NL8501996A - METHOD FOR ILLUMINATING A COPY OF LARGE SIZE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE METHOD - Google Patents
METHOD FOR ILLUMINATING A COPY OF LARGE SIZE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE METHOD Download PDFInfo
- Publication number
- NL8501996A NL8501996A NL8501996A NL8501996A NL8501996A NL 8501996 A NL8501996 A NL 8501996A NL 8501996 A NL8501996 A NL 8501996A NL 8501996 A NL8501996 A NL 8501996A NL 8501996 A NL8501996 A NL 8501996A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- light
- copying
- light source
- surface segment
- segment
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/10—Copying apparatus with a relative movement between the original and the light source during exposure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/14—Details
- G03B27/16—Illumination arrangements, e.g. positioning of lamps, positioning of reflectors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/201—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Description
- 1 - ' * -- 1 - '* -
Werkwijze voor het gelijkmatig belichten van een kopieervlak van groot formaat en een inrichting om de werkwijze uit te voeren.A method for uniformly exposing a large-format copying surface and an apparatus for carrying out the method.
De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze 5 voor het gelijkmatig belichten van een kopieervlak van groot formaat met behulp van een beweegbare lichtbron met begrensde,de kopieervlakken bestrijkend lichtgebied. Werkwijzen van deze soort worden voornamelijk toegepast bij het kopiëren van substraten bestaande uit grote vlakken, bijvoorbeeld voor het foto-10 chemisch vervaardigen van geleiderplaten van groot formaat, of maskers voor het vervaardigen van schaduwmaskers voor kleuren-televisiebuizen.The invention relates to a method 5 for uniformly illuminating a large-format copying surface using a movable light source with limited light area covering the copying surfaces. Methods of this kind are mainly used in copying large area substrates, for example, for photo-chemical fabrication of large format conductor plates, or masks for fabricating shade masks for color television tubes.
In het genoemde toepassingsgebied bestaat de taak in het bijzonder daarin, ontvangers van groot formaat, bijvoor-15 beeld 800 x 1200 mm metend, met absolute betrouwbaarheid bij kopiëren in beide hoofdrichtingen en met in acht neming van streepbreedte-toleranties in het ^um-bereik,te reproduceren.In the said field of application, the task in particular consists in measuring large-format receivers, for example measuring 800 x 1200 mm, with absolute reliability in copying in both main directions and taking into account stripe tolerances in the µm range , to reproduce.
Daarbij heeft de eis van een gelijkmatige belichting van het gehele kopieervlak bijzondere betekenis.The requirement of uniform illumination of the entire copying surface is of particular importance here.
20 Een belichting van het gehele vlak, waarbij het gehele kopieervlak in een keer belicht wordt, geeft bij kopieervlakken van groot formaat bij gebrek aan een geschikte lichtbron teveel moeilijkheden. Omdat voor zo'n belichtingswerkwijze op economische gronden slechts lichtbronnen met kegelvormige 25 lichtbundel gebruikt worden, moet de afstand tussen lichtbron en kopieervlak verhoudingsgewijs groot zijn, opdat het kopieervlak geheel belicht wordt, hetgeen echter tot volumineuze kopieer-inrichtingen leidt. Bovendien moet het masker stevig tegen het de lichtgevoelige laag dragende substraat aangedrukt worden om 30 parallaxfouten te vermijden. Een bekende belichtingsinrichting van dit type is bijvoorbeeld in DE-OS-3243I44 beschreven.An exposure of the entire surface, whereby the entire copy surface is exposed in one go, poses too many difficulties in the case of large-size copy surfaces in the absence of a suitable light source. Since, for economic reasons, only light sources with a cone-shaped light beam are used for such an exposure method, the distance between the light source and the copy surface must be relatively large, so that the copy surface is fully exposed, which, however, leads to bulky copying devices. In addition, the mask must be pressed firmly against the photosensitive layer-bearing substrate to avoid parallax errors. A known exposure device of this type is described, for example, in DE-OS-3243I44.
Door het samenpersen van maskers en substraat bestaat het gevaar van een beschadiging van de lichtgevoelige laag, waardoor ets-fouten en beschadigingen aan de maskeroppervlakken kunnen ont-35 staan.Compression of masks and substrate creates a risk of damage to the photosensitive layer, as a result of which etching errors and damage to the mask surfaces can occur.
£Syt39i 11 Λ « - 2 -£ Syt39i 11 Λ «- 2 -
Om deze redenen wordt voor het belichten van kopieervlakken van groot formaat een werkwijze met voortgaande belichting van delen van een vlak boven de belichting van het gehele vlak verkozen.For these reasons, for exposing large format copying surfaces, a method of continuous exposure of parts of a face over the exposure of the entire face is preferred.
5 De vermelde nadelen van het belichten van het gehele vlak kunnen slechts dan vermeden worden bij. r de voortgaande belichting van delen van het vlak, wanneer voor de beweegbare lichtbron een met gecollimeerde lichtstraling, dat betekent met een cilindervormige lichtbundel, gebruikt wordt en wanneer 10 de as van de lichtbundel in elke fase van de belichting loodrecht op het kopieervlak gericht is. Bekende belichtingswerkwijzen met vaststaande lichtbron, welke door stralen-afbuiging bewogen lijnvormige of waaiervormige stralenbundels opwekt (DE-3109597C2, EB-0083394A3) kunnen aan deze eisen niet voldoen, evenmin als 15 een bewogen lichtbron uit een of meerdere rijen van lampen met kegelvormige lichtbundels (DDR WP 137763). Afgezien van de onder verschillende scherpe hoeken op het kopieervlak opvallende lichtstralen, komt bij het laatstgenoemde voorstel erbij, dat met meerdere puntvormige lichten een gelijkmatige lichtsterkte-20 verdeling op de telkens belichte deelvlakken niet in gewenste mate bereikt kan worden.The stated disadvantages of illuminating the entire surface can only be avoided in this case. the progressive exposure of parts of the plane, when the movable light source uses a collimated light radiation, that is to say with a cylindrical light beam, and when the axis of the light beam is directed perpendicular to the copying plane in each phase of the exposure. Known fixed-light illumination methods generating line-deflected or fan-beam beams (DE-3109597C2, EB-0083394A3) cannot meet these requirements, nor can a moved light source from one or more rows of cone-beam lamps ( DDR WP 137763). Apart from the light rays incident at different sharp angles on the copying surface, the latter proposal also adds that with multiple point-shaped lights an even luminous intensity distribution on the respective exposed surfaces cannot be achieved to the desired extent.
Volgens een ander voorstel (EP 0066892A1) vindt de belichting plaats met behulp van een lichtbuis, die zich over de gehele breedte van het kopieervlak uitstrekt en 25 loodrecht ten opzichte van de buisas over het kopieervlak bewogen wordt. Ook in dit geval is de lichtverstrooiing naar alle kanten, die met een eventueel spieetvormig diafragma slechts in een hoofdrichting van het kopieervlak ingeperkt zou kunnen worden, zo groot, dat de voor de aan het begin vermelde toepassing verlangde 30 kopieernauwkeurigheid bij verre na niet bereikt wordt. Bovendien is de lichtsterkteverdeling bij een lichtbuis langs de buisas niet voldoende gelijkmatig.According to another proposal (EP 0066892A1), the exposure is effected by means of a light tube, which extends over the entire width of the copying surface and is moved perpendicularly to the tube axis over the copying surface. In this case too, the light scattering in all directions, which could be constrained with a possible spatial diaphragm in only one main direction of the copying surface, is so great that the copying precision required for the application mentioned at the outset is nowhere near achieved. . In addition, the light intensity distribution with a light tube along the tube axis is not sufficiently uniform.
In de kopieertechniek is het bekend voor het belichten van het hele vlak van kopieervlakken met klein formaat 35 (bijvoorbeeld tot 200 x 200 mm) een lichtbron met gecollimeerde 8501996 * « J ' - 3 - lichtstraling te gebruiken, om een hoge kopieernauwkeurigheid te bereiken. Zulke lichtbronnen zijn beschikbaar met over de gehele lichtopening gelijkmatige lichtsterkte en maken het daarbij mogelijk op elk belicht punt van het kopieervlak dezelfde 5 lichtenergie om te zetten. Op deze wijze kan een nagenoeg ideale belichting van het kopieervlak bereikt worden.It is known in the copying technique to illuminate the whole surface of small size copying surfaces (for example up to 200 x 200 mm) using a light source with collimated 8501996 * «J '- 3 - light radiation, in order to achieve a high copying accuracy. Such light sources are available with uniform brightness throughout the light aperture, thereby enabling the same light energy to be converted at every exposed point of the copying surface. In this way, an almost ideal exposure of the copying surface can be achieved.
Aan de uitvinding ligt nu de gedachte ten grondslag het probleem van een gelijkmatige belichting van kopieer-vlakken met groot formaat op te lossen door het aanwenden van 10 een beweegbare lichtbron met gecollideerde lichtstraling in een werkwijze met voortgaande belichting van gedeelten van het vlak. Voor dit doel wordt de lichtbron met constante snelheid in de beide hoofdrichtingen van het kopieervlak voortbewogen, totdat het gehele kopieervlak blootgesteld is. Het door de licht-15 bron op het kopieervlak opgewekte lichtgebied bestrijkt daarbij ditzelfde in een vastgelegd spoor, waarvan het verloop zo gekozen moet worden, dat in de randzones van naburige sporen geen onderbelichting of overbelichting plaatsvindt, welke dan zou optreden, wanneer naburige sporen elkaar niet geheel raken, respektievelijk 20 overlappen. Om ook dit gebrek te vermijden is een zeer nauwkeurige geleiding van de beweegbare lichtbron vereist. Het daartoe benodigde gebruik van apparaten is echter bij de vereiste hoge nauwkeurigheid aanzienlijk, om welke reden de uitvinding in dit opzicht een andere weg voorstelt.The present invention is based on the idea of solving the problem of uniform illumination of large-format copying surfaces by using a movable light source with collimated light radiation in a method of continuous exposure of parts of the surface. For this purpose, the light source is moved at a constant speed in both main directions of the copy plane until the entire copy plane is exposed. The light region generated by the light source on the copying surface covers the same in a recorded track, the course of which must be chosen such that in the edge zones of neighboring tracks no underexposure or overexposure takes place, which would then occur if neighboring tracks meet each other. do not touch completely, or overlap, respectively. In order to also avoid this defect, a very precise guidance of the movable light source is required. However, the use of devices required for this purpose is considerable with the required high accuracy, for which reason the invention proposes a different way in this regard.
25 De werkwijze overeenkomstig de uitvinding is daardoor gekenmerkt, dat een door een lichtbron met gecollimeerde lichtstraling opgewekt lichtgebied het kopieervlak in meerdere evenwijdige sporen met bepaalde spoorbreedte bestrijkt, waarbij naburige sporen in een randzone van bepaalde breedte elkaar 30 gedeeltelijk overlappen, en dat aan de tweemaal doorlopen randzone bij elke passage van het lichtgebied telkens de helft van de voor deze zone benodigde lichtenergie toegevoerd wordt.The method according to the invention is characterized in that a light region generated by a light source with collimated light radiation covers the copying surface in a plurality of parallel tracks with a given track width, with neighboring tracks in an edge zone of a given width partially overlapping each other, and that at the twice run through the edge zone with each passage of the light area, each time half of the light energy required for this zone is supplied.
Op deze wijze wordt een gelijkmatige belichting van kopieervlakken van groot formaat gewaarborgd. Door diwfe-35 lichting - : - van de randzones volgens de uitvinding 8501996 - 4 - « ,, wordt een overgang zonder fouten tussen naburige lichtgebied— sporen bereikt. De eisen aan de nauwkeurigheid van het geleidings- orgaan voor de beweegbare lichtbron zijn minder hoog, omdat geen scherpe grenslijn tussen naburige sporen gevolgd behoeft te worden.In this way, an even illumination of large format copy surfaces is ensured. By diwfe-35 lifting of the edge zones according to the invention 8501996-4, a transition without errors between neighboring light region tracks is achieved. The requirements for the accuracy of the guiding member for the movable light source are less high, because a sharp boundary line between adjacent tracks need not be followed.
ook 5 De uitvinding heef t' betrekking op een inrichting om deze werkwijze uit te voeren onder toepassing van een lichtbron met gecollimeerde lichtstraling. Hij wordt daardoor gekenmerkt, dat voor de lichtbron een diafragma geplaatst is, waarvan de opening een middelste rechthoekig vlaksegment en telkens een 10 de randzone bepalend vlaksegment vertoont, waarbij de laatste half zo groot is als een gelijk breed deel van het middelste vlaksegment..The invention also relates to a device for carrying out this method using a light source with collimated light radiation. It is characterized in that a diaphragm is placed in front of the light source, the opening of which has a middle rectangular surface segment and in each case a surface segment defining the edge zone, the latter being half the size of an equally wide part of the middle surface segment.
Bij voorkeur heeft het de randzone bepalend segment van de diafragmaopening de vorm van een driehoek, waarvan 15 de basis de zijkant van het middelste vlaksegment en waarvan de hoogte de randzonebreedte vormt.Preferably, the edge zone defining segment of the diaphragm aperture is in the shape of a triangle, the base of which is the side of the middle face segment and the height of which forms the edge zone width.
Uitvoeringsvoorbeelden van de uitvinding worden hierna aan de hand van de tekening nader toegelicht. In de tekening geven: 20 Figuur 1 en 2 op schematische wijze frontaanzicht en bovenaanzicht van een naar de werkwijze volgens de uitvinding werkende kopieerinrichting, enExamples of embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to the drawing. In the drawing: Figures 1 and 2 schematically show front view and top view of a copying machine working according to the method according to the invention, and
Figuur 3 en 4 twee varianten van de voor het opwekken van de lichtsporen te gebruiken diafragma’s.Figures 3 and 4 show two variants of the diaphragms to be used to generate the light trails.
25 He kopieerinrichting volgens figuur 1 en 2 bezit een huis 1, dat bij de bovenzijde een glasplaat 2 laat zien, dat het maximale kopieervlak 3 begrenst. Op de glasplaat 2 bevinden zich het de lichtgevoelige laag dragende substraat 4 en daaronder het masker 5. In huis 1 is een lichtbron 6 met 30 gecollimeerde lichtstraling van op zich bekende uitvoering beweegbaar aangebracht, zodat hij in de beide hoofdrichtingen van het kopieervlak 3 verschoven kan worden. De daartoe vereiste aandrijf- en vervoerinrichtingen zijn op zich bekend en zijn hier niet apart afgebeeld. De inrichting wordt bij voorkeur zo 35 aangebracht, dat de as 7 van de door de lichtbron 6 opgewekte 85 0 1 SS-6 - 5 - naar boven gerichte cilindrische stralenbundels 8 de in figuur 2 aangegeven meandervormige baan 9 beschrijft. Het door de stralenbundel 8 op het kopieervlak 3 opgewekte lichtgebied wordt begrensd door een voor de lichtbron 6 geplaatst diafragma 10.The copying device according to Figs. 1 and 2 has a housing 1, which at the top shows a glass plate 2, which delimits the maximum copying surface 3. The glass plate 2 contains the photosensitive layer-supporting substrate 4 and underneath it the mask 5. In house 1 a light source 6 with collimated light radiation of known design is movably arranged, so that it can be displaced in both main directions of the copy plane 3 turn into. The drive and transport devices required for this are known per se and are not shown separately here. The device is preferably arranged such that the axis 7 of the upwardly directed cylindrical beams 8 generated by the light source 6 describes the meandering track 9 shown in Figure 2. The light region generated by the beam 8 on the copying surface 3 is bounded by a diaphragm 10 placed in front of the light source 6.
5 Het lichtgebied bestrijkt het kopieervlak 3 in meerdere evenwijdige, bijvoorbeeld volgens de figuren 3 en 4 drie, sporen met door de diafragmaopening bepaalde spoorbreedte, respektievelijk BI, B2 en B3, waarbij naburige sporen in een rand-zone 11 van bepaalde breedte b elkaar gedeeltelijk overlappen.The light region covers the copying plane 3 in several parallel tracks, for example according to figures 3 and 4 three, tracks with track width determined by the aperture aperture, B1, B2 and B3, respectively, with neighboring tracks in an edge zone 11 of certain width b partly mutually overlap.
10 Deze randzones 11 worden tijdens het belichtingsprocede telkens tweemaal door het lichtgebied doorlopen. Door geschikte vormgeving van de diafragmaopening wordt nu bereikt, dat aan elke randzone 11 bij elke doorgang van het lichtgebied telkens de helft van de voor deze zone vereiste lichtenergie toegevoerd wordt.These edge zones 11 are traversed twice through the light region during the exposure process. By suitable design of the diaphragm opening it is now achieved that each edge zone 11 is supplied with half of the light energy required for this zone at each passage of the light area.
15 Met dat doel is voor elke doorgang van het lichtgebied een diafragma verschaft, waarvan de opening een middelste rechthoekig vlaksegment 12 en telkens een de randzone bepalend vlaksegment 13 vertoont, waarbij de laatste half zo groot is als een gelijk breed deel van het middelste vlaksegment.12. In het onderhavige 20 voorbeeld heeft het de randzone 11 bepalende vlaksegment 13 de vorm van een driehoek, waarvan de basis de zijkant 1 van het middelste vlaksegment 12 en waarvan de hoogte de randzone-breedte b vormt.For this purpose, a diaphragm is provided for each passage of the light region, the opening of which has a middle rectangular surface segment 12 and in each case a surface segment 13 defining the edge zone, the latter being half the size of an equally wide part of the central surface segment. 12. In the present example, the surface segment 13 defining the edge zone 11 has the shape of a triangle, the base of which forms the side 1 of the middle surface segment 12 and the height of which forms the edge zone width b.
Overeenkomstig figuur 3 kunnen voor het uit-25 voeren van de werkwijze bij de lichtbron 6 verwisselbare diafragma's met verschillende vorm in de diafragmaopening aangebracht zijn. Daarbij is voor het opwekken van de langs de rand van het kopieervlak 3 verlopende lichtgebiedsporen (BI, B3) telkens een diafragmaopening met slechts een van de kopieervlakrand vandaan 30 wijzend driehoekig vlaksegment 13, maar voor het opwekken van de daartussen verlopende lichtgebiedspoor (B2) daarentegen een diafragmaopening met aan beide zijden van het middelste vlaksegment 12 grenzende driehoekige vlaksegmenten 13 verschaft. In dit geval bepalen alleen de door de lichtbron 6 meegevoerde dia-35 fragma's 10 de buitengrenzen van de randsporen van het lichtgebied.According to Figure 3, exchangeable diaphragms of different shapes can be arranged in the diaphragm opening at the light source 6 for carrying out the method. In this case, for generating the light region tracks (B1, B3) running along the edge of the copying surface 3, a diaphragm opening with only one triangular surface segment 13 pointing away from the copying surface edge is in each case, but for generating the light-region track (B2) extending therebetween. provides a diaphragm opening with triangular surface segments 13 adjacent to both sides of the middle face segment 12. In this case, only the diaphragms 10 carried by the light source 6 determine the outer limits of the edge tracks of the light region.
8501996 5 c t - 6 -8501996 5 c t - 6 -
In tegenstelling daarmee kan ook een enkel diafragma verschaft zijn, dan aan de lichtbron 6 vast aangebracht is en dat aan beide kanten van het middelste vlaksegment 12 van de diafragmaopening telkens een driehoekig vlaksegment 13 ver-5 toont. Voor de zijdelingse spoorbegrenzing zijn in dit geval tegenover elkaar liggende randen van de kopieervlak 3 markerende diafragma's 14 vast aangebracht, welke bij de doorgang van het lichtgebied langs deze kopieergebiedranden het telkens driehoekige vlaksegment 13 aan de rand van de diafragmaopening af-10 dekken. Bij deze uitvoering kan daas een enkel diafragma voor de lichtbron voor het gehele belichtingsprocede dienen; een diafragma-verwisseling zoals bij de uitvoering volgens figuur 3 is niet nodig.In contrast, a single diaphragm can also be provided, which is then fixedly attached to the light source 6 and which shows a triangular surface segment 13 on each side of the middle surface segment 12 of the diaphragm opening. For the lateral track boundary, in this case opposing edges of the copying surface 3 are permanently provided with marking diaphragms 14, which cover the respective triangular surface segment 13 at the edge of the diaphragm opening as the light region passes through these copying region edges. In this embodiment, daas can serve a single diaphragm for the light source for the entire exposure process; a diaphragm change as in the embodiment according to figure 3 is not necessary.
15 850 1 9 9 615 850 1 9 9 6
Claims (5)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH541984A CH665492A5 (en) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | Method for gleichmaessigen illuminate a kopierflaeche and device for implementing the procedure. |
| CH541984 | 1984-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL8501996A true NL8501996A (en) | 1986-06-02 |
Family
ID=4293268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL8501996A NL8501996A (en) | 1984-11-13 | 1985-07-11 | METHOD FOR ILLUMINATING A COPY OF LARGE SIZE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE METHOD |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61126544A (en) |
| CH (1) | CH665492A5 (en) |
| DE (2) | DE3532461A1 (en) |
| NL (1) | NL8501996A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2822967B1 (en) * | 2001-03-28 | 2003-10-03 | Automa Tech Sa | DEVICE FOR INSOLATING A FACE OF A PRINTED CIRCUIT PANEL |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629208A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-24 | Ricoh Co Ltd | Light beam scanning method |
-
1984
- 1984-11-13 CH CH541984A patent/CH665492A5/en not_active IP Right Cessation
-
1985
- 1985-07-11 NL NL8501996A patent/NL8501996A/en not_active Application Discontinuation
- 1985-09-11 DE DE19853532461 patent/DE3532461A1/en not_active Withdrawn
- 1985-10-18 DE DE19858529664 patent/DE8529664U1/en not_active Expired
- 1985-11-13 JP JP60255801A patent/JPS61126544A/en active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE8529664U1 (en) | 1985-11-28 |
| DE3532461A1 (en) | 1986-05-15 |
| JPS61126544A (en) | 1986-06-14 |
| CH665492A5 (en) | 1988-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4497015A (en) | Light illumination device | |
| US6262845B1 (en) | Apparatus and method for generating partially coherent illumination for photolithography | |
| US5153419A (en) | Device for detecting position of a light source with source position adjusting means | |
| US20070064245A1 (en) | Pattern light irradiation device, three-dimensional shape measuring device, and method pattern light irradiation | |
| JPH02142111A (en) | Lighting method and device therefor and projection type exposure method and device therefor | |
| JP2009110961A (en) | Light distribution board | |
| USRE34634E (en) | Light illumination device | |
| TW200402608A (en) | Illuminating method, exposing method, and device for therefor | |
| KR960001905A (en) | Illumination optics and scanning exposure apparatus using the same | |
| JP2000299283A (en) | Lithographic method and system | |
| CN107003616B (en) | Lithographic apparatus comprising a plurality of individually controllable write heads | |
| US9470832B2 (en) | Plane illumination apparatus and backlight apparatus | |
| JP2002142082A (en) | Image reader | |
| JP4241335B2 (en) | Linear lighting device | |
| NL8501996A (en) | METHOD FOR ILLUMINATING A COPY OF LARGE SIZE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE METHOD | |
| JPH05159999A (en) | Projection exposure apparatus | |
| JPS6199173A (en) | Illuminating device and image forming device using said device | |
| JPS6010273A (en) | Manuscript scanner | |
| KR950012568A (en) | Exposure equipment | |
| KR920010622B1 (en) | Optical lighting system | |
| JP6620088B2 (en) | Illumination system and illumination optical unit for EUV projection lithography | |
| JP2004245912A (en) | Light irradiation system | |
| JPS61279822A (en) | Illuminating optical system | |
| JP5979793B2 (en) | Illumination optics for projection lithography | |
| JPS61153550A (en) | X-ray spectroscope |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| DNT | Communications of changes of names of applicants whose applications have been laid open to public inspection |
Free format text: METTLER-TOLEDO AG |
|
| BV | The patent application has lapsed |