NL147789B - Werkwijze voor het afzetten van een isolerende laag door verstuiven van materiaal uit een di-elektrische trefplaat, alsmede voorwerp, voorzien van een isolatielaag, verkregen volgens deze werkwijze. - Google Patents
Werkwijze voor het afzetten van een isolerende laag door verstuiven van materiaal uit een di-elektrische trefplaat, alsmede voorwerp, voorzien van een isolatielaag, verkregen volgens deze werkwijze.Info
- Publication number
- NL147789B NL147789B NL666601015A NL6601015A NL147789B NL 147789 B NL147789 B NL 147789B NL 666601015 A NL666601015 A NL 666601015A NL 6601015 A NL6601015 A NL 6601015A NL 147789 B NL147789 B NL 147789B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- insulating layer
- depositing
- accordance
- spraying material
- electrical method
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/02—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/291—Oxides or nitrides or carbides, e.g. ceramics, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US428733A US3369991A (en) | 1965-01-28 | 1965-01-28 | Apparatus for cathode sputtering including a shielded rf electrode |
US69285567A | 1967-12-22 | 1967-12-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL6601015A NL6601015A (nl) | 1966-07-29 |
NL147789B true NL147789B (nl) | 1975-11-17 |
Family
ID=27027888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL666601015A NL147789B (nl) | 1965-01-28 | 1966-01-26 | Werkwijze voor het afzetten van een isolerende laag door verstuiven van materiaal uit een di-elektrische trefplaat, alsmede voorwerp, voorzien van een isolatielaag, verkregen volgens deze werkwijze. |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US3369991A (nl) |
BE (1) | BE674340A (nl) |
CH (1) | CH478254A (nl) |
DE (1) | DE1521321C2 (nl) |
FR (1) | FR1469226A (nl) |
GB (1) | GB1114644A (nl) |
NL (1) | NL147789B (nl) |
SE (1) | SE333088B (nl) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3528906A (en) * | 1967-06-05 | 1970-09-15 | Texas Instruments Inc | Rf sputtering method and system |
US3630881A (en) * | 1970-01-22 | 1971-12-28 | Ibm | Cathode-target assembly for rf sputtering apparatus |
US3884793A (en) * | 1971-09-07 | 1975-05-20 | Telic Corp | Electrode type glow discharge apparatus |
GB1443827A (en) * | 1973-04-27 | 1976-07-28 | Triplex Safety Glass Co | Reactive sputtering apparatus and cathode units therefor |
US4166018A (en) * | 1974-01-31 | 1979-08-28 | Airco, Inc. | Sputtering process and apparatus |
US4170662A (en) * | 1974-11-05 | 1979-10-09 | Eastman Kodak Company | Plasma plating |
DE3206413A1 (de) * | 1982-02-23 | 1983-09-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum herstellen von aus silizium oder aus siliziden hochschmelzender metalle bestehenden schichten unter verwendung einer planar-magnetron-zerstaeubungsanlage |
EP0090067B2 (de) | 1982-03-31 | 1991-03-20 | Ibm Deutschland Gmbh | Reaktor für das reaktive Ionenätzen und Ätzverfahren |
DE3381593D1 (de) * | 1982-10-05 | 1990-06-28 | Fujitsu Ltd | Zerstaeubungsvorrichtung. |
CH668565A5 (de) * | 1986-06-23 | 1989-01-13 | Balzers Hochvakuum | Verfahren und anordnung zum zerstaeuben eines materials mittels hochfrequenz. |
US4802968A (en) * | 1988-01-29 | 1989-02-07 | International Business Machines Corporation | RF plasma processing apparatus |
US5490910A (en) * | 1992-03-09 | 1996-02-13 | Tulip Memory Systems, Inc. | Circularly symmetric sputtering apparatus with hollow-cathode plasma devices |
US5232569A (en) * | 1992-03-09 | 1993-08-03 | Tulip Memory Systems, Inc. | Circularly symmetric, large-area, high-deposition-rate sputtering apparatus for the coating of disk substrates |
US5433812A (en) * | 1993-01-19 | 1995-07-18 | International Business Machines Corporation | Apparatus for enhanced inductive coupling to plasmas with reduced sputter contamination |
US5646474A (en) * | 1995-03-27 | 1997-07-08 | Wayne State University | Boron nitride cold cathode |
US5985115A (en) * | 1997-04-11 | 1999-11-16 | Novellus Systems, Inc. | Internally cooled target assembly for magnetron sputtering |
US10748740B2 (en) * | 2018-08-21 | 2020-08-18 | Fei Company | X-ray and particle shield for improved vacuum conductivity |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1926336A (en) * | 1930-09-13 | 1933-09-12 | Fansteel Prod Co Inc | Electrode and method of making same |
NL124711C (nl) * | 1961-10-03 | |||
US3325392A (en) * | 1961-11-29 | 1967-06-13 | Siemens Ag | Method of producing monocrystalline layers of silicon on monocrystalline substrates |
US3170810A (en) * | 1962-05-24 | 1965-02-23 | Western Electric Co | Methods of and apparatus for forming substances on preselected areas of substrates |
FR1379512A (fr) * | 1963-01-18 | 1964-11-20 | Asea Ab | Procédé pour obtenir des couches métalliques ou diélectriques par érosion cathodique |
US3347772A (en) * | 1964-03-02 | 1967-10-17 | Schjeldahl Co G T | Rf sputtering apparatus including a capacitive lead-in for an rf potential |
-
1965
- 1965-01-28 US US428733A patent/US3369991A/en not_active Expired - Lifetime
- 1965-12-27 BE BE674340D patent/BE674340A/xx unknown
-
1966
- 1966-01-03 FR FR44582A patent/FR1469226A/fr not_active Expired
- 1966-01-04 GB GB259/66A patent/GB1114644A/en not_active Expired
- 1966-01-21 DE DE1521321A patent/DE1521321C2/de not_active Expired
- 1966-01-26 NL NL666601015A patent/NL147789B/nl not_active IP Right Cessation
- 1966-01-27 CH CH114266A patent/CH478254A/de not_active IP Right Cessation
- 1966-01-28 SE SE01164/66A patent/SE333088B/xx unknown
-
1967
- 1967-12-22 US US692855A patent/US3532615A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1114644A (en) | 1968-05-22 |
NL6601015A (nl) | 1966-07-29 |
US3369991A (en) | 1968-02-20 |
DE1521321C2 (de) | 1974-11-21 |
DE1521321B1 (de) | 1971-06-09 |
BE674340A (nl) | 1966-04-15 |
SE333088B (nl) | 1971-03-01 |
US3532615A (en) | 1970-10-06 |
CH478254A (de) | 1969-09-15 |
FR1469226A (fr) | 1967-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL147789B (nl) | Werkwijze voor het afzetten van een isolerende laag door verstuiven van materiaal uit een di-elektrische trefplaat, alsmede voorwerp, voorzien van een isolatielaag, verkregen volgens deze werkwijze. | |
NL148575B (nl) | Werkwijze en inrichting voor het inbrengen van een metalloxyde in de oppervlaktelaag van een glazen voorwerp en glazen voorwerp, verkregen door toepassing van deze werkwijze. | |
NL150887B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een bevestigingsorgaan, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigd bevestigingsorgaan. | |
NL153255B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van voorwerpen door spuitgieten van een polyethyleentereftalaat en polyalkeen bevattend mengsel, alsmede de aldus vervaardigde voorwerpen. | |
NL163367C (nl) | Werkwijze voor het afzetten van eean laag dielektrisch materiaal met instelbare fysische eigenschappen door hoogfrequente verstuiving, en inrichting voor toepas- sing daarvan. | |
NL142462B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van samengestelde draden, alsmede voorwerpen, vervaardigd uit aldus verkregen samengestelde draden. | |
NL163458C (nl) | Werkwijze voor het bekleden van een voorwerp. | |
NL153359B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een cilindrische elektrische weerstand, en elektrische weerstand vervaardigd door toepassing van deze werkwijze. | |
NL168572C (nl) | Inrichting voor het vervaardigen van een getextureerd thermoplastisch garen, alsmede werkwijze voor het toepassen van deze inrichting. | |
NL145095B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een preparaat voor het vormen van een elektrisch geleidende bekledingslaag, alsmede werkwijze voor het vormen van deze elektrisch geleidende bekledingslaag op drageroppervlakken en voorwerp met aan het oppervlak een dergelijke bekledingslaag. | |
NL139079C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een cellulair voorwerp met een reliefoppervlak. | |
NL173071C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van voorwerpen met een geluidisolerende werking. | |
NL141727B (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van ferromagnetische gleufsluitingen in elektrische machines, en elektrische machine, voorzien van gleufsluitingen door toepassing van deze werkwijze. | |
NL160357C (nl) | Werkwijze en machine voor het continu vervaardigen van een langwerpig, samengesteld constructie-element. | |
NL165769C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een piezo- -elektrisch vormsel uit een vinylideenfluoride polymeer en voorwerp, verkregen met de werkwijze. | |
NL145603B (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een zinklaag, voorwerpen voorzien van een volgens deze werkwijze aangebrachte zinklaag en werkwijze voor het bereiden van een verzinkingspasta. | |
NL175644C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van gevormde voorwerpen uit sneldraaigereedschapsstaal. | |
NL168807B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van voorwerpen uit op- zwelbare klei, alsmede inrichting voor het toepassen van de werkwijze. | |
NL147113B (nl) | Werkwijze en inrichting voor de behandeling van het bovenoppervlak van een strook drijfglas en drijfglas, voorzien van een oppervlaktebekleding, verkregen door toepassing van deze werkwijze. | |
NL139874B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een liksteen en liksteen, vervaardigd met de werkwijze. | |
NL148084B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van bekledingsmiddelen. | |
NL150171B (nl) | Werkwijze voor het elektrolytisch bekleden van een substraat en werkwijze voor het vervaardigen van een laminaat. | |
NL155578B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van voorwerpen uit een vormmateriaal, alsmede aldus vervaardigde voorwerpen. | |
NL148826B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een buis uit polymeer materiaal door extrusie, en aldus vervaardigde buis. | |
NL151218B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een piezo-elektrisch keramisch materiaal, alsmede voorwerpen, geheel of gedeeltelijk bestaande uit het piezo-elektrische keramische materiaal verkregen door toepassing van deze werkwijze. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee | ||
NL80 | Abbreviated name of patent owner mentioned of already nullified patent |
Owner name: IBM |