NL163897B - Inrichting voorzien van een bron voor een bundel ge- laden deeltjes en een magnetische lens voor het focusseren van de bundel op een trefplaat. - Google Patents

Inrichting voorzien van een bron voor een bundel ge- laden deeltjes en een magnetische lens voor het focusseren van de bundel op een trefplaat.

Info

Publication number
NL163897B
NL163897B NL6815642A NL6815642A NL163897B NL 163897 B NL163897 B NL 163897B NL 6815642 A NL6815642 A NL 6815642A NL 6815642 A NL6815642 A NL 6815642A NL 163897 B NL163897 B NL 163897B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
bundle
particulars
focusing
source
apparatus provided
Prior art date
Application number
NL6815642A
Other languages
English (en)
Other versions
NL6815642A (nl
NL163897C (nl
Original Assignee
Nat Res Dev
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nat Res Dev filed Critical Nat Res Dev
Publication of NL6815642A publication Critical patent/NL6815642A/xx
Publication of NL163897B publication Critical patent/NL163897B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL163897C publication Critical patent/NL163897C/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/14—Lenses magnetic
    • H01J37/141—Electromagnetic lenses
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/002—Cooling arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/10—Lenses
    • H01J2237/14—Lenses magnetic
    • H01J2237/142—Lenses magnetic with superconducting coils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Magnetic Resonance Imaging Apparatus (AREA)
NL6815642A 1967-11-03 1968-11-01 Inrichting voorzien van een bron voor een bundel ge- laden deeltjes en een magnetische lens voor het focusseren van de bundel op een trefplaat. NL163897C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB5014867A GB1253652A (en) 1967-11-03 1967-11-03 Improvements in or relating to magnetic lenses

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL6815642A NL6815642A (nl) 1969-05-06
NL163897B true NL163897B (nl) 1980-05-16
NL163897C NL163897C (nl) 1980-10-15

Family

ID=10454847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL6815642A NL163897C (nl) 1967-11-03 1968-11-01 Inrichting voorzien van een bron voor een bundel ge- laden deeltjes en een magnetische lens voor het focusseren van de bundel op een trefplaat.

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE1806891C3 (nl)
FR (1) FR1591233A (nl)
GB (1) GB1253652A (nl)
NL (1) NL163897C (nl)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7345287B2 (en) * 2005-09-30 2008-03-18 Applied Materials, Inc. Cooling module for charged particle beam column elements

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE898637C (de) * 1942-06-03 1953-12-03 Siemens Reiniger Werke Ag Elektronenentladungsroehre, insbesondere Roentgenroehre
DE1251828B (nl) * 1957-09-11

Also Published As

Publication number Publication date
GB1253652A (en) 1971-11-17
FR1591233A (nl) 1970-04-27
DE1806891B2 (de) 1981-06-11
NL6815642A (nl) 1969-05-06
DE1806891C3 (de) 1982-03-04
DE1806891A1 (de) 1969-06-19
NL163897C (nl) 1980-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL160081B (nl) Optisch stelsel voor het geleiden van een projectiel.
NL157318B (nl) Inrichting voor het behandelen van een thermoplastisch polymeer.
NL146413B (nl) Werkwijze en inrichting voor het bewerken van een werkstuk met behulp van een laserbundel.
CH499118A (de) Lichtpolarisationsvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
NL162842C (nl) Werkwijze en inrichting voor het indampen van vloeistoffen.
FI52178C (fi) Menetelmä ja laite kaksiaksiaalisesti venytettyjen letkukalvojen valmi stamiseksi kestomuoveista.
NL152978B (nl) Inrichting voor het richten van een projectiel op een stralingsbron.
NL146609B (nl) Verlichtingsinrichting voor het projecteren van een velvormig voorwerp op een beeldvlak.
DK123893B (da) Apparat til varmefiksering af et på en arkformet billedbærer løst anbragt pulverbillede.
NL155773B (nl) Inrichting voor het aandrijven van een vaartuig.
AT310552B (de) Vorrichtung zum Festlegen eines Objektivs an einer Kamera
DK131616B (da) Fremgangsmåde og apparat til originalstyret kopitælling.
CH450248A (de) Vorrichtung zum Schiessen von Körpern
DK121146B (da) Apparat til svejsning af genstande af termoplast.
NL147641B (nl) Inrichting voor het behandelen van vloeistof met een ionenuitwisselende hars.
NL163897C (nl) Inrichting voorzien van een bron voor een bundel ge- laden deeltjes en een magnetische lens voor het focusseren van de bundel op een trefplaat.
NL140300B (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwisselen van de spoelen op een dubbeltwijnmachine.
NL152091B (nl) Elektrofotografische werkwijze en inrichting voor het toepassen van de werkwijze.
NL150280B (nl) Inrichting voor het opwekken van een aftastlichtstraal.
DK115581B (da) Fremgangsmåde til påvisning af utætheder i et apparatur samt middel til brug ved udøvelse af fremgangsmåden.
NL152670B (nl) Rasterfotografische beeldreproduktie-inrichting, voorzien van organen voor het dwars op de aftastregel bewegen en in grootte moduleren van de aftastlichtvlek.
CH507535A (de) Photographisches Reproduktionsverfahren und mehrschichtiger Film zu dessen Ausführung
NL157422B (nl) Apparaat voor het inspecteren van een pijpleiding op lekken.
NL138866B (nl) Inrichting voor het bepalen van de contrasten in een fotografisch af te beelden veld.
NL167052C (nl) Inrichting voor het focusseren van een elektronenbundel.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee