NL8002515A - METHOD FOR PASSIVATING METALLIC SURFACES IN CURRENT COPPER SALES. - Google Patents

METHOD FOR PASSIVATING METALLIC SURFACES IN CURRENT COPPER SALES. Download PDF

Info

Publication number
NL8002515A
NL8002515A NL8002515A NL8002515A NL8002515A NL 8002515 A NL8002515 A NL 8002515A NL 8002515 A NL8002515 A NL 8002515A NL 8002515 A NL8002515 A NL 8002515A NL 8002515 A NL8002515 A NL 8002515A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
copper
solution
coating
electroless
potential
Prior art date
Application number
NL8002515A
Other languages
Dutch (nl)
Other versions
NL189769B (en
Original Assignee
Kollmorgen Tech Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kollmorgen Tech Corp filed Critical Kollmorgen Tech Corp
Publication of NL8002515A publication Critical patent/NL8002515A/en
Publication of NL189769B publication Critical patent/NL189769B/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • C23C18/1621Protection of inner surfaces of the apparatus
    • C23C18/1623Protection of inner surfaces of the apparatus through electrochemical processes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F13/00Inhibiting corrosion of metals by anodic or cathodic protection
    • C23F13/005Anodic protection
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/187Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating means therefor, e.g. baths, apparatus

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Prevention Of Electric Corrosion (AREA)

Description

70 0k29 ï70 0k29 ï

Werkwijze voor het passiveren van metallische oppervlakken hij stroomloze koperafzetting.Method for passivation of metallic surfaces and electroless copper deposition.

Stroomloze metaalafzettingsbaden, h.v. stroomloze koperoplossingen zijn bekend en geschikt voor het afzetten van metaal op niet-metallische en metallische oppervlakken. Dergelijke oplossingen bezitten de eigenschap een metaal in vrijwel elke gewenste dikte af te kunnen zetten, zonder dat elektronen uit een uitwendige stroombron behoeven te worden toegevoerd. Nadat een metaalafzetting stroomloos op het oppervlak van het voorwerp is gevormd, wordt het stroomloze bekledings-proces autokatalytisch, d.w.z. de metaalafzetting op het oppervlak blijft zo lang voortgaan, als de oplossing wordt aangevuld en gehandhaafd.Electroless metal deposition baths, h.v. electroless copper solutions are known and suitable for depositing metal on non-metallic and metallic surfaces. Such solutions have the property of being able to deposit a metal in almost any desired thickness, without the need to supply electrons from an external current source. After a metal deposit is formed electrolessly on the surface of the article, the electroless plating process becomes autocatalytic, i.e. the metal deposit on the surface continues as long as the solution is replenished and maintained.

Speciale vermelding wordt gemaakt van de toepassing van stroomloze metalliseringsprocedures bij het bekleden van kunststoffen, in het bijzonder bij de vervaardiging van gedrukte schakelingenplaten.Special mention is made of the use of electroless metallization procedures in the coating of plastics, in particular in the manufacture of printed circuit boards.

Wanneer stroomloze bekledingstehandelingen van het voornoemde type op commerciële schaal worden uitgevoerd, worden meestal grote bekledingsvaten toegepast. De te bekleden delen of voorwerpen worden ondergedompeld in de koperafzettingsoplossing in het bekledings-vat. De delen of voorwerpen zijn in het algemeen ondersteund op rekken of frames, die in de oplossing zijn ondergedompeld. In de praktijk is gevonden, dat indien het bekledingsvat en de steunrekken geconstrueerd zijn van kunststofmateriaal of glas, de gedurende de stroomloze koper-bekleding in de oplossing gevormde koperdeeltjes gaan kleven aan de oppervlakken van deze installatie. De aangehechte koperdeeltjes leveren plaatsen voor een verdere stroomloze koperafzetting en groei. Tenslotte wordt het grootste deel of nagenoeg het gehele oppervlak van een dergelijke installatie bedekt met een afzetting van stroomloos koper.When electroless coating operations of the aforementioned type are performed on a commercial scale, large coating vessels are usually used. The parts or objects to be coated are immersed in the copper deposition solution in the coating vessel. The parts or objects are generally supported on racks or frames immersed in the solution. It has been found in practice that if the coating vessel and the support racks are constructed of plastic material or glass, the copper particles formed in the solution during the electroless copper coating will stick to the surfaces of this installation. The attached copper particles provide places for further electroless copper deposition and growth. Finally, most or almost all of the surface of such an installation is covered with a deposit of electroless copper.

Door dit proces worden de bestanddelen van het afzettingsbad opgebruikt.This process uses up the components of the deposition bath.

Verder dient de bekledingsbehandeling van tijd tot tijd te worden onderbroken om de tank leeg te maken en het koper van de oppervlakken van de installatie af te etsen. Deze etsprocedure is nadelig, omdat de behandeling moet worden gestopt en grote hoeveelheden dure ets-, terug-winnings- en afvalbehandelingschemiealien nodig zijn.Furthermore, the coating treatment must be interrupted from time to time to empty the tank and etch the copper off the surfaces of the installation. This etching procedure is disadvantageous because treatment has to be stopped and large amounts of expensive etching, recovery and waste treatment chemicals are required.

fiiin 2 5 15 » 2fiiin 2 5 15 »2

Het is een verder nadeel, dat de etsprocedure de structuur van de niet-metallische bekledingsvaten, rekken en dergelijke verzwakt en de nuttige levensduur verkort.It is a further drawback that the etching procedure weakens the structure of the non-metallic coating vessels, racks and the like and shortens the useful life.

Toepassing van bekledingsvaten en andere bekledings-installaties van metallisch materiaal zou wenselijk zijn vanwege de grotere duurzaamheid en normaliter grotere beschikbaarheid daarvan. Dergelijke vaten en installaties zijn echter in bepaalde aspekten zelfs sterker onderworpen aan de voornoemde nadelen. In het bijzonder zijn metalen, die in het algemeen geschikt zijn voor de constructie van tanks en andere bekledingsinstallaties, b.v. staal met inbegrip van roestvrij staal, katalytisch aktief met betrekking tot het oxyderen van het reduktiemiddel, dat in de stroomloze koperbekledingsoplossingen aanwezig is, waardoor gemakkelijk de vorming van een beginnende koper-afzetting op de oppervlakken daarvan wordt ingeleid, hetgeen op zijn beurt veroorzaakt dat continu koperafzettingen op de metallische oppervlakken, die in aanraking zijn met de stroomloze afzettingsoplos-sing, worden gevormd. Dit probleem is bijzonder akuut wanneer instelbare metalen rekken, d.w.z. die metalen bevestigingen bevatten, worden toegepast, omdat deze bevestigingen worden bekleed met een stroomloos gevormde metaalafzetting, waardoor het losmaken daarvan moeilijk wordt'.Use of coating vessels and other metallic coating installations would be desirable because of their greater durability and normally greater availability. However, in certain aspects such vessels and installations are even more subject to the aforementioned drawbacks. In particular, metals generally suitable for the construction of tanks and other coating plants, e.g. steel, including stainless steel, catalytically active with respect to oxidizing the reducing agent present in the electroless copper plating solutions, easily initiating the formation of an incipient copper deposit on its surfaces, which in turn causes continuous copper deposits on the metallic surfaces in contact with the electroless deposition solution are formed. This problem is particularly acute when adjustable metal racks, i.e., containing metal fasteners, are used because these fasteners are coated with an electroless metal deposit, making them difficult to release.

Het is bekend dat bekledingsvaten ,· gemaakt van metallische steunwanden, alsmede andere metallische bekledingsinstallaties, zoals rekken, loodwerk en dergelijke tijdelijk bestendig bunnen worden gemaakt ten opzichte van stroomloze metaalafzetting door een voorbehandeling met een chemicalie, b.v. een salpeterzuuroplossing, waarmee de respektieve oppervlakken voor katalytische oxydatie van het in het bad aanwezige reduktiemiddel inaktief worden gemaakt. Dergelijke chemische behandelingen blijken echter binnen enkele uren bedrijf hun effekt te verliezen en zijn derhalve ten gebruike in een produktiemethode onpraktisch.Coating vessels made of metallic support walls, as well as other metallic coating installations such as racks, plumbing and the like, are known to be made temporarily resistant to electroless metal deposition by chemical pretreatment, e.g. a nitric acid solution, which inactivates the respective catalytic oxidation surfaces of the reducing agent contained in the bath. However, such chemical treatments appear to lose their effect within a few hours of operation and are therefore impractical to use in a production method.

Het .Amerikaanse octrooischrift 3.^2^.660 beschrijft, dat bekledingsvaten met metallische steunwanden tegen een stroomloze metaalafzetting, in het bijzonder nikkel-hekledingen, kunnen worden beschermd door daarover een potentiaal aan te leggen met een waarde die overeenkomt met de rustpotentiaal of het beschermingspotentiaalge-bied van de stroomdichtheid/potentiaal-kromme. De stroomdichtheid 800 2 5 15 3 _4 2 wordt ingesteld op niet meer dan ongeveer 10 A/cm .U.S. Pat. No. 3 ^ 2 ^. 660 discloses that coating vessels with metallic support walls can be protected from electroless metal deposition, especially nickel gate linings, by applying a potential thereon of a value corresponding to the resting potential or protection potential range of the current density / potential curve. The current density 800 2 5 15 3 _4 2 is set to no more than about 10 A / cm.

Het Duitse Offenlegungsschrift 2.639.2^7 beschrijft, dat bekledingstanks of rekken, gemaakt van een metaal, zoals kobalt of nikkel, tegen stroomloze metaalafzetting, zoals een stroomloze koper- afzetting, bestendig kunnen worden gemaakt door deze te laden met een 2 stroomdichtheid van ten minste ^ mA/dm .German Offenlegungsschrift 2,639.2 ^ 7 describes that cladding tanks or racks made of a metal, such as cobalt or nickel, can be made resistant to electroless metal deposits, such as an electroless copper deposit, by charging them with a current density of at least 2 least ^ mA / dm.

In de Japanse octrooipublikatie 5^-36577 is tevens voorgesteld een metalen bekledingsvat, zoals van chroom-nikkelstaal, bestendig te maken tegen chemische bekleding door een positieve elektri-) sche potentiaal op het oppervlak van het vat gedurende de behandeling aan te brengen.Japanese Patent Publication No. 5-365777 has also proposed making a metal coating vessel, such as chromium-nickel steel, resistant to chemical coating by applying a positive electrical potential to the surface of the vessel during treatment.

In de commerciële praktijk zijn voornoemde procedures niet bevredigend gebleken wanneer toegepast voor stroomloze koperbekle-dingsmethoden. Wanneer de gewenste stroomloze koperbekledingsreaktie 3 op de te bekleden oppervlakken voortschrijdt', moeten de bekledingschemi-caliën, in de oplossing die worden verbruikt, worden aangevuld. Deze aanvulling veroorzaakt gewoonlijk lokale fluctuaties in de concentraties van de chemicaliën, alsmede de invoering van'verdere onzuiverheden in de oplossing. Daarbij vormen zich koperplaatsen die in de massa van_ !0 de oplossing aangroeien tot koperdeeltjes. Dergelijke koperdeeltjes of stof alsmede vuil in de afzettingsoplossing en diskrete deeltjes van in de afzettingsoplossing gevormd neergeslagen koper, komen in aanraking met de tank en andere installatieoppervlakken. Dergelijke koperneer-slagen, in mechanisch en elektrisch kontakt met de genoemde oppervlak-25 ken, doen een hoge stroom door de metallische bekledingsinrichting vloeien waardoor aldus de elektrische potentiaal, die op een dergelijke installatie wordt aangelegd, afneemt en beneden de waarde komt, die noodzakelijk is voor het remmen van de oxydatie van het reduktiemiddel zodat deze aldus onbruikbaar wordt om de genoemde oppervlakken vrij van 30 stroomloos daarop gevormde koperafzettingen te houden. Een equivalent gebied van metallisch koper vereist ten minste twee grootte-orden meer stroom dan roestvrij staal om weerstand te bieden tegen stroomloze koper-afzetting.In commercial practice, the aforementioned procedures have not been satisfactory when used for electroless copper plating methods. As the desired electroless copper plating reaction 3 proceeds on the surfaces to be coated, the plating chemicals in the solution consumed must be replenished. This addition usually causes local fluctuations in the concentrations of the chemicals, as well as the introduction of further impurities in the solution. Copper sites are formed which grow into copper particles in the bulk of the solution. Such copper particles or dust as well as dirt in the deposition solution and discrete particles of deposited copper formed in the deposition solution come into contact with the tank and other installation surfaces. Such copper deposits, in mechanical and electrical contact with said surfaces, cause a high current to flow through the metallic plating device, thus decreasing the electrical potential applied to such an installation and falling below the value necessary is for inhibiting oxidation of the reducing agent so that it becomes unusable to keep said surfaces free of copper deposits formed electrolessly thereon. An equivalent area of metallic copper requires at least two orders of magnitude more current than stainless steel to resist electroless copper deposition.

Aangenomen, wordt dat dit wordt veroorzaakt door de 35 aanmerkelijk hogere katalytische aktiviteit van koper - vergeleken met staal - voor het oxyderen van het reduktiemiddel en aldus het aantal h gevormde elektronen.This is believed to be due to the markedly higher catalytic activity of copper - compared to steel - to oxidize the reducing agent and thus the number of electrons formed.

Hoewel derhalve de oppervlakken van bekende» toegepaste installaties bestendig zijn tegen stroomloze afzetting gedurende de begintrappen van de behandeling, gaat na een korte tijdsperiode, 5 wanneer men dergelijke methoden op commerciële schaal toepast, de weerstand van het oppervlak van de installatie verloren. Aldus kunnen de bekende methoden niet met succes worden aangepast aan commercieel gebruik.Therefore, although the surfaces of known installations used are resistant to electroless deposition during the initial stages of treatment, after a short period of time, when such methods are used commercially, the surface resistance of the installation is lost. Thus, the known methods cannot be successfully adapted to commercial use.

Een extra probleem dat dikwijls bij de vervaardiging 10 van te bekleden voorwerpen die in bekledingsrekken worden vastgehouden, b.v. gedrukte schakelingenplaten, optreedt is dat bij dergelijke procedures soms koperlagen, die geen deel vormen van het ketenpatroon zelf, op de randen van het isolerende substraat worden gevormd. Indien dergelijke koperranden in kontakt komen met de metalen rekken die het sub-15 straat steunen, zal de stroombehoefte drastisch worden verhoogd, waardoor de elektrische potentiaal, die over het rek is aangelegd zodanig vermindert of afneemt, dat deze tenslotte daalt beneden de minimum-potentiaal, die bij toepassing van de bekende procedures en voorschriften vereist is voor het vermijden van bekleding. De potentiostaten van 20 de bekende methoden zijn in staat tot maximum-stromen van niet meer dan 1 Amp, hetgeen een gebrek aan kennis of begrip van het probleem, aangetroffen bij het bekleden op grotere schaal, zoals bij een commerciële toepassing aanduidt.An additional problem often encountered in the manufacture of articles to be coated which are held in coating racks, e.g. printed circuit boards, it occurs that in such procedures copper layers, which are not part of the circuit pattern itself, are sometimes formed on the edges of the insulating substrate. If such copper edges come into contact with the metal racks supporting the substrate, the power requirement will increase dramatically, reducing or decreasing the electrical potential applied across the rack so that it finally drops below the minimum potential , which is required to avoid coating when applying known procedures and regulations. The potentiostats of the known methods are capable of maximum currents of no more than 1 Amp, indicating a lack of knowledge or understanding of the problem found in larger scale coating, as indicated in a commercial application.

Het is een hoofddoel van de uitvinding te voorzien 25 in een werkwijze voor een stroomloze koperafzetting, waarbij een metallische bekledingsinrichting in contact met de afzettingsoplossing in het begin bestendig wordt gemaakt ten opzichte van stroomloze koperaf zettingen en gedurende langdurige perioden van de bekledingsbehande-ling in een bestendige toestand wordt gehandhaafd.It is a main object of the invention to provide a method for electroless copper deposition, in which a metallic coating device in contact with the deposition solution is initially rendered resistant to electroless copper deposits and during prolonged periods of the coating treatment in a stable condition is maintained.

30 Het is een ander doel van de uitvinding in commerciële afzettingswerkwijzen de toepassing van metallische afzettingsinstalla-ties gedurende langdurige perioden mogelijk te maken, zonder dat koper-afzettingen worden opgebouwd, die door etsen moeten worden verwijderd.It is another object of the invention in commercial deposition processes to allow the use of metallic deposition plants for extended periods of time without building up copper deposits which must be removed by etching.

Het is een volgend doel van de uitvinding te voor-35 zien in stroomloze koperafzettingswerkwijzen, waarbij koperneerslagen in kontakt met de bekledingsinstallatie gemakkelijk kunnen worden ver- 800 2 5 15 * 5 wijderd, zoals door afTborstelen, afvegen, vacuumtrekken, zonder dat de bekledingsbehandeling moet worden stilgelegd.It is a further object of the invention to provide electroless copper deposition processes in which copper deposits in contact with the coating plant can be easily removed, such as by brushing, wiping, vacuum drawing, without the need for the coating treatment be shut down.

Het is een ander doel van de uitvinding te voorzien in verbeterde methoden voor het vervaardigen van gedrukte schakelingenplaten, waarbij aanhechtende stroomloze koperafzettingen op de oppervlakken van de installatie worden vermeden.It is another object of the invention to provide improved methods for manufacturing printed circuit boards, avoiding adherent electroless copper deposits on the surfaces of the installation.

Het is nog een volgend doel van de uitvinding te voorzien in een werkwijze voor het vormen van gedrukte schakelingenplaten, waarin een ongewenste opbouw van stroomloos koper of de randen van de te bekleden panelen wordt voorkomen. *It is yet a further object of the invention to provide a method of forming printed circuit boards in which an undesired build-up of electroless copper or the edges of the panels to be coated is prevented. *

De voornoemde doeleinden, alsmede andere doeleinden, die uit de beschrijving duidelijk zullen worden, kunnen volgens de nu te beschrijven werkwijze van de uitvinding worden bereikt.The aforementioned objects, as well as other objects which will become apparent from the description, can be achieved according to the method of the invention to be described now.

In het bijzonder kan men met de uitvinding een verla-i ging van de bekledingskosten van tot 30$ of meer bereiken, hetgeen in hoofdzaak te danken is aan de besparingen aan bekledings- of afzettings-ehemicaliën en zuren en neutraliserende basen, die nodig zijn om het koper periodiek van de bekledingstanks en de andere oppervlakken van de installatie af te etsen en voor het terugwinnen van waardevolle be-0 standdelen uit het gebruikte etsmiddel en de afvalbehandeling van deze laatste. Extra besparingen kunnen worden bereikt door het vermijden van arbeidskosten en verloren produktietijd, die door dergelijke etsings-, terugwinnings- en afvalbehandelingsprocedures nodig zijn.In particular, the invention achieves a reduction in coating costs of up to $ 30 or more, which is primarily due to the savings in coating or deposition chemicals and acids and neutralizing bases required to periodically etching the copper off the coating tanks and other surfaces of the installation and recovering valuable components from the etchant used and the waste treatment of the latter. Additional savings can be achieved by avoiding labor costs and lost production time required by such etching, recovery and waste treatment procedures.

Zonder de uitvinding op enigerlei wijze te beperken 5 wordt aangenomen, dat deze is gebaseerd op de volgende inventieve opvattingen en waarnemingen:Without limiting the invention in any way, it is believed to be based on the following inventive views and observations:

Het oxyderen van geschikte reduktiemiddelen, die in stroomloze koperbekledingsbaden aanwezig zijn, b.v.-formaldehyde, op oppervlakken, die voor dergelijke oxydatiereakties katalytisch aktief 30 zijn, produceert elektronen, waardoor een dergelijk oppervlak negatief wordt geladen; de bekleding van kopermetaal afkomstig uit de koperionen-omvattende oplossingen verbruikt elektronen. Koperionen die door geschikte complexvormers in oplossing blijven en die in kontakt komen met een dergelijk geladen oppervlak, worden derhalve afgezet als metal-35 lisch koper, waardoor de negatieve lading van het respektieve oppervlak wordt verminderd hetgeen leidt tot een stroomloze afzetting van een 6 koperlaag op het oppervlak. De potentiaal van het oppervlak, dat door de twee reakties ontstaat staat bekend als de "gemengde potentiaal".The oxidation of suitable reducing agents, which are present in electroless copper plating baths, eg formaldehyde, on surfaces which are catalytically active for such oxidation reactions produces electrons, thereby negatively charging such a surface; the copper metal coating from the copper ion-containing solutions consumes electrons. Copper ions which remain in solution by suitable complexing agents and which come into contact with such a charged surface are therefore deposited as metallic copper, thereby reducing the negative charge of the respective surface leading to an electroless deposition of a 6 copper layer on the surface. The potential of the surface created by the two reactions is known as the "mixed potential".

Het oppervlak van staal, dat wordt toegepast voor tanks of rekken, alsmede roestvrij staal en andere geschikte metalen, 5 is voldoende katalytisch met betrekking tot de oxydatie van b.v. formaldehyde om gevoelig te worden gemaakt voor de stroomloze vorming van koperafzettingen.The surface of steel used for tanks or racks, as well as stainless steel and other suitable metals, is sufficiently catalytic with respect to the oxidation of e.g. formaldehyde to be sensitized to the electroless formation of copper deposits.

Door de respektieve metaaloppervlakken een deel van een elektrische keten, die een bron van elektriciteit omvat, te maken, 10 is het niet alleen mogelijk de op genoemd metaaloppervlak gevormde lading als gevolg van de katalytische oxydatie van het reduktiemiddel te compenseren, maar tevens het oppervlak te voorzien van een laag met verminderde of nagenoeg afwezige, katalytische aktiviteit voor de oxydatie van de genoemde reduktiemiddelen. Het resultaat van deze proce-15 dure is, dat geen koperafzettingen op genoemd oppervlak (of oppervlakken) worden gevormd.By making the respective metal surfaces part of an electrical circuit comprising a source of electricity, it is possible not only to compensate the charge formed on said metal surface due to the catalytic oxidation of the reducing agent, but also to compensate the surface provided with a layer of reduced or substantially absent catalytic activity for the oxidation of said reducing agents. The result of this procedure is that no copper deposits are formed on said surface (or surfaces).

Bij praktisch gebruik worden elektrisch gevormde koperaf zettingen gevormd op alle oppervlakken of voorwerpen, die gevoelig zijn voor een dergelijke afzetting en zijn ondergedompeld in de stroom-20 loze koperoplossing.In practical use, electrically formed copper deposits are formed on all surfaces or objects that are sensitive to such deposits and are immersed in the electroless copper solution.

Statistisch wordt een bepaald aantal koperionen op het oppervlak, van het te bekleden voorwerp gereduceerd tot koper (0) of koper (I) niet opgenomen in het netwerk van de oppervlakteafzetting, maar drijft terug in de massa van de oplossingen. Agglomeraties vormen 25 deeltjes die op zichzelf katalytisch aktief zijn en dus aanleiding geven tot koperafzetting op het oppervlak daarvan. Verder is er tevens, veroorzaakt door verontreinigingen en door de lokale toename van de concentratie van bepaalde chemicaliën als gevolg van het aanvullen van de afzettingsbadoplossing, een bepaalde neiging tot vorming van koper-30 plaatsen en deeltjes in de massa van de afzettingsbadoplossing. Koperplaatsen of deeltjes, die in de badoplossing aanwezig zijn, hechten zich aan metaaloppervlakken, b.v. de tankvanden, rekken en andere afzettings-apparatuur terwijl tevens een neerslag van dergelijke deeltjes op de bodem van het bekledingsvat wordt gevormd.Statistically, a certain number of copper ions on the surface, from the object to be coated to copper (0) or copper (I), are not included in the surface deposition network, but float back into the bulk of the solutions. Agglomerations form 25 particles which are themselves catalytically active and thus give rise to copper deposition on the surface thereof. Furthermore, due to impurities and the local increase in the concentration of certain chemicals due to the replenishment of the deposition bath solution, there is also a certain tendency to form copper sites and particles in the mass of the deposition bath solution. Copper sites or particles present in the bath solution adhere to metal surfaces, e.g. the tank fenders, racks and other deposition equipment while also depositing such particles on the bottom of the coating vessel.

35 Bij het ontstaan van een dergelijk. neerslag in kontakt met de metallische oppervlakken van de bekledingsinstallatie, beginnen 800 2 5 15 * 1 7 .35 In the emergence of such. precipitation in contact with the metallic surfaces of the coating plant, begin 800 2 5 15 * 1 7.

deze oppervlakken koperafzettingen aan te nemen, en na een korte tijdsperiode gedragen zij ziek op dezelfde wijze als metallische oppervlakken in kontakt met stroomloze koperbekledingsbaden en in het algemeen doen zij derhalve de bovenbeschreven ongvenste resultaten ontstaan.these surfaces take on copper deposits, and after a short period of time they behave ill in the same manner as metallic surfaces in contact with electroless copper plating baths, and thus generally produce the above-described undesirable results.

De katalytische aktiviteit en aldus het rendement van de oxydatie van het reduktiemiddel op koperoppervlakken is aanzienlijk hoger dan de katalytische aktiviteit van b.v. roestvrij staal, zodat voor de elektronen, gevormd op betrekkelijk weinig koperdeeltjes die in kontakt zijn met b.v. het bodemoppervlak van het bekledingsvat, 3 compenserende stromen uit de bovengenoemde bron van elektriciteit nodig zijn, die drastisch groter zijn dan de stromen nodig voor het passi-veren van het roestvrij stalen oppervlak. Uitgezonderd indien men de voorschriften van de uitvinding volgt, leidt dit tot een verandering van de potentiaal van het metallische oppervlak tot zodanig meer nega-5 tieve waarden, dat vorming van een stroomloze afzetting op de genoemde oppervlakken wordt veroorzaakt. Indien echter volgens de voorschriften van de uitvinding de toevoer van elektriciteit aan de metaaloppervlakken op zodanige wijze wordt gedimensioneerd, dat daardoor de stroom wordt geleverd die noodzakelijk is voor het doeltreffend compenseren van de !0 op de koperoppervlakken gevormde elektronen ter handhaving van een op-pervlaktepotentiaal, die voldoende positief is ter onderdrukking van koperbekleding op de genoemde oppervlakken en bij voorkeur ter levering van een katalytisch inaktieve oppervlaktelaag op zowel de metalen wanden van het bekledingsvat als de installatie, alsmede op het opper-25 vlak van. de daarmee in kontakt zijnde koperdeeltjes, zal geen bekleding op de wanden of koperdeeltjes in kontakt met deze wanden plaatsvinden.The catalytic activity and thus the oxidation efficiency of the reducing agent on copper surfaces is considerably higher than the catalytic activity of e.g. stainless steel, so that for the electrons formed on relatively few copper particles in contact with e.g. the bottom surface of the coating vessel, 3 compensating currents from the above source of electricity are required, which are drastically greater than the currents required to pass the stainless steel surface. Except if one follows the instructions of the invention, this leads to a change in the potential of the metallic surface to such more negative values that formation of an electroless deposit on said surfaces is caused. However, in accordance with the present invention, if the supply of electricity to the metal surfaces is dimensioned to provide the current necessary to effectively compensate for the electrons formed on the copper surfaces to maintain a surface potential which is sufficiently positive to suppress copper cladding on said surfaces and preferably to provide a catalytically inactive surface coating on both the metal walls of the cladding vessel and the installation, as well as on the surface of. the copper particles in contact therewith, no coating will take place on the walls or copper particles in contact with these walls.

Dit leidt tot een bekledingsinstallatie, die vrij blijft van koperaf-zettingen, waarbij de neergeslagen koperdeeltjes worden belemmerd zich af te zetten op de respektieve metaaloppervlakken, en aldus deze neer-30 slagen gemakkelijk verwijderd kunnen worden.This leads to a coating installation, which remains free of copper deposits, whereby the deposited copper particles are prevented from depositing on the respective metal surfaces, and thus these deposits can be easily removed.

De toevoer van elektriciteit, tevens aangeduid als energietoevoer, wordt volgens de uitvinding zodanig gedimensioneerd, dat daardoor de potentiaal van de bekledingsinstallatieoppervlakken wordt gehandhaafd op een waarde, die voldoende positiever is ten op-35 zichte van de gemengde- of bekledingspotentiaal, dat stroomloze bekle-dingsreakties op dergelijke metalen wanden worden voorkomen; waarbijAccording to the invention, the supply of electricity, also referred to as energy supply, is dimensioned such that the potential of the coating installation surfaces is thereby maintained at a value which is sufficiently more positive with respect to the mixed or coating potential that electroless coating action reactions on such metal walls are prevented; at which

rt Λ Λ O E A Krt Λ Λ O E A K

8 verder een stroom wordt geleverd, die af doende is voor het vormen van katalytische inaktieve oppervlaktelagen, niet alleen op b.v. de wanden van roestvrij stalen tanks, de oppervlakken van een installatie, enz. maar tevens op de oppervlakken van neergeslagen koper en koper in kontakt met dergelijke oppervlakken.8 further provides a current sufficient to form catalytic inactive surface layers not only on e.g. the walls of stainless steel tanks, the surfaces of an installation, etc., but also on the surfaces of deposited copper and copper in contact with such surfaces.

Volgens de uitvinding wordt voorzien in een werkwijze voor het handhaven van stroomloze koperbekledingsoplossingen en het stroomloos bekleden van koper uit dergelijke oplossingen op substraten, die gevoelig zijn voor stroomloze bekleding van koper, waarbij oppervlakken van de metallische bekledingsinstallatie in aanraking zijn met de genoemde oplossing, welke werkwijze omvat het in aanraking brengen van de genoemde oplossing met ten minste êên tegen-elektrode; en het zodanig verbinden van de metallische hekledingsinstallatie en de tegen-elektrode (n) met een bron van elektriciteit, dat het oppervlak van de bekledingsinstallatie een potentiaal verkrijgt, die voldoende meer positief is dan de gemengde potentiaal van de stroomloze koperbekledings-badoplossing om het oppervlak vrijwel geheel of volledig bestendig te maken tegen stroomloze metaalafzetting, welke bron van elektriciteit een voorziening heeft voor het instellen en handhaven van de genoemde potentiaal in het stroomgebied, dat noodzakelijk is voor het compenseren van de elektronen, gevormd door de oxydatie van het in de oplossing aanwezige reduktiemiddel wanneer de oplossing in aanraking wordt gebracht met de genoemde metallische oppervlakken van de genoemde hekledingsinstallatie, voordat en nadat koperdeeltjes zijn bezonken of neer-I geslagen op de oppervlakken en aldus de oppervlakken van de genoemde koperdeeltjes en van de genoemde bekledingsinstallatie nagenoeg geheel of volledig katalytisch inaktief .worden gehouden ongevoelig voor stroomloos gevormde metaalafzettingen.According to the invention, there is provided a method of maintaining electroless copper plating solutions and electroless plating of copper from such solutions on substrates sensitive to electroless plating of copper, wherein surfaces of the metallic plating plant are in contact with said solution, which method comprises contacting said solution with at least one counter electrode; and connecting the metallic fence coating installation and the counter electrode (s) to a source of electricity such that the surface of the coating installation acquires a potential sufficiently more positive than the mixed potential of the electroless copper plating bath solution around the surface practically or fully resistant to electroless metal deposition, which source of electricity has provision for setting and maintaining said potential in the catchment area necessary to compensate for the electrons formed by the oxidation of the solution Reductant present when the solution is brought into contact with said metallic surfaces of said fencing installation, before and after copper particles have settled or deposited on the surfaces and thus substantially or completely the surfaces of said copper particles and of said coating installationcatalytically inactive are kept insensitive to electroless metal deposits.

In êên van de uitvoeringsvormen van de uitvinding 3 wordt voorzien in een werkwijze voor het stroomloos afzetten van koper uit een stroomloze koperbekledingsoplossing op een substraat of voor het handhaven van dergelijke oplossingen, waarbij oppervlakken van een metallische bekledingsinstallatie in aanraking zijn met de genoemde oplossing, welke werkwijze omvat: ;5 1} het aanvankelijk op de metallische installatie aanleggen van een potentiaal, die voldoende meer positief is dan de 800 2 5 15 * 9 gemengde potentiaal van de stroomloze koperoplossing om de oppervlakken van de installatie nagenoeg bestendig te maken tegen stroomloze koper-afzetting; 2) bet stroomloos afzetten van koper op bet substraat uit de stroomloze koperoplossing of bet opslaan van de oplossing; en 3) terwijl stroomloos koper op bet substraat wordt afgezet of de oplossing wordt opgeslagen bet handhaven op de metallische oppervlakken van een potentiaal,·-die voldoende meer positief is dan de gemengde potentiaal om de oppervlakken bestendig te maken tegen stroomloze koperafzetting.In one embodiment of the invention 3, a method for electroless deposition of copper from an electroless copper plating solution on a substrate or for maintaining such solutions is provided, wherein surfaces of a metallic plating plant are in contact with said solution, which method includes:; 5 1} initially applying a potential sufficiently positive to the metallic installation over the 800 2 5 15 * 9 mixed potential of the electroless copper solution to make the surfaces of the installation substantially resistant to electroless copper -deposition; 2) electroless deposition of copper on the substrate from the electroless copper solution or storage of the solution; and 3) while electroless copper is deposited on the substrate or the solution is stored, maintain on the metallic surfaces of a potential which is sufficiently more positive than the mixed potential to render the surfaces resistant to electroless copper deposition.

De beschreven werkwijze kan worden toegepast op elk type metallische installatie, toegepast voor stroomloze koperafzet-tingsbehandelingen of voor bet opslaan van stroomloze koperbekledings-oplossingen, met inbegrip van bekledingsvaten, rekken die bet te bekleden substraat ondersteunen, loodwerk of andere installatieonderdelen in kontakt met de bekledingsoplossing.The disclosed method can be applied to any type of metallic installation, used for electroless copper deposition treatments or for storing electroless copper cladding solutions, including coating vessels, racks supporting the substrate to be coated, lead work or other installation parts in contact with the coating solution .

De voornoemde werkwijze wordt meer in bet bijzonder uitgevoerd door in bet begin door de metallische installatie, b.v. een bekledingsvat, rek enz. een stroom te laten lopen, die voldoende is om-^ een elektrische potentiaal op de oppervlakken van de genoemde installatie tot stand te brengen, die voldoende positief is om aanhechtend stroomloos gevormd koper te weerstaan; en het stroomloos afzetten van koper op het te bekleden substraat; alsmede wanneer de afzettings-reaktie voortschrijdt, de voornoemde stroom te leveren op een niveau ^ dat voldoende is om een gewenste, voldoende positieve elektrische potentiaal over de oppervlakken van de metallische inrichting te handhaven om stroomloze bekleding te belemmeren. Bij voorkeur wordt een stroom -U . . 2 m het gebied tussen 10 en 4 mA/cm oppervlak, dat ten opzichte van stroomloze afzetting bestendig moet worden gemaakt, toegepast.The aforementioned method is more particularly carried out by initially through the metallic installation, e.g. run a cladding vessel, rack, etc., a current sufficient to generate an electrical potential on the surfaces of said installation that is positive enough to withstand adherent electroless copper; and electrolessly depositing copper on the substrate to be coated; as well as as the deposition reaction proceeds to supply the aforementioned current at a level sufficient to maintain a desired, sufficiently positive electrical potential across the surfaces of the metallic device to impede electroless coating. Preferably, a current becomes -U. . 2 m apply the area between 10 and 4 mA / cm surface, which must be made resistant to electroless deposition.

^ Bij wijze van illustratie wordt de procedure uitge voerd door ten minste ien kathode in de stroomloze koperbekledingsoplos-sing te voorzien die via een bron van elektriciteit in elektrische verbinding staat met de oppervlakken van de bekledingsinstallatie. Aldus wordt een stroom toegeroerd aan de door de hekledingsbadoplossing geslo-35 ten keten en wordt een elektrische potentiaal op bet oppervlak van de installatie gecreeerd, die voldoende meer positief is dan de gemengde 10 potentiaal van de bekledingsbadoplossing om vorming van een hechtende koperbekleding op de oppervlakken van de installatie te belemmeren. Deze toegevoerde stroom wordt gedurende de stroomloze koperafzetting geregeld om de elektrische potentiaal op de oppervlakken van de bekledings-. 5 installatie op een gewenst niveau te houden, voldoende positief om de oppervlakken, alsmede de oppervlakken van de op de genoemde oppervlakken neergeslagen koperdeeltjes, nagenoeg inaktief en ongevoelig voor stroomloos gevormde afzettingen te houden.By way of illustration, the procedure is performed by providing at least one cathode in the electroless copper plating solution which is electrically connected to the surfaces of the plating plant through a source of electricity. Thus, a current is supplied to the chain closed by the stern bath solution and an electric potential is created on the surface of the installation which is sufficiently more positive than the mixed potential of the plating bath solution to form an adhesive copper coating on the surfaces. hinder the installation. This supplied current is regulated during the electroless copper deposition to the electric potential on the surfaces of the coating. 5 keep the installation at a desired level, sufficiently positive to keep the surfaces, as well as the surfaces of the copper particles deposited on the said surfaces, virtually inactive and insensitive to electroless deposits.

De uitdrukking "gemengde potentiaal" heeft betrek-10 king op die elektrische potentiaal, waarbij koper stroomloos uit een stroomloze koperbekledingsoplossing op het gevoelige oppervlak, dat daarmee in kontakt staat, begint neer te slaan. Of anders gezegd is het de elektrische potentiaal, gemeten tussen een geschikt metallisch substraat, dat stroomloos wordt bekleed met koper en een standaard-15 referentie-elektrode in elektrische verbinding met het te bekleden substraat. Procedures voor het meten van de gemengde potentiaal van stroomloze koperbekledingsoplossingen zijn bekend. Een dergelijke procedure wordt in de hierna volgende beschrijving aangegeven.The term "mixed potential" refers to that electric potential where copper begins to precipitate electrolessly from an electroless copper plating solution on the sensitive surface in contact therewith. In other words, it is the electric potential, measured between a suitable metallic substrate, which is electrolessly coated with copper and a standard reference electrode in electrical connection with the substrate to be coated. Procedures for measuring the mixed potential of electroless copper plating solutions are known. Such a procedure is indicated in the description below.

Stroomloze koperafzettingsoplossingen, die voor de 20 uitvinding bruikbaar zijn worden in het algemeen gekenmerkt door een gemengde potentiaal binnen het gebied tussen -500 en -800 m.V. ten opzichte van een standaard zilver-zilverchloride-referentie-elektrode en in het gebied tussen -550 en -850 mV ten opzichte van een verzadigde kalomol-referentie-elektrode, gemeten bij de bedrijfstemperatuur van de 25 bekledingsbadoplossing.Electroless copper deposition solutions useful for the invention are generally characterized by a mixed potential within the range between -500 and -800 m.V. to a standard silver-silver chloride reference electrode and in the range between -550 and -850 mV relative to a saturated kalomol reference electrode, measured at the operating temperature of the plating bath solution.

Bij het uitvoeren van stroomloze koperbekledingspro-cedures volgens de uitvinding worden typerend elektrische potentialen van tussen -500 en +500 mV en meestal tussen -300 en -100 mV, ten opzichte van de referentie-elektrode, aangelegd en onderhouden op de me-30 tallische steunwanden van het bekledingsvat en/of elk andere metallische bekledingsinstallatie in kontakt met de badoplossing. Dergelijke potentialen zijn voldoende om de oppervlakken van de installatie alsmede elke koperhoeveelheid die daarmee reeds in kontakt is, b.v. neergeslagen koper, koperranden op de beklede panelen en dergelijke te 35 passiveren.When conducting electroless copper plating procedures according to the invention, typically electrical potentials of between -500 and +500 mV and usually between -300 and -100 mV, relative to the reference electrode, are applied and maintained on the metallic support walls of the coating vessel and / or any other metallic coating installation in contact with the bath solution. Such potentials are sufficient to cover the surfaces of the installation as well as any amount of copper already in contact with it, e.g. to passivate deposited copper, copper edges on the coated panels and the like.

De principes van de uitvinding worden met voordeel toe- 80025 15 11 gepast om metallische rekken, die het te bekleden substraat in de bekle-dingsoplossing ondersteunen, nagenoeg geheel of geheel voor stroomloze koperbekleding ongevoelig te maken. In het bijzonder wordt een dergelijk rek elektrisch aangesloten aan een klem van een stroombron, b.v.The principles of the invention are advantageously used to render substantially insensitive to metallic racks supporting the substrate to be coated in the coating solution all or all of electroless copper plating. In particular, such a rack is electrically connected to a clamp of a power source, e.g.

5 een gelijkrichter, met afmetingen om de voornoemde gedefinieerde potentiaal in een ruim stroomgebied, b.v. tot aan 200 Amp. te leveren waarbij de andere klem van de stroombron is verbonden met een kathode, opgehangen in de afzettingsoplossing. Een stroom, die voldoende is om een passiverende elektrische potentiaal op het rek aan te leggen wordt toe-10 gevoerd, koper wordt stroomloos afgezet op het in het rek ondersteunde substraat en gedurende de afzetting wordt de stroom ingesteld om het rek in zijn gepassiveerde toestand, ongevoelig voor stroomloos gevormde koperafzettingen, te houden. Hoewel dezelfde stroombron als voor het bekledingsvat of een andere bekledingsinstallatie kan worden toege-15 past, heeft het de voorkeur een afzonderlijke stroombron voor elk onderdeel van de installatie, dat ongevoelig moet worden gemaakt en gehouden, toe te passen.A rectifier, sized around the aforementioned defined potential in a wide range, e.g. up to 200 Amps with the other clamp of the power source connected to a cathode suspended in the deposition solution. A current sufficient to apply a passivating electric potential to the rack is supplied, copper is electrolessly deposited on the substrate supported in the rack and during deposition the current is adjusted to the rack in its passivated state, insensitive to electroless copper deposits. Although the same power source as for the coating vessel or other coating installation can be used, it is preferable to use a separate power source for each part of the installation to be desensitized and maintained.

De voomoemde techniek kan bovendien worden toegepast om de stroomloze afzetting van koper op ongewenste gebieden van het te.The aforementioned technique can additionally be applied to the electroless deposition of copper on undesired areas of it.

20 bekleden substraat, te voorkomen. In het bijzonder voor gedrukte schakelingenpanelen, waarbij de additieve techniek ter vervaardiging daarvan wordt toegepast, blijft in sommige gevallen op de isolerende panelen, die van tevoren op maat zijn gesneden, gemaskeerd en gesensibiliseerd, een blootgelegde, gevoelig gemaakte rand op de kanten van het 25 paneel en het aangrenzende paneeloppervlak over. Wanneer het paneel in aanraking wordt gebracht met de afzettingsoplossing, begint tezamen met de koperafzetting in de gewenste gebieden koper neer te slaan op de gevoelig gemaakt paneelranden en het daaraan grenzende gevoelig gemaakte oppervlak, in dezelfde dikte als op de onbeschermde gebieden van het 30 paneel, die overeenkomen met het gewenste ketenpatroon. Als gevolg daarvan wordt een continue rand van koper op het paneel gevormd. In een typerend geval wordt deze koperrand, die geen deel is van het ketenpatroon zelf, van de rest van het paneel afgesneden en afgevoerd. Be opbouw van een dergelijke koperrand kan worden voorkomen door een rand 35 van het paneel met een metallisch oppervlak van het rek in aanraking te brengen en voldoende stroom naar het rek toe te voeren en te hand- 12 haven, om zowel het rek als de koperrand van het paneel nagenoeg ongevoelig voor stroomloze afzetting te houden.20 coating substrate, to avoid. Particularly for printed circuit boards employing the additive manufacturing technique, in some cases the insulating panels pre-cut, masked and sensitized leave an exposed sensitized edge on the sides of the circuit board. panel and the adjacent panel surface. When the panel is contacted with the deposition solution, together with the copper deposition in the desired areas, copper begins to deposit on the sensitized panel edges and the adjacent sensitized surface, in the same thickness as on the unprotected areas of the panel, that correspond to the desired chain pattern. As a result, a continuous rim of copper is formed on the panel. Typically, this copper edge, which is not part of the chain pattern itself, is cut from the rest of the panel and drained. The build-up of such a copper edge can be prevented by contacting an edge 35 of the panel with a metallic surface of the rack and supplying and maintaining sufficient current to the rack to cover both the rack and the copper edge. of the panel practically insensitive to electroless deposition.

Metalliseringsvaten, alsmede andere metallische af-zettingsinstallaties, toegepast hij de werkwijze van de uitvinding kun-5 nen van elk koperneerslag dat aan het oppervlak kan hechten, h.v. koper-deeltjes die op de hodem van het hekledingsvat zijn gevallen, worden gereinigd, door tijdelijk de hekledingsbehandeling te staken, het he-kledingsbad leeg te maken en af te borstelen of de koperneerslagen door vacuum weg te voeren. Een dergelijke schoónmaaktrap kan tevens gedu-10 rende de hekledingsbehandeling worden toegepast zonder dat het vat behoeft te worden geledigd, bijvoorbeeld door vacuumtrekken. Er dient op te worden gewezen, dat in tegenstelling tot de bekende methoden in de werkwijze van de uitvinding koper niet aan de gepassiveerde installa-tieoppervlakken zal hechten, zelfs niet na langdurig bedrijf en dat 15 dergelijk koper gemakkelijk door de voornoemde reinigingsprocedure kan worden verwijderd, zonder de noodzaak tot etsen of een andere intensieve chemische of mechanische reinigingsprocedure.Metallization vessels, as well as other metallic deposition plants, using the method of the invention can process any copper precipitate that can adhere to the surface, e.g. Copper particles that have fallen on the hull of the stern casing are cleaned by temporarily stopping the sterning treatment, emptying and brushing the coating bath, or vacuuming the copper deposits. Such a cleaning stage can also be used during the stern coating treatment without the vessel having to be emptied, for instance by drawing a vacuum. It should be noted that, contrary to the known methods in the method of the invention, copper will not adhere to the passivated installation surfaces even after prolonged operation and such copper can be easily removed by the aforementioned cleaning procedure, without the need for etching or any other intensive chemical or mechanical cleaning procedure.

Bij het uitvoeren van de werkwijze van de uitvinding zal men gewoonlijk vinden, dat een dunne laag stroomloze koperafzet-20 tingen op de kathode of kathoden wordt gevormd. Koperafzetting op de kathodeoppervlakken kan volledig of ten minste gedeeltelijk worden voorkomen door tussen de kathode en de stroomloze koperafzettingsop-lossing een membraan te plaatsen, dat elektrische geleiding tussen de kathode en de afzettingsoplossing toelaat, maar passage van koperionen 25 uit een afzettingsoplossing voorkomt,In the practice of the method of the invention, it will usually be found that a thin layer of electroless copper deposits is formed on the cathode or cathodes. Copper deposition on the cathode surfaces can be completely or at least partially prevented by placing a membrane between the cathode and the electroless copper deposition solution, which allows electrical conduction between the cathode and the deposition solution, but prevents passage of copper ions from a deposition solution,

Ionenuitwisselingsmembranen, hetzij anionische of kationische, kunnen voor dit doel worden toegepast. De keuze van het bepaalde ionen-uitwisselingsmembraan zal afhangen van de in het bad toegepaste specifieke koperionencomplexvormer. In beide gevallen dat 30 het gecomplexeerde koper een negatieve lading bezit, zoals wanneer het complexvormende middel van het aminozuur-type is, worden kationuit-wisselingsmembranen toegepast. In die gevallen, dat het gecomplexeerde koper een positieve lading bezit, worden anionuitwisselingsmembranen toegepast. Indien het gecomplexeerde koper neutraal is, zoals in het 35 geval dat alkanolamine-complexvormers in het bad worden toegepast, kan hetzij een anionisch of kationisch uitwisselingsmembraan worden toege- 800 2 5 15 i 13 past.Ion exchange membranes, whether anionic or cationic, can be used for this purpose. The choice of the particular ion exchange membrane will depend on the specific copper ion complexing agent used in the bath. In both cases where the complexed copper has a negative charge, such as when the complexing agent is of the amino acid type, cation exchange membranes are used. In those cases where the complexed copper has a positive charge, anion exchange membranes are used. If the complexed copper is neutral, such as in the case where alkanolamine complex formers are used in the bath, either an anionic or cationic exchange membrane can be used.

De werkwijze van de uitvinding is bruikbaar voor be-kledings- en opslagvaten, waarin de steunwanden of de oppervlakken van de wanden zijn gemaakt van niet-edele metalen, zoals staal, ijzer, J nikkel, kobalt, titaan, tantaal, chroom, en dergelijke en desgewenst koper. Op soortgelijke wijze kan de werkwijze worden toegepast om andere typen van dergelijke metalen gemaakte bekledingsinstallaties bestendig te maken tegen aanhechtende,stroomloos gevormde koperafzet-tingen.The method of the invention is useful for coating and storage vessels, in which the support walls or the surfaces of the walls are made of non-precious metals, such as steel, iron, nickel, cobalt, titanium, tantalum, chromium, and the like and copper if desired. Similarly, the method can be used to render other types of metal-made coating plants resistant to adherent electroless copper deposits.

0 De pH van de stroomloze koperafzettingsoplossing is gewoonlijk ten minste 10 en bij voorkeur 11 of hoger,0 The pH of the electroless copper deposition solution is usually at least 10 and preferably 11 or higher,

Fig. 1 illustreert een vereenvoudigd bekledingssys-teem, dat met de uitvinding kan worden toegepast, omvattende een be-kledingstank met metallische steunwanden, een bekledingsoplossing, een I5 krachtbron, elektroden, het te bekleden substraat en het steunorgaan.Fig. 1 illustrates a simplified coating system that can be used with the invention, comprising a coating tank with metallic support walls, a coating solution, an I5 power source, electrodes, the substrate to be coated and the support member.

Fig. 2 toont een meer gedetailleerd systeem, aangepast voor automatische regeling, dat bruikbaar is voor het uitvoeren van de uitvinding; fig. 3 is een grafiek, die de stroom als functie van 20 de potentiaal (spanning) voor roestvrij staal in een stroomloze koper-bekledingsoplossing weergeeft; fig. U is een grafiek, die de stroom als functie van de potentiaal (spanning) voor koper in een stroomloze koperbekledings-oplossing van dezelfde samenstelling als in fig. 3 weergeeft.Fig. 2 shows a more detailed system adapted for automatic control useful for practicing the invention; Fig. 3 is a graph showing current as a function of the potential (voltage) for stainless steel in an electroless copper plating solution; Figure U is a graph showing current as a function of the potential (voltage) for copper in an electroless copper plating solution of the same composition as in Figure 3.

25 In figuur 1 bevat een bekledingstank 2, waarvan de steunwanden van staal zijn gemaakt, bij voorkeur roestvrij staal, of een ander geschikt elektrisch geleidend materiaal, een stroomloze koper-bekledingsoplossing b. Metaalelektrode 6 is ondergedompeld in oplossing Ij· en elektrisch verbonden met de negatieve aansluiting 8 van een 30 gelijkstroomenergietoevoereenheid 10. Oppervlak 12 van tank 2 is elektrisch verbonden via een variabele weerstand 16 aan een positieve aan-sluitklem 18 van de eenheid 10. Een millivoltmeter 20 is tevens verbonden met de steunwand 12 en met de standaardreferentie-elektrode 22. Het te bewerken voorwerp 2b is ondersteund op een metalen rek 26. Rek 26, 35 in elektrisch kontakt met oppervlak 12a van tank 2, is opgehangen in de bekledingsoplossing b. Het te behandelen voorwerp 2b is elektrischIn Figure 1, a coating tank 2, the support walls of which are made of steel, preferably stainless steel, or another suitable electrically conductive material, contains an electroless copper-coating solution b. Metal electrode 6 is immersed in solution Ij and electrically connected to the negative terminal 8 of a DC power supply unit 10. Surface 12 of tank 2 is electrically connected via a variable resistor 16 to a positive terminal 18 of the unit 10. A millivolt meter 20 is also connected to the support wall 12 and to the standard reference electrode 22. The object 2b to be processed is supported on a metal rack 26. Rack 26, 35 in electrical contact with surface 12a of tank 2, is suspended in the coating solution b. The object 2b to be treated is electric

o η Λ 0 R 1 Ko η Λ 0 R 1 K

14 geïsoleerd van rek 26 door de niet-geleider (isolator) 27. Voordat de werking van de bekledingsoplossing b wordt gestart (b.v. door een reduktiemiddel toe te voeren of door de pH of de temperatuur te verhogen) wordt bij voorkeur een potentiaal die positiever is dan de te ver-5 wachten gemengde potentiaal van de in bedrijf zijnde bekledingsoplos-sing aangelegd aan de oppervlakken 12a en 12b van tank 2 door weerstand 16 naar behoefte in te stellen. De samenstelling van bekledings-, oplossing k en de omstandigheden worden met bekende middelen ingesteld om de stroomloze bekleding te starten (b.v. door het reduktiemiddel toe 10 te voegen, de pH of de temperatuur te verhogen). Het voorwerp 2k wordt ondergedompeld in de bekledingsoplossing b en het bekleden begint.14 isolated from rack 26 by the non-conductor (insulator) 27. Before starting the operation of the coating solution b (eg by adding a reducing agent or by increasing the pH or temperature), preferably a potential which is more positive then the expected mixed potential of the operating coating solution applied to the surfaces 12a and 12b of tank 2 by adjusting resistor 16 as needed. The composition of coating, solution k and conditions are adjusted by known means to start the electroless coating (eg, by adding the reducing agent, increasing the pH or temperature). The object 2k is immersed in the coating solution b and the coating begins.

De elektrische potentiaal van oppervlak 12 met betrekking tot de refe-rentie-elektrode 22 wordt gedurende het bekleden gevolgd door milli-voltmeter 20 af te lezen en deze potentiaal wordt meer positief ge-15 houden dan de gemengde potentiaal van de bekledingsoplossing Deze potentiaal kan met de hand worden geregeld, zoals in de uitvoeringsvorm van figuur 1 of automatisch als geïllustreerd in figuur 2.The electrical potential of surface 12 with respect to the reference electrode 22 is followed during coating by reading milli-voltmeter 20 and this potential is kept more positive than the mixed potential of the coating solution. controlled manually, as in the embodiment of Figure 1 or automatically as illustrated in Figure 2.

In figuur 2 strekt een 200 V wisselstroomleiding 28 zich uit naar de gelijkstroomtoevoer 31, die b.v. in staat is een 20 stroom van 200 Mg. bij 7 V te leveren. De negatieve klem 32 van de energietoevoereenheid 30 is elektrisch verbonden door leiding 3¼ aan elektroden 36, die zijn opgehangen in de metalen tank 38. Tank 3S bevat bekledingsoplossing ^0 en is geaard door draad b2. De positieve klem kb van de toevoereenheid 30 is elektrisch verbonden door leiding h6 25 en passeert transistors 1*8, die parallel zijn en worden aangedreven door een Darlington-vermogenstransistor 50. Elk van de doorlaattransis-tors U8 heeft bij voorkeur een uitgangscapaciteit van 50 Mp. De Darlington-vermogenstransistor 50 wordt bij voorkeur ingesteld op een versterking van ongeveer 10.000 : 1. Doorlaattransistors H8 zijn ver-30 bonden door de elektrische leiding 52, metershunt 5^ en de elektrische leiding 56 met tank 38. Metershunt 5^ is verbonden door leiding 5Ö met st andaar dampèr emet er 60, die de stroom uit de doorlaattransistors U8 over de metershunt 5^ meet. Kondensator 62, bij voorkeur met een capaciteit van 2 microfarad, is dwars over de elektrische leiding 3^ en de 35 metershunt 5b verbonden om de elektrische achtergrondruis te verminderen.In Figure 2, a 200 V AC power line 28 extends to the DC power supply 31, e.g. is capable of a flow of 200 Mg. at 7 V. The negative terminal 32 of the power supply unit 30 is electrically connected by lead 3¼ to electrodes 36 suspended in the metal tank 38. Tank 3S contains coating solution ^ 0 and is grounded by wire b2. The positive terminal kb of the supply unit 30 is electrically connected through line h6 25 and passes transistors 1 * 8, which are parallel and driven by a Darlington power transistor 50. Each of the pass transistors U8 preferably has an output capacitance of 50 Mp . The Darlington power transistor 50 is preferably set to a gain of about 10,000: 1. Pass transistors H8 are connected by electrical line 52, meter shunt 5 ^ and electrical line 56 to tank 38. Meter shunt 5 ^ is connected by line 5Ö with standard vaporizer 60, which measures the current from the forward transistors U8 over the meter shunt 5 ^. Capacitor 62, preferably having a capacity of 2 microfarads, is connected across the electrical lead 3 ^ and the 35 meter shunt 5b to reduce the electrical background noise.

800 2 5 15 15800 2 5 15 15

Elektrische leiding 64 strekt zich uit vanaf tank 38 en is verbonden met de positieve klem jk van een spanningsversterker 66. Elektrische leiding TO strekt zich uit vanaf de standaard-referen-tie-elektrode 72 en is verbonden met de negatieve klem 66 van versterker 68. Versterker 68 is ingesteld op een versterking van 10 : 1. Re-ferentie-elektrode 72 is een gebruikelijke zilver/zilverehloride-elek-trode of equivalente referentie-elektrode, in een zoutbrugverbinding met de bekledingsoplossing 40 in tank 38.Electrical line 64 extends from tank 38 and is connected to the positive terminal jk of a voltage amplifier 66. Electrical line TO extends from the standard reference electrode 72 and is connected to the negative terminal 66 of amplifier 68. Amplifier 68 is set to a gain of 10: 1. Reference electrode 72 is a conventional silver / silver chloride electrode or equivalent reference electrode, in a salt bridge connection with the coating solution 40 in tank 38.

Versterker 68 is verbonden door elektrische leiding 78 met de negatieve klem 78 van de regelversterker 80. De spanningsuit-gang van versterker 68 naar versterker 80 wordt gemeten door tussen-geschakelde standaardvoltmeter 82, door leiding 8½ met leiding 74 verbonden. De positieve klem 86 van de regelversterker 80 is verbonden door leiding 88 met potentiometer (instelpunt) 90 en met de FET-schakelaar 92. De potentiometer 90 heeft bij voorkeur een maximaal-mogelijke instelling van 3 V positief t/m 2 V negatief. Elektrische leidingen 94 en 96 strekken zich uit van respectievelijk klemmen 98 en 100, van de metershunt 54 naar de spanningsversterker 102. Leiding 94 is verbonden met de positieve ingangsklem 104 van versterker 102. Leiding 96 is ver-3 bonden met de negatieve ingangsklem 106 van versterker 102. De spannings-uitgang van versterker 102 gaat via leiding 108 naar de positieve ingangsklem 110 van regelversterker 112. Versterker 112 is ingesteld op een versterking van 20 : 1. De negatieve ingangsklem 114 van regelversterker 112 is verbonden met potentiometer (instelpunt) 116. De elektri-5 sche leiding 118 loopt via versterker 112 naar FET-schakelaar 92.Amplifier 68 is connected by electrical line 78 to the negative terminal 78 of the control amplifier 80. The voltage output from amplifier 68 to amplifier 80 is measured by standard voltmeter 82 connected through line 8½ to lead 74. The positive terminal 86 of the control amplifier 80 is connected by line 88 to potentiometer (set point) 90 and to the FET switch 92. The potentiometer 90 preferably has a maximum possible setting of 3 V positive to 2 V negative. Electrical leads 94 and 96 extend from terminals 98 and 100, respectively, from the meter shunt 54 to the voltage amplifier 102. Lead 94 is connected to the positive input terminal 104 of amplifier 102. Lead 96 is connected to the negative input terminal 106 of amplifier 102. The voltage output of amplifier 102 goes via line 108 to the positive input terminal 110 of control amplifier 112. Amplifier 112 is set to a gain of 20: 1. The negative input terminal 114 of control amplifier 112 is connected to potentiometer (set point) 116 Electrical line 118 passes through amplifier 112 to FET switch 92.

Kondensator 120, bij voorkeur met een capaciteit van 1 microfarad, en weerstand 112, bij voorkeur met een weerstand van 1 ohm, zijn in de keten opgenomen om de achtergrondruis te verminderen.Capacitor 120, preferably with a capacity of 1 microfarad, and resistor 112, preferably with a 1 ohm resistor, are chained to reduce the background noise.

Ter voorkoming van oververhitting worden bij voorkeur 30 doorlaattransistors 48, vermogentransistor 50, kondensatoren 120 en 62, weerstand 122 en amperemeter 60 geplaatst op warmtereservoir 124 (aangeduid door stippellijnen) en gekoeld door een ventilator 126, verbonden aan een 110 V wisselstroomleiding 128. Reservoir 124 is gemaakt van aluminium of een ander standaard-materiaal, dat warmte absor-35 beert.To prevent overheating, 30 pass transistors 48, power transistor 50, capacitors 120 and 62, resistor 122 and ammeter 60 are preferably placed on heat reservoir 124 (indicated by dotted lines) and cooled by a fan 126 connected to a 110 V AC line 128. Reservoir 124 is made of aluminum or other standard material, which bears heat absorber.

In de praktijk wordt de werkwijze van de uitvinding 16 als volgt uitgevoerd: Volgens figuur 2 wordt een wisselstroom van 220 V uit leiding 28 omgezet in een gelijkstroom in de gelijkstroomenergie-toevoereenheid 30. De negatieve potentiaal uit de toevoereenheid 31 wordt aangelegd aan de elektroden 36 in tank 38. Aldus worden elektro-5 den 36 kathodisch gemaakt. Een positieve potentiaal uit toevoereenheid 30 wordt gestuurd via de vermogenstransistor 50, de doorlaat-transistor 48, leiding. 52, metershunt 5¾ en leiding 56 naar tank 38.In practice, the method of the invention 16 is carried out as follows: According to Figure 2, an alternating current of 220 V from line 28 is converted into a direct current in the DC power supply unit 30. The negative potential from the supply unit 31 is applied to the electrodes 36 in tank 38. Thus, electrodes 36 are made cathodic. A positive potential from supply unit 30 is driven through power transistor 50, pass transistor 48, line. 52, meter shunt 5¾ and line 56 to tank 38.

Tank 38 wordt aldus anodisch gemaakt. De stroom over de metershunt 5^ wordt gevolgd met behulp van amperemeter 60.Tank 38 is thus made anodic. The current across the meter shunt 5 ^ is monitored using ammeter 60.

10 Een zilver/zilverchloridereferentie-elektrode 72 wordt opgehangen in tank 38 en op gebruikelijke wijze in verbinding gehouden met de bekledingsoplossing U0 door middel van een poreus tus-senmembraan. Door de referentie zilver/zilverchloride-elektrode 72 en tank 38 op de aangegeven wijze met de tegenovergestelde klemmen van 15 de versterker 68 te verbinden, wordt aldus de potentiaal (spanning) van de wanden van de tank 38 continu gevolgd en bovendien als volgt geregeld :A silver / silver chloride reference electrode 72 is suspended in tank 38 and conventionally maintained in communication with the coating solution U0 through a porous intermediate membrane. Thus, by connecting the reference silver / silver chloride electrode 72 and tank 38 to the opposite terminals of amplifier 68 in the manner shown, the potential (voltage) of the walls of tank 38 is continuously monitored and additionally controlled as follows:

Indien de spanning van versterker 68 naar regelver-sterker 80 overwegend positief is, heeft versterker 80 de neiging een 20 positieve spanning af te geven. Indien daarentegen de spanning van versterker 68 naar regelversterker 80 in hoofdzaak negatief is, heeft versterker 80 de neiging een negatieve spanning af te geven. Een positieve spanning naar vermogenstransistor 50 doet de laatste stroom leveren.If the voltage from amplifier 68 to control amplifier 80 is predominantly positive, amplifier 80 tends to deliver a positive voltage. Conversely, if the voltage from amplifier 68 to control amplifier 80 is substantially negative, amplifier 80 tends to output a negative voltage. A positive voltage to power transistor 50 causes the last current to flow.

Een negatieve spanning naar vermogenstransistor 50 veroorzaakt dat de 25 laatste wordt afgesloten en vrijwel alle stroom ophoudt te vloeien.A negative voltage to power transistor 50 causes the latter to shut off and virtually all current to stop flowing.

Gedurende de bekleding legt versterker 68, wanneer de potentiaal (spanning) van tank 38 minder negatief (d.w.z. meer positief) wordt ten opzichte van de referentie-elektrode 72, een positieve spanning aan regelversterker 80 aan, die op zijn beurt een negatieve spanning aan-30 legt aan vermogenstransistor 50. Door het instelpunt in te stellen, wordt de positieve spanningsuitgang van regelversterker 80 naar behoefte geregeld voor het instellen van de totale uitgang van versterker 80 en om de gewenste stroomvloei naar de tank 38 als nodig voor het handhaven van de potentiaal (spanning) van de tank 38 op de ingestelde potenti-35 aal, che meer positief is dan de gemengde potentiaal van oplossing Ho te handhaven.During the coating, when the potential (voltage) of tank 38 becomes less negative (ie, more positive) relative to the reference electrode 72, amplifier 68 applies a positive voltage to control amplifier 80, which in turn applies a negative voltage 30 applies to power transistor 50. By setting the set point, the positive voltage output of control amplifier 80 is controlled as needed to set the total output of amplifier 80 and to provide the desired current flow to the tank 38 as needed to maintain the potential (voltage) of the tank 38 at the set potential, is more positive than to maintain the mixed potential of solution Ho.

80 0 2 5 15 1780 0 2 5 15 17

Vermeden wordt, dat 'overmaat stroom naar tank 38 vloeit door middel van spanningsversterker 102 en regelversterker 112. De potentiaal (spanning) over de met er shunt 5I* is recht evenredig met de stroom, die vloeit uit de vermogenstransistor 50 en de doorlaat-transistors 1*8. Deze spanning wordt vergroot in versterker 102 en verder versterkt in regelversterker 112. Indien de versterkte spanning van versterker 112 naar de poort van PET 92 hoven het afsnijpunt stijgt, opent de FET-sehakelaar 92, waarbij de uitgang van potentiometer 90 wordt verdeeld en het instelpunt van versterker 80 wordt verlaagd, waardoor het systeem naar zijn evenwichtstoestand terugkeert.It is avoided that excess current flows to tank 38 by means of voltage amplifier 102 and control amplifier 112. The potential (voltage) across the met shunt 5I * is directly proportional to the current flowing out of the power transistor 50 and the pass transistors 1 * 8. This voltage is increased in amplifier 102 and further amplified in control amplifier 112. If the amplified voltage from amplifier 112 to the gate of PET 92 rises above the cutoff point, the FET switch 92 opens, dividing the output of potentiometer 90 and the setpoint of amplifier 80 is lowered, returning the system to its equilibrium state.

De uitgang van de versterker 102 wordt gebalanceerd door de uitgang van potentiometer 116, die het instelpunt van versterker 112 tot stand brengt. Het instellen van 116 bepaalt de maximale stroom, die toegelaten wordt voordat het instelpunt van de regelversterker 80 5 wordt verlaagd. De funktie van de versterkers 102 en 112 is het begrenzen van de maximale stroom, die aan de tank en de kathoden wordt toegevoerd, ter bescherming van het totale systeem.The output of amplifier 102 is balanced by the output of potentiometer 116, which establishes the setpoint of amplifier 112. Setting 116 determines the maximum current allowed before the setpoint of control amplifier 805 is lowered. The function of amplifiers 102 and 112 is to limit the maximum current supplied to the tank and cathodes to protect the overall system.

Op de voornoemde wijze wordt de spanning aangelegd aan tank 38 meer positief gehouden dan de bekende gemengde potentiaal :0 van de hekledingsoplossing 1*0; als gevolg is er vrijwel geen metaalaf-zetting op de wanden van tank 38.In the aforementioned manner, the voltage applied to tank 38 is kept more positive than the known mixed potential: 0 of the sterngear solution 1 * 0; as a result, there is virtually no metal deposit on the walls of tank 38.

In de bovenbeschreven specifieke procedure kunnen metallische rekken worden toegepast voor het ondersteunen van de te bekleden substraten en dergelijke en dergelijke rekken kunnen bestendig 25 worden gemaakt tegen stroomloze koperafzetting volgens de hier beschreven principes. Ih een dergelijk geval is het gewenst een afzonderlijke regelketen toe te passen voor het toevoeren van stroom aan de rekken. Indien de te bekleden op de rekken ondersteunde substraten panelen zijn met koperen randen,, zal een grotere stroomtoevoer vereist zijn om 30 de passiverende elektrische potentiaal op de rekken en de koperen randen op het paneel in stand te houden. Indien het daarentegen gewenst is het totale substraat te bekleden of indien de koperen randen op het paneel een deel vormen van of in verbinding staan met het ketenpatroon, heeft het de voorkeur het substraat van het rek te isoleren door tussen-35 plaatsing van een nagenoeg elektrisch niet-geleidend materiaal (zie figuur 1).In the specific procedure described above, metallic racks can be used to support the substrates to be coated and the like, and such racks can be rendered resistant to electroless copper deposition according to the principles described herein. In such a case, it is desirable to use a separate control circuit for supplying power to the racks. If the substrates to be coated on the racks are copper-edged panels, greater power will be required to maintain the passivating electric potential on the racks and the copper edges on the panel. On the other hand, if it is desired to coat the entire substrate or if the copper edges on the panel form part of or are connected to the chain pattern, it is preferable to isolate the substrate from the rack by inserting a substantially electrical non-conductive material (see figure 1).

1818

Figuren 3 en 4 tonen de stroom als funktie van de spanning voor koper en roestvrij staal in een stroomloze bekledingsop-lossing met de samenstelling van voorbeeld I. Positieve stromen zijn oxyderende stromen en negatieve stromen zijn reducerende, d.w.z. bekle-5 dende, stromen. Bij punt "B" in figuur 4 (koperelektrode} is er geen ' netto stroomvloei; deze potentiaal staat bekend als de gemengde potentiaal van de afzettingsoplossing. In gebied "A" worden meer koperionen gereduceerd dan reducerend middel in de oplossing aanwezig is; hier wordt formaldehyde geoxydeerd, zodat er een netto-negatieve (bekledings)-10 stroom is. In gebied "C" wordt meer formaldehyde geoxydeerd dan koperionen gereduceerd, zodat er hier een netto positieve (oxyderende) stroom is. In gebied ”D" vormt zich een film op het oppervlak van de koperelektroden. Deze film is niet-katalytisch ten opzichte van de oxy-datie van formaldehyde. De maximale stroom, die voor de passivering no-15 dig is is vastgesteld op 1+ mA/cm . De koperionen-reduktie vindt niet plaats bij potentialen, die positiever zijn dan ongeveer -450 mV met betrekking tot de referentie-elektrode of 250 mV meer positief dan de gemengde potentiaal. Gebied "E”, dat zich uitstrekt van ongeveer -425 tot -225 mlS met betrekking tot de referentie-elektrode wordt het passi-20 veringsgebied genoemd. In dit gebied is de potentiaal te anodisch om koperionen te reduceren en is het elektrodeoppervlak niet-katalytisch ten opzichte van de oxydatie van formaldehyde, zodat er weinig stroom vloeit. Aangezien de stroom in dit gebied voor de oplossing zonder en voor de oplossing met formaldehyde ongeveer gelijk is, wordt aangeno-25 men, dat de stroom, die in dit gebied vloeit, vrijwel niet wordt ver-oorzaakr door de oxydatie van formaldehyde. De stroom, die vloeit in gebied "F” wordt veroorzaakt door de oxydatie en de gedeeltelijke oplossing van het elektrodeoppervlak. Gebied ,rG" is een tweede passive-ringsgebied. Buiten gebied "G" kunnen verschillende bestanddelen wor-30 den geoxydeerd, OH ionen, EDTA, koper of formaldehyde.Figures 3 and 4 show the current as a function of the voltage for copper and stainless steel in an electroless plating solution with the composition of Example I. Positive currents are oxidizing currents and negative currents are reducing, i.e., coating currents. At point "B" in Figure 4 (copper electrode}, there is no net current flow, this potential is known as the mixed potential of the deposition solution. In region "A", more copper ions are reduced than reducing agent is present in the solution; here formaldehyde oxidized to produce a net negative (coating) -10 flow. In region "C", more formaldehyde is oxidized than copper ions, so that there is a net positive (oxidizing) flow here. In region "D", a film on the surface of the copper electrodes This film is non-catalytic with respect to the oxidation of formaldehyde The maximum current required for passivation is set at 1+ mA / cm The copper ion reduction does not occur at potentials that are more positive than about -450 mV with respect to the reference electrode or 250 mV more positive than the mixed potential. Region "E", which ranges from about -425 to -225 mlS with respect to d The reference electrode is called the passive spring region. In this range, the potential is too anodic to reduce copper ions and the electrode surface is non-catalytic with respect to the oxidation of formaldehyde, so that little current flows. Since the flow in this range for the solution without and for the formaldehyde solution is approximately equal, it is believed that the flow flowing in this range is practically not caused by the oxidation of formaldehyde. The current flowing in region "F" is caused by the oxidation and partial dissolution of the electrode surface. Region, rG "is a second passivation region. Outside area "G", various components can be oxidized, OH ions, EDTA, copper or formaldehyde.

Figuur 3 toont, dat een roestvrij stalen elektrode betrekkelijk passief is van -500 tot +400 mV. Bij potentialen, die negatiever zijn dan -500 mV begint koper op het roestvrij stalen oppervlak neer te slaan, hetgeen zijn eigenschappen verandert. Bij -325 mV is 35 de stroomdichtheid 40 maal kleiner voor roestvrij staal dan voor koper (0,020 mVs; 0,80 mA/cm^}.Figure 3 shows that a stainless steel electrode is relatively passive from -500 to +400 mV. At potentials that are more negative than -500 mV, copper begins to deposit on the stainless steel surface, which changes its properties. At -325 mV, the current density is 40 times less for stainless steel than for copper (0.020 mVs; 0.80 mA / cm ^}.

800 2 5 15 « 19800 2 5 15 «19

Roestvrij staal is zeer langzaam in ïiet inleiden van de bekleding in een stroomloos koper'bekledings'bad. Dit komt omdat het een betrekkelijk slechte katalytische aktiviteit voor de oxydatie van formaldehyde vertoont. Wanneer eenmaal het bekleden is begonnen, gaat . 5 dit echter snel verder, aangezien de op het roestvrij stalen oppervlak gevormde koperafzetting oppervlaktegebieden met hoge katalytische aktiviteit voor de oxydatie van het reduktiemid&el, en aldus de vorming van elektronen, levert.Stainless steel is very slow in introducing the coating into an electroless copper plating bath. This is because it shows a relatively poor catalytic activity for the oxidation of formaldehyde. Once the coating has started, go. However, this progresses rapidly, since the copper deposit formed on the stainless steel surface provides surface areas of high catalytic activity for the oxidation of the reducing agent, and thus the formation of electrons.

Een potentiaal van ongeveer -325 mV (ten opzichte van 10 de verzadigde kalomel-elektrode) is het beste voor het passiveren van zovel roestvrij staal als koper, aangezien deze in het midden van het koper-passiveringsgebied ligt en de roestvrije staal stroomdichtheid bij deze potentiaal zeer laag is.A potential of about -325 mV (relative to the saturated calomel electrode) is best for passivating as much stainless steel as copper since it is in the center of the copper passivation region and the stainless steel current density at this potential is very low.

Het passiveringsgebied kan bij pH-veranderingen 15 enigszins verschuiven. De verschuiving is in dezelfde richting als de gemengde potentiaal van de oplossing met de pH verandert en van dezelfde grootte. In êén uitvoeringsvorm van de uitvinding vordt derhalve een gemengde potentiaalsonde toegepast als de respektieve refe-rentie-elektrode.The passivation range may shift slightly with pH changes. The shift is in the same direction as the mixed potential of the solution changes with the pH and the same magnitude. Therefore, in one embodiment of the invention, a mixed potential probe is used as the respective reference electrode.

20 Voor de voorstellingen in figuren 3 en 4 verden de 4 potentiaalvaarden gemeten met een model 1T^A Polarograph Analyser (Princetown Applied Research) en de referentie voor alle metingen vas een verzadigde kalomel-elektrode. De stroom verd gevolgd naarmate de potentiaal verd afgetast onder een luchtatmosfeer en geregistreerd 25 op een X/Y-registratie-inrichting.For the representations in Figures 3 and 4, the 4 potential values measured with a model 1T ^ A Polarograph Analyzer (Princetown Applied Research) and the reference for all measurements required a saturated calomel electrode. The flow is monitored as the potential is scanned under an air atmosphere and recorded on an X / Y recorder.

Bij meting van de gemengde potentiaal vordt een schoon koperoppervlak geplaatst in de stroomloze koperafzettingsoplos-sing; er begint zich dan metaal op het koperoppervlak af te zetten.When the mixed potential is measured, a clean copper surface is placed in the electroless copper deposition solution; metal then begins to deposit on the copper surface.

Er vorden 3 - ^ minuten gegeven om een stationaire toestand te laten 30 bereiken. Het koperoppervlak vordt verbonden met een klem van een hoge impedantie-millivoltmeter, zoals toegepast bij standaard-pH-meters.3-5 minutes are given to allow a steady state to be reached. The copper surface is connected to a clamp of a high impedance millivolt meter, as used with standard pH meters.

Een standaard-referentie-elektrode, ondergedompeld in het bad, vordt verbonden met de aiidere klem van de genoemde millivoltmeter. Het verschil in potentiaal tussen het koperoppervlak en de referentie-elek-35 trode vordt gemeten voor het bepalen van de gemengde potentiaal van de koperafzettingsoplossing.A standard reference electrode immersed in the bath is connected to the terminal of said millivolt meter. The difference in potential between the copper surface and the reference electrode is measured to determine the mixed potential of the copper deposition solution.

2020

De uitvinding wordt nu geïllustreerd voor de volgende voorbeelden, die niet beperkend zijn bedoeld.The invention is now illustrated for the following examples, which are not intended to be limiting.

Voorbeeld IExample I

Een epoxyglaslaminaat met een dikte van 1,6 mm wordt 5 op bekende wijze gevormd ter vervaardiging van een gedrukte schakelingen geleidernetwerk onder toepassing van elektroloze koperafzetting.A 1.6 mm thick epoxy glass laminate is formed in a known manner to produce a printed circuit conductor network using electroless copper deposition.

Het aldus verkregen laminaat is gereed voor onderdompeling in een elektroloze koperafzettingsoplossing van b.v. de volgende samenstelling: 10 CuSOi^HgO 10 g/1 formaldehyde 1+ ml/1 bevochtigingsmiddel 0,2 g/1 tetra-natriumzout van EDTA 35 g/1 natriumhydroxyde (UaOH) tot pH 11,7 (gemeten bij 25°C) natriumcyanide (NaCN) 0,005 g/1 water tot volume bedrijfstemperatuur 72°C.The laminate thus obtained is ready for immersion in an electroless copper deposition solution of e.g. the following composition: 10 CuSOi ^ HgO 10 g / 1 formaldehyde 1+ ml / 1 humectant 0.2 g / 1 tetra sodium salt of EDTA 35 g / 1 sodium hydroxide (UaOH) to pH 11.7 (measured at 25 ° C) sodium cyanide (NaCN) 0.005 g / l water to volume operating temperature 72 ° C.

De koperafzettingsoplossing van dit voorbeeld heeft 20 een gemengde potentiaal van -630 + 20 mV, gemeten met betrekking tot het standaard zilver/zilverchloride-elektrode.The copper deposition solution of this example has a mixed potential of -630 + 20 mV, measured with respect to the standard silver / silver chloride electrode.

Alle ingrediënten van de voomoemde afzettingsoplos-sing met uitzondering van het formaldehyde worden in een roestvrij stalen bekledingsvat gemengd. Een roestvrij stalen kathode wordt onderge-25 dompeld in de oplossing en verbonden met de negatieve klem van een variabele gelijkstroomgelijkrichter met een maximale capaciteit van 8 V en 200 A. Een standaard zilver/zilverchloride-referentie-elektrode wordt ondergedompeld in de af zettingsoplossing en met êén zijde van de milli-voltmeter verbonden. De andere zijde van de millivoltmeter wordt ver-30 bonden met een wand van het roestvrij stalen vat.All the ingredients of the aforementioned deposit solution except for the formaldehyde are mixed in a stainless steel coating vessel. A stainless steel cathode is immersed in the solution and connected to the negative terminal of a variable DC rectifier with a maximum capacity of 8 V and 200 A. A standard silver / silver chloride reference electrode is immersed in the deposition solution and with one side of the milli-voltmeter connected. The other side of the millivolt meter is connected to a wall of the stainless steel vessel.

De elektrische potentiaal op de bekledingsvatwand met betrekking tot de referentie-elektrode wordt ingesteld op -200 mV door de gelijkrichter te regelen. De stroomloze koperbekledingsoplos-sing wordt gestart door formaldehyde toe te voegen. Het epoxyglaslami-35 naat dat als beschreven is voorbehandeld en wordt gesteund op een roestvrij stalen rek, wordt ondergedompeld in de stroomloze koperbekledings- 800 2 5 15 21 oplossing. Koper begint zich stroomloos op het laminaat af te zetten.The electrical potential on the coating vessel wall with respect to the reference electrode is set at -200 mV by controlling the rectifier. The electroless copper plating solution is started by adding formaldehyde. The epoxy glass laminate pretreated as described and supported on a stainless steel rack is immersed in the electroless copper plating 800 2 5 15 21 solution. Copper begins to deposit electrolessly on the laminate.

33a 10 uur of na een koperafzetting van 20 micrometer, wordt het laminaat uit de bekledingsoplossing weggenomen. Waargenomen wordt, dat gedurende de stroomloze bekledingsreaktie vrijwel geen koper stroom-5 loos is afgezet op het oppervlak van het roestvrij stalen vat of het roestvrij stalen rek, in kontakt met de stroomloze koperafzettings-oplossing.33a 10 hours or after a copper deposition of 20 µm, the laminate is removed from the coating solution. It is observed that during the electroless coating reaction virtually no copper has been electrolessly deposited on the surface of the stainless steel vessel or stainless steel rack, in contact with the electroless copper deposition solution.

Voorbeeld IIExample II

Dit voorbeeld illustreert een uitvoeringsvorm van de 10 uitvinding, waarbij twee elektroden worden toegepast, nl. er wordt gewerkt zonder een referentie-elektrode. Een stroomloze koperbekledings-oplossing met dezelfde samenstelling als in voorbeeld I wordt in een vat met roestvrij stalen steunwanden geplaatst. Het vat heeft een volume 2 van 8000 1 en een inwendig oppervlak van ongeveer 60 m . De gelijkrich-15 ter wordt ingesteld teneinde een potentiaal van 0,1*5 V tussen de roestvrij stalen kathode ondergedompeld in de bekledingsoplossing en de roestvrij stalen wanden van het vat te verkrijgen. Ha deze instelling wordt waargenomen, dat de wanden van het vat een potentiaal hebben van -300 tot -1*00 mV met betrekking tot de zilver/zilver cJiloriderefer ent ie-20 elektrode. 33a deze begin-meting wordt de referentie-elektrode losgekoppeld en verwijderd.. De begin-stroom, nodig om 0,1*5 V tussen de wanden van het vat en de stalen kathode te geven is 0,5 Amp, equivalent aan -1* 2 een stroomdichtheid van 10 mA/cm .This example illustrates an embodiment of the invention in which two electrodes are used, ie working without a reference electrode. An electroless copper plating solution of the same composition as in Example 1 is placed in a vessel with stainless steel support walls. The vessel has a volume 2 of 8000 l and an internal surface of about 60 m. The rectifier is adjusted to obtain a potential of 0.1 * 5 V between the stainless steel cathode immersed in the coating solution and the stainless steel walls of the vessel. After this setting, it is observed that the walls of the vessel have a potential of -300 to -1 * 00 mV with respect to the silver / silver chloride reference and ie-20 electrode. 33a this initial measurement, the reference electrode is disconnected and removed. The initial current required to provide 0.1 * 5 V between the vessel walls and the steel cathode is 0.5 Amp, equivalent to -1 * 2 a current density of 10 mA / cm.

Zes roestvrij stalen rekken, die 300 suhstraatpanelen 2Six stainless steel racks, containing 300 suhstraat panels 2

25 van elk 0,18 m /rek bevatten, worden geplaatst in de stroomloze koper-bekledingsoplossing. Zij worden verwijderd nadat stroomloos het vooraf ingestelde geleiderpatroon is gevormd, b.v. bij intervallen van 18 -22 uur en vervangen door nieuw, te bekleden substraat. Gedurende de eerste 2l* uur van de bekledingsbehandelingen, naarmate beklede sub-30 straten worden verwijderd en nieuwe substraatpanelen in de bekledingsoplos sing worden ingevoerd, wordt waargenomen, dat zich een metallisch koper omvattend neerslag in de oplossing vormt. Een deel van dit neerslag komt in aanraking met de oppervlakken van het bekledingsvat. De stroom, die nodig is om 0,1*5 V tussen de oppervlakken van het vat en 35 de stalen kathode te handhaven, stijgt. Gedurende de volgende verschillende werkdagen wordt waargenomen, dat de stroom, die nodig is om 0,1*5 V25 each containing 0.18 m / rack are placed in the electroless copper plating solution. They are removed after the preset conductor pattern has been electrolessly formed, e.g. at intervals of 6-10 pm and replaced with new substrate to be coated. During the first 21 hours of the coating treatments, as coated substrates are removed and new substrate panels are introduced into the coating solution, a metallic copper-containing precipitate is observed to form in the solution. Part of this precipitate comes into contact with the surfaces of the coating vessel. The current required to maintain 0.1 * 5 V between the surfaces of the vessel and the steel cathode increases. During the next several working days, it is observed that the current required to supply 0.1 * 5 V.

800 2 5 15 22 te handhaven, stijgt en daalt in het gehied van 2-100 Amp naarmate verder metallisch koper neerslaat en in kontakt komt met de oppervlakken van het vat en wordt gepassiveerd. Bij het einde van h.v. een week wordt de hekledingsbehandeling onderbroken. Het koperneerslag, in kon-5 takt met de inwendige oppervlakken van het vat, bestaat uit gepassiveer-de, niet-hechtende deeltjes, die gemakkelijk door afwijving met borstel of vacuumtrekken worden verwijderd.800 2 5 15 22 rises and falls in the region of 2-100 Amp as further metallic copper precipitates and contacts the surfaces of the vessel and is passivated. At the end of h.v. the sterngear treatment is interrupted for a week. The copper precipitate, in contact with the interior surfaces of the vessel, consists of passivated, non-adhesive particles, which are easily removed by brushing or vacuum drawing.

Voorbeeld IIIExample III

In dit voorbeeld wordt de procedure, als beschreven 10 in voorbeelden I en II gevolgd met uitzondering dat de roestvrij stalen rekken eveneens met een tweede, geschikte gelijkrichter en een tweede roestvrij stalen elektrode geplaatst in de bekledingsbadoplossing zijn verbonden en de potentiaal wordt ingesteld en gehandhaafd op bij benadering 0,U - 0,5 V, gemeten tussen het rek en de tweede elektrode, 15 waardoor aldus de oppervlakken van de rekken en in sommige gevallen de randen van de panelen, die worden bekleed met koper en in kontakt zijn met het rekoppervlak, ongevoelig voor elektroloze metaalafzetting worden gemaakt.In this example, the procedure as described in Examples I and II is followed except that the stainless steel racks are also connected to a second suitable rectifier and a second stainless steel electrode placed in the plating bath solution and the potential is set and maintained at approximately 0.00 - 0.5 V, measured between the rack and the second electrode, thus making the surfaces of the racks and in some cases the edges of the panels, which are coated with copper and in contact with the rack surface be made insensitive to electroless metal deposits.

800 2 5 15800 2 5 15

Claims (11)

1. Werkwij ze voor het handhaven van stroomloze koper- bekledingsoplos singen en het uit dergelijke oplossingen stroomloos afzetten van koper op substraten, die gevoelig zijn voor stroomloze bekleding van koper, waarbij oppervlakken van de metallische bekle-5 dingsinstallatie in aanraking zijn met de genoemde oplossing, met het kenmerk, dat de genoemde oplossing in aanraking wordt gebracht met ten minste êên tegenelektrode; en de metallische bekledingsinstallatie en de tegen-elebtrode (n) worden -verbonden met een bron van elektriciteit, zodanig dat aan het oppervlak van de bekledingsinstallatie een 10 potentiaal wordt geleverd, die voldoende meer positief is dan de gemengde potentiaal van de genoemde stroomloze koperbekledingsoplossing, teneinde deze oppervlakken nagenoeg volledig bestendig te maken tegen stroomloze metaalafzetting; welke bron van elektriciteit een voorziening heeft voor het instellen en handhaven van de genoemde potentiaal -J5 over het stroomgebied noodzakelijk voor het compenseren van de elektronen, gevormd door oxydatie van het in de bekledingsoplossing aanwezige-reduktiemiddel bij kontakt met de metallische oppervlakken van de bekledingsinstallatie v66r en nadat koperdeeltjes zijn bezonken of afgezet op deze oppervlakken, waardoor aldus de oppervlakken van de genoem-20 de koperdeeltjes en van de bekledingsinstallatie nagenoeg volledig katalytisch inaktief enongevoelig voor stroomloos gevormde afzettingen worden gemaakt.Method for maintaining electroless copper clad solutions and electroless deposition of copper from such solutions on substrates sensitive to electroless cladding of copper, surfaces of the metallic cladding installation being in contact with said solution characterized in that said solution is contacted with at least one counter electrode; and the metallic coating installation and the counter electrode (s) are connected to a source of electricity such that a potential is supplied to the surface of the coating installation which is sufficiently more positive than the mixed potential of said electroless copper cladding solution, in order to render these surfaces virtually completely resistant to electroless metal deposition; which source of electricity has provision for setting and maintaining said potential -J5 over the current region necessary to compensate for the electrons formed by oxidation of the reducing agent contained in the coating solution upon contact with the metallic surfaces of the coating plant and after copper particles have settled or deposited on these surfaces, thus making the surfaces of the said copper particles and of the coating plant substantially completely catalytically inactive and insensitive to electroless deposits. 2. Werkwijze volgens conclusie 1 voor het stroomloos afzetten van koper uit een afzettingsoplossing met een bekende gemengde 2? potentiaal op een substraat dat gevoelig is voor deze afzetting of voor het handhaven van «dergelijke oplossingen in een metallische installatie waarvan de oppervlakken in kontakt zijn met de genoemde oplossing, met het kenmerk., dat 1. men in het begin een elektrische stroom laat 30 vloeien tussen de metallische oppervlakken van de bekledingsinstallatie die in kontakt zijn met de oplossing en een tegenelektrode, welke stroom voldoende groot is om een elektrische potentiaal op de genoemde installatieoppervlakken te leveren, die voldoende meer positief is dan 80 0 2 5 15 2k de gemengde potentiaal van de oplossing om de installatieoppervlakken nagenoeg volledig "bestendig te maken tegen het daarop vormen van een aanhechtende stroomloze koperafzetting; 2. men stroomloos koper op het substraat uit de 5 stroomloze koperbekledingsoplossing afzet of deze oplossing opslaat en 3. men, onder het stroomloos af zetten van koper op het substraat of het opslaan van de oplossing, de toegevoerde stroom naar de oppervlakken van de installatie zodanig instelt, dat een elektrische potentiaal wordt gehandhaafd, die voldoende meer positief is 10 dan de genoemde gemengde potentiaal om stroomloze koperafzetting op de oppervlakken te weerstaan.2. A method according to claim 1 for electroless deposition of copper from a deposition solution with a known mixed 2? potential on a substrate sensitive to this deposition or to maintain such solutions in a metallic installation whose surfaces contact the said solution, characterized in that 1. an electric current is initially allowed flowing between the metallic surfaces of the coating installation in contact with the solution and a counter electrode, which current is sufficiently large to provide an electric potential on said installation surfaces which is sufficiently more positive than 80 0 2 5 15 2k the mixed potential of the solution to make the installation surfaces substantially completely "resistant to the formation of an adhering electroless copper deposit; 2. electroless copper is deposited on the substrate from the electroless copper plating solution or stored, and 3. electroless deposition of copper on the substrate or storing the solution, the supplied adjusts the current to the surfaces of the installation such that an electric potential is maintained which is sufficiently more positive than said mixed potential to withstand electroless copper deposition on the surfaces. 3. Werkwijze volgens conclusie -1 of 2, met het kenmerk, dat de stroomloze koperafzettingsoplossing een gemengde potentiaal in het gebied tussen -500 en -800 mV ten opzichte van een standaard zil-15 ver/zilverchloridereferentie-elektrode en in het gebied tussen -550 en -850 mV ten opzichte van een verzadigde kalomel-referentie-elektrode heeft. h. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de elektrische potentiaal, aangelegd en gehandhaafd op de opper-20 vlakken van de metallische installatie in het gebied ligt tussen -500 en +500 mY ten opzichte van de referentie-elektrode, en meer positief is dan de gemengde potentiaal.A method according to claim -1 or 2, characterized in that the electroless copper deposition solution has a mixed potential in the range between -500 and -800 mV relative to a standard silver / silver chloride reference electrode and in the range between - 550 and -850 mV relative to a saturated calomel reference electrode. h. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the electric potential applied and maintained on the surfaces of the metallic installation is in the range between -500 and +500 mY with respect to the reference electrode, and more is positive than the mixed potential. 5. Werkwijze volgens conclusie k, met het kenmerk, dat de elektrische potentiaal in het gebied ligt tussen -3Q0 en -1Q0 mV 25 ten opzichte van de referentie-elektrode.Method according to claim k, characterized in that the electric potential is in the range between -3Q0 and -1Q0 mV with respect to the reference electrode. 6. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de elektrische potentiaal aangelegd en gehandhaafd op de oppervlakken van de metallische installatie ten minste ongeveer 250 mY meer positief is dan de gemengde potentiaal. 30 7· Werkwijze volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat 2 de stroom in het gebied tussen 10 tot k mA/cm oppervlak is, dat bestendig moet worden gemaakt tegen stroomloze koperafzetting.A method according to claim 1 or 2, characterized in that the electric potential applied and maintained on the surfaces of the metallic installation is at least about 250 mY more positive than the mixed potential. The method according to claim 2, characterized in that 2 is the current in the range between 10 to k mA / cm area to be rendered resistant to electroless copper deposition. 8. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de bron van elektriciteit een vermogensgelijkrichter is,, waarvan de 35 uitgangsspanning wordt ingesteld en gehouden op een waarde, gekozen voor het bereiken van de voornoemde potentiaal op de oppervlakken van de af- 800 2 5 15 » £ 25 zettingsinstallatie binnen het gekozen werkgebied van de toegevoerde stroom.8. A method according to claim 1, characterized in that the source of electricity is a power rectifier, the output voltage of which is set and maintained at a value selected for achieving the aforesaid potential on the surfaces of the output. 5 15 25 pound installation within the selected operating range of the supplied current. 9. Werkwijze volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat de vermogensgelijkrichter de gelijkrichter beschreven in figuur 2 is.Method according to claim 8, characterized in that the power rectifier is the rectifier described in Figure 2. 10. Werkwijze volgens conclusies 1-8, met het kenmerk, dat de bekledingsinstallatie een bekledingsvat met metallische steun-wanden omvat, waarin de afzettingsoplossing wordt gehandhaafd.Method according to claims 1-8, characterized in that the coating installation comprises a coating vessel with metallic support walls, in which the deposition solution is maintained. 11. Werkwijze volgens conclusies 1-9» met het kenmerk, dat de bekledingsinstallatie een rek omvat dat het te bekleden substraat 10 ondersteunt, welk rek geheel of ten dele van metaal is gemaakt.11. A method according to claims 1-9, characterized in that the coating installation comprises a rack supporting the substrate 10 to be coated, which rack is made entirely or partly of metal. 12. Werkwijze volgens conclusies 1 - 10, met het kenmerk, dat de bekledingsinstallatie van staal is gemaakt.Method according to claims 1 to 10, characterized in that the coating installation is made of steel. 13. Werkwijze volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de bekledingsinstallatie van roestvrij staal is gemaakt. 15 1U. Werkwijze volgens conclusies 1 - 13, met het kenmerk, dat elk afzonderlijk onderdeel van de bekledingsinstallatie verbonden is met een afzonderlijke bron van elektriciteit. 800 2 5 15Method according to claim 12, characterized in that the coating installation is made of stainless steel. 15 1U. Method according to claims 1 - 13, characterized in that each separate part of the coating installation is connected to a separate source of electricity. 800 2 5 15
NLAANVRAGE8002515,A 1979-04-30 1980-04-29 METHOD FOR MAINTAINING BATHING SOLUTIONS FOR STREAMLY SELLING COPPER ON SUBSTRATE SHEETS IN METAL DEVICES NL189769B (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US3481279A 1979-04-30 1979-04-30
US3481279 1979-04-30
US13045180A 1980-03-28 1980-03-28
US13045180 1980-03-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL8002515A true NL8002515A (en) 1980-11-03
NL189769B NL189769B (en) 1993-02-16

Family

ID=26711403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE8002515,A NL189769B (en) 1979-04-30 1980-04-29 METHOD FOR MAINTAINING BATHING SOLUTIONS FOR STREAMLY SELLING COPPER ON SUBSTRATE SHEETS IN METAL DEVICES

Country Status (11)

Country Link
AT (1) AT369037B (en)
AU (1) AU5767780A (en)
CA (1) CA1183101A (en)
CH (1) CH646732A5 (en)
DE (1) DE3016994C2 (en)
DK (1) DK151233C (en)
FR (1) FR2455641B1 (en)
GB (1) GB2052560B (en)
IT (1) IT1128151B (en)
NL (1) NL189769B (en)
SE (1) SE453925B (en)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1277642B (en) * 1964-01-14 1968-09-12 Bayer Ag Process for the protection of metallic surfaces against metal deposition in chemical metallization baths
DE1521246B2 (en) * 1965-12-30 1976-06-16 Bayer Ag, 5090 Leverkusen PROCESS AND CIRCUIT FOR THE PROTECTION OF METALLIC SURFACES AGAINST CHEMICAL METALLIZATION
GB1224047A (en) * 1968-12-10 1971-03-03 Tsniitmash Method of inhibiting the formation of a coating on chemical equipment
CH613475A5 (en) * 1976-07-28 1979-09-28 Bbc Brown Boveri & Cie Appliance for the electroless metal coating of objects
US4125642A (en) * 1977-08-25 1978-11-14 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for conducting electroless metal-plating processes

Also Published As

Publication number Publication date
ATA230980A (en) 1982-04-15
NL189769B (en) 1993-02-16
DE3016994A1 (en) 1980-11-06
DK151233C (en) 1988-12-12
AU5767780A (en) 1980-11-06
DK151233B (en) 1987-11-16
CH646732A5 (en) 1984-12-14
IT1128151B (en) 1986-05-28
FR2455641B1 (en) 1985-07-26
DK185080A (en) 1980-10-31
DE3016994C2 (en) 1983-09-08
AT369037B (en) 1982-11-25
SE453925B (en) 1988-03-14
GB2052560A (en) 1981-01-28
FR2455641A1 (en) 1980-11-28
IT8048537A0 (en) 1980-04-29
CA1183101A (en) 1985-02-26
GB2052560B (en) 1982-11-10
SE8003204L (en) 1980-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3477920A (en) Method of treating electrodes for use in electroplating baths
Mansfeld et al. Detection of pitting with electrochemical impedance spectroscopy
Curkovic et al. Electrochemical quartz crystal microbalance and electrochemical impedance spectroscopy study of copper corrosion inhibition by imidazoles
US20120043301A1 (en) Method and apparatus for controlling and monitoring the potential
US4182638A (en) Coating process with voltammetric sensing of the coating solution
UA86197C2 (en) Magnetic flow meter (variants) and flow rate meter that includes it
US4391841A (en) Passivation of metallic equipment surfaces in electroless copper deposition processes
JP2546089B2 (en) Metal ion replenishment method for tin or solder plating bath
JPS61110799A (en) Controller of metal plating cell
NL8002515A (en) METHOD FOR PASSIVATING METALLIC SURFACES IN CURRENT COPPER SALES.
US3826724A (en) Method of removing a metal contaminant
Losch et al. Impedance spectroscopy and other electrochemical in-situ investigations of the phosphating process
Higgins The anodic dissolution and electrolytic polishing of metals
Mikulskis et al. Comparative study of equilibrium characteristics of Cu| Cu (II), Cu (I), glycine system containing sulfate or perchlorate as a supporting electrolyte
US4125642A (en) Method for conducting electroless metal-plating processes
US3775267A (en) Electrodeposition of rhodium
GB1603013A (en) Process control
Tuna et al. EQCM and EIS characterization of electrochemical deposition of tin from aqueous solution containing pyrophosphate
JPS59588B2 (en) Passivation of metal device surfaces in electroless copper deposition method
JP3370896B2 (en) Method and apparatus for supplying Zn ions to a Zn-Ni alloy electroplating bath
US5411648A (en) Method and apparatus for on-line monitoring the quality of a purified metal sulphate solution
JP2864422B2 (en) Coating method
Williams Automatic Corrosion Rate Monitoring of Metals in Solution
Gladstein et al. A novel method of controlling metal deposition during a pulse plating process
JPH0768638B2 (en) Metal anti-corrosion surface treatment method

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
CNR Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)

Free format text: KOLLMORGEN CORPORATION TE SIMSBURY

CNR Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)

Free format text: AMP-AKZO CORPORATION

V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent

Free format text: 20000429