CN114739286B - 一种双波长复合激光干涉仪系统 - Google Patents

一种双波长复合激光干涉仪系统 Download PDF

Info

Publication number
CN114739286B
CN114739286B CN202210478556.6A CN202210478556A CN114739286B CN 114739286 B CN114739286 B CN 114739286B CN 202210478556 A CN202210478556 A CN 202210478556A CN 114739286 B CN114739286 B CN 114739286B
Authority
CN
China
Prior art keywords
far infrared
interferometer
microwave
dual
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210478556.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114739286A (zh
Inventor
刘海庆
解家兴
魏学朝
张际波
揭银先
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Original Assignee
Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Institutes of Physical Science of CAS filed Critical Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Priority to CN202210478556.6A priority Critical patent/CN114739286B/zh
Publication of CN114739286A publication Critical patent/CN114739286A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114739286B publication Critical patent/CN114739286B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
    • G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
    • G01B9/02003—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using beat frequencies
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种双波长复合激光干涉仪系统，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；远红外激光干涉仪光路器件用于进行分束，并接收角反射镜返回的光束；微波干涉仪光路模块包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，用于进行分束并将微波光束和远红外光束进行合束，实现角反射镜的振动误差补偿。本发明实施例提供的双波长复合激光干涉仪系统，可以精确测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，其中一束光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，提高了干涉仪的测量精度。

Description

一种双波长复合激光干涉仪系统
技术领域
本发明涉及光学技术领域，尤其是涉及一种双波长复合激光干涉仪系统。
背景技术
在托卡马克聚变实验装置中，等离子体电子密度是不可或缺的物理参数，而干涉测量法是托卡马克聚变实验装置上测量等离子体电子密度的一种广泛使用的方法，它可以以高时间分辨率测量线积分电子密度的时间演化，并在多通道测量中给出可靠的密度分布。多通道合适波长干涉仪密度测量可以为托卡马克聚变实验装置评估能量限制时间提供支持，有助于实现电子伯恩斯坦波加热，突破截止密度限制，还可以为物理实验提供密度反馈信号，实现实时密度控制。
现如今，托卡马克聚变装置逐渐朝着双波长同时测量的干涉仪的方向演变，但是，很多装置在放电时，受装置环向磁场等因素的影响，装置会产生不同程度振动，对干涉仪光路，尤其是固定在装置顶部的角反射镜造成较大影响，在测量时会引入较大误差，由此可见，如何设计一款集成两种波长的干涉仪系统并同时实现等离子体的电子密度准确测试已成为现如今本领域技术人员所要亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明提供一种双波长复合激光干涉仪系统，以解决上述缺陷，通过设计垂直多通道测量的微波-远红外双波长复合激光干涉仪系统，可以精确测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，同时干涉仪系统中的其中一束光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，从而进一步提高了干涉仪的测量精度。
为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种双波长复合激光干涉仪系统，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；
所述双层平台上设有等离子体和用于返回穿过所述等离子体的光束的角反射镜；
所述远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；
所述远红外波段气体激光器的光信号输出端依次通过所述远红外激光器台面光路、所述双波导输出至所述双层平台；所述远红外激光干涉仪光路器件，其设于所述双层平台的底层，用于将接收到的远红外光束进行分束，并接收由所述角反射镜返回的光束；
所述微波干涉仪光路模块设于所述双层平台的顶层，其包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，所述微波干涉仪光路器件用于将所述微波固体源产生的微波光束进行分束，接收由所述角反射镜返回的光束，所述微波干涉仪光路器件还用于将所述微波光束和所述远红外光束进行合束，以实现角反射镜的振动误差补偿。
作为其中一种优选方案，所述远红外波段气体激光器和所述远红外激光器台面光路设于激光洁净室内。
作为其中一种优选方案，所述远红外波段气体激光器的主体部分和所述远红外激光器台面光路均设于光学平台上。
作为其中一种优选方案，所述微波固体源为太赫兹固体倍频源。
作为其中一种优选方案，所述双层平台为双层减振无磁平台，且所述双层平台的高度可调。
作为其中一种优选方案，所述双波导由两根派热克斯玻璃及支架组成。
作为其中一种优选方案，所述角反射镜为铝制镀金材质。
作为其中一种优选方案，所述远红外激光器台面光路至少包括分光栅网、转动光栅、第一探测器；
所述第一探测器用于将经由所述分光栅网后产生的光束与经由所述转动光栅后产生的光束合束，以生成拍频信号；
经由所述分光栅网后产生的光束还用于输出至所述双波导。
作为其中一种优选方案，所述远红外激光干涉仪光路器件至少包括两个45度角栅网、一个45度角反射镜和三个探测道探测器；
所述远红外光束被两个所述45度角栅网和一个所述45度角反射镜分为三束，在穿过所述等离子体后由所述角反射镜返回，分别被对应的所述探测道探测器接收。
作为其中一种优选方案，所述微波干涉仪光路器件至少包括参考/探测道探测器、四个栅网，四个所述栅网用于对所述微波光束进行分束，所述参考/探测道探测器用于接收由所述角反射镜返回的光束。
相比于现有技术，本发明实施例的有益效果在于以下所述中的至少一点：
(1)双波长复合激光干涉仪系统能够实现垂直多通道测量，可以测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，并计算出电子密度分布；
(2)双波长复合激光干涉仪系统具有微波和远红外两种波长的激光，整个统在电子密度范围1×1016m-3-1×1020m-3都具有极佳的测量精度，诊断密度范围大；
(3)双波长复合激光干涉仪系统中的其中一束探测光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，进一步提高干涉仪测量精度。
附图说明
图1是本发明其中一种实施例中的双波长复合激光干涉仪系统的结构示意图；
图2是本发明其中一种实施例中的远红外波段气体激光器的部分主体和远红外激光器台面光路的结构示意图；
图3是本发明其中一种实施例中的双层平台的底层结构示意图；
图4是本发明其中一种实施例中的双层平台的侧视图；
图5是本发明其中一种实施例中的双层平台的顶层结构示意图；
图6是本发明其中一种实施例中的补偿干涉仪的原理图；
附图标记：
其中，1、远红外波段气体激光器；2、微波固体源；3、微波固体源；4、双层平台；5、角反射镜；6、光学平台；7、双波导；8、第一凸反镜；9、第一凹反镜；10、平面反射镜；11、分光栅网；12、转动光栅；13、第一45度角反射镜；14、第一参考道探测器；15、第二凸反镜；16、第二凹反镜；17、第二45度角反射镜；18、45度角栅网；19、光学支架；20、第一探测道探测器；21、第二参考道探测器；22、第二探测道探测器；23、共用道；24、栅网；25、栅网；26、栅网；27、栅网；28、远红外激光探测束；29、微波探测束。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本申请描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有定义，本发明所使用的所有的技术和科学术语与属于本的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本发明中说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
本发明一实施例提供了一种双波长复合激光干涉仪系统，具体的，请参见图1，图1示出为本发明其中一种实施例中的双波长复合激光干涉仪系统的结构示意图，其包括远红外干涉仪光路模块、双波导7、微波干涉仪光路模块和双层平台4。
在本发明中，需要说明的是，用于双波长同时测量的干涉仪具有开发补偿干涉仪的天然优势，如文献“Y.Yang et al.2014Rev.Sci.Instrum.85,11D404”展示了一种EAST托卡马克上偏振干涉仪的振动补偿干涉仪的设计，这种补偿干涉仪引入了另一束波长的激光与探测束共线进行测量，这样可以计算出振动幅度并在计算电子密度时予以消除，本发明实施例的双波长共用通道也采用了相同的原理。由于很多装置在放电时，受装置环向磁场等因素的影响，装置会产生不同程度振动，对干涉仪光路，尤其是固定在装置顶部的角反射镜造成较大影响，在测量时会引入较大误差，因此有必要对干涉仪进行振动补偿。
远红外激光干涉仪是一项成熟技术，已成功应用于多个托卡马克聚变装置。例如，文献“Xu Qiang et al.2008Plasma Sci.Technol.10 519”描述了三通道FIR HCN激光干涉仪在ESAT托卡马克上的运行情况，并且可以精确测量EAST上的电子密度分布。微波固体源干涉仪具有占用空间小、运行稳定、操作维护简单等优点，根据文献“J.L.Xie etal.Rev.Sci.Instrum.85(2014)11D828.”和文献“K.W.Kim et al.Rev.Sci.Instrum.68(1997)466.”可知，固体源干涉仪已在Keda Torus eXperiment(KTX)和DIII-D托卡马克装置上得到应用。2019年，EAST成功开发了单通道0.65太赫兹固态源干涉仪，获得了与EAST的HCN激光干涉仪和偏振干涉仪类似的测量结果。
双波长同时测量的另一个优势是诊断密度范围较大，微波和远红外波段的光源都比较适用于目前阶段托卡马克聚变实验装置的密度测量，两种波长同时测量，可以使干涉仪系统在电子密度范围1×1016m-3-1×1020m-3都具有极佳的测量精度，因此，这种干涉仪系统在等离子体密度较高的中心位置和密度较低的边界位置都可以给出准确的电子密度数据。
由此可见，本发明在上述基础上，首次将微波固体源和远红外激光器两种光源同时应用于托卡马克聚变实验装置，两种波长的干涉仪集成到一套系统中同时进行密度测量，为后续的聚变物理实验作出了突出贡献。
当然，对于等离子体电子密度的计算，例如，本领域技术人员可以在产生等离子体后，探测道根据探测到激光在等离子体中产生的相移，将探测道信号与参考道信号进行外差比较，从而计算出等离子体电子密度。当然还可通过其他方式实现对等离子体电子密度的测试，在此不再赘述，本领域技术人员知晓的是，需要将光束穿过等离子体，再接收由角反射镜返回的光束，在本实施例中，所述双层平台4上设有等离子体和用于返回穿过所述等离子体的光束的角反射镜5。
所述远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器1、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；所述远红外波段气体激光器1的光信号输出端依次通过所述远红外激光器台面光路、所述双波导7输出至所述双层平台4；所述远红外激光干涉仪光路器件，其设于所述双层平台4的底层，用于将接收到的远红外光束进行分束，并接收由所述角反射镜5返回的光束；
所述微波干涉仪光路模块设于所述双层平台的顶层，其包括两台微波固体源2和3，以及微波干涉仪光路器件，所述微波干涉仪光路器件用于将所述微波固体源产生的微波光束进行分束，接收由所述角反射镜5返回的光束，所述微波干涉仪光路器件还用于将所述微波光束和所述远红外光束进行合束，以实现角反射镜的振动误差补偿。
进一步地，在本实施例中，请参见图2，图2示出为本发明其中一种实施例中的远红外波段气体激光器的部分主体和远红外激光器台面光路的结构示意图，优选地，远红外激光器台面光路包括凸反镜8、凹反镜9、平面反射镜10、分光栅网11、转动光栅12、第一45度角反射镜13、第一参考道探测器14等。由远红外波段气体激光器输出的激光，经过分光栅网11，分为探测束和参考束两束。参考束经过光学计算打到转动光栅12上，转动光栅将激光进行相位调制，可以调制10～500kHz的频率。经过转动光栅的调制的激光分束后，其中一束与未经过转动光栅12调制的分束后的探测光合束后进入第一参考道探测器14，产生拍频信号。分束出来参考束经过第一凸反镜8和第一凹反镜9形成的望远镜系统，由45度角反射镜进入双波导7中的探测束波导管。分束出来的探测束的光路设计与参考束相同，在此不再赘述。
进一步地，在本实施例中，请结合图3和图4，图3示出为本发明其中一种实施例中的双层平台的底层结构示意图，图4示出为本发明其中一种实施例中的双层平台的侧视图。所述远红外激光干涉仪光路器件，其设于所述双层平台的底层，具体包括第二凸反镜15、第二凹反镜16、平面反射镜、分光栅网、两个第二45度角反射镜17、45度角栅网18、光学支架19、三个第一探测道探测器20等。远红外探测束经过第二凹反镜16和第二凸反镜15形成的望远镜系统(望远镜系统可以使高斯光束在远距离传播时维持较小的光束直径，避免功率损失过多)，被两个第二45度角反射镜17和一个45度角栅网18分为三束，主要使用位于等离子体中心位置的窗口，分别进入实验装置的等离子体中，测量等离子体中心密度，再由装置上方角反射镜5原路返回，分别进入双层平台底层的三个第一探测道探测器20中。
进一步地，在本实施例中，请结合图4、图5和图6，图5示出为本发明其中一种实施例中的双层平台的顶层结构示意图，图6示出为本发明其中一种实施例中的补偿干涉仪的原理图。所述微波干涉仪光路模块设于所述双层平台的顶层，其具体包括凸反镜、凹反镜、平面反射镜、分光栅网、光学支架、第二参考道探测器21、第二探测道探测器22等光学器件。微波干涉仪采用双激光器原理，不需要转动光栅进行相位调制产生拍频信号，两台微波固体源2和3分别输出探测束和参考束激光，在探测器合束后产生一个兆赫兹量级的差频。微波干涉仪的光路设计与远红外干涉仪相同，探测束被分光栅网分为4束，主要使用靠近等离子体边界位置的窗口，垂直入射进入装置中，其中一束与远红外激光干涉仪的探测束合束，形成共用道23，共用一个窗口，可以通过双波长补偿干涉仪的原理，实现装置顶部角反射镜的振动误差补偿。图6中的24、24、26、27对应图4中的栅网24、栅网25、栅网26和栅网27，图中的实线为探测束的入射光，虚线为角反射镜反射回栅网的光。远红外激光探测束28在探测和返回时，需要经过微波探测束29需要经过的栅网，造成功率损失，但是，微波使用的分光栅网线束较低，对远红外激光的透过率可以超过80％，远红外激光功率损失是有限的，所以，该补偿干涉仪是可以实现的。由此可见，本发明实施例中的干涉仪系统中其中一束探测束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，进一步提高干涉仪测量精度。
综上所述，本发明实施例提供了一种垂直多通道测量的微波-远红外双波长复合激光干涉仪系统，该干涉仪为外差式干涉仪，包括远红外波段气体激光器1、两台微波固体源2和3、双层平台4、远红外激光器台面光路、远红外激光干涉仪光路器件、微波干涉仪光路模块和角反射镜5，共有6道探测束同时测量，测量位置可覆盖等离子体中心到边界的大部分区域。
进一步地，在本实施例中，所述远红外波段气体激光器1和所述远红外激光器台面光路设于激光洁净室内。优选地，所述远红外波段气体激光器1的主体部分和所述远红外激光器台面光路均设于光学平台6上。整套远红外激光器系统对运行环境有严格要求，所以远红外波段气体激光器1和所述远红外激光器台面光路设于激光洁净室内，可以隔绝电磁干扰和粉尘，激光器主体部分安装在光学平台6上，可以降低振动影响。
进一步地，在本实施例中，所述微波固体源2和3为太赫兹固体倍频源，其体积小，输出稳定，频率可调。
进一步地，所述双层平台4为双层减振无磁平台，且所述双层平台的高度可调。本实施例中的所述的双层平台4置于实验装置诊断窗口正下方(实验装置通过双波导与激光洁净室连接)，为双层减振无磁平台，两层平台高度都可调，下层平台安装远红外激光干涉仪光路器件，上层平台安装2台微波固体源2和3以及微波干涉仪光路器件，上层平台在远红外干涉仪探测束垂直入射的位置开通光口，避免遮挡光路。
进一步地，在本实施例中，所述双波导7由两根派热克斯玻璃及支架组成，固定在远红外激光器洁净室与实验装置之间，将远红外激光远距离传输到实验装置下方的双层平台4的底层。
进一步地，在本实施例中，所述角反射镜5为铝制镀金材质，固定在装置上窗口外侧。
本发明实施例提供的双波长复合激光干涉仪系统，有益效果在于以下所述中的至少一点：
(1)双波长复合激光干涉仪系统能够实现垂直多通道测量，可以测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，并计算出电子密度分布；
(2)双波长复合激光干涉仪系统具有微波和远红外两种波长的激光，整个统在电子密度范围1×1016m-3-1×1020m-3都具有极佳的测量精度，诊断密度范围大；
(3)双波长复合激光干涉仪系统中的其中一束探测光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，进一步提高干涉仪测量精度。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；
所述双层平台上设有等离子体和用于返回穿过所述等离子体的光束的角反射镜；
所述远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；
所述远红外波段气体激光器的光信号输出端依次通过所述远红外激光器台面光路、所述双波导输出至所述双层平台；所述远红外激光干涉仪光路器件，其设于所述双层平台的底层，用于将接收到的远红外光束进行分束，并接收由所述角反射镜返回的光束；
所述微波干涉仪光路模块设于所述双层平台的顶层，其包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，所述微波干涉仪光路器件用于将所述微波固体源产生的微波光束进行分束，接收由所述角反射镜返回的光束，所述微波干涉仪光路器件还用于将所述微波光束和所述远红外光束进行合束，以实现角反射镜的振动误差补偿。
2.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外波段气体激光器和所述远红外激光器台面光路设于激光洁净室内。
3.如权利要求2所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外波段气体激光器的主体部分和所述远红外激光器台面光路均设于光学平台上。
4.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述微波固体源为太赫兹固体倍频源。
5.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述双层平台为双层减振无磁平台，且所述双层平台的高度可调。
6.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述双波导由两根派热克斯玻璃及支架组成。
7.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述角反射镜为铝制镀金材质。
8.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外激光器台面光路至少包括分光栅网、转动光栅、第一探测器；
所述第一探测器用于将经由所述分光栅网后产生的光束与经由所述转动光栅后产生的光束合束，以生成拍频信号；
经由所述分光栅网后产生的光束还用于输出至所述双波导。
9.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外激光干涉仪光路器件至少包括两个45度角栅网、一个45度角反射镜和三个探测道探测器；
所述远红外光束被两个所述45度角栅网和一个所述45度角反射镜分为三束，在穿过所述等离子体后由所述角反射镜返回，分别被对应的所述探测道探测器接收。
10.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述微波干涉仪光路器件至少包括参考/探测道探测器、四个栅网，四个所述栅网用于对所述微波光束进行分束，所述参考/探测道探测器用于接收由所述角反射镜返回的光束。
CN202210478556.6A 2022-04-25 2022-04-25 一种双波长复合激光干涉仪系统 Active CN114739286B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210478556.6A CN114739286B (zh) 2022-04-25 2022-04-25 一种双波长复合激光干涉仪系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210478556.6A CN114739286B (zh) 2022-04-25 2022-04-25 一种双波长复合激光干涉仪系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114739286A CN114739286A (zh) 2022-07-12
CN114739286B true CN114739286B (zh) 2023-07-04

Family

ID=82284812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210478556.6A Active CN114739286B (zh) 2022-04-25 2022-04-25 一种双波长复合激光干涉仪系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114739286B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3885874A (en) * 1974-01-11 1975-05-27 Us Energy Laser plasma diagnostic using ring resonators
US4907886A (en) * 1987-04-28 1990-03-13 Wild Heerburgg, Ag Method and apparatus for two-wavelength interferometry with optical heterodyne processes and use for position or range finding
CN101126629A (zh) * 2007-09-25 2008-02-20 北京交通大学 利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统
NL2003134C (en) * 2008-09-11 2010-03-16 Univ Delft Tech LASER INTERFEROMETER.
CN104795725A (zh) * 2015-01-19 2015-07-22 清华大学 East托卡马克远红外激光偏振干涉仪中频值稳频方法
CN112040625A (zh) * 2020-07-21 2020-12-04 西安电子科技大学 高精度高时空分辨率三维测定方法、系统、介质及应用
CN214583030U (zh) * 2021-03-16 2021-11-02 合肥市铭光光电科技有限公司 一种固体源偏振干涉仪系统
CN113865479A (zh) * 2021-09-02 2021-12-31 浙江理工大学 基于频分复用的多波长干涉绝对距离测量装置与方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000266692A (ja) * 1999-03-19 2000-09-29 Sanyo Electric Co Ltd プラズマ処理装置の評価装置
CN101071171A (zh) * 2007-06-06 2007-11-14 中国科学院安徽光学精密机械研究所 双波长双视场米散射激光雷达的结构及其探测方法
CN106197258B (zh) * 2016-07-14 2019-06-18 中国科学院上海光学精密机械研究所 双通道双波长干涉检测装置
CN207180594U (zh) * 2017-07-24 2018-04-03 北京师范大学 双通道主动可调式干涉仪
EP3531064A1 (de) * 2018-02-27 2019-08-28 Metrohm Ag Strahlenführung im interferometer
CN215810661U (zh) * 2021-09-23 2022-02-11 合肥市铭光光电科技有限公司 一种用于空间等离子体密度诊断的hcn激光干涉仪系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3885874A (en) * 1974-01-11 1975-05-27 Us Energy Laser plasma diagnostic using ring resonators
US4907886A (en) * 1987-04-28 1990-03-13 Wild Heerburgg, Ag Method and apparatus for two-wavelength interferometry with optical heterodyne processes and use for position or range finding
CN101126629A (zh) * 2007-09-25 2008-02-20 北京交通大学 利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统
NL2003134C (en) * 2008-09-11 2010-03-16 Univ Delft Tech LASER INTERFEROMETER.
CN104795725A (zh) * 2015-01-19 2015-07-22 清华大学 East托卡马克远红外激光偏振干涉仪中频值稳频方法
CN112040625A (zh) * 2020-07-21 2020-12-04 西安电子科技大学 高精度高时空分辨率三维测定方法、系统、介质及应用
CN214583030U (zh) * 2021-03-16 2021-11-02 合肥市铭光光电科技有限公司 一种固体源偏振干涉仪系统
CN113865479A (zh) * 2021-09-02 2021-12-31 浙江理工大学 基于频分复用的多波长干涉绝对距离测量装置与方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
基于肖特基势垒二极管的太赫兹固态倍频源和检测器研制;姚常飞;周明;罗运生;许从海;寇亚男;陈以钢;;电子学报(第03期);第438-443页 *
用远红外HCN激光干涉仪测量等离子体电子密度;揭银先,高翔,方自琛,邓必河,沈哲,廖子英,谢纪康,卫明生,李广,吕惠娟,郭其良,李建刚;红外技术(第02期);第41-44页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN114739286A (zh) 2022-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6336998B2 (ja) キャリブレーション装置、レーザー距離測定装置、および構造物の製造方法
CA2007190C (en) Laser optical ultrasound detection
CA1224935A (en) Optical interferometric reception of ultrasonic energy
US4966459A (en) Broadband optical detection of transient motion from a scattering surface
CN112098737B (zh) 一种微波电场强度的测量方法及装置
JPH0233088B2 (zh)
KR19990006419A (ko) 고 에너지 레이저 초점 센서
US20220390496A1 (en) Photonic rydberg atom radio frequency receiver and measuring a radio frequency electric field
US9863841B2 (en) Measuring device having ideal wavefront generator for detecting point diffraction interferometric wavefront aberration of measured optical system and method for detecting wavefront aberration thereof
Somiya et al. Influence of nonuniformity in sapphire substrates for a gravitational wave telescope
CN114739286B (zh) 一种双波长复合激光干涉仪系统
CN116625529A (zh) 一种大量程高精度差分波前传感测量装置
CN110319940A (zh) 高密度等离子体密度测量的激光光纤干涉仪诊断系统
CN114867178A (zh) 一种等离子体电子密度测量装置
US4726684A (en) Measurement apparatus for optical transmission factor
Labadie et al. Modal filtering for nulling interferometry-First single-mode conductive waveguides in the mid-infrared
CN216954864U (zh) 一种基于太赫兹固态源的干涉相位检测系统
CN115575098A (zh) 一种空间望远镜结构稳定性在轨测试方法和系统
Canton et al. Spatially scanned two-color mid-infrared interferometer for FTU
JPH0894692A (ja) アンテナ測定装置
RU2231762C2 (ru) Оптоэлектронный датчик давления
RU2587686C1 (ru) Интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа
Edlington et al. A multichannel interferometer for electron density measurements in COMPASS
JPS63218827A (ja) 光スペクトル検出装置
CN114383741A (zh) 一种基于太赫兹固态源的干涉相位检测系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant