NL8801983A - Beeldweergaveinrichting. - Google Patents

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Beeldweergaveinrichting.

De uitvinding heeft betrekking op eenbeeldweergaveinrichting die een geëvacueerd omhulsel met in hoofdzaakvlakke, op een afstand van elkaar geplaatste voor- en achterwanden, eenlaag luminescerend materiaal langs het binnenoppervlak van de voorwand,een generatiesysteem voor het genereren van meerdere, in een rijgerangschikte, elektronenbundels die zich praktisch in hoofdzaakevenwijdig aan de voorwand bewegen en een afbuigsysteem voor hetafbuigen van de elektronenbundels naar het beeldscherm bevat, waarbijiedere elektronenbundel één kolom beeldelementen aftast.

Een dergelijke beeldweergaveinrichting is bekend uit hetAmerikaanse octrooischrift 2,858,464, waarin een beeldweergaveinrichtingbeschreven is die terzijde van de laag luminescerend materiaal, hierverder ook "het beeldscherm· genoemd, een generatiesysteem bevat met eenlijnkathode omgeven door een binnenste en een buitenste cilindrischeelektrode, die van rijen openingen zijn voorzien. Het aantal openingenin de buitenste elektrode komt overeen met het aantal vertikale kolommenbeeldelementen. Het generatiesysteem bevat verder twee buiten en langsde buitenste elektrode geplaatste afbuigspoelen. In een uitvoeringsvorm,getoond in figuur 3 van dit octrooischrift, zijn de openingen in deelektroden zo geplaatst en de afbuigspoelen, de lijnkathode en deelektroden zo gevormd dat in bedrijf selectief steeds vanuit éénopening in de buitenste elektrode een elektronenbundel in een vlaknagenoeg parallel aan het beeldscherm wordt gegenereerd. Hetafbuigsysteem bevat afbuigelektroden op de achterwand. Door selektievebekrachtigen van de afbuigelektroden wordt een elektronenbundel naar hetbeeldscherm afgebogen. Op deze wijze wordt een beeld op het beeldschermopgebouwd.

In beeldbuizen treden beeldfouten op, onder andere alsgevolg van magnetische velden. Het waarneembare gevolg van dergelijkefouten is een vervorming in positie van het beeld en/of kleur. Deinvloed van magnetische velden is groter naarmate de energie van deelektronen in de elektronenbundel minder is. In beeldbuizen van de in de eerste alinea omschreven soort worden meestal relatief laagenergetischeelektronenbundels (met energie minder dan enkele KeV) gegenereerd.

De uitvinding heeft ten doel een beeldweergaveinrichtingte verschaffen waarvoor beeldfouten verminderd zijn.

Een beeldweergaveinrichting van de in de eerste alineavermelde soort is hiertoe volgens de uitvinding gekenmerkt doordat debeeldweergaveinrichting generatiemiddelen voor het genereren vantenminste één separate ijkbundel, afbuigmiddelen voor het afbuigenvan de tenminste ene ijkbundel naar een bijbehorende trefstrook enbepalingsmiddelen voor het bepalen van een trefvlek van de tenminste eneijkbundel op de bijbehorende trefstrook, en met de bepalingsmiddelenaanstuurbare correctiemiddelen voor het corrigeren van de banen van deelektronenbundels bevat.

Het is hierdoor mogelijk voor de invloed van magnetischevelden op de afbuiging te compenseren. In bedrijf wordt de trefvlek vande ijkbundel bepaald met behulp van de bepalingsmiddelen. De trefvlek isgecorreleerd met de trefvlekken van de elektronenbundels op hetbeeldscherm. Afwijkingen van de trefvlek van de ijkbundel van een idealetrefvlek vormen een maatstaf voor optredende beeldfouten. In debeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding wordt in bedrijf deafbuiging van de elektronen naar het beeldscherm gecorrigeerd aan dehand van deze afwijkingen. Onder separate ijkbundel wordt hier eenelektronenbundel verstaan die geen element uitmaakt van de rijelektronenbundels waarmee een beeld op het beeldscherm wordt opgebouwd.Onder corrigeren van de banen elektronenbundels dient zowel eencorrectie van de richting van de baan, als van de vorm van deelektronenbundel, bijvoorbeeld een correctie van de focussering,verstaan te worden.

Een uitvoeringsvorm van de beeldweergaveinrichtingvolgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de generatiemiddelen voorhet genereren van tenminste één ijkbundel parallel aan en naast derij geschikt zijn en de bijbehorende trefstrook zich naast hetbeeldscherm uitstrekt.

De ijkbundel zou zich tussen de elektronenbundels kunnenuitstrekken, de bij de ijkbundel behorende trefstrook strekt zich dantussen de fosforlijnen uit. Bij voorkeur strekt de ijkbundel zich echternaast en parallel aan de rij uit en strekt de trefstrook zich naast de luminescerende laag uit. Daar de ijkbundel zich naast en parallel aan derij elektronenbundels uitstrekt, zijn de afwijkingen in de ijkbundel opeenvoudige wijze gecorreleerd aan de afwijkingen in de rijelektronenbundels, zonder dat de ijkbundel het beeld kan verstoren, daardeze zich buiten het beeld bevindt.

Een verdere uitvoeringsvorm van de beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordatde generatiemiddelen voor het genereren van tenminste één ijkbundelnaast beide einden van de rij geschikt zijn.

Beeldfouten zijn dan aan twee zijden van het beeldschermte bepalen. Een gemiddelde beeldfout over het beeldscherm zowel als eenverloop van een beeldfout over het beeldscherm is dan te bepalen. Ditlevert een uitbreiding van de mogelijkheden tot correctie van hetafbuigsysteem.

Een nog weer verdere uitvoeringsvorm van debeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordatde generatiemiddelen, de trefstroken en de afbuigmiddelen symmetrischten opzichte van een lijn door het midden van de luminescerende laaggevormd zijn.

Dit vereenvoudigt het bepalen van een verloop van eenbeeldfout over het beeldscherm.

Een uitvoeringsvorm van de beeldweergaveinrichtingvolgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de generatiemiddelen voorhet genereren van tenminste twee ijkbundels naast een einde van de rijgeschikt zijn.

Verschillende beeldfouten kunnen optreden: verschuivingenvan de elektronenbundels parallel aan de trefstroken, verschuivingendwars op de trefstroken en focusseringfouten. Door het gebruik van tweeijkbundels is het beter mogelijk verschillende fouten te bepalen.

In een verdere uitvoeringsvorm overlappen twee zich naastelkaar uitstrekkende trefstroken elkaar gedeeltelijk. Hierdoor nemen detrefstroken minder ruimte in.

Bij voorkeur is het generatiesysteem opgebouwd uitonderling nagenoeg gelijke eenheden, waarbij elke eenheid geschikt isvoor het genereren van één elektronenbundel. Dit vereenvoudigt hetsamenstellen van het generatiesysteem en maakt correctie van de banenvan de elektronenbundels eenvoudiger.

In een uitvoeringsvorm bevat iedere eenheid eenhalfgeleider-kathode met een emitterend oppervlak en een stapelelektroden. Halfgeleiderkathoden werken bij relatief lage temperaturen.Dit vermindert thermische spanningen en daardoor door thermischespanningen optredende beeldfouten.

Bij voorkeur zijn de elektroden geïntegreerd tot eenstapel plaatelektroden. Dit vereenvoudigt het samenstellen van hetgeneratiesysteem en vermindert thermische spanningen.

Een verdere uitvoeringsvorm van de uitvinding wordtgekenmerkt doordat de generatiemiddelen van modulatiemiddelen voor hetmoduleren met een modulatiefrequentie van de intensiteit van detenminste ene ijkbundel voorzien zijn en de bepalingsmiddelen voorzienzijn van filtermiddelen voor het meten van een frequentiecomponent vaneen signaal in een frequentiegebied rondom de modulatiefrequentie.

In bedrijf wordt de intensiteit van de ijkbundelgemoduleerd met een modulatiefrequentie. De bepalingsmiddelen zijngeschikt voor het detecteren van de frequentiecomponent van een signaalrondom de modulatiefrequentie. Het voordeel hiervan is dat een door hettreffen van de ijkbundel op de trefstrook geïnduceerd signaal zonderveel verzwakking gedetecteerd wordt terwijl storende signalen afkomstigvan de elektronenbundels waarmee het beeld op het beeldscherm wordtopgebouwd worden weggefilterd daar zulke storende signalen in hetalgemeen geen of slechts een zeer geringe frequentiecomponent in hetfrequentiegebied rondom de modulatiefrequentie bevatten.

Als de generatiemiddelen geschikt zijn voor het genererenvan zich naast elkaar uitstrekkende ijkbundels dan zijn degeneratiemiddelen bij voorkeur voorzien van middelen voor het modulerenvan zich naast elkaar uitstrekkende ijkbundels met verschillendemodulatiefrequenties en zijn de bepalingsmiddelen voor de tweeverschillende ijkbundels ieder voorzien van filtermiddelen voor hetmeten van een frequentiecomponent van een signaal in een ·frequentiegebied rondom de modulatiefrequentie van de betreffendeijkbundel.

De signalen van verschillende ijkbundels zijn metverschillende modulatiefrequentie gemoduleerd. Signalen vanverschillende trefstroken zijn dan op eenvoudige wijze te onderscheiden.

In een uitvoeringsvorm bevat de trefstrook cathodoluminescerend materiaal en bevatten de bepalingsmiddelendetectiemiddelen voor het detecteren van door het cathodoluminescerendemateriaal op de trefstrook uitgezonden licht.

In een andere uitvoeringsvorm bevat de trefstrook eenmateriaal met een hoge secundaire elektronenemissiecoêfficcient enbevatten de bepalingsmiddelen detectiemiddelen voor het detecteren vandoor het materiaal met een hoge secundaire elektronenemissiecoêfficientuitgezonden secundaire elektronen.

In nog een andere uitvoeringsvorm bevat de trefstrook eengeleidend materiaal en bevatten de bepalingsmiddelen met het geleidendmateriaal verbonden stroommetingsmiddelen. Op simpele wijze, doorstroommeting, is dan zonder de noodzaak van additionele detectiemiddelende trefvlek bepaalbaar.

Ten opzichte van uitvoeringsvormen waarbij licht ofsecundaire elektronen gedetecteerd worden heeft deze uitvoeringsvorm hetvoordeel dat er geen of weinig storende signalen door het beeldschermgegenereerd worden: Detectiemiddelen voor licht of secundaire elektronenzullen ook gevoelig zijn voor door het beeldscherm uitgezonden licht ofsecundaire elektronen.

De trefstrook kan uit een aantal separate trefgebiedenbestaan. De meest eenvoudige uitvoering is die waarin de trefstrook eennagenoeg over de gehele lengte van de trefstrook samenhangende trefstripbevat. Dit is vooral van voordeel als de trefstrook geleidend materiaalbevat, daar dan weinig elektrische aansluitingen nodig zijn.

Bij voorkeur is de trefstrip zodanig gevormd dat detrefvlek van de ijkbundel in een richting langs de trefstrip bepaalbaaris.

Hiertoe varieert in een uitvoeringsvorm van debeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding de doorsnede van detrefstrip dwars op de trefstrip langs de trefstrip, is in een andereuitvoeringsvorm de trefstrip in een langs de trefstrip gezienversprongen structuur gevormd en in weer een andere uitvoeringsvorm detrefstrip van gebieden met verschillende elektronenacceptatiecoêfficienten voorzien. Uitvoeringsvormen welke de kenmerken van de verschillendeiiierboven genoemde trefstrippen combineren zijn ook mogelijk.

In een uitvoeringsvorm bevatten de bepalingsmiddelen een?aar, parallele, geleidende, over nagenoeg de gehele trefstrook samenhangende, door een niet geleidend kanaal gescheiden trefstrippen.Door vergelijking van de signalen van beide trefstrippen is de trefvlekvan de ijkbundel ten opzichte van de trefstrippen bepaalbaar. Bijvoorkeur is het paar trefstrippen spiegelsymmetrisch ten opzichte vaneen lijn tussen de trefstrippen gevormd. Dit vereenvoudigt het bepalenvan de trefvlek. Het paar van trefstrippen is bij voorkeur zo gevormddat de trefvlek in een richting dwars op de trefstrippen bepaalbaar is.Bij voorbeeld varieert de doorsnede van het kanaal dwars op het kanaallangs het kanaal.

Enige uitvoeringsvormen van de uitvinding worden nu bijwijze van voorbeeld nader beschreven aan de hand van een tekening waarin:

Figuur 1 een gedeeltelijk opengewerkt perspectivischaanzicht van een beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding;

Figuur 2 een doorsnede door een beeldweergaveinrichtingvolgens de uitvinding;

Figuur 3 een bovenaanzicht van een beeldscherm van eenbeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding;

Figuren 4 en 5 bovenaanzichten van beeldschermen vanverdere voorbeelden van beeldweergaveinrichtingen volgens de uitvinding;

Figuur 6 een detail van een beeldweergaveinrichtingvolgens de uitvinding;

Figuren 7a en 7b in bovenaanzicht een voorbeeld van eencorrectiemiddel geschikt voor een beeldweergaveinrichting volgens deuitvinding;

Figuur 8a schematisch een trefstrip geschikt voor eenbeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding en figuur 8b de sterktevan een door het treffen van een ijkbundel op de trefstrip geinduceerdsignaal als functie van de plaats van de trefvlek;

Figuren 9a, 10a en 11a een verdere trefstrip geschiktvoor een beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding en figuren 9b, 10b en 11b de sterkte van een door het treffen van een ijkbundel op detrefstrip geinduceerd signaal als functie van de plaats van detrefvlek;

Figuren 12a, 13a, 14a, 15a, 16, 17, 18 en 19 verderevoorbeelden van trefstroken en trefstrippen geschikt voor een eenbeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding; en

Figuren 12b, 13b, 14b en 15b door trefvlekken gegenereerde signalen tonen.

De figuren zijn schematisch, en niet op schaal getekend,waarbij in de verschillende uitvoeringsvormen overeenkomstige delen alsregel met dezelfde verwijzingscijfers worden aangeduid.

Figuur 1 toont een gedeeltelijk perspectivisch aanzichtvan een beeldweergaveinrichting 1 volgens de uitvinding. Dezebeeldweergaveinrichting bevat in een omhulling 2 een beeldvenster 3 dataan de binnenkant voorzien is van een beeldscherm 4. Verder bevat debeeldweergaveinrichting 1 een generatiesysteem 5 dat een aantalelementen 6 voor het genereren van een rij elektronenbundels 7 bevat.Het generatiesysteem bevat verder een verzameling plaatelektroden 8.Deze plaatelektroden 8 zorgen er onder andere voor dat de door deelementen 6 uitgezonden elektronenbundels 7 versneld worden enuiteindelijk in een richting parallel aan het beeldscherm 4 geemitteerdworden. Door de afbuigelektroden 9 worden de elektronenbundels 7 naarhet beeldscherm 4 afgebogen. Voor het beeldscherm 4 is in dit voorbeeldeen schaduwmasker 10 geplaatst. Het generatiesysteem bevat een aantalnagenoeg gelijke eenheden, waarbij iedere eenheid uit een emitterendelement 6 en bijbehorende delen van de plaatelektroden 8 bevat.

Figuur 2 toont de in figuur 1 weergegevenbeeldweergaveinrichting in doorsnede.

Figuur 3 toont schematisch een vooraanzicht van eenbeeldweergaveinrichting volgens de uitvinding. Naast de elementen 6bevindt zich een generatiemiddel 11 voor het genereren van een ijkbundel12, naast en parallel aan de elektronenbundels 7. Naast het beeldscherm4 strekt zich een trefstrook 13 uit. Niet getoond zijn de afbuigmiddelenvoor het afbuigen van de ijkbundel naar de trefstrook. Iedereelektronenbundel tast een kolom beeldelementen 7a af. Een kolombeeldelementen kan uit een fosforstrip kathodeluminescerend materiaalvan één kleur bestaan. Een kleurenbeeld kan worden gemaaktbijvoorbeeld door iedere derde fosforstrip van een rode fosfor, deernaast gelegen fosforstrip van een blauwe fosfor, en de daarnaastgelegen fosforstrip van een groene fosfor te maken. In een dergelijkeuitvoeringsvorm tast iedere elektronenbundel één strip van éénkleur af. Voordelen van een dergelijke uitvoeringsvorm zijn dat er geenschaduwmasker nodig is en de aansturing van de elementen eenvoudig is.Het nadeel is dat een geringe deviatie van een elektronenbundel dwars op de elektronenbundel tengevolge heeft dat er kleurverschillen optreden.

In de uitvoeringsvorm getoond in figuur 2 bevat debeeldweergaveinrichting een schaduwmasker 10. Iedere kolombeeldelementen 7a is opgebouwd uit een patroon van rode (R), groene (G)en blauwe (B) fosforen. Voor iedere opening in het schaduwmasker bevatde fosforstrip een trio fosforen (R, G, B).

Figuur 4 toont in bovenaanzicht een verder voorbeeld vaneen beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding. Dezebeeldweergaveinrichting bevat middelen 11a en 11b voor het genereren vantwee ijkbundels 12a en 12b aan beide zijde van de rij elektronenbundels7. Naast het beeldscherm 4 strekken zich twee trefstroken 13a en 13buit. Afwijkingen kunnen aan beide zijden van het beeldscherm bepaaldworden. Het is mogelijk zowel een betere bepaling van het gemiddelde vaneen beeldfout te maken, als een verloop van een beeldfout over hetbeeldscherm 4 te bepalen.

Figuur 5 toont in bovenaanzicht een ander voorbeeld vaneen beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding. Dezebeeldweergaveinrichting bevat generatiemiddelen 11c en 11d voor hetgenereren van ijkbundels 12c en 12d. Naast het beeldscherm 4 strekkenzich trefstroken 12c en 12d uit. Door het gebruik van twee ijkbundelszijn beeldfouten nauwkeuriger te bepalen. Bovendien is een beeldfoutzelfs indien één van de generatiemiddelen uitvalt te bepalen.

Figuur 6 toont een detail van de beeldweergaveinrichtinggetoond in figuren 1 en 2. Element 6 is in dit voorbeeld een element vaneen rij halfgeleiderkathoden met een genererend oppervlak voor hetgenereren van elektronen. Element 6 kan ook één of een verzamelingvan veldemissiekathodes bevatten. De verzameling elektroden 8 bevat eenaantal elektroden 14 tot en met 19 voor het versnellen, focusseren engeleiden van de door de generatiemiddelen 6 geëmitteerdeelektronenbundels 7. De elektronenbundels 7 worden door de elektroden 8over een hoek van 90° over een zeer korte afstand afgebogen. Deelektronenbundels worden hierdoor in banen parallel aan het beeldschermgeëmitteerd. Op elektrode 19 is in dit voorbeeld een correctiemiddel21, in de vorm van een tweetal kamvormige elektroden geplaatst.Correctiemiddel 21 is door middel van een isolerende tussenlaag 20 vande elektrode 19 gescheiden.

Figuur 7a toont een vooraanzicht van op correctiemiddel 21. Dit correctiemiddel 21 bestaat in dit voorbeeld uit twee kamvormigeelektroden, de ene elektrode bestaande uit tanden 21a en eenverbindendsstuk 21c, de andere uit tanden 21b en een verbindingsstuk21d. Door openingen 22 treden de elektronenbundels 7. Door de kamvormigeelektrode met verschillende potentialen te bekrachtigen zijn de banenvan de elektronenbundels te corrigeren, in dit voorbeeld in een richtingparallel aan een vlak door de elektronenbundels. Figuur 7b toont eenvooraanzicht op een correctiemiddel om de banen van de elektronenbundelste corrigeren in een richting dwars op een vlak door deelektronenbundels. In dit voorbeeld is het correctiemiddel 21 geplaatstop electrode 19. Dit dient niet als beperkend te worden beschouwd. Hetcorrectiemiddel kan een los van een elektrode staande eenheid vormen,mogelijkerwijs buiten de elektroden 8, vastgemaakt zijn aan een van deandere elektrode, of geïntegreerd zijn in het element 6. Het is ookmogelijk dat zowel een correctiemiddel als weergegeven in figuur 7 alseen correctiemiddel als weergegeven in figuur 8 in debeeldweergaveinrichting bevat zijn. Evenmin dient de vorm van decorrectiemiddelen als beperkend beschouwd te worden. De in figuren 7 en8 weergegeven elektroden vormen slechts een voorbeeld. Het isbijvoorbeeld mogelijk dat correctie van de banen van deelektronenbundels door middel van elektromagnetische veldenplaatsvindt. In deze figuren zijn coorectiemiddelen getoond welke alleelektronen bundels gelijkelijk beïnvloeden. Een dergelijke opstellingkan slechts gemiddelde afwijkingen coorigeren. Het is ook mogelijkcorrectiemiddelen 21d op te splitsen in subcorrectieraiddelenbijvoorbeeld door verbindingsstukken 21c en 21d te onderbreken zoals infiguren 7a en 7b door stippellijnen is aangegeven. Het aantal benodigdeaparte aansluitingen neemt dan evenredig toe. Dan is tevens een verloopvan een beeldfout te corrigeren.

De ijkbundels verschillen bij voorkeur slechts weinig enop een gecontroleerde wijze van de elektronenbundels waarmee het beeldwordt opgebouwd. Dit is op eenvoudige wijze te realiseren indien hetgeneratiemiddel voor het genereren van de ijkbundel en het afbuigmiddelvoor het afbuigen van de ijkbundel naar het beeldscherm nagenoeg eendergevormd zijn als het generatiesysteem voor het genereren van en hetafbuigsysteem voor het afbuigen naar het beeldscherm van deelektronenbundels. Hit de afwijking of afwijkingen van de posities van een of meerdere trefvlekken van ijkbundels is dan de beste correctie tebepalen.

Figuur 8a toont een trefstrip 23. Deze trefstrip wordtdoor een ijkbundel 24 getroffen. Als gevolg van dit treffen wordt eensignaal gegenereerd. Als de trefstrip cathodoluminescerend materiaalbevat dan wordt een lichtsignaal gegenereerd, de intensiteit van ditlicht kan door middel van lichtsensoren gemeten worden. Als de trefstripmateriaal met een hoge secundaire elektronenemissie bevat dan wordensecundaire elektronen uitgezonden welke door middel van eenelektronensensor kunnen worden gemeten. De door de trefstrip uitgezondenelektronen of fotonen kunnen echter een nadelige invloed op hetweergegeven beeld hebben. Bij voorkeur bestaat de trefstrip uitgeleidend materiaal. Door middel van stroommeting is het aantalelektronen dat op de trefstrip valt te bepalen. In figuur 8b is het doorde op de trefstrip vallende elektronen gegenereerde signaal (I) alsfunctie van de plaats (y=langs de trefstrip, x= dwars op de trefstrip)weergegeven. Door middel van trefstrip 23 is wel de positie van detrefvlek van elektronenbundel 24 dwars op de trefstrip, maar niet in eenrichting langs de trefstrip te bepalen.

Figuur 9a toont een trefstrip waarvan de doorsnede dwarsop de trefstrip langs de trefstrip verandert. Het signaal I verandert nuzowel als functie van x als van y zodat de positie van de trefvlek dwarsop de trefstrip bepaalbaar is. Dit is schematisch weergegeven in figuur9b.

Figuur 10a toont een trefstrip waarvan de gearceerdegebieden een hogere elektronenreflektiecoefficient hebben dan de niet-gearceerde gebieden. Het signaal I is zoals figuur 10b toont zowel van xals van y afhankelijk.

Figuur 11a toont een trefstrip met een versprongenstructuur. Figuren 11b tonen het signaal I als functie van y voor x=0 envoor x^O. Duidelijk is te zien dat voor x^O het verloop van hetsignaal als functie y veel complexer wordt, dat wil zeggen dat hetsignaal I uit meer en hogere frequentiecomponenten is opgebouwd, zoalsin de onderste van de figuren 11b is weergegeven, in welke figuur dehorizontale as de frequentie weergeeft en de vertikale as de sterkte vande frequentiecomponenten. Voor x=0 bevat het signaal alleen componentenvoor een frequentie tg en hogere harmonische van fg, voor xfO is er ook een frequentiecomponent voor een frequentie f^.

Figuur 12a toont een trefstrook die twee paralleletrefstrippen 23a en 23b bevat. Figuur 12b toont het verschil van designalen Ia en Ib van respectievelijk trefstrip 23a en trefstrip23b. Dit verschil is 0 indien trefvlek 24 zich midden tussen beidetrefstrippen bevindt.

Figuur 13a toont een trefstrook die twee trefstrippenbevat waartussen zich een kanaal met een variërende doorsnedeuitstrekt. Ook nu is het verschil in intensiteit Ia-Ib 0 indien detrefvlek zich midden tussen de trefstrippen bevindt. De som vanIa+Ib varieert als functie van y zodat de plaats van de trefvlekdwars op de trefstrook bepaalbaar is. Indien de trefvlek nietsymmetrisch is ten opzichte van een lijn langs de trefstrook, maarbijvoorbeeld ei-vormig is, dan kan opgemerkt worden, dat Ia-Ibaltijd een kleine variatie rondom nul zal behouden. Het is dus ookmogelijk enige informatie over de vorm van de trefvlek te verkrijgen.

Figuren 14a en 14b tonen hoe, door gebruik te maken vantwee trefstroken 24 en 25, voor twee ijkbundels, met trefvlekken 26 en27 er meer eigenschappen van de ijkbundels bepaalbaar zijn en derhalvemeer beeldfouten te corrigeren. In figuur 14a verschillen de trefvlekkenin grootte door een verschil in focussering. Het verschil tussen designalen Ij van trefstrip 24 en I2 van trefstrip 25 is 0 indienbeide trefvlekken even groot zijn, en verschilt anders van 0. Dit isschematisch in figuur 14b weergegeven. I-j-^ is een functie van Δ,het verschil in diameter van de trefvlekken 26 en 27. Dit kan gebruiktworden voor het regelen van de focussering van de elektronenbundels, opde volgende wijze: Eén van de bundels wordt overgefocusseerd, de andere zoveelondergefocusseerd totdat de beide trefvlekken even groot zijn. Hieruitis op eenvoudige wijze door interpolatie de "juiste1' focussering tebepalen. Op deze manier is op veel snellere en nauwkeurigere wijze danwanneer slechts één ijkbundel gebruikt wordt, de juiste focusseringte bepalen.

Figuren 15a geven een volgend voorbeeld hoe door hetgebruik van twee ijkbundels, met trefvlekken 30 en 31 respectievelijk,meerdere eigenschappen van de ijkbundels te bepalen zijn. Trefstrippen28 en 29 variëren in doorsnede zodat van ieder van de trefvlekken 30 en 31 de positie langs de trefstrip te bepalen is. Het emissie- ofafbuigmiddel voor ijkbundel met trefvlek 30 heeft een iets andereinstelling van een parameter (bijvoorbeeld een potentiaal op eenelektrode) dan het emissie- of afbuigmiddel voor ijkbundel met trefvlek31. Als gevolg hiervan bevindt trefvlek 30 zich iets "boven" trefvlek31. Het signaal I1(=signaal van trefstrip 28) en het signaall2(=signaal van trefstrip 29) verschillen daardoor in fase. Opeenvoudige wijze is nu het verband tussen deze parameter en de plaatsvan de trefvlek te bepalen. Met behulp van deze gegevens is een beterecorrectie van de banen van de elektronenbundels mogelijk.

Figuur 16 geeft een verder voorbeeld van trefstrokengeschikt voor een beeldweergaveinrichting volgens de uitvinding, waarineen aantal van de aspecten van andere tekeningen gecombineerd zijn. Hierzijn een tweetal trefstroken ieder met twee trefstrippen, 32 en 33respectievelijk 34 en 35, getoond.

Zoals reeds eerder vermeld wordt de intensiteit van deijkbundel bij voorkeur gemoduleerd met een modulatiefrequentie. Door hetsignaal in een frequentiegebied romdom deze modulatiefrequentie temeten, zijn storende signalen van de elektronenbundels of bijvoorbeeldvan door de elektronenbundels geïnduceerde secundaire elektronen "weg"te filteren. Indien het generatiemiddel geschikt is voor het genererenvan twee zich naast elkaar uitstrekkende ijkbundels, en de hierbijbehorende trefstroken zich naast elkaar uitstrekken dan is het met namevoordelig indien de twee ijkbundels met verschillendemodulatiefrequentie gemoduleerd worden. Ten eerste treedt dan geenstorende effecten van de ene ijkbundel op de positiebepaling van deandere ijkbundel op, en ten tweede is het mogelijk om gemeenschappelijketrefstrippen te gebruiken. Figuren 17 en 18 geven hiervan een tweetalvoorbeelden. Het signaal van elektrode 40 veroorzaakt door ijkbundels 38en 39, welke gemoduleerd zijn met frequenties f^ en f2respectievelijk, heeft twee frequentiecomponenten. Op simpele en verderbekende wijze kunnen deze frequentiecomponenten gemeten worden. Devoordelen van gemeenschappelijke trefstrippen zijn een simpelereconstructie en een besparing van ruimte.

Figuur 19 geeft een volgend voorbeeld van een paartrefstroken. In dit voorbeeld bevat dit paar trefstrippen 41, 43, 45 en47, gescheiden door kanalen 42, 44 en 46. Het signaal van een trefstrip X veroorzaakt door een trefvlek Y noemen wij hier I(X,Y).

Grootheden die bijvoorbeeld bepaald kunnen worden zijn: A) Plaats van trefvlek 48 ten opzichte van kanaal 42: volgt uit1(41,48) - (1(43,48) + 1(45,48)) B) Plaats van trefvlek 48 langs kanaal 42: volgt uit1(43,48) of 1(45,48) C) Grootte van trefvlek 48: volgt uitverhoudingen tussen 1(41,48), 1(43,48) en 1(45,48) D) Plaats van trefvlek 49 ten opzichte van kanaal 46: volgt uit1(47,49) - (1(45,49) + 1(43,49)) E) Plaats van trefvlek 49 ten langs kanaal 46: volgt uit1(43,49) of 1(45,49) F) Grootte van trefvlek 49: volgt uitverhoudingen tussen 1(47,49), 1(45,49) en 1(43,49) G) Relatief grootteverschil tussen trefvlek 48 en 49: volgt uit1(41,48)+1(43,48)+1(45,48)-1(43,49)-1(45,49)-1(47,49) H) Relatief verschil in positie van trefvlekken 48 en 49 langs dekanalen 42 en 43: volgt uit vergelijkingen tussen 1(43,48) en 1(45,48) met 1(43,49) en1(45,49)

Het zal duidelijk zijn dat voor de vakman binnen het raam van de uitvinding vele variaties mogelijk zijn.

Claims (26)

1. Beeldweergaveinrichting die een geevacueerd omhulsel metin hoofdzaak vlakke, op een afstand van elkaar geplaatste voor- enachterwanden, een laag luminescerend materiaal langs het binnenoppervlakvan de voorwand, een generatiesysteem voor het genereren van meerdere,in een rij gerangschikte, elektronenbundels die zich praktisch inhoofdzaak evenwijdig aan de voorwand bewegen en een afbuigsysteem voorhet afbuigen van de elektronenbundels naar het beeldscherm bevat,waarbij iedere elektronenbundel één kolom beeldelementen aftast, methet kenmerk, dat de beeldweergaveinrichting generatiemiddelen voor hetgenereren van tenminste één separate ijkbundel, afbuigmiddelen voor het afbuigen van de tenminste ene ijkbundel naar een bijbehorendetrefstrook, bepalingsmiddelen voor het bepalen van een trefvlek van detenminste ene ijkbundel op de bijbehorende trefstrook, en met debepalingsmiddelen aanstuurbare correctiemiddelen voor het corrigeren vande banen van de elektronenbundels bevatten.

2. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 1, met hetkenmerk, dat de generatiemiddelen voor het genereren van tenminsteéén ijkbundel parallel aan en naast de rij geschikt zijn en debijbehorende trefstrook zich naast de luminescerende laag uitstrekt.

3. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 2, met hetkenmerk, dat de de generatiemiddelen voor het genereren van tenminsteéén ijkbundel naast beide einden van de rij geschikt zijn.

4. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 2 of 3, met hetkenmerk, dat de generatiemiddelen, de trefstroken en de afbuigmiddelensymmetrisch ten opzichte van een lijn door het midden van deluminescerende laag gevormd zijn.

5. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 2, 3 of 4, methet kenmerk, dat de de generatiemiddelen voor het genereren vantenminste twee ijkbundels naast een einde van de rij geschikt zijn.

6. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 5, met hetkenmerk, dat twee zich naast elkaar uitstrekkende trefstroken elkaargedeeltelijk overlappen.

7. Beeldweergaveinrichting volgens één der voorgaandeconclusies, met het kenmerk, dat het generatiesysteem opgebouwd is uitonderling nagenoeg gelijke eenheden, waarbij elke eenheid geschikt isvoor het genereren van één elektronenbundel.

8. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 7, met hetkenmerk, dat iedere eenheid een halfgeleider-kathode met een emitterendoppervlak en een stapel elektroden.

9. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 7 of 8, met hetkenmerk, dat de elektroden geïntegreerd zijn tot een stapelplaatelektroden.

10. Beeldweergaveinrichting volgens één der voorgaandeconclusies, met het kenmerk, dat de generatiemiddelen vanmodulatiemiddelen voor het moduleren met een modulatiefrequentie van deintensiteit van de tenminste ene ijkbundel voorzien zijn en debepalingsraiddelen voorzien zijn van filtermiddelen voor het meten vaneen frequentiecomponent van een signaal in een frequentiegebied rondomde modulatiefrequentie.

11. Beeldweergaveinrichting volgens één der voorgaandeconclusies, met het kenmerk, dat de generatiemiddelen geschikt zijn voorhet genereren van tenminste een paar zich naast elkaar uitstrekkendeijkbundels en van modulatiemiddelen voor het moduleren van deintensiteit van ieder van de ijkbundels van het paar met een voor iedereijkbundel van het paar verschillende modulatiefrequentie en debepalingsmiddelen voorzien zijn van filtermiddelen voor het meten vaneen frequentiecomponent van een signaal in frequentiegebieden rondom deverschillende modulatiefrequenties.

12. Beeldweergaveinrichting volgens één der voorgaandeconclusies, net het kenmerk, dat de trefstrook cathodoluminiscerendmateriaal bevat en de bepalingsmiddelen detectiemiddelen voor hetdetecteren van door de trefstrip uitgezonden licht bevatten.

13. Beeldweergaveinrichting volgens één der conclusies 1 tot en met 11, met het kenmerk, dat de trefstook een materiaal met eenhoge secundaire elektronenemissiecoëfficient bevat en debepalingsmiddelen detectiemiddelen voor het detecteren van door detrefstrip uitgezonden secundaire elektronen bevatten.

14. Beeldweergaveinrichting volgens één der conclusies 1tot en met 11, met het kenmerk, dat de trefstrook een geleidend materiaal bevat en de bepalingsmiddelen met het geleidend materiaalverbonden stroommetingsmiddelen bevatten.

15. Beeldweergaveinrichting volgens een conclusies 12, 13 of14, met het kenmerk, dat de trefstrook een over nagenoeg de gehelelengte van de trefstrook samenhangende trefstrip bevat.

16. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 15, met hetkenmerk, dat de trefstrip zodanig gevormd is, dat de plaats van deijkbundel in een richting dwars op de trefstrip bepaalbaar is.

17. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 16, met hetkenmerk, dat de doorsnede van de trefstrip dwars op de trefstrip langsde trefstrip verandert.

18. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 17, met hetkenmerk, dat de doorsnede periodiek verandert.

19. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 16, met hetkenmerk, dat de trefstrip in een versprongen structuur gevormd is.

20. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 16, met hetkenmerk, dat de trefstrip gebieden met verschillendeelektronenacceptatiecoëfficiënten bevat.

21. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 15, met hetkenmerk, dat een trefstrook een paar, parallele, over nagenoeg de gehelelengte van de trefstrook samenhangende, door een kanaal gescheiden trefstrippen bevat.

22. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 21, met hetkenmerk, dat het paar trefstrippen zo gevormd is dat de positie van deijkbundel in een richting dwars op de trefstrippen bepaalbaar is.

23. Beeldweergaveinrichting volgens conclusies 22, met hetkenmerk, dat de doorsnede van het kanaal dwars op het kanaal langs hetkanaal varieert.

24. Beeldweergaveinrichting volgens conclusie 21, 22 of 23,met het kenmerk, dat het paar trefstrippen spiegelsymmetrisch tenopzichte van een lijn tussen de trefstrippen is gevormd.

25. Beeldweergaveinrichting volgens conclusies 21 en 6, methet kenmerk, dat van de beide trefstroken naast elkaar gelegentrefstrippen gescheiden zijn door een meanderend kanaal.

26. Beeldweergaveinrichting volgens conclusies 21 en 6, methet kenmerk, dat de beide trefstroken één trefstripgemeenschappelijk hebben.