NL2023157A - Metrology tools comprising aplanatic objective singlet - Google Patents
Metrology tools comprising aplanatic objective singlet Download PDFInfo
- Publication number
- NL2023157A NL2023157A NL2023157A NL2023157A NL2023157A NL 2023157 A NL2023157 A NL 2023157A NL 2023157 A NL2023157 A NL 2023157A NL 2023157 A NL2023157 A NL 2023157A NL 2023157 A NL2023157 A NL 2023157A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- aplanatic
- singlet
- wavelength
- spherochromatic
- lens
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Claims (1)
1. Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2023157A NL2023157A (en) | 2019-05-17 | 2019-05-17 | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2023157A NL2023157A (en) | 2019-05-17 | 2019-05-17 | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2023157A true NL2023157A (en) | 2019-05-29 |
Family
ID=66791953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2023157A NL2023157A (en) | 2019-05-17 | 2019-05-17 | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL2023157A (nl) |
-
2019
- 2019-05-17 NL NL2023157A patent/NL2023157A/en unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10394137B2 (en) | Inspection method, lithographic apparatus, mask and substrate | |
| JP6618551B2 (ja) | 検査装置、検査方法、リソグラフィ装置、パターニングデバイス及び製造方法 | |
| US9563131B2 (en) | Lithographic apparatus, substrate and device manufacturing method | |
| JP6008851B2 (ja) | オーバレイ誤差を決定する方法及び装置 | |
| JP4896092B2 (ja) | 検査方法および装置、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、およびデバイス製造方法 | |
| JP6132499B2 (ja) | 検査装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 | |
| KR20190051071A (ko) | 계측 레시피 선택 | |
| JP6744984B2 (ja) | 波面の可変コレクタ | |
| EP3696606A1 (en) | A metrology apparatus with radiation source having multiple broadband outputs | |
| US11237484B2 (en) | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet | |
| US20230333290A1 (en) | Achromatic optical relay arrangement | |
| US11675276B2 (en) | Metrology apparatus and photonic crystal fiber | |
| WO2021032366A1 (en) | Illumination and detection apparatus for a metrology apparatus | |
| NL2023157A (en) | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet | |
| EP4187321A1 (en) | Metrology method and associated metrology tool | |
| WO2024022720A1 (en) | Method and apparatuses for fourier transform spectrometry | |
| NL2022582A (en) | A metrology apparatus with radiation source having multiple broadband outputs | |
| NL2023181A (en) | Detection apparatus for simultaneous acquisition of multiple diverse images of an object | |
| NL2022659A (en) | Alignment method and associated metrology device |