NL180707B - Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag.

Info

Publication number
NL180707B
NL180707B NLAANVRAGE7609752,A NL7609752A NL180707B NL 180707 B NL180707 B NL 180707B NL 7609752 A NL7609752 A NL 7609752A NL 180707 B NL180707 B NL 180707B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
photor
positive
manufacturing
resistant coat
coat
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7609752,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7609752A (nl
NL180707C (nl
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Publication of NL7609752A publication Critical patent/NL7609752A/nl
Publication of NL180707B publication Critical patent/NL180707B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL180707C publication Critical patent/NL180707C/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/039—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F8/00—Chemical modification by after-treatment
    • C08F8/30—Introducing nitrogen atoms or nitrogen-containing groups
    • C08F8/32—Introducing nitrogen atoms or nitrogen-containing groups by reaction with amines
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/143—Electron beam

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
NLAANVRAGE7609752,A 1975-09-22 1976-09-02 Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag. NL180707C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/615,652 US3964908A (en) 1975-09-22 1975-09-22 Positive resists containing dimethylglutarimide units

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7609752A NL7609752A (nl) 1977-03-24
NL180707B true NL180707B (nl) 1986-11-03
NL180707C NL180707C (nl) 1987-04-01

Family

ID=24466287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7609752,A NL180707C (nl) 1975-09-22 1976-09-02 Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag.

Country Status (14)

Country Link
US (1) US3964908A (nl)
JP (1) JPS5239377A (nl)
AU (1) AU504842B2 (nl)
BE (1) BE845393A (nl)
BR (1) BR7606290A (nl)
CA (1) CA1072243A (nl)
CH (1) CH600393A5 (nl)
DE (1) DE2641624C3 (nl)
FR (1) FR2325077A1 (nl)
GB (1) GB1493089A (nl)
IT (1) IT1077028B (nl)
NL (1) NL180707C (nl)
PH (1) PH13060A (nl)
SE (1) SE7609644L (nl)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52153672A (en) * 1976-06-16 1977-12-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electron beam resist and its usage
US4197332A (en) * 1977-10-26 1980-04-08 International Business Machines Corporation Sub 100A range line width pattern fabrication
DE3021787A1 (de) * 1980-06-10 1981-12-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung hochwaermebestaendiger reliefstrukturen und deren verwendung
DE3021748A1 (de) * 1980-06-10 1981-12-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Strahlungsreaktive vorstufen hochwaermebestaendiger polymerer
US4557995A (en) * 1981-10-16 1985-12-10 International Business Machines Corporation Method of making submicron circuit structures
US4857435A (en) * 1983-11-01 1989-08-15 Hoechst Celanese Corporation Positive photoresist thermally stable compositions and elements having deep UV response with maleimide copolymer
US5059513A (en) * 1983-11-01 1991-10-22 Hoechst Celanese Corporation Photochemical image process of positive photoresist element with maleimide copolymer
US4524121A (en) * 1983-11-21 1985-06-18 Rohm And Haas Company Positive photoresists containing preformed polyglutarimide polymer
US4631249A (en) * 1984-01-16 1986-12-23 Rohm & Haas Company Process for forming thermally stable negative images on surfaces utilizing polyglutarimide polymer in photoresist composition
US4569897A (en) * 1984-01-16 1986-02-11 Rohm And Haas Company Negative photoresist compositions with polyglutarimide polymer
US4663268A (en) * 1984-12-28 1987-05-05 Eastman Kodak Company High-temperature resistant photoresists featuring maleimide binders
US4636532A (en) * 1985-10-11 1987-01-13 Shipley Company Inc. Method for preparing polyglutarimide having a lower molecular weight and a low polydispersity
CA1290087C (en) * 1985-10-17 1991-10-01 Dale M. Crockatt Film-forming compositions comprising polyglutarimide
US4720445A (en) * 1986-02-18 1988-01-19 Allied Corporation Copolymers from maleimide and aliphatic vinyl ethers and esters used in positive photoresist
US4927956A (en) * 1987-09-16 1990-05-22 Hoechst Celanese Corporation 3,5-disubstituted-4-acetoxystyrene and process for its production
US5462840A (en) * 1987-09-16 1995-10-31 Hoechst Celanese Corporation Use of poly(35-disubstituted 4-hydroxystyrene/N-substituted maleimide for forming a negative image
JP2538081B2 (ja) * 1988-11-28 1996-09-25 松下電子工業株式会社 現像液及びパタ―ン形成方法
JP3159569B2 (ja) * 1993-07-09 2001-04-23 富士写真フイルム株式会社 感光性組成物及び画像形成方法
US5755339A (en) * 1996-10-15 1998-05-26 Belanger; Rosaire Retaining device for transporting stacks of on-edge supported sheets of float glass
KR100211546B1 (ko) * 1996-10-24 1999-08-02 김영환 신규한 포토레지스트용 공중합체
US20070036890A1 (en) * 2005-08-12 2007-02-15 Feng Zhong Method of making a fuel cell component using a mask

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3535137A (en) * 1967-01-13 1970-10-20 Ibm Method of fabricating etch resistant masks
US3664899A (en) * 1969-12-29 1972-05-23 Gen Electric Removal of organic polymeric films from a substrate
US3887450A (en) * 1971-02-04 1975-06-03 Dynachem Corp Photopolymerizable compositions containing polymeric binding agents
DE2349948A1 (de) * 1972-10-06 1974-05-02 Agency Ind Science Techn Neue photopolymere
US3898350A (en) * 1974-06-27 1975-08-05 Ibm Terpolymers for electron beam positive resists

Also Published As

Publication number Publication date
FR2325077B1 (nl) 1979-05-04
IT1077028B (it) 1985-04-27
GB1493089A (en) 1977-11-23
NL7609752A (nl) 1977-03-24
PH13060A (en) 1979-11-21
SE7609644L (sv) 1977-03-23
FR2325077A1 (fr) 1977-04-15
JPS5324784B2 (nl) 1978-07-22
AU1797876A (en) 1978-04-06
CH600393A5 (nl) 1978-06-15
DE2641624C3 (de) 1982-03-18
BR7606290A (pt) 1977-05-31
CA1072243A (en) 1980-02-19
BE845393A (fr) 1976-12-16
US3964908A (en) 1976-06-22
AU504842B2 (en) 1979-11-01
DE2641624A1 (de) 1977-03-24
JPS5239377A (en) 1977-03-26
DE2641624B2 (de) 1981-06-11
NL180707C (nl) 1987-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL185332C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bekleed voorwerp.
NL177094C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een verpakking.
NL185690C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een vlakdrukvorm.
NL180170C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een steunlaag voor een pooltapijt.
NL180707C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag.
NL7602760A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL169751C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een losmiddel.
NL7613487A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een buig- zame lamellaire tussenlaag.
NL7614031A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bekle- ding met een metallische deklaag.
NL184263C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een reliefvormige samengestelde bekleding.
NL184694C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL182818C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL167611C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een katalysatorconstructie.
NL168857B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een bekledingsmengsel.
NL7601487A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7612861A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een scheur- randconstructie.
NL177574C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bekleed vormlichaam.
NL181447C (nl) Verbindingsstuk voor het vormen van een knooppunt.
NL186524C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7702665A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bolscharnier.
NL184911C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL161225C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bouwwerk.
NL7707601A (nl) Werkwijze ter bereiding van een materiaal voor het bekleden van vormen.
NL186523C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL184912C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee