NL2028887B1 - Method for determining a wavefront generated by means of a diffractive optical element - Google Patents
Method for determining a wavefront generated by means of a diffractive optical element Download PDFInfo
- Publication number
- NL2028887B1 NL2028887B1 NL2028887A NL2028887A NL2028887B1 NL 2028887 B1 NL2028887 B1 NL 2028887B1 NL 2028887 A NL2028887 A NL 2028887A NL 2028887 A NL2028887 A NL 2028887A NL 2028887 B1 NL2028887 B1 NL 2028887B1
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- wavefront
- optical element
- diffractive optical
- pattern
- wave
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 111
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 88
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 claims description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 claims description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 26
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 6
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02034—Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
- G01B9/02038—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
- G01B9/02039—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront by matching the wavefront with a particular object surface shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Claims (14)
1. Een werkwijze voor het bepalen van een golffront (54) gegenereerd door middel van een diffractief optisch element (24), omvattende de stappen van: - het verschaffen van een n-dimensionaal aperiodisch patroon (58) welke diffractiestructuren (34) vertegenwoordigt die zijn ingericht op het diffractieve optische element, waarbij n een waarde van 1 of 2 heeft, en - het computationeel bepalen van het golffront (54) gegenereerd door middel van het diffractieve optische element, rekening houdend met het n- dimensionale aperiodische patroon, waarbij het n-dimensionale aperiodische patroon (58) is ingebed in een hoger-dimensionale representatie tijdens de computationele bepaling van het golffront, waarbij de diffractiestructuren worden gerepresenteerd door een periodisch patroon (64) in genoemde hoger-dimensionale representatie.
5 2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij, tijdens de berekening van het golffront, het patroon welke voortkomt uit de hoger-dimensionale periodische representatie wordt weergegeven door middel van een Fourier-reeks (66) en het n-dimensionale aperiodische patroon (58) wordt omgezet in een Fourier-representatie door middel van de expansiecoëfficiënten in de Fourierreeks van het periodische patroon.
3. De werkwijze volgens conclusie 2, waarbij het door middel van het diffractieve optische element (24) gegenereerde golffront (54) wordt bepaald door middel van een algoritme op basis van de Fourier-representatie van de n-dimensionaal aperiodische patroon en een topografie (60) van de diffractiestructuren (34) ingericht op het diffractieve optische element.
4. De werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, waarbij het aperiodische patroon (50) tweedimensionaal is en een ten minste driemaal gecodeerd diffractiepatroon vertegenwoordigt.
Bb. De werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, waarbij het diffractieve optische element is geconfigureerd voor gebruik in een meetinrichting (10) voor de interferometrische meting van de vorm van een oppervlak (12) van een testobject (14).
6. Werkwijze volgens een van de conclusies 3 tot 5, waarbij een golffrontcorrectie wordt bepaald door een golffront te vergelijken welke is gesimuleerd op basis van de lay-out van de diffractiestructuren met het golffront (54) welke is bepaald rekening houdend met de topografie (60) van de diffractiestructuren.
7. Een werkwijze voor de interferometrische meting van een vorm van een oppervlak (12) van een testobject (14), omvattende de stappen van: - het uitstralen van een testgolf (26), welke wordt gegenereerd door middel van een diffractief optisch element (24), op het oppervlak van het testobject, - het berekenen van een golffront (54) van de testgolf door middel van de werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, en - het evalueren van een interferogram (41) welke is gegenereerd door middel van de testgolf na interactie met het oppervlak van het testobject, waarbij rekening wordt gehouden met het golffront (54a) van de testgolf bepaald door berekening.
8. Werkwijze volgens conclusie 7, waarbij de testgolf (26) en een referentiegolf (28) gelijktijdig worden gegenereerd door het uitstralen van een ingangsgolf (18) op het diffractieve optische element, waarbij de referentiegolf wordt gesuperponeerd op de testgolf bij het genereren van het interferogram (41).
9. Werkwijze volgens conclusie 8, waarbij ten minste één kalibratiegolf (50, 52, 53) additioneel wordt gegenereerd wanneer de ingangsgolf (18) wordt uitgestraald op het diffractieve optische element.
10. Werkwijze volgens een van de conclusies 7 tot 9, waarbij het testobject (14) een optisch element is van een microlithografische projectiebelichtingsinrichting.
11. Werkwijze volgens een van de conclusies 7 tot 10, waarbij het testobject een optisch element is voor EUV-microlithografie.
12. Een werkwijze voor het produceren van een diffractief optisch element (24), omvattende de stappen van: - het bepalen van een structuurpatroon (58) voor diffractiestructuren (34) van een diffractief optisch element voor het genereren van een gespecificeerd doelgolffront op basis van een simulatieberekening welke alleen rekening houdt met de lay-out van de diffractiestructuren, - het computationeel bepalen van het golffront (54a) gegenereerd door middel van het optische element volgens een van de conclusies 1 tot 6, waarbij wordt rekening gehouden met een topografie (60) van de op het diffractieve optische element aangebrachte diffractiestructuren (34) bij de berekening van het golffront, - het bepalen van een correctie voor het structuurpatroon op basis van een golffrontverschil tussen het werkelijke golffront en het doelgolffront voor het minimaliseren van het golffrontverschil, en
- het produceren van het diffractieve optische element (24) op basis van het gecorrigeerde structuurpatroon.
13. Werkwijze volgens conclusie 12, waarbij het doelgolffront overeenkomt met een doelvorm van een optisch oppervlak (12) van een testobject, waarbij het diffractieve optische element (24) is geconfigureerd voor de interferometrische meting van het laatste.
14. Een meetinrichting (10) voor de interferometrische meting van een vorm van een oppervlak (12) van een testobject (14), omvattende: - een diffractief optisch element (24) voor het genereren van een testgolf (26 ) welke wordt uitgestraald op het oppervlak van het testobject, - een golffrontbepalingsinrichting (56) welke is geconfigureerd om een golffront van de testgolf rekenkundig te bepalen, rekening houdend met een n-dimensionaal aperiodisch patroon (58) welke diffractie structuren (34) voorstelt welke zijn ingericht op het diffractieve optische element, waarbij n een waarde van 1 of 2 heeft, en waarbij in het proces het n-dimensionale aperiodische patroon wordt ingebed in een hoger-dimensionale weergave, waarin de diffractiestructuren worden weergegeven door een periodisch patroon (64), en - een detectieinrichting (40) voor het vastleggen van een interferogram (41) gegenereerd door middel van de testgolf na interactie met het oppervlak van het testobject.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102020209580.9A DE102020209580B3 (de) | 2020-07-30 | 2020-07-30 | Verfahren zum Bestimmen einer mittels eines diffraktiven optischen Elements erzeugten Wellenfront, Verfahren zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elements sowie Messvorrichtung zur interferometrischen Formvermessung einer Oberfläche eines Testobjekts |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2028887A NL2028887A (en) | 2022-03-21 |
| NL2028887B1 true NL2028887B1 (en) | 2023-12-08 |
Family
ID=77155806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2028887A NL2028887B1 (en) | 2020-07-30 | 2021-07-30 | Method for determining a wavefront generated by means of a diffractive optical element |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116075682A (nl) |
| DE (1) | DE102020209580B3 (nl) |
| NL (1) | NL2028887B1 (nl) |
| TW (1) | TW202225633A (nl) |
| WO (1) | WO2022023188A1 (nl) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006035022A1 (de) | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zum Herstellen einer optischen Komponente, Interferometeranordnung und Beugungsgitter |
| DE102012217800A1 (de) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Diffraktives optisches Element sowie Messverfahren |
| DE102015202695A1 (de) | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Prüfvorrichtung sowie Verfahren zum Prüfen eines Spiegels |
| DE102015209490A1 (de) | 2015-05-22 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Interferometrische Messanordnung |
| DE102017217369A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Kompensationsoptik für ein interferometrisches Messsystem |
-
2020
- 2020-07-30 DE DE102020209580.9A patent/DE102020209580B3/de active Active
-
2021
- 2021-07-23 WO PCT/EP2021/070631 patent/WO2022023188A1/en active Application Filing
- 2021-07-23 CN CN202180058762.5A patent/CN116075682A/zh active Pending
- 2021-07-28 TW TW110127745A patent/TW202225633A/zh unknown
- 2021-07-30 NL NL2028887A patent/NL2028887B1/en active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102020209580B3 (de) | 2021-09-23 |
| NL2028887A (en) | 2022-03-21 |
| TW202225633A (zh) | 2022-07-01 |
| WO2022023188A1 (en) | 2022-02-03 |
| CN116075682A (zh) | 2023-05-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6462025B2 (ja) | 回折光学素子、及びこの回折光学素子を用いた測定方法及びシステム | |
| US8089634B2 (en) | Optical element and method of calibrating a measuring apparatus comprising a wave shaping structure | |
| US10502545B2 (en) | Measuring method and measuring arrangement for an imaging optical system | |
| JP7227234B2 (ja) | 干渉計測システムの補償光学系 | |
| Kebbel et al. | Application of digital holographic microscopy for inspection of micro-optical components | |
| US20220101569A1 (en) | Method for determining a production aerial image of an object to be measured | |
| NL2028887B1 (en) | Method for determining a wavefront generated by means of a diffractive optical element | |
| Stoykova et al. | Fringe projection with a sinusoidal phase grating | |
| US11774237B2 (en) | Method for calibrating a measuring apparatus | |
| Song et al. | Faceted Fresnel DOEs creating the perception of a floating 3D virtual object under divergent illumination | |
| US11029259B2 (en) | Detection device for detecting a structure on an area portion of a lithography mask, and apparatus comprising a detection device of this type | |
| Xu et al. | Design and application of diffractive optical element: a review | |
| Poperenko et al. | Talbot imaging usage for surface step control | |
| Sokolova et al. | Computer modelling of a wavefront diffracted at a concave grating | |
| Zhou | Applications of Digital Holography in Direct Phase Retrieval Using Transport of Intensity and in 3D Surface Feature Extraction | |
| Ying et al. | Cylindrical CGH wavefront calibration method based on transmission holography | |
| Takacs et al. | Practical considerations in using a binary pseudorandom array for instrument transfer function calibration | |
| Kharitonov | An asymptotic method for solving problems of diffraction by diffractive optical elements with zone structure | |
| Wang | Studies on digital holography for aspheric surface measurement | |
| Koreshev et al. | Method and software system for synthesis of focused-image hologram projectors | |
| Davis | Experimental Investigations of Holographic Array Generation for Photosensitive Material Characterization | |
| Babin et al. | Rigorous electromagnetic analysis of aerial image formation in photoresist | |
| Amezquita et al. | Digital holography system for topography measurement | |
| Séfel et al. | Adaptive holographic illumination in comparative electronic speckle pattern interferometry |