NL2003134C - Laser interferometer. - Google Patents

Claims (7)

1. Laserinterferometer, omvattende een of meer laser-lichtbronnen die ten minste één lichtbundel verschaffen op twee of meer afzonderlijke frequenties, een bundelsplitser voor het splitsen van de ten minste ene lichtbundel in referentie- en 5 meetbundels, een eerste reflector en een tweede reflector voor reflectie van de referentie- en meetbundels, en ten minste één detector voor het detecteren van het interferentiesignaal dat betrekking heeft op de gereflecteerde referentie- en meetbundels, met het kenmerk, dat de laserlichtbron voorziet in eerste 10 en tweede lichtbundels die ruimtelijk van elkaar gescheiden zijn en waarin de eerste luchtbundel een eerste van genoemde afzonderlijke frequenties en de tweede lichtbundel een tweede van genoemde afzonderlijke frequenties bezit, en verder dat de bundelsplitser de eerste en tweede lichtbundel splitst in eerste en 15 tweede ruimtelijk gescheiden referentiebundels die naar de eerste reflector reizen, en in eerste en tweede ruimtelijk gescheiden meetbundels die naar de tweede reflector reizen, en dat een van de eerste en tweede reflectoren is ingericht om te veroorzaken dat de gereflecteerde eerste meetbundel ten minste een deel 20 van haar propagatiepad deelt met de gereflecteerde tweede refe-rentiebundel, en dat de gereflecteerde tweede meetbundel ten minste een deel van haar propagatiepad deelt met de gereflecteerde eerste referentiebundel.

2. Laserinterferometer volgens conclusie 1, met het 25 kenmerk, dat de eerste en tweede lichtbundels dezelfde polarisatie bezitten.

3. Laserinterferometer volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de bundelsplitser een niet-polariserende bundelsplitser is.

4. Laserinterferometer volgens een der conclusies 1-3, met het kenmerk, dat de gereflecteerde eerste meetbundel en de gereflecteerde tweede referentiebundel samenvallen in een eerste propagatiepad dat eindigt bij een eerste detector, en de gereflecteerde tweede meetbundel en de gereflecteerde eerste refe-35 rentiebundel samenvallen in een tweede propagatiepad dat ruimtelijk gescheiden is van het eerste propagatiepad en eindigt bij een tweede detector.

5. Laserinterferometer volgens een der conclusies 1-4, -· ' ? met het kenmerk, dat de tweede reflector een retroreflector is.

6. Laserinterferometer volgens een der conclusies 1-5, met het kenmerk, dat de eerste reflector voor de eerste en tweede referentiebundels geselecteerd is uit de groep omvattende een 5 prisma en spiegels.

7. Werkwijze voor het gebruiken van een laserinterferometer volgens een der conclusies 1-6, met het kenmerk, dat deze lichtbundels op drie onderscheidenlijke frequenties toepast, zodanig dat een eerste lichtbundel één van genoemde frequenties 10 bezit en dat een tweede lichtbundel de overblijvende twee frequenties bezit. 2003134