1996-05-08 2003-03-25 Infineon Technologies Ag Method for the positionally accurate adjustment and fixing of a microoptical element

Also Published As

Publication number Publication date
NL193987B (nl) 2000-12-01
NL193987C (nl) 2001-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0664066B1 (en) Image mover
CN101595414B (zh) 扫描共焦显微术中的改进以及与之相关的改进
US7070342B2 (en) Low profile system for joining optical fiber waveguides
EP0740178B1 (en) Anamorphic illumination system for light modulator
DE3942771C1 (nl)
US20130093873A1 (en) System for synchronization in a line scanning imaging microscope
JP2001512851A (ja) プレーナバーチャルイメージを作成・表示する装置および方法
US20130003172A1 (en) Scanning microscope and method for optically scanning one or more samples
NL8104035A (nl) Richtinrichting.
KR101056484B1 (ko) 사각 광경로를 형성하는 광학 시스템 및 그 방법
DE19725592A1 (de) Fernglas mit Vibrationskompensation
KR880007163A (ko) 마이크로 비임 레이저 머쉰
NL8902320A (nl) Inrichting voor het vormen van regenbogen.
JP3861357B2 (ja) 光学装置と一体化された顕微鏡用レボルバおよび顕微鏡
NL9300744A (nl) Inrichting voor het oppakken, positioneren en door middel van laserlicht op een drager bevestigen van componenten.
US20030076585A1 (en) Optical system for enhancing the image from a microscope&#39;s high power objective lens
US5414458A (en) Semiconductor device lead inspection system
US4878933A (en) Apparatus for fusion splicing optical fibers
JP4603283B2 (ja) システム顕微鏡
EP0779535A1 (en) Camera with variable deflection
US4933756A (en) Eye fundus camera
JP4063469B2 (ja) 超微小空隙から内部を観察するための装置
CN210119336U (zh) 一种基于wdm反射端耦合系统
WO2017162256A1 (en) Spatio-temporally light modulated imaging system including vertical cameras, and method for confocal imaging an object
US3495517A (en) Airborne viewfinder means with fiber optics

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20041201