NL8401169A - DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. - Google Patents

DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. Download PDF

Info

Publication number
NL8401169A
NL8401169A NL8401169A NL8401169A NL8401169A NL 8401169 A NL8401169 A NL 8401169A NL 8401169 A NL8401169 A NL 8401169A NL 8401169 A NL8401169 A NL 8401169A NL 8401169 A NL8401169 A NL 8401169A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
pressure
temperature
space
sensor
measuring
Prior art date
Application number
NL8401169A
Other languages
Dutch (nl)
Original Assignee
Ermeto Armaturen Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ermeto Armaturen Gmbh filed Critical Ermeto Armaturen Gmbh
Publication of NL8401169A publication Critical patent/NL8401169A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061Electrical connection means
    • G01L19/0084Electrical connection means to the outside of the housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • G01L19/142Multiple part housings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

* % -1- 23864/CV/vb*% -1- 23864 / CV / ex

Korte aanduiding: inrichting voor het meten van drukken.Short designation: device for measuring pressures.

De uitvinding?heeft betrekking op een inrichting voor het meten van drukken, in het bijzonder hoge drukken, en temperaturen in een thydraulisch 5- of pneumatisch systeem, bij voorkeur met behulp van een piezo resistieve drukmeetcel en een elektronische schakeling, welke in een huis is geïntegreerd tot een constructieeenheid.The invention relates to a device for measuring pressures, in particular high pressures, and temperatures in a hydraulic 5- or pneumatic system, preferably using a piezo resistive pressure measuring cell and an electronic circuit, which is in a housing integrated into a construction unit.

De in de loop van de snelle technische ontwikkeling gecompliceerder wordende hydraulische systemen stellen toenemend hogere eisen aan de vereiste 10. nauwkeurigheid en schakelsnelheid van de- aangesloten systemen. Hieruit ontstaat de eis naar werkwijzen voor het meten van druk en temperatuur, welke niet slechts de actuele meetwaarden in de elektronische schakelingen continu houden, maar optredende storingen van de installatie tijdig, dat wil zeggen direct bij het ontstaan, aanwijzen, In tegenstelling tot gebruikelijke mano- 15. meters, welke veelal slechts met tussenruimtes worden afgelegen en veelvuldig geen oplossing geven voor de moeilijkheidsgraad van bepaalde metingen bieden elektronische meetinrichtingen continue meetwaarden opname en snelle verwerking van de signalen bij hoge meetnauwkeurigheid,The hydraulic systems, which have become more complicated in the course of rapid technical development, are increasingly demanding the required 10. accuracy and switching speed of the connected systems. From this arises the requirement for methods for measuring pressure and temperature, which not only keep the current measured values in the electronic circuits continuously, but indicate malfunctions of the installation in a timely manner, that is to say immediately upon initiation. - 15. meters, which are often only spaced apart and often do not solve the degree of difficulty of certain measurements, electronic measuring devices offer continuous measurement values recording and fast processing of the signals with high measuring accuracy,

Bij de tot nu toe bekende druk- meetcellen van bovengenoemde soort wordt 20. het voor het opnemen van de druk toegepaste piezo resistieve halfgeleiderelement (silicium -chip) met behulp van bonddraden aangesloten aan overeenkomstige contacten. Het gehele sensorhuxs bestaat daarbij uit een vanuit de halfgeleidertechniek genormaliseerd huis, op soortgelijke wijze als deze voor transistors, werkingversterkers of dergelijke worden toegepast.In the hitherto known pressure measuring cells of the above type, the piezo-resistive semiconductor element (silicon chip) used for recording the pressure is connected to corresponding contacts by means of bond wires. The entire sensor housing consists of a housing standardized from the semiconductor technique, in a similar manner as is used for transistors, amplifiers or the like.

25. De genormaliseerde huizen zijn in verband met hun constructiewijze niet geschikt voor de toepassing van meting van hoge en zeer hoge drukken, aangezien de drukbeïnvloeding van het huis een meetvervalsing tot gevolg heeft. Verder zijn de huizen niet bestendig tegen zeer hoge te meten drukken, maar zullen daarbij vervormingen van de huizen optreden, 30. Een druksensor bezit een thermische drift, welke door meting van de temperatuur en compensatie van de druksensor kan worden opgeheven. In het bijzonder bij snelle temperatuurwijzigingen is het daarom van bijzonder belang de druksensor ook continu te compenseren.25. The normalized housings are not suitable for the measurement of high and very high pressures because of their construction method, since the influence of pressure on the housings results in a measurement distortion. Furthermore, the housings are not resistant to very high pressures to be measured, but deformations of the housings will thereby occur. A pressure sensor has a thermal drift, which can be eliminated by measuring the temperature and compensation of the pressure sensor. It is therefore particularly important to compensate the pressure sensor continuously, especially with rapid temperature changes.

Tot nu toe werd de temperatuur bij een drukmeting in een hydraulisch 35. of pneumatisch systeem afzonderlijk gemeten en voor de compensatie in bepaalde temperatuur intervallen voor de drukmeetsonde toegepast. Hierdoor treden enerzijdse fouten op, aangezien de temperatuurmeting niet rechtstreeks op de plaats van de drukmeting plaatsvindt en anderzijds doordat snelle 8401169 -2- 23864/CV/vb temperatuurwijzigingen, welke niet op de plaats van de drukraeting vastgesteld worden, slechts met een faseverschuiving in rekening genomen kunnen worden.Ook dit geeft weer foute metingen. Verder bepalen de temperatuurin-tervallen een te onnauwkeurige compensatie.Heretofore, the temperature was measured separately in a pressure measurement in a hydraulic or pneumatic system and intervals were used for the pressure measuring probe for compensation in certain temperature. This causes errors on the one hand, since the temperature measurement does not take place directly at the location of the pressure measurement and, on the other hand, because rapid temperature changes, which are not detected at the location of the pressure rating, only take into account a phase shift. can be taken, this again gives incorrect measurements. In addition, the temperature intervals determine an inaccurate compensation.

5- Met de uitvinding wordt dan ook beoogd een inrichting van bovengenomde soort te verkrijgen, welke voor meting van hoge drukken en gelijktijdig van temperaturen is geschikt en waarbij de meetnauwkeurigheid door een continue temperatuurcompensatie aanzienlijk opgevoerd kan worden.The object of the invention is therefore to obtain a device of the above-mentioned type, which is suitable for measuring high pressures and at the same time of temperatures and wherein the measuring accuracy can be considerably increased by continuous temperature compensation.

Volgens de uitvinding kan dit worden bereikt doordat de inrichting van 10. bovengenoemde soort is voorzien van een schroefhuis, welke in een de druksen-sor omvattend, van het druksysteem door een de druk overdragend membraam gescheiden drukruimte en een door boringen voor het opnemen van elektrische contacten of aansluitstiften verbonden, de daarbij behorende elektronische schakeling bevattende drukloze drukruimte is onderverdeeld, terwijl de druk- 15. ruimte een temperatuursensor bevat, welke eveneens met de elektronische schakeling is verbonden en waarbij de in de drukruimte en daarbij de in het systeem heersende temperatuur voordurend meetbaar en de meetwaarde gelijktijdig voor de temperatuurcompensatie van de druksensor te benutten is.According to the invention this can be achieved in that the device of the above-mentioned type is provided with a screw housing which, in a pressure sensor comprising the pressure sensor, is separated from the printing system by a pressure space separated from the pressure-transmitting membrane and by bores for receiving electrical contacts or connecting pins, the associated electronic circuit containing pressure-free pressure space is subdivided, while the pressure space 15. contains a temperature sensor, which is also connected to the electronic circuit and wherein the temperature prevailing in the pressure space and thereby the temperature in the system measurable and the measured value can be used simultaneously for the temperature compensation of the pressure sensor.

Volgens de uitvinding is de drukmeetcel en de temperatuurmeetcel recht-20. streeks of indirect op de wand van het schroefhuis, welke de drukruimte van de drukloze ruimte scheidt, aangebracht.According to the invention, the pressure measuring cell and the temperature measuring cell are straight. applied directly or indirectly to the wall of the screw housing, which separates the pressure space from the pressureless space.

De elektronische schakeling in de drukloze ruimte van het schroefhuis is ter versterking van zwakke uitgangssignalen van de druksensor en van de temperatuursensor volgens een verdere uitvoering van de uitvinding uitge- 25. voerd als versterker hybride, welke gelijktijdig een temperatuur-compensa-tieschakeling voor de kenlijncorrectie van de druksensor bezit.The electronic circuit in the pressureless space of the screw housing is designed as an amplifier hybrid to amplify weak output signals from the pressure sensor and from the temperature sensor according to a further embodiment of the invention, which at the same time provides a temperature compensation circuit for the characteristic curve correction. of the pressure sensor.

De de elektrische contacten opnemende boringen zijn op gunstige wijze voor de drukafsteuning bij zeer hoge drukken konisch uitgevoerd, waarbij de diameter van de boring naar de drukloze ruimte toe afneemt; verder zijn 30. de elektrische contacten ten opzichte van de wand van de boring met behulp van een glasvulling geïsoleerd.The bores receiving the electrical contacts are advantageously conical for pressure support at very high pressures, the diameter of the bore decreasing towards the pressureless space; furthermore, the electrical contacts are insulated from the wall of the bore by means of a glass filling.

Het schroefhuis is verder op gunstige wijze in een voor de aankoppeling aan hydraulische of pneumatische systemen uitgevoerde adapter inschroef-baar uitgevoerd.The screw housing is furthermore advantageously designed to be screwable into an adapter designed for coupling to hydraulic or pneumatic systems.

35· In een uitvoeringsvorm van de uitvinding is de inrichting als handmeet-apparaat uitgevoerd.In an embodiment of the invention, the device is designed as a hand-held measuring device.

De oplossing van de aan de uitvinding ten grondslag liggende opgave vindt volgens de uitvinding verder plaats door een werkwijze voor het meten van 1401169 « -3- 23864/CV/vb hoge drukken en temperaturen met behulp van. de bovengenoemde inrichting, waarbij de door de temperatuursensor continu gemeten temperatuurwaarde voor de voortdurende compensatie van de temperatuurfout van de druksensor en gelijktijdige voor de afgifte van een versterkt: cemperatuuruitgangssig- 5. naai wordt toegepast.According to the invention, the problem underlying the invention is further solved by a method for measuring 1401169 -3- 23864 / CV / vb high pressures and temperatures using. the above-mentioned device, wherein the temperature value continuously measured by the temperature sensor is used for the continuous compensation of the temperature error of the pressure sensor and simultaneously for the output of an amplified temperature output signal.

De uitvinding zal hieronder nader worden beschreven aan de hand van een in bijgaande figuren weergegeven uitvoeringsvoorbeeld van de constructie volgens de uitvinding.The invention will be described in more detail below with reference to an exemplary embodiment of the construction according to the invention shown in the accompanying figures.

Figuur 1 toont een doorsnede door het schroefhuis.Figure 1 shows a section through the screw housing.

10. Figuur 2 toont het in figuur 1 afgebeelde schroefhuis gedeeltelijk in zijaanzicht en gedeeltelijk in langsdoorsnede.10. Figure 2 shows the screw housing shown in Figure 1 partly in side view and partly in longitudinal section.

De inrichting voor het meten van hoge drukken en temperaturen bestaat uit een schroefhuis 1, welke in een de druksensor 2 en de temperatuursensor 16 bevattend,van het druksysteem door een de druk overdragend membraan 3 15. gescheiden drukruimte 4 en een door elektrische kontacten of aansluitstif-ten 5 verbonden, de daarbij behorende elektronische schakeling 14 bevattende drukloze ruimte 6 onderverdeeld is. De voor het doorvoeren van de elektrische contacten aanwezige, ten opzichte van de langsas van het schroefhuis 1 ongeveer evenwijdig verlopende boringen 7 zijn op een rechte lijn liggend 20. aangebracht. De contactopstelling wijkt geheel af van de genormaliseerde werktuigsfcekeropstelling en maakt de inbouw mogelijk van de elektronische schakeling 14, welke als versterkerhybride is uitgevoerd en dient voor de versterking van de zwakke uitgangssignalen van de druksensor 2.The device for measuring high pressures and temperatures consists of a screw housing 1, which contains in a pressure sensor 2 and temperature sensor 16, the pressure system separated by a pressure transfer membrane 3.15 and a pressure space 4 by electrical contacts or connecting pin. 5, the associated electronic circuit 14 containing pressureless space 6 is subdivided. The bores 7, which run approximately parallel to the longitudinal axis of the screw housing 1, for the passage of the electrical contacts are arranged in a straight line. The contact arrangement differs completely from the normalized tool sensor arrangement and allows the installation of the electronic circuit 14, which is designed as an amplifier hybrid, and serves to amplify the weak output signals of the pressure sensor 2.

In de uit figuur 2 zichtbare uitvoeringsvorm is het membraan 3 ingelast 25. tussen een ring 8 en een afdekplaat 11.In the embodiment visible from figure 2, the membrane 3 is inserted 25. between a ring 8 and a cover plate 11.

De in het huis aanwezige boringen 7, welke de elektrische contacten of aansluitstiften 5 opnemen, zijn konisch uitgevoerd voor de drukafsteuning bij zeer hoge drukken, waarbij de diameter van de boring naar de drukloze ruimte 6 toe afneemt. Voor het drukdicht-'isoleren zijn de elektrische con-30. tacten ten opzichte van de wand van de boring met behulp van een glasvulling geïsoleerd. De konici teit bedraagt bij het hier weergegeven uitvoeringsvoorbeeld 1:50.The bores 7 present in the housing, which receive the electrical contacts or connecting pins 5, are conically designed for the pressure support at very high pressures, the diameter of the bore towards the pressureless space 6 decreasing. The electrical con-30s are for pressure-tight isolation. insulated with respect to the wall of the bore using a glass filling. In the exemplary embodiment shown here, the condition is 1:50.

De druksensor 2 is in de drukruimte 4 aangebracht en bevestigd op een aansluitstift 5, welke aan zijn boveneinde is voorzien van een "spijkerkop". 35. Door deze maatregel wordt bereikt, dat de druksensor zo storingsvrij mogelijk de drukgolven, welke hem worden overgedragen via het zich in de drukruimte 4 bevindende scheidingsfluidum, kan ontvangen.The pressure sensor 2 is arranged in the pressure space 4 and mounted on a connecting pin 5, which is provided at its top end with a "nail head". 35. By this measure it is achieved that the pressure sensor can receive as undisturbed as possible the pressure waves transmitted to it via the separating fluid located in the pressure space 4.

8401169 -4- 23864/CV/vb8401169 -4-23864 / CV / Ex

Zoals uit figuur 2 blijkt is de membraan 3 tussen de ring 8 en een de mechanische beschadigingen van het membraan 3 verhinderende konisch toelopende afdekplaat 11 ingelast, welke op zijn beurt onderdeel van het schroef-huis 1 is.As can be seen from Figure 2, the membrane 3 is interposed between the ring 8 and a conically tapered cover plate 11 which prevents the mechanical damage of the membrane 3, which in turn is part of the screw housing 1.

5. Zoals hierboven reeds werd opgemerkt, is de door de ring 8, het membraan 3 en het eigenlijke huis 1 gevormde tussenruimte, namelijk de drukruimte 4 met een chemisch inert, elektrisch isolerend scheidingsfluidum, dat een 1:1 druk overbrenging mogelijk maakt, gevuld.5. As already noted above, the gap formed by the ring 8, the membrane 3 and the actual housing 1, namely the pressure space 4, is filled with a chemically inert, electrically insulating separating fluid, which allows a 1: 1 pressure transmission. .

In de drukruimte 4 is naast de druksensor 2 en de temperatuursensor 10. 16 een drukschakelaar 13 aangebracht. In het hier weergegeven uitvoeringsvoor- beeld zijn de drukschakelaar 13 en de temperatuursensor 16 verbonden met de bodem van het huis in de drukruimte 4. De elektrische contacten van de druksensor 2, van de drukschakelaar 13 en van de temperatuursensor 16 zijn telkens door de elektrische verbindingsleidingen 15 via de aansluitstiften 15. 5 met de in de drukloze ruimte aanwezige elektronische schakeling 14 verbonden. 'Het huis 1 is met een inschroefschroefdraad 17 en een daarboven_,gelegen afdicht-ring 18 uitgerust, zodat het in een adapter kan worden ingeschroefd.A pressure switch 13 is arranged in the pressure chamber 4 next to the pressure sensor 2 and the temperature sensor 10.16. In the exemplary embodiment shown here, the pressure switch 13 and the temperature sensor 16 are connected to the bottom of the housing in the pressure chamber 4. The electrical contacts of the pressure sensor 2, of the pressure switch 13 and of the temperature sensor 16 are each connected by the electrical connecting lines 15 connected via the connecting pins 15. 5 to the electronic circuit 14 present in the pressureless chamber. The housing 1 is provided with a screw-in thread 17 and a sealing ring 18 situated above it, so that it can be screwed into an adapter.

Met de analoge druk-en temperatuursensor volgens de uitvinding worden in samenhang met overeenkomstige inbouwmeetinrichtingen continu en gelijk-20. tijdige drukken en temperaturen gemeten.Daarbij wordt de fysische kengroot-heid "druk" met behulp van de piezoresistieve druksensor en halfgeleider-chips 2 gemeten en in een proportionele kengrootheid omgezet en met een geïntegreerde versterker op een bijzonder tegen storing vrij zijnd signaal-niveau versterkt. De meetgebieden strekken zich uit tot aan nominale drukken 25· van 400 bar bij 100% overbelastingsveiligheid. Er zijn piekdrukken tot aan 600 bar op te nemen en het temperatuurgebied strekt zich uit van -20°C tot + 120° C.With the analog pressure and temperature sensor according to the invention, continuous and equal measurements are made in conjunction with corresponding built-in measuring devices. timely pressures and temperatures are measured. The physical key "pressure" is measured with the piezoresistive pressure sensor and semiconductor chips 2 and converted into a proportional key and amplified with an integrated amplifier at a particularly interference-free signal level . The measuring ranges extend up to nominal pressures 25 · from 400 bar at 100% overload protection. Peak pressures of up to 600 bar can be recorded and the temperature range extends from -20 ° C to + 120 ° C.

Door de geïntegreerde opstelling van de sensorversterker in het huis van de inrichting ontstaan korte elektrische verbindingen van de sensors 30. naar de versterker, zodat nog bijzonder zwakke signalen ontvangen en versterkt kunnen worden. De inrichting volgens de uitvi iding is daardoor in staat reeds kleine druk- en temperatuurwijziging continu en storingsvrij vast te stellen en te benutten.The integrated arrangement of the sensor amplifier in the housing of the device creates short electrical connections from the sensors 30 to the amplifier, so that particularly weak signals can still be received and amplified. The device according to the invention is therefore able to detect and utilize even small changes in pressure and temperature continuously and without problems.

35.35.

84011698401169

Claims (8)

1. Inrichting voor het meten van drukken, in het bijzonder hoge drukken en temperaturen in een hydraulische of pneumatisch systeem, bij voorkeur met 5. behulp van een piezoresistieve drukmeetcel en een elektronische schakeling, welke in een huis tot een constructieeenheid is geïntegreerd, met het kenmerk, dat de inrichting een schroefhuis (1) omvat welke in een de druksensor (2) bevattend, van het druksysteem door een de druk overdragend membraan (3) gescheiden drukruimte (4) en een door boringen (7) voor het doorvoeren 10. van elektrische contacten of aansluitstiften (5) verbonden, de daarbij behorende elektronische schakeling (14) bevattende drukloze ruimte (6) is onderverdeeld, terwijl de drukruimte (4) een temperatuursensor (16) bevat, welke eveneens is verbonden met de elektronische schakeling (14), waarbij de in de drukruimte (4) en de daarmede in het systeem heersende temperatuur 15. voortdurend meetbaar en de meetwaarde gelijktijdig voor de temperatuurcom-pensatie van de druksensor te gebruiken is.1. Device for measuring pressures, in particular high pressures and temperatures, in a hydraulic or pneumatic system, preferably by means of a piezoresistive pressure measuring cell and an electronic circuit integrated in a housing into a construction unit, with the characterized in that the device comprises a screw housing (1) which, in a pressure sensor (2) containing the pressure system, is separated from the pressure system by a pressure space (4) separated by the pressure-transmitting membrane (3) and a passage through bores (7). of electrical contacts or connecting pins (5), the associated electronic circuit (14) containing pressureless space (6) is subdivided, while the pressure space (4) contains a temperature sensor (16), which is also connected to the electronic circuit (14) ), wherein the temperature 15. prevailing in the pressure space (4) and the temperature therewith in the system is continuously measurable and the measured value simultaneously for the temperature compensation of the pressure uksensor can be used. 2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de drukmeetcel (2) en de temperatuurmeetcel (16) rechtstreeks of indirect zijn aangebracht op de binnenwand van het schroefhuis (1), welke de drukruimte (4) scheidt 20. van de drukloze ruimte (6).Device according to claim 1, characterized in that the pressure measuring cell (2) and the temperature measuring cell (16) are arranged directly or indirectly on the inner wall of the screw housing (1), which separates the pressure space (4) from the pressureless space (6). 3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de elektronische schakeling (14) in de drukloze ruimte (6) van het schroefhuis ter versterking van zwakke uitgangssignalen van de druksensor (2) en van de temperatuursensor (16) is uitgevoerd als versterker-hybride, welke gelijktijdig een tempe- 25. ratuur-compensatieschakeling voor de kenlijncorrectie van de druksensor (2) omvat.Device according to claim 1 or 2, characterized in that the electronic circuit (14) is designed in the pressureless space (6) of the screw housing to amplify weak output signals from the pressure sensor (2) and from the temperature sensor (16). as an amplifier hybrid, which simultaneously comprises a temperature compensation circuit for the characteristic curve correction of the pressure sensor (2). 4. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies,met het kenmerk, dat de de elektrische contacten cf aansluitstiften (5) opnemende boringen (7) konisch zijn uitgevoerd, waarbij de diameter van de boring naar de druk- 30. loze ruimte (6) toe afneemt, terwijl de elektrische contacten of aansluitstiften (5) ten opzichte van de wand van de boring met behulp van een glasvulling zijn geïsoleerd.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the bores (7) receiving the electrical contacts or connecting pins (5) are conical, the diameter of the bore towards the pressure-free space (6). while the electrical contacts or connecting pins (5) are insulated from the wall of the bore by means of a glass filling. 5. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het schroefhuis (1) in een voor de aankoppeling aan hydraulische of 35. pneumatische systemen aangepaste adapter (2) inschroefbaar is uitgevoerd.Device according to any one of the preceding claims, characterized in that the screw housing (1) is designed to be screwable in an adapter (2) adapted for coupling to hydraulic or pneumatic systems. 6. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de inrichting als handmeetapparaat is uitgevoerd. 8401169 -6- 23864/CV/vb *V' , _ >Device according to one of the preceding claims, characterized in that the device is designed as a hand-held measuring device. 8401169 -6- 23864 / CV / vb * V ', _> 7. Werkwijze voor het meten van hoge drukken en temperaturen met behulp van de inrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de door temperatuursensor continu gemeten temperatuurwaarde voor de voortdurende compensatie van de temperatuurfout van de druksensor en ge- 5. lijktijdig voor het afgeven van een versterkt temperatuuruitgangssignaal wordt toegepast.Method for measuring high pressures and temperatures by means of the device according to any one of the preceding claims, characterized in that the temperature value continuously measured by the temperature sensor is for the continuous compensation of the temperature error of the pressure sensor and simultaneously for outputting an amplified temperature output signal is employed. 8 A 0116 9 ' -I-' "'">!·»!·Α1<·Ι·|Ι| .ΤΓ-Ι·»-— . »·ΙΜί.Μ|| I I .. 11H W . 111X11 T'· I II I. — — I I —--------------8 A 0116 9 '-I-' "'">! · »! · Α1 <· Ι · | Ι | .ΤΓ-Ι · »-—. »· ΙΜί.Μ || I I .. 11H W. 111X11 T 'I II I. - - I I —--------------
NL8401169A 1983-04-13 1984-04-12 DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. NL8401169A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3313260 1983-04-13
DE19833313260 DE3313260A1 (en) 1983-04-13 1983-04-13 Sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8401169A true NL8401169A (en) 1984-11-01

Family

ID=6196200

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8401169A NL8401169A (en) 1983-04-13 1984-04-12 DEVICE FOR MEASURING PRESSURES.

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE3313260A1 (en)
NL (1) NL8401169A (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0215140B1 (en) * 1985-09-11 1989-04-26 Kunz, Manfred Pressure sensor
DE9006273U1 (en) * 1990-06-02 1991-10-10 Rau GmbH, 8900 Augsburg Gas pressure tester for gas systems
DE9013464U1 (en) * 1990-09-25 1991-01-31 Arnheiter, Bernd, Dipl.-Phys., 4040 Neuss Temperature sensor
DE4306756A1 (en) * 1993-03-04 1994-09-08 Sios Mestechnik Gmbh Temperature measuring device coupled by an optical waveguide
DE4315336B4 (en) * 1993-05-03 2005-05-04 Abb Patent Gmbh Method and device for measuring and correcting process variables
DE4325782C2 (en) * 1993-07-31 1997-02-06 Christof Kaufmann Measuring circuit with a thermal coupling
DE19533505A1 (en) * 1995-09-04 1997-03-06 Siemens Ag Method for compensating for the incorrect behavior of measuring devices caused by an external influencing variable

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3697919A (en) * 1971-08-03 1972-10-10 Gen Electric Semiconductor pressure transducer structure
CH592300A5 (en) * 1975-07-08 1977-10-31 Keller Hans W
JPS54113379A (en) * 1978-02-23 1979-09-04 Nec Corp Pressure gauge
DE3008441A1 (en) * 1980-03-05 1981-09-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Physical quantity sensor for e.g. pressure or force - has protective housing and membrane in contact with deformable sensor substrate

Also Published As

Publication number Publication date
DE3313260A1 (en) 1984-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4576049A (en) Pressure sensor with ringed chamber
US3831588A (en) Pressure sensing device
US8061213B2 (en) High temperature, high bandwidth pressure acquisition system
US4366714A (en) Pressure/temperature probe
US10183859B2 (en) Dual range high precision pressure sensor
US10768068B2 (en) Pressure scanner assemblies having replaceable sensor plates
AU691239B2 (en) A temperature compensation method in pressure sensors
US7773015B2 (en) Measurement data acquisition apparatus and method of operation thereof
US6035721A (en) Process for compensating for the incorrect operation of measuring devices caused by external influences
US20130022075A1 (en) Temperature sensor having means for in-situ calibration
US20190204174A1 (en) Filling body for reducing a volume of a pressure measurement chamber
NL8401169A (en) DEVICE FOR MEASURING PRESSURES.
US5427516A (en) Device for detecting material stresses in mouldings and castings
CN110068396B (en) Wireless thermocouple
KR101808928B1 (en) Strain transmitter
NL8401168A (en) DEVICE FOR MEASURING PRESSURES.
US5253938A (en) Thermistor controlled current source versatile temperature sensor
US20200103323A1 (en) Sensor for comparative pressure measurement
US4196383A (en) Coaxial differential PH system
US7783446B2 (en) Measuring system comprising variably sensitive outputs
EP0213407A2 (en) Method and apparatus for body temperature measurement with multiple probe types
US4843886A (en) Pressure measuring device
US20060201022A1 (en) In-kiln moisture measurement calibration system
CN110857898A (en) Oil-filled pressure sensor
JP2006300637A (en) Measuring instrument for strain and temperature