NL8401168A - DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. - Google Patents
DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. Download PDFInfo
- Publication number
- NL8401168A NL8401168A NL8401168A NL8401168A NL8401168A NL 8401168 A NL8401168 A NL 8401168A NL 8401168 A NL8401168 A NL 8401168A NL 8401168 A NL8401168 A NL 8401168A NL 8401168 A NL8401168 A NL 8401168A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- pressure
- space
- membrane
- screw housing
- housing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
V (* -1- 23873/CV/mvlV (* -1- 23873 / CV / mvl
Korte aanduiding: Inrichting voor het meten van drukken.Short designation: Device for measuring pressures.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het meten van drukken, in het bijzonder hoge drukken, in een hydraulisch of 5 pneumatisch systeem, bij voorkeur met behulp van een piëzoresistieve drukmeetcel en een elektronische schakeling, welke in een huis tot een constructie-eenheid geïntegreerd is.The invention relates to a device for measuring pressures, in particular high pressures, in a hydraulic or pneumatic system, preferably by means of a piezoresistive pressure measuring cell and an electronic circuit integrated in a housing into a construction unit is.
De in de loop van de snelle technische ontwikkeling gecompliceerder wordende hydraulische systemen stellen toenemend hogere 10 eisen aan de vereiste nauwkeurigheid en schakelsnelheid van de aangesloten systemen. Hieruit ontstaat een eis naar druk- en temperatuur-meetwerkwijzen, welke niet slechts de actuele meetwaarden in de elektronische schakeling continu melden, maar optredende storingen van de installatie tijdig, dat wil zeggen direkt bij het ontstaan aangeven, 15 In tegenstelling tot gebruikelijke manometers, die veelal slechts met tussenruimtes worden afgelezen en veelal geen oplossing kunnen bieden voor de moeilijkheidsgraad van bepaalde metingen, bieden elektronische meetinrichtingen een continue opname van de meetwaarde en snellere verwerking van de signalen bij hoge meetnauwkeurigheid.The hydraulic systems, which become more complicated in the course of rapid technical development, are increasingly demanding the required accuracy and switching speed of the connected systems. This results in a requirement for pressure and temperature measuring methods, which not only continuously report the current measured values in the electronic circuit, but also indicate any malfunctions in the system in a timely manner, i.e. immediately upon the occurrence. 15 Contrary to conventional manometers, which often only read with gaps and often cannot provide a solution to the degree of difficulty of certain measurements, electronic measuring devices offer a continuous recording of the measured value and faster processing of the signals with high measuring accuracy.
20 Bij de tot nu toe bekende drukmeetcellen van bovengenoemde soort wordt het voor het opnemen van de druk toegepaste piëzoresistieve halfgeleiderelement (siliciumchip) met behulp van bond-draden aan overeenkomstige contacten aangesloten. Het gehele sensorhuis bestaat daarbij uit een vanuit de halfgeleidertechniek genormaliseerd huis, op soortge-25 lijke wijze als deze voor transistors, werkingsversterkers of dergelijke toegepast worden.In the hitherto known pressure measuring cells of the above type, the piezoresistive semiconductor element (silicon chip) used for recording the pressure is connected to corresponding contacts by means of bond wires. The entire sensor housing consists here of a housing normalized from the semiconductor technology, in a similar manner as it is used for transistors, operating amplifiers or the like.
De genormaliseerde huizen zijn in verband met hun constructie niet voor de toepassing van de meting van hoge en zeer hoge drukken geschikt, daar de drukbeïnvloeding van het huis een meet-30 vervalsing tot gevolg heeft. Verder zijn de huizen niet bestendig tegen zeer hoge te meten drukken, maar worden zij daarbij aan vervormingen onderworpen.Because of their construction, the normalized housings are not suitable for the application of the measurement of high and very high pressures, since the influence of pressure on the housing results in a measurement forgery. Furthermore, the housings are not resistant to very high pressures to be measured, but are thereby subjected to deformations.
Met de uitvinding wordt dan ook beoogd een inrichting van bovengenoemde soort te verkrijgen, welke voor de meting van hoge en zeer 35 hoge drukken geschikt is, welke bestendig zijn bij de zware eisen, bij meethandelingen in een hydraulisch of pneumatisch systeem en welke gemak- 8401168 c- » -2- 23873/CV/mvl kelijk, eventueel automatisch te monteren zijn.The object of the invention is therefore to obtain a device of the above-mentioned type, which is suitable for measuring high and very high pressures, which are resistant to the heavy demands, measuring operations in a hydraulic or pneumatic system and which 8401168 c- »-2- 23873 / CV / mvl k, be mounted automatically if necessary.
Verder wordt met de uitvinding beoogd een inrichting te verkrijgen, welke eenvoudig in een onder druk staand systeem voor het meten van de druk in te bouwen, respectievelijk aan te sluiten is.The object of the invention is furthermore to obtain a device which can easily be built-in or connected in a pressurized system for measuring the pressure.
5 Volgens de uitvinding kan dit worden bereikt doordat de bovengenoemde inrichting is voorzien van een schroefhuis, welke in een de druksensor bevattende, van het druksysteem door een de druk overdragend membraan gescheiden drukruimte en een door elektrische contacten verbonden, de daarbij behorende elektronische schakeling bevattende drukloze 10 ruimte is verdeeld, waarbij de voor het doorvoeren van de elektrische contacten aanwezige, ongeveer evenwijdig aan de langsas van het schroefhuis verlopende boringen op een rechte lijn liggend zijn aangebracht.According to the invention this can be achieved in that the above-mentioned device is provided with a screw housing, which in a pressure space containing the pressure sensor separated from the pressure system by a membrane transmitting the pressure and a pressure-free electronic circuit comprising the associated electronic circuit. 10, the bores present for the passage of the electrical contacts, which run approximately parallel to the longitudinal axis of the screw housing, are arranged in a straight line.
Volgens de uitvinding is het membraan ingelast tussen twee ringen, welke op hun beurt bestanddeel van het schroefhuis zijn.According to the invention, the membrane is welded between two rings, which in turn form part of the screw housing.
15 De boringen in het huis, welke de elektrische contacten opnemen, zijn voor het afsteunen van de druk bij zeer hoge drukken conisch uitgevoerd, waarbij de diameter van de boring naar de drukloze ruimte toe afneemt, en de elektrische contacten ten opzichte van de wand van de boring met behulp van een glasvulling zijn geïsoleerd. De conici-20 teit van de elektrische contacten opneraende boringen bedraagt daarbij bij voorkeur 1:50.The bores in the housing, which receive the electrical contacts, are conical to support the pressure at very high pressures, the diameter of the bore decreasing towards the pressureless space, and the electrical contacts relative to the wall of the bore is insulated with a glass filling. The conicity of the electrical contacts regenerating bores is preferably 1:50.
De door de ring, het membraan en het eigenlijke huis gevormde tussenruimte is met een chemisch inert, elektrisch isolerend scheidingsfluïdum gevuld, welke een 1:1 drukoverbrenging mogelijk maakt.The gap formed by the ring, the membrane and the actual housing is filled with a chemically inert, electrically insulating separating fluid, which allows a 1: 1 pressure transmission.
25 In een verdere uitvoeringsvorm van de uitvinding is het membraan tussen een ring en een mechanische beschadigingen van het membraan verhinderende conisch toelopende afdekplaat ingelast, welke op zijn beurt bestanddeel van het schroefhuis is.In a further embodiment of the invention, the membrane is interposed between a ring and a conical tapering cover preventing mechanical damage to the membrane, which in turn is part of the screw housing.
De drukmeetcel is op gunstige wijze rechtstreeks of 30 indirekt op de wand van het schroefhuis aangebracht, welke de drukruimte van de drukloze ruimte scheidt.The pressure measuring cell is advantageously arranged directly or indirectly on the wall of the screw housing, which separates the pressure space from the pressure-free space.
De elektrische schakeling is volgens de uitvinding in de drukloze ruimte van het schroefhuis aangebracht en dient voor de versterking van zwakke uitgangssignalen van de druksensor. De schakeling 35 is volgens de uitvinding als versterkerhybride uitgevoerd.According to the invention, the electrical circuit is arranged in the pressureless space of the screw housing and serves to amplify weak output signals from the pressure sensor. According to the invention, the circuit 35 is designed as an amplifier hybrid.
Het schroefhuis is bij voorkeur in een voor de aankoppe-ling aan hydraulische of pneumatische systemen uitgevoerde adapter in- 8401168 -3- 23873/CV/mvlThe screw housing is preferably in an adapter designed for coupling to hydraulic or pneumatic systems. 8401168 -3- 23873 / CV / mvl
ft Ift I.
schroefbaar uitgevoerd.screwable.
De uitvinding zal hieronder nader worden uiteengezet aan de hand van een in bijgaande figuren weergegeven uitvoeringsvoorbeeld van de constructie volgens de uitvinding.The invention will be explained in more detail below with reference to an exemplary embodiment of the construction according to the invention shown in the accompanying figures.
5 Fig. 1 toont een doorsnede door het schroefhuis.FIG. 1 shows a section through the screw housing.
Fig. 2 toont het in fig. 1 af geheelde schroefhuis, gedeeltelijk in zijaanzicht en gedeeltelijk in langsdoorsnede.Fig. 2 shows the screw housing as shown in FIG. 1, partly in side view and partly in longitudinal section.
Fig. 3 toont op grotere schaal een deel van de membraan-bevestiging in langsdoorsnede.Fig. 3 shows, on a larger scale, part of the membrane attachment in longitudinal section.
10 De inrichting voor het meten van hoge drukken bestaat uit een schroefhuis 1, dat in een de druksensor 2 bevattend, van het druk-systeem door een druk overdragend membraan 3 gescheiden drukruimte 4 en een door elektrische contacten of aansluitstiften 5 verbonden, de daarbij behorende elektronische schakeling 14 bevattende drukloze ruimte 6 is 15 onderverdeeld. De voor het doorvoeren van de elektrische contacten aanwezige, ongeveer evenwijdig aan de langsas van het schroefhuis 1 verlopende boringen 7> zijn op een rechte lijn liggend aangebracht. De contactopstelling wijkt geheel af van de werktuigstekernormalisering en maakt de inbouw mogelijk van de elektronische schakeling 14, welke 20 is uitgevoerd als versterkerhybride en ter versterking van de zwakke uitgangssignalen van de druksensor 2 dient.The device for measuring high pressures consists of a screw housing 1, which in a pressure space 4 containing the pressure sensor 2, separated from the pressure system by a pressure-transmitting membrane 3, and a associated by electrical contacts or connecting pins 5, the associated electronic circuit 14 containing pressureless space 6 is subdivided. The bores 7, which run approximately parallel to the longitudinal axis of the screw housing 1, for the passage of the electrical contacts are arranged in a straight line. The contact arrangement deviates completely from the tool plug standardization and allows the installation of the electronic circuit 14, which is designed as an amplifier hybrid and serves to amplify the weak output signals of the pressure sensor 2.
In de in fig. 2 weergegeven uitvoeringsvorm is het membraan 3 ingelast tussen een ring 8 en een afdekplaat 11.In the embodiment shown in Fig. 2, the membrane 3 is welded between a ring 8 and a cover plate 11.
De in het huis aanwezige boringen 7, welke de elektrische 25 contacten of aansluitstiften 5 opnemen, zijn voor het afsteunen van de druk bij zeer hoge drukken conisch uitgevoerd, waarbij de diameter van de boring naar de drukloze ruimte 6 toe afneemt. Voor het drukdicht isoleren zijn de elektrische contacten ten opzichte van de wand van de boring met behulp van een glasvulling geïsoleerd. De coniciteit bedraagt 30 bij het hier weergegeven uitvoeringsvoorbeeld 1:50.The bores 7 present in the housing, which receive the electrical contacts or connecting pins 5, are conical to support the pressure at very high pressures, the diameter of the bore decreasing towards the pressureless space 6. For pressure-tight insulation, the electrical contacts are insulated from the wall of the bore using a glass filling. The taper is 30 in the exemplary embodiment shown here 1:50.
De druksensor 2 is in de drukruimte 4 aangebracht en bevestigd op een aansluitstift 5, welke aan zijn boveneinde is voorzien van een "spijkerkop". Door deze maatregel wordt bereikt, dat de druksensor zo storingsvrij mogelijk de drukgolven kan ontvangen, welke hem 35 via het zich in de drukruimte 4 bevindende scheidingsfluïdum worden overgedragen.The pressure sensor 2 is arranged in the pressure space 4 and mounted on a connecting pin 5, which is provided at its top end with a "nail head". By this measure it is achieved that the pressure sensor can receive as undisturbed as possible the pressure waves which are transmitted to it via the separating fluid located in the pressure space 4.
Zoals uit fig. 2 zichtbaar is, is het membraan 3 tussen 8401168 -4- 23873/CV/mvl de ring 8 en in de mechanische beschadigingen van het membraan 3 voorkomende conisch toelopende afdekplaat 11 ingelast, welke op zijn beurt een bestanddeel van het schroefhuis 1 is.As can be seen from Fig. 2, the membrane 3 is welded between the ring 8 and the conical tapering cover 11, which in turn is a component of the screw housing, between the ring 8 and the mechanical damage of the membrane 3, 1.
Zoals hierboven reeds werd opgemerkt, is de door de ring 5 8, het membraan 3 en het eigenlijke huis 1 gevormde tussenruimte,name lijk de drukruimte 4, gevuld met een chemisch inert, elektrisch isolerend scheidingsfluïdum, welke een 1:1 drukoverbrenging mogelijk maakt.As already noted above, the gap formed by the ring 58, the membrane 3 and the actual housing 1, namely the pressure space 4, is filled with a chemically inert, electrically insulating separating fluid, which enables a 1: 1 pressure transmission.
In de drukruimte 4 zijn naast de druksensor 2 een druk-schakelaar 13 en een temperatuursensor 16 aangebracht. In het hier 10 weergegeven uitvoeringsvoorbeeld zijn de drukschakelaar 13 en de temperatuursensor 16 met de bodem van het huis 1 in de drukruimte4 verbonden.In the pressure space 4, next to the pressure sensor 2, a pressure switch 13 and a temperature sensor 16 are arranged. In the exemplary embodiment shown here, the pressure switch 13 and the temperature sensor 16 are connected to the bottom of the housing 1 in the pressure space 4.
De elektrische contacten van de druksensor 2, van de drukschakelaar 13 en van de temperatuursensor 16 zijn telkens door de elektrische ver-bindingsleidingen 15 via de aansluitstiften 5 met de in de drukloze 15 ruimte aanwezige elektronische schakeling 14 verbonden.The electrical contacts of the pressure sensor 2, of the pressure switch 13 and of the temperature sensor 16 are each connected by the electrical connecting lines 15 via the connecting pins 5 to the electronic circuit 14 present in the pressureless space 15.
Het huis 1 is voorzien van een inschroefschroefdraad 17 en een daarboven gelegen afdichtring 18, zodat het kan worden ingeschroefd in een adapter,The housing 1 is provided with a screw-in thread 17 and a sealing ring 18 located above it, so that it can be screwed into an adapter,
Fig. 3 toont een uitvoeringsvorm van een drukinstelin-20 richting met een membraanbevestiging, welke afwijkend is van de uitvoeringsvorm volgens fig. 2. Hierbij is het membraan 3 tussen twee huisringen 8 en 9 bevestigd, bij voorkeur gelast. De ringen 8 en 9 zijn op hun beurt aan het huis 1 bevestigd, bij voorkeur eveneens gelast, zodat zij een vast bestanddeel van het huis vormen.Fig. 3 shows an embodiment of a pressure setting device with a membrane mounting, which differs from the embodiment according to FIG. 2. Here, the membrane 3 is fixed between two housing rings 8 and 9, preferably welded. The rings 8 and 9 are in turn attached to the housing 1, preferably also welded, so that they form a solid part of the housing.
25 Met de analoge druk- en temperatuursensor volgens de uit vinding worden in samenhang met overeenkomstige inbouwmeetinrichtingen continu en gelijktijdig drukken en temperaturen gemeten. Daarbij wordt de fysische grootheid "druk" met behulp van de piëzoresistieve druk-sensors en halfgeleiderchips 2 gemeten en in een proportionele ken-30 grootheid omgezet en met een geïntegreerde versterker op een in het bijzonder storingsvrij signaalniveau versterkt. De meetgebieden strekken zich uit tot aan nominale drukken van 400 bar bij 100% overbelastings-veiligheid. Er zijn piekdrukken tot aan 600 bar meetbaar en het temperatuurgebied strekt zich uit van -20 °C tot + 120 °C.With the analog pressure and temperature sensor according to the invention, pressures and temperatures are measured continuously and simultaneously in conjunction with corresponding built-in measuring devices. The physical quantity "pressure" is measured with the aid of the piezoresistive pressure sensors and semiconductor chips 2 and converted into a proportional characteristic and amplified with an integrated amplifier at a particularly interference-free signal level. The measuring ranges extend up to nominal pressures of 400 bar at 100% overload safety. Peak pressures up to 600 bar are measurable and the temperature range extends from -20 ° C to + 120 ° C.
35 Door de geïntegreerde opstelling van de sensorversterker in het huis van de inrichting ontstaan korte elektrische verbindingen van de sensors naar de versterker, zodat nog bijzonder zwakke signalen ont- 84 0 1 1 6 8 Λ t -5- 23873/CV/mvl vangen en versterkt kunnen worden. De inrichting volgens de uitvinding is dan ook in staat reeds kleine druk- en temperatuurwijzigingen continu en storingsvrij vast te stellen en te benutten.35 The integrated arrangement of the sensor amplifier in the housing of the device creates short electrical connections from the sensors to the amplifier, so that particularly weak signals are received. 84 0 1 1 6 8 Λ t -5- 23873 / CV / mvl and can be strengthened. The device according to the invention is therefore able to detect and utilize even small pressure and temperature changes continuously and without problems.
84011688401168
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833313259 DE3313259A1 (en) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | SENSOR |
| DE3313259 | 1983-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL8401168A true NL8401168A (en) | 1984-11-01 |
Family
ID=6196198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL8401168A NL8401168A (en) | 1983-04-13 | 1984-04-12 | DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4563903A (en) |
| DE (1) | DE3313259A1 (en) |
| NL (1) | NL8401168A (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4800758A (en) * | 1986-06-23 | 1989-01-31 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with stress isolation for hard mounting |
| US5000047A (en) * | 1988-03-29 | 1991-03-19 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor |
| JPH0820326B2 (en) * | 1988-03-29 | 1996-03-04 | 日本電装株式会社 | Semiconductor pressure sensor |
| GB2227566A (en) * | 1989-01-03 | 1990-08-01 | Peter John Schwind | Pressure transducer |
| US4970898A (en) * | 1989-09-20 | 1990-11-20 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with flame isolating plug |
| US6076409A (en) * | 1997-12-22 | 2000-06-20 | Rosemount Aerospace, Inc. | Media compatible packages for pressure sensing devices |
| US6311561B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-11-06 | Rosemount Aerospace Inc. | Media compatible pressure sensor |
| DE10332284A1 (en) * | 2003-07-16 | 2005-02-03 | Robert Bosch Gmbh | Pressure sensor has body with sealing forces decoupled from sensor membrane by groove midway between sensor element ends |
| ITTO20080484A1 (en) * | 2008-06-19 | 2009-12-20 | Eltek Spa | PRESSURE SENSOR DEVICE |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3198013A (en) * | 1961-10-05 | 1965-08-03 | Pechiney | Pressure gage |
| US3237138A (en) * | 1963-09-03 | 1966-02-22 | Rosemount Eng Co Ltd | Integral strain transducer |
-
1983
- 1983-04-13 DE DE19833313259 patent/DE3313259A1/en not_active Ceased
-
1984
- 1984-04-12 NL NL8401168A patent/NL8401168A/en not_active Application Discontinuation
- 1984-04-12 US US06/599,395 patent/US4563903A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3313259A1 (en) | 1984-10-25 |
| US4563903A (en) | 1986-01-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7929267B2 (en) | System comprising an automotive fuse and an A/D converter | |
| KR101808928B1 (en) | Strain transmitter | |
| US5046858A (en) | Temperature reference junction for a multichannel temperature sensing system | |
| US4726233A (en) | Electric pressure pick-off | |
| NL8401168A (en) | DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. | |
| US4563902A (en) | Pressure and temperature sensor | |
| US4768375A (en) | Pressure sensor | |
| US5134888A (en) | Electrical devices for measuring hydraulic pressure | |
| US10969287B2 (en) | Filling body for reducing a volume of a pressure measurement chamber | |
| US9261419B2 (en) | Modular load structure assembly having internal strain gaged sensing | |
| KR970007320A (en) | Semiconductor differential pressure measuring device | |
| CN110068396B (en) | Wireless thermocouple | |
| KR20190064451A (en) | Current sensor and method for measuring an electric current | |
| NL8401169A (en) | DEVICE FOR MEASURING PRESSURES. | |
| CN213985403U (en) | Packaging structure of MEMS (micro-electromechanical system) thermopile chip temperature sensor | |
| US6220101B1 (en) | Apparatus for measuring multiple pressures | |
| US5415044A (en) | Semiconductor acceleration sensor including means for detecting weight detachment | |
| CN219348004U (en) | Sensor with temperature and pressure dual current output | |
| JP2764993B2 (en) | Semiconductor pressure detector | |
| US7783446B2 (en) | Measuring system comprising variably sensitive outputs | |
| KR102692157B1 (en) | Diaphragm vacuum gauge | |
| CN214616490U (en) | High-temperature through-core electromagnetic flow logging instrument | |
| JP4255926B2 (en) | Strain and temperature measuring device | |
| CN210513344U (en) | Magnetostrictive liquid level meter sensor with self-calibration function | |
| CN113302810A (en) | Contamination and torque measuring device for bus bar add-on connection module |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
| BV | The patent application has lapsed |