NL178331C - Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling, en halfgeleiderinrichting verkregen met deze werkwijze. - Google Patents

Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling, en halfgeleiderinrichting verkregen met deze werkwijze.

Info

Publication number
NL178331C
NL178331C NLAANVRAGE7801713,A NL7801713A NL178331C NL 178331 C NL178331 C NL 178331C NL 7801713 A NL7801713 A NL 7801713A NL 178331 C NL178331 C NL 178331C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
irradiation
semiconductor device
device obtained
forming images
images
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7801713,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL178331B (nl
NL7801713A (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Nippon Telegraph & Telephone
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Nippon Telegraph & Telephone filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7801713A publication Critical patent/NL7801713A/nl
Publication of NL178331B publication Critical patent/NL178331B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL178331C publication Critical patent/NL178331C/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/0008—Organic ingredients according to more than one of the "one dot" groups of C08K5/01 - C08K5/59
    • C08K5/005—Stabilisers against oxidation, heat, light, ozone

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
NLAANVRAGE7801713,A 1977-02-18 1978-02-15 Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling, en halfgeleiderinrichting verkregen met deze werkwijze. NL178331C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1623277A JPS53102025A (en) 1977-02-18 1977-02-18 Radiation sensitive organic high molecular material

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7801713A NL7801713A (nl) 1978-08-22
NL178331B NL178331B (nl) 1985-10-01
NL178331C true NL178331C (nl) 1986-03-03

Family

ID=11910797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7801713,A NL178331C (nl) 1977-02-18 1978-02-15 Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling, en halfgeleiderinrichting verkregen met deze werkwijze.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4187205A (nl)
JP (1) JPS53102025A (nl)
DE (1) DE2806928C3 (nl)
FR (1) FR2381338A1 (nl)
GB (1) GB1584912A (nl)
NL (1) NL178331C (nl)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1602724A (en) * 1977-04-26 1981-11-18 Standard Telephones Cables Ltd Resist material for x-ray lithography
JPS5857731B2 (ja) * 1978-09-16 1983-12-21 日本電信電話株式会社 プラズマエッチング用レジスト組成物
US4588671A (en) * 1981-12-21 1986-05-13 Institut Khimii Akademii Nauk Sssr Photo and electron resist with donor-acceptor complex and light sensitive compound
US5324604A (en) * 1991-06-17 1994-06-28 Eastman Kodak Company Multi-active electrophotographic element and imaging process using free radicals as charge transport material
US5994597A (en) * 1998-11-06 1999-11-30 International Business Machines Corporation Process for recovering high boiling solvents from a photolithographic waste stream comprising less than 10 percent by weight monomeric units
US6187965B1 (en) 1998-11-06 2001-02-13 International Business Machines Corporation Process for recovering high boiling solvents from a photolithographic waste stream comprising at least 10 percent by weight of monomeric units
RU2530021C2 (ru) * 2009-06-30 2014-10-10 ДАУ ГЛОБАЛ ТЕКНОЛОДЖИЗ ЭлЭлСи Бромированные и эпоксидированные замедлители горения
CN105807479B (zh) * 2016-05-24 2021-02-19 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板、其制作方法及显示装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1010733B (de) * 1955-04-13 1957-06-19 Hoechst Ag Stabilisatoren fuer Polymerisate bzw. Mischpolymerisate des Trifluorchloraethylens
US3063961A (en) * 1958-10-15 1962-11-13 Du Pont Mixture of (1) a butadiene-nitrile copolymer, (2) a carboxylic butadiene copolymer and (3) a chlorinated vinylidene polymer and process of blending same
US3341491A (en) * 1963-09-10 1967-09-12 Hercules Inc Vulcanized epihalohydrin polymers
US3417069A (en) * 1963-10-10 1968-12-17 Wyandotte Chemical Corp Polyhalogenous epoxy copolymers
US3629110A (en) * 1968-10-02 1971-12-21 Simplex Wire & Cable Co Solid dielectric polyolefin compositions containing voltage stabilizers
GB1384055A (en) * 1971-04-21 1975-02-19 Ici Ltd Phenol derivatives and their use as antioxidants
US4209648A (en) * 1973-11-07 1980-06-24 The Goodyear Tire & Rubber Company Alkylated hydroquinone antioxidants

Also Published As

Publication number Publication date
NL178331B (nl) 1985-10-01
JPS53102025A (en) 1978-09-06
DE2806928A1 (de) 1978-08-31
DE2806928C3 (de) 1981-07-16
FR2381338A1 (fr) 1978-09-15
US4187205A (en) 1980-02-05
JPS553689B2 (nl) 1980-01-26
DE2806928B2 (de) 1980-10-09
NL7801713A (nl) 1978-08-22
FR2381338B1 (nl) 1980-02-22
GB1584912A (en) 1981-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL163332C (nl) Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling.
NL7812283A (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van een elektrolyseproces.
NL7803770A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een organisch jodofoor germicide preparaat.
NL7705330A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektro- magnetische inrichting alsmede inrichting ver- vaardigd door toepassing van de werkwijze.
NL7809200A (nl) Inrichting en werkwijze voor het vormen van geeexpan- deerde kunststoffen, door ultra-hoog frequent bestra- ling.
NL7714492A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een elektrokatalysator.
NL7804592A (nl) Inrichting voor het door supersone echografie vormen van beelden.
NL7801900A (nl) Entpolymeren, werkwijze voor het bereiden daar- van en apparaat voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL7811577A (nl) Inrichting voor lithografie met behulp van een elek- tronenbundel.
NL173080C (nl) Werkwijze voor het verstevigen van de bodem, alsmede inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL7709009A (nl) Werkwijze voor het door trekken, vormen van glas- draden en inrichting ter uitvoering van de werk- wijze.
NL7711105A (nl) Werkwijze voor de behandeling van aluminium- oppervlakken door oxydatie met een daaropvol- gende verdichting.
NL185624C (nl) Werkwijze voor de bereiding van een elastoplastisch materiaal.
NL7811043A (nl) Werkwijze voor het synthetiseren van oligonucleotiden.
NL7809070A (nl) Inrichting voor het rekken van huiden.
NL178331C (nl) Werkwijze voor de vorming van beelden door bestraling, en halfgeleiderinrichting verkregen met deze werkwijze.
NL7801340A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bereiden van kooks.
NL7612903A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verhitten van een werkstuk, alsmede het door de werkwijze verkregen werkstuk.
NL7709250A (nl) Werkwijze voor de bereiding van gesubstitueerde benzoylureidodifenylethers.
NL182264C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van halfgeleiderinrichtingen.
NL7807995A (nl) Drijfmiddel met verminderde brandbaarheid, werkwijze voor de bereiding ervan en inrichting voor de toepas- sing van de werkwijze.
NL7706927A (nl) Werkwijze voor de inversie van allethrolon.
NL7602618A (nl) Werkwijze voor het vormen van beelden en van een beeld voorzien substraat, verkregen met de werk- wijze.
NL7802277A (nl) Werkwijze voor het produceren van fosforen.
NL7812486A (nl) Werkwijze voor de verwijdering van selenium uit urethanoplossingen.

Legal Events

Date Code Title Description
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: HITACHI LTD. EN NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE COR

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 19960901