NL2011759A - Source collector apparatus, lithographic apparatus and method. - Google Patents

Source collector apparatus, lithographic apparatus and method. Download PDF

Info

Publication number
NL2011759A
NL2011759A NL2011759A NL2011759A NL2011759A NL 2011759 A NL2011759 A NL 2011759A NL 2011759 A NL2011759 A NL 2011759A NL 2011759 A NL2011759 A NL 2011759A NL 2011759 A NL2011759 A NL 2011759A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
fuel
droplets
stream
radiation
source collector
Prior art date
Application number
NL2011759A
Other languages
English (en)
Inventor
Niek Kleemans
Dennis Glushkov
Ronald Hultermans
Benedictus Renkens
Gerardus Swinkels
Christiaan Verspeek
Original Assignee
Asml Netherlands Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asml Netherlands Bv filed Critical Asml Netherlands Bv
Priority to NL2011759A priority Critical patent/NL2011759A/en
Publication of NL2011759A publication Critical patent/NL2011759A/en

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Claims (1)

  1. Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
NL2011759A 2013-11-08 2013-11-08 Source collector apparatus, lithographic apparatus and method. NL2011759A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2011759A NL2011759A (en) 2013-11-08 2013-11-08 Source collector apparatus, lithographic apparatus and method.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2011759 2013-11-08
NL2011759A NL2011759A (en) 2013-11-08 2013-11-08 Source collector apparatus, lithographic apparatus and method.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL2011759A true NL2011759A (en) 2014-01-13

Family

ID=51542568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2011759A NL2011759A (en) 2013-11-08 2013-11-08 Source collector apparatus, lithographic apparatus and method.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL2011759A (nl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9964852B1 (en) Source collector apparatus, lithographic apparatus and method
US8598551B2 (en) EUV radiation source comprising a droplet accelerator and lithographic apparatus
JP5732525B2 (ja) コレクタミラーアセンブリおよび極端紫外線放射の生成方法
TWI394012B (zh) 微影裝置及元件製造方法
JP6487519B2 (ja) リソグラフィ装置用の汚染トラップ
JP5162546B2 (ja) 放射源及びリソグラフィ装置
US8278636B2 (en) Radiation sources and methods of generating radiation
US9671698B2 (en) Fuel stream generator, source collector apparatus and lithographic apparatus
US20150261095A1 (en) Radiation Source
JP2010062560A5 (nl)
US20120280148A1 (en) Euv radiation source and lithographic apparatus
US20160035605A1 (en) Support Structure, Method of Controlling the Temperature Of The Same, and Apparatuses Including the Same
US20120006258A1 (en) Hydrogen radical generator
WO2021069147A1 (en) A lithography apparatus and a method of detecting a radiation beam
NL2011759A (en) Source collector apparatus, lithographic apparatus and method.
NL2011327A (en) Source collector apparatus, lithographic apparatus and method.
NL2004977A (en) Euv radiation source and lithographic apparatus.
NL2010236A (en) Lithographic apparatus and method.
NL2004978A (en) Euv radiation source and lithographic apparatus.
NL2010218A (en) Fuel stream generator, source collector apparatus and lithographic apparatus.
NL2005763A (en) Lithographic apparatus.
NL2006601A (en) An electrostatic clamp apparatus and lithographic apparatus.
NL2005747A (en) Lithographic apparatus, aberration detector and device manufacturing method.
NL2006106A (en) Lithographic apparatus.

Legal Events

Date Code Title Description
WDAP Patent application withdrawn

Effective date: 20141107