NL2002134C - Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. - Google Patents
Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. Download PDFInfo
- Publication number
- NL2002134C NL2002134C NL2002134A NL2002134A NL2002134C NL 2002134 C NL2002134 C NL 2002134C NL 2002134 A NL2002134 A NL 2002134A NL 2002134 A NL2002134 A NL 2002134A NL 2002134 C NL2002134 C NL 2002134C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- electrode
- strip
- voltage
- capacitor
- vac
- Prior art date
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 35
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- -1 titanium nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B11/00—Generation of oscillations using a shock-excited tuned circuit
- H03B11/02—Generation of oscillations using a shock-excited tuned circuit excited by spark
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B11/00—Generation of oscillations using a shock-excited tuned circuit
- H03B11/04—Generation of oscillations using a shock-excited tuned circuit excited by interrupter
- H03B11/06—Generation of oscillations using a shock-excited tuned circuit excited by interrupter by mechanical interrupter
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
OSCILLATORSCHAKELING VOOR HET GENEREREN VAN EEN WISSELSPANNING
De uitvinding betreft een oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning
Bekend zijn oscillatorschakelingen waarin MOS- en/of bipolaire technologie wordt toegepast, die gevoelig zijn voor 5 zeer hoge en lage temperaturen en voor radioactieve straling, en daarom minder geschikt zijn te worden toegepast in een omgeving waar dergelijke straling optreedt, bijvoorbeeld in meetapparatuur die wordt gebruikt in wetenschappelijk onderzoek.
10 Het is een doel van de uitvinding een oscillatorschakeling te verschaffen die is te produceren als een geïntegreerde schakeling die niet noodzakelijkerwijze compatibel moet zijn met CMOS- en bipolaire technologie.
Het is nog een doel een oscillatorschakeling te 15 verschaffen die geschikt is te worden blootgesteld aan zeer hoge of lage temperaturen of aan radioactieve straling.
Deze doelen worden bereikt, en andere voordelen worden behaald, met een oscillatorschakeling van het in de aanhef genoemde type, die overeenkomstig de uitvinding wordt 20 gekenmerkt door een als geïntegreerde schakeling te vervaardigen oscillator volgens een micro-elektromechanisch systeem (MEMS-oscillator).
In een oscillatorschakeling volgens de uitvinding omvat de MEMS-oscillator bij voorbeeld ten minste een substraat 25 waarop zijn aangebracht een zich evenwijdig aan het substraat en ruimtelijk daarvan gescheiden uitstrekkende eerste strook van een dunne film van een elektrisch geleidend materiaal, een eerste elektrode, een ruimtelijk van de eerste strook gescheiden tweede elektrode voor het daarop via een 30 impedantie aanbieden van een gelijkspanning (VDC) , waarbij een via de impedantie op de tweede elektrode aangeboden gelijkspanning (VDC) een wisselspanning (VAC) over de eerste en de tweede elektrode genereert.
2
In een uitvoeringsvorm van een dergelijke oscillatorschakeling volgens de uitvinding is de eerste strook elektrisch gekoppeld met de eerste elektrode, strekt de eerste strook zich in een rusttoestand uit boven de tweede 5 elektrode en vormt daarmee een eerste condensator, en is de eerste strook op zodanige wijze beweegbaar, dat deze bij het via de impedantie aanbieden van een gelijkspanning (VDC) op de tweede elektrode en het als gevolg daarvan opladen van de eerste condensator wordt aangetrokken door de tweede 10 elektrode, waarbij over de eerste en de tweede elektrode een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (vAC) ontstaat, totdat een elektrisch contact tussen de eerste strook en de tweede elektrode ontstaat, waarbij de eerste condensator wordt ontladen, de eerste strook in zijn 15 rusttoestand terugkeert en de spanning over de eerste en de tweede elektrode tot zijn beginwaarde terugvalt.
In een volgende uitvoeringsvorm van een dergelijke oscillatorschakeling volgens de uitvinding wordt de tweede elektrode gevormd door een zich evenwijdig aan het substraat 20 en ruimtelijk daarvan gescheiden uitstrekkende tweede strook van een dunne film van een elektrisch geleidend materiaal, welke tweede strook zich uitstrekt naar de eerste strook en daarmee een eerste condensator vormt, waarbij door het via de impedantie aanbieden van een gelijkspanning (VDC) op de 25 tweede elektrode de eerste condensator wordt opgeladen als gevolg waarvan over de eerste en de tweede elektrode een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (Vac) ontstaat, totdat een vonkoverslag tussen de eerste en de tweede strook plaats vindt, waarbij de eerste condensator 30 wordt ontladen en de spanning (VAC) over de eerste en de tweede elektrode tot zijn beginwaarde terugvalt.
De frequentie van een oscillatorschakeling is op eenvoudige wijze in te stellen in een uitvoeringsvorm die een parallel aan de eerste condensator geschakelde tweede 35 condensator omvat.
In nog een uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de uitvinding strekt de eerste strook zich in een 3 rusttoestand uit boven de tweede elektrode en vormt daarmee een eerste condensator, en is de eerste strook op zodanige wijze beweegbaar, dat deze bij het via de impedantie aanbieden van een gelijkspanning (VDC) op de tweede elektrode 5 en het als gevolg daarvan opladen van de eerste condensator door de tweede elektrode wordt aangetrokken, waarbij over de eerste en de tweede elektrode een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (VAC) ontstaat, totdat een veldemissie-ontlading tussen de eerste strook en de tweede 10 elektrode plaats vindt, waarbij de eerste condensator wordt ontladen en de spanning (VAC) over de eerste en de tweede elektrode tot zijn beginwaarde terugvalt.
In weer een volgende uitvoeringsvorm van een oscillator volgens de uitvinding is deze voorzien van een tussen de 15 eerste strook en de tweede elektrode opgenomen passief resonante schakeling of een transformator, is de eerste strook voorzien van een laag van een piëzo-resistief materiaal, strekt deze zich in een rusttoestand uit boven de tweede elektrode en vormt daarmee een eerste condensator, en 20 is de eerste strook op zodanige wijze beweegbaar, dat deze bij het via de passief resonante schakeling of de transformator aanbieden van een gelijkspanning (VDc) op de tweede elektrode een oscillerende beweging uitvoert, waarbij over de eerste en de tweede elektrode een wisselspanning 25 (VAC) wordt gegenereerd.
Een oscillatorschakeling waarin veldemissie-ontlading plaatsvindt, of waarvan de eerste strook is voorzien van een laag piëzo-resistief materiaal, is in een praktisch voordelige uitvoeringsvorm voorzien van ten minste een derde 30 elektrode waarover de eerste strook zich in een rusttoestand uitstrekt, voor het daarop aanbieden van een regelspanning voor het regelen van de amplitude van de te genereren wisselspanning (VAC) .
Het elektrisch geleidend materiaal van de dunne film in 35 een versterkerinrichting volgens de uitvinding is bijvoorbeeld geselecteerd uit de groep materialen aluminium (Al), polykristallijn silicium (Si), gedoteerd 4 polykristallijn silicium, koolstof (C), Sic, germanium (Ge), germanium-siliciumlegeringen, titanium (Ti), titaniumnitriden, nikkel (Ni), koper (Cu,) tantalium (Ta), wolfraam (W), goud (Au) en stapelingen van ten minste twee 5 van deze materialen.
De uitvinding zal in het volgende worden toegelicht aan de hand van uitvoeringsvoorbeelden, onder verwijzing naar de tekeningen.
In de tekeningen tonen 10 Fig. 1 in schematische weergave een eerste uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de uitvinding, met in dwarsdoorsnede een eerste MEMS-oscillator, Fig. 2 in schematisch bovenaanzicht de in fig. 1 weergegeven MEMS-oscillator, 15 Fig. 3 in schematische weergave een tweede uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de uitvinding, met in dwarsdoorsnede een tweede MEMS-oscillator, Fig. 4 in schematische weergave een derde uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de 20 uitvinding, met in dwarsdoorsnede een derde MEMS-oscillator, Fig. 5 in schematische weergave een vierde uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de uitvinding, met in dwarsdoorsnede een vierde MEMS-oscillator, en 25 Fig. 6 in schematische weergave een vijfde uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling volgens de uitvinding, met in dwarsdoorsnede een vijfde MEMS-oscillator.
In de figuren worden overeenkomstige onderdelen aangeduid met dezelfde verwijzingsgetallen.
30 Fig. 1 toont een oscillatorschakeling 10 met een substraat 1 van bijvoorbeeld een plak silicium met een isolerende nitridelaag, waarop een MEMS-oscillator is aangebracht, die wordt gevormd door een met een geaarde eerste elektrode 3 gekoppelde bladveer 2 van een elektrisch 35 geleidend, flexibel materiaal is aangebracht, die zich uitstrekt over een tweede elektrode 4. Bij het aanbieden van een gelijkspanning VDc aan de ingang 5 van een impedantie 6 5 zal de eerste condensator die wordt gevormd door de bladveer 2 en de tweede elektrode 4 daaronder worden opgeladen. Als gevolg van de spanning op de tweede elektrode ondervindt de bladveer 2 een elektrostatische kracht, en begint de bladveer 5 2 door te buigen. Als de spanning op de tweede elektrode 4 is
gestegen tot een bepaalde waarde klapt de bladveer 2 neerwaarts, maakt contact met de tweede elektrode 4 en ontlaadt de eerste condensator. Hiermee valt de op de bladveer 2 uitgeoefende kracht weg, als gevolg waarvan de 10 bladveer 2 omhoog klapt en de cyclus zich door het opnieuw opladen van de eerste condensator herhaalt, waarmee de oscillatie een feit is. Deze oscillatie vertaalt zich in een wisselspanning VAC over de eerste 3 en tweede elektrode 4, respectievelijk over de uitgangsaansluitingen 17, 18. De 15 wisselspanning VAC heeft bij benadering de vorm van een zaagtand, maar kan door een band- of laagdoorlaatfilter volgens op zich bekende wijze worden omgezet in een sinusvormige uitgangsspanning. De frequentie van de oscillator kan worden ingesteld met behulp van een parallel 20 aan de eerste condensator 2, 4 geschakelde tweede condensator 7. Als de totale capaciteit van de oscillator gegeven wordt door C, de impedantie door R en de spanning waarbij de bladveer 2 inklapt door Vpuii-in, dan wordt de oscillatieperiode T
25 (T = 1/frequentie) in een benadering gegeven door T = RC In (1 - Vpull_in/VEC)
Fig. 2 toont de MEMS-oscillator van de oscillatorschakeling 10 van fig. 1 in bovenaanzicht, in schematische vorm, ter illustratie van de lay-out van een 30 dergelijke schakelaar in een geïntegreerde schakeling.
Opgemerkt zij dat in de getoonde uitvoeringsvorm de bladveer 2 aan één zijde verankerd is, maar dat de oscillatorschakeling eveneens met een aan twee zijden verankerde (symmetrische) bladveer, brug of membraan kan 35 worden uitgevoerd. Naar de aard van het contact tussen de bladveer 2 en de elektrode 4 kan de oscillatorschakeling 10 worden aangeduid als metaalcontact-relaxatieoscillator.
6
Fig. 3 toont een oscillatorschakeling 20, waarbij de tweede elektrode wordt gevormd door een zich evenwijdig aan het substraat 1 en ruimtelijk daarvan gescheiden uitstrekkende tweede strook 4 van een dunne film van een 5 elektrisch geleidend materiaal, die zich uitstrekt naar de eerste strook 2 en daarmee een eerste condensator vormt. Door het aanbieden van een gelijkspanning (Vcc) op de tweede elektrode 4 wordt de eerste condensator opgeladen als gevolg waarvan over de eerste 3 en de tweede elektrode 4 een vanaf 10 een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (VAC) ontstaat, totdat een vonkoverslag 13 tussen de eerste 2 en de tweede strook 4 plaats vindt, waarbij de eerste condensator wordt ontladen en de spanning (VAC) over de eerste 3 en de tweede elektrode 4 tot zijn beginwaarde terugvalt. Afhankelijk van 15 het soort gas in de omgeving van de stroken 2, 4 en de druk daarvan is de ontlading een echte vonk 13 of een corona-ontlading. De spanning die nodig is om de ontlading tot stand te brengen is hoger dan de spanning nodig om de ontlading in stand te houden. Als bij het opladen van de condensator de 20 ontstekingsspanning is bereikt zal als gevolg van de ontlading de spanning dalen, totdat de ontlading dooft. Vervolgens zal de condensator weer opladen totdat de ontstekingsspanning weer is bereikt, en de cyclus zich herhaalt. Deze oscillatie vertaalt zich in een wisselspanning 25 VAC over de eerste 3 en tweede elektrode 4, respectievelijk over de uitgangsaansluitingen 17, 18. De wisselspanning VAC heeft bij benadering de vorm van een zaagtand. De oscillatorschakeling 20 kan worden aangeduid als ontladings-relaxatieoscillator.
30 Fig. 4 toont een oscillatorschakeling 30 met een veldemissie mechanische relaxatieoscillator, die is te beschouwen als een combinatie van de in fig. 1 en 2 getoonde metaalcontact-relaxatieoscillator 10 en de ontladings-relaxatieoscillator 20 van fig. 3. In de oscillatorschakeling 35 30 vindt emissie plaats tussen de tweede elektrode 4 en de beweegbare brug 2, die kan landen op boven de tweede elektrode 4 uitstekende geaarde eerste elektroden 3. Om het 7 ontstaan van de ontsteking te bevorderen, of om mogelijk te maken dat ook in vacuüm emissie kan optreden, is de tweede elektrode 4 in voorkomende gevallen voorzien van een veldemissie-tip 12. Om de spanning Vpuii-in waarmee de brug 2 5 inklapt of de emissie- of ontladingsstroom te kunnen regelen zijn onder de brug 2 derde elektroden 8 aangebracht, waarop een tweede spanningsbron 15 kan worden aangesloten.
Fig. 5 toont een uitvoeringsvorm van een oscillatorschakeling 40 volgens de uitvinding die kan worden 10 aangeduid als piëzo-resistieve oscillator. De eerste strook, die in de getoonde uitvoeringsvorm is uitgevoerd als een symmetrisch brugelement 2, is voorzien van een laag 9 van een piëzo-resistief materiaal, die elektrisch geïsoleerd is ten opzichte van het brugelement 2. Het brugelement 2 en de 15 eerste elektroden 3 liggen hierbij, anders dan bij de in de figuren 1-4 getoonde oscillatorschakelingen 10, 20, 30, niet aan aarde, maar op een door een derde spanningsbron aan aansluiting 16 te leveren gelijkspanning. Vanaf het punt tussen de impedantie 6 en de tweede elektrode 4 is een 20 passief resonante schakeling of een transformator 11 opgenomen. Het brugelement 2 strekt zich in een rusttoestand uit boven de tweede elektrode 4 en vormt daarmee een eerste condensator, en is op zodanige wijze beweegbaar, dat het bij het aanbieden van een oscillerende spanning op de tweede 25 elektrode 4, via de passief resonante schakeling of de transformator 11, een oscillerende beweging uitvoert, waarbij over de eerste 3 en de tweede elektrode 4 een wisselspanning VAC wordt gegenereerd. In deze schakeling resulteert een beweging van het brugelement 2 in een weerstandsverandering 30 in de piëzo-resistieve laag 9, als gevolg waarvan de aangelegde gelijkspanning VDC wordt omgezet in een wisselspanning, die door de passief resonante schakeling of de transformator 11 wordt vergroot. Door het terugvoeren van deze laatste spanning naar de elektrode 4 onder het 35 brugelement wordt de amplitude van de oscillatie van het brugelement 2 steeds groter, totdat deze amplitude wordt beperkt door de uitstekende delen 3. De derde elektrode 8 kan 8 worden gebruikt voor het aanleggen van een regelspanning om het instelpunt van de oscillator te kiezen.
Fig. 6 toont een uitvoeringsvorm van een piëzo-resistieve oscillatorschakeling 50 volgens de uitvinding, 5 waarbij de amplitude van de oscillatie van de dunne strook, die is uitgevoerd als een bladveer 2, wordt beperkt door de plaatsing van deze bladveer 2 zodanig te kiezen dat deze niet in contact kan komen met de tweede elektrode 4. De uitwijking van de bladveer 2 wordt in deze schakeling begrensd door de 10 vorm van het elektrische veld ter plaatse van het uiteinde van de bladveer 2, welk veld wordt bepaald door de geometrie van de bladveer 2 en de tweede elektrode 4.
Benadrukt wordt dat de hierboven beschreven uitvoeringsvoorbeelden dienen ter toelichting, niet ter 15 beperking van het kader van de uitvinding. Binnen de uitvindingsgedachte zijn voor de vakman andere uitvoeringvormen te realiseren.
De piëzo-resistieve laag op de beweegbare dunne film in de piëzo-resistieve oscillator is zowel als afzonderlijke 20 laag aan te brengen, als te implanteren in de beweegbare dunnen film. Ook is het mogelijk de beweegbare dunne film integraal te vervaardigen uit een piëzo-resistief materiaal.
De beweegbare dunne film in een MEMS-oscillator in een oscillatorschakeling volgens de uitvinding is bijvoorbeeld te 25 realiseren als een aan één uiteinde opgehangen bladveer, als een aan twee uiteinden gedragen brug of als een membraan, welke dunne film zowel in het vlak als uit het vlak van het substraat kan bewegen.
Claims (9)
1. Oscillatorschakeling (10, 20, 30, 40, 50) voor het generen van een wisselspanning (VAC) , gekenmerkt door een als geïntegreerde schakeling te vervaardigen oscillator volgens een micro-elektromechanisch systeem (MEMS-oscillator).
2. Oscillatorschakeling (10, 20, 30, 40, 50) volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de MEMS-oscillator ten minste een substraat (1) omvat waarop zijn aangebracht - een zich evenwijdig aan het substraat (1) en ruimtelijk daarvan gescheiden uitstrekkende eerste strook (2) 10 van een dunne film van een elektrisch geleidend materiaal, - een eerste elektrode (3), - een ruimtelijk van de eerste strook (2) gescheiden tweede elektrode (4) voor het daarop via een impedantie (6) aanbieden van een gelijkspanning (VDC), 15. waarbij een via de impedantie (6) op de tweede elektrode (4) aangeboden gelijkspanning (VDC) een wisselspanning (VAC) over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) genereert.
3. Oscillatorschakeling (10) volgens conclusie 2, met 20 het kenmerk, dat de eerste strook (2) elektrisch is gekoppeld met de eerste elektrode (3), zich in een rusttoestand uitstrekt boven de tweede elektrode (4) en daarmee een eerste condensator vormt, en op zodanige wijze beweegbaar is, dat de eerste strook (2) bij het via de impedantie (6) aanbieden van 25 een gelijkspanning (VEC) op de tweede elektrode (4) en het als gevolg daarvan opladen van de eerste condensator wordt aangetrokken door de tweede elektrode (4), waarbij over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (VA(;) ontstaat, totdat een 30 elektrisch contact tussen de eerste strook (2) en de tweede elektrode (4) ontstaat, waarbij de eerste condensator wordt ontladen, de eerste strook (2) in zijn rusttoestand terugkeert en de spanning over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) tot zijn beginwaarde terugvalt.
4. Oscillatorschakeling (20) volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de tweede elektrode (4) wordt gevormd door een zich evenwijdig aan het substraat (1) en ruimtelijk daarvan gescheiden uitstrekkende tweede strook (4) van een 5 dunne film van een elektrisch geleidend materiaal, welke tweede strook (4) zich uitstrekt naar de eerste strook (2) en daarmee een eerste condensator vormt, waarbij door het via de impedantie (6) aanbieden van een gelijkspanning (VDC) op de tweede elektrode (4) de eerste condensator wordt opgeladen 10 als gevolg waarvan over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende spanning (Vac) ontstaat, totdat een vonkoverslag (13) tussen de eerste (2) en de tweede strook (4) plaats vindt, waarbij de eerste condensator wordt ontladen en de spanning (VA(;) over de 15 eerste (3) en de tweede elektrode (4) tot zijn beginwaarde terugvalt.
5. Oscillatorschakeling (10, 20) volgens een der conclusies 2-4, met het kenmerk, dat deze een parallel aan de eerste condensator geschakelde tweede condensator (7) omvat.
6. Oscillatorschakeling (30) volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de eerste strook (2) zich in een rusttoestand uitstrekt boven de tweede elektrode (4) en daarmee een eerste condensator vormt, en op zodanige wijze beweegbaar is, dat de eerste strook (2) bij het via de 25 impedantie (6) aanbieden van een gelijkspanning (VDC) op de tweede elektrode (4) en het als gevolg daarvan opladen van de eerste condensator wordt aangetrokken door de tweede elektrode (4), waarbij over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) een vanaf een bepaalde beginwaarde toenemende 30 spanning (VAC) ontstaat, totdat een veldemissie-ontlading tussen de eerste strook (2) en de tweede elektrode (4) plaats vindt, waarbij de eerste condensator wordt ontladen en de spanning (VAC) over de eerste (3) en de tweede elektrode (4) tot zijn beginwaarde terugvalt.
7. Oscillatorschakeling (40, 50) volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat deze is voorzien van een tussen de eerste strook (2) en de tweede elektrode (4) opgenomen passief resonante schakeling of een transformator (11), dat de eerste strook (2) is voorzien van een laag (9) van een piëzo-resistief materiaal, zich in een rusttoestand uitstrekt boven de tweede elektrode (4) en daarmee een eerste 5 condensator vormt, en op zodanige wijze beweegbaar is, dat de eerste strook (2) bij het via de impedantie (6) en de passief resonante schakeling of de transformator (11) aanbieden van een gelijkspanning (VEC) op de tweede elektrode (4) een oscillerende beweging uitvoert, waarbij over de eerste (3) en 10 de tweede elektrode (4) een wisselspanning (VAC) wordt gegenereerd.
8. Oscillatorschakeling (30, 40, 50) volgens een der conclusie 6-7, met het kenmerk, dat deze is voorzien van ten minste een derde elektrode (8) waarover de eerste strook (2) 15 zich in een rusttoestand uitstrekt, voor het op daarop aanbieden van een regelspanning voor het regelen van de amplitude van de te genereren wisselspanning (VAC) ·
9. Oscillatorschakeling (10, 20, 30, 40, 50) volgens een der conclusies 2-8, met het kenmerk, dat het elektrisch 20 geleidend materiaal van eerste strook (2) is geselecteerd uit de groep materialen aluminium (Al), polykristallijn silicium (Si), gedoteerd polykristallijn silicium, koolstof (C), SiC, germanium (Ge), germanium-siliciumlegeringen, titanium (Ti), titaniumnitriden, nikkel (Ni), koper (Cu,) tantalium (Ta), 25 wolfraam (W), goud (Au) en stapelingen van ten minste twee van deze materialen..
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2002134A NL2002134C (nl) | 2008-10-23 | 2008-10-23 | Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. |
| PCT/NL2009/050628 WO2010047585A1 (en) | 2008-10-23 | 2009-10-16 | Oscillator circuit for generating an alternating voltage |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2002134A NL2002134C (nl) | 2008-10-23 | 2008-10-23 | Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. |
| NL2002134 | 2008-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2002134C true NL2002134C (nl) | 2010-04-26 |
Family
ID=40762573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2002134A NL2002134C (nl) | 2008-10-23 | 2008-10-23 | Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL2002134C (nl) |
| WO (1) | WO2010047585A1 (nl) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0102069A2 (en) * | 1982-08-27 | 1984-03-07 | Nissan Motor Co., Ltd. | Vibration analyzing device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1573273B1 (en) * | 2002-12-10 | 2015-01-07 | Nxp B.V. | Transducer and electronic device |
| EP1980016B1 (en) * | 2005-09-30 | 2013-03-20 | Nxp B.V. | Oscillator based on piezoresistive resonators |
-
2008
- 2008-10-23 NL NL2002134A patent/NL2002134C/nl not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-10-16 WO PCT/NL2009/050628 patent/WO2010047585A1/en not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0102069A2 (en) * | 1982-08-27 | 1984-03-07 | Nissan Motor Co., Ltd. | Vibration analyzing device |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| ANONYMOUS: "Experiment 12: Microwaves", INTERNET ARTICLE, 21 March 2005 (2005-03-21) - 20 June 2005 (2005-06-20), pages E12-1 - E12-12, XP002533499, Retrieved from the Internet <URL:http://ocw.mit.edu/NR/rdonlyres/Physics/8-02TSpring-2005/945579A0-B38D-4FAA-8702-6E20B3206930/0/exp12.pdf> [retrieved on 20090622] * |
| MITA M ET AL: "Frequency Transition Phenomenon of Self-Oscillated Micro-Cantilever by Changing Driving Voltage", SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS CONFERENCE, 2007. TRANSDUCERS 2007. INTERNATIONAL, IEEE, PISCATAWAY, NJ, USA, 10 June 2007 (2007-06-10), pages 1155 - 1158, XP031216240, ISBN: 978-1-4244-0841-2 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2010047585A1 (en) | 2010-04-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6245562B2 (ja) | Ｍｅｍｓスイッチ | |
| CN101529712B (zh) | 静电动作装置 | |
| US6977468B1 (en) | Integrated spark gap device | |
| WO2000024021A1 (en) | Micromechanical switching devices | |
| US8395185B2 (en) | Switching element | |
| CN104143473B (zh) | 加速度开关及其控制方法 | |
| EP3698461B1 (en) | Triboelectric generator with embossed honeycomb pattern | |
| JPWO2016114361A1 (ja) | 振動発電素子 | |
| NL2002134C (nl) | Oscillatorschakeling voor het genereren van een wisselspanning. | |
| US8836202B2 (en) | Piezoelectric device system producing both vibration and electric power | |
| US6091125A (en) | Micromechanical electronic device | |
| Ni et al. | Multi kilovolt lithium niobate pyroelectric cantilever switched power supply | |
| KR101610738B1 (ko) | 하이브리드 에너지 발생 장치 | |
| US8093967B1 (en) | MEMS high speed switching converter | |
| JPH08217412A (ja) | コロナ放電器 | |
| JP5590251B2 (ja) | 可変容量装置 | |
| JP6042984B2 (ja) | 切り替え可能なコンデンサ | |
| JP6677125B2 (ja) | 半導体装置 | |
| TW200421383A (en) | High-frequency, liquid metal, latching relay array | |
| JP6985702B2 (ja) | 振動発電装置および振動発電素子 | |
| NL1034082C2 (nl) | PWM-versterker. | |
| JP2007175577A (ja) | Ｍｅｍｓ振動子 | |
| AU2017327602A1 (en) | Method and circuit for operating a piezoelectric MEMS sound transducer and integrated circuitry having such a circuit | |
| Van Spengen et al. | The MEMSamp: using (RF-) MEMS switches for the micromechanical amplification of electronic signals | |
| Morikawa et al. | MEMS Switching Voltage Regulator Using a Normally-On Electret Relay |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20120501 |