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하전 입자 빔 시스템의 레벨 변동을 측정하기 위한 자기 차별화 공초점 틸트 센서
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一种通过聚焦激光束测量气膜孔的形位参数的方法及系统
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
适用于在轨大视场的图像采集单元定标装置以及观测系统
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