NL1026509C2 - Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator. - Google Patents

Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator. Download PDF

Info

Publication number
NL1026509C2
NL1026509C2 NL1026509A NL1026509A NL1026509C2 NL 1026509 C2 NL1026509 C2 NL 1026509C2 NL 1026509 A NL1026509 A NL 1026509A NL 1026509 A NL1026509 A NL 1026509A NL 1026509 C2 NL1026509 C2 NL 1026509C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
pneumatic actuator
actuator
foregoing
vacuum
pneumatic
Prior art date
Application number
NL1026509A
Other languages
English (en)
Inventor
Hubertus Leonardus Mat Janssen
Bartholomeus Catharina Th Bree
Original Assignee
Janssen Prec Engineering B V
Hubertus Leonardus Mat Janssen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Janssen Prec Engineering B V, Hubertus Leonardus Mat Janssen filed Critical Janssen Prec Engineering B V
Priority to NL1026509A priority Critical patent/NL1026509C2/nl
Priority to PCT/NL2005/000437 priority patent/WO2006001691A1/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1026509C2 publication Critical patent/NL1026509C2/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/183—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors specially adapted for very large mirrors, e.g. for astronomy, or solar concentrators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/088—Characterised by the construction of the motor unit the motor using combined actuation, e.g. electric and fluid actuation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/205—Systems with pumps
    • F15B2211/2053—Type of pump
    • F15B2211/20538—Type of pump constant capacity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/21—Systems with pressure sources other than pumps, e.g. with a pyrotechnical charge
    • F15B2211/212—Systems with pressure sources other than pumps, e.g. with a pyrotechnical charge the pressure sources being accumulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40515—Flow control characterised by the type of flow control means or valve with variable throttles or orifices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/41527—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to an output member and a directional control valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/42—Flow control characterised by the type of actuation
    • F15B2211/426—Flow control characterised by the type of actuation electrically or electronically
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/455—Control of flow in the feed line, i.e. meter-in control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/46—Control of flow in the return line, i.e. meter-out control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/625—Accumulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/63—Electronic controllers
    • F15B2211/6303—Electronic controllers using input signals
    • F15B2211/6336—Electronic controllers using input signals representing a state of the output member, e.g. position, speed or acceleration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/665—Methods of control using electronic components
    • F15B2211/6654—Flow rate control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/705—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7051—Linear output members
    • F15B2211/7052—Single-acting output members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/71—Multiple output members, e.g. multiple hydraulic motors or cylinders
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/765—Control of position or angle of the output member

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillinesisolator 5 De uitvinding heeft betrekking op een actuator die een slag tot enkele tientallen millimeters combineert met een resolutie in het nanometergebied bij een draagkracht tot honderden kilo’s. Dit wordt mogelijk gemaakt door een laagfrequente pneumatische actuator met grote slag en groot 10 draagvermogen te combineren met een hoogfrequente magnetische actuator met grote slag op dusdanige wijze dat de resulterende stijfheid in de aandrijfrichting minimaal gelijk is aan de som van de stijfheden in aandrijfrichting van de pneumatische actuator en magnetische actuator. Met 15 een aanpassing in de regelstrategie is het ook mogelijk deze actuator als t r i 11ingsiso 1 at or'te gebruiken.
Dergelijke actuatoren zijn onder andere vereist in de telescopie waar een groot aantal segmenten functioneel 20 gecombineerd wordt tot een enkele telescoop. Deze segmenten kunnen tot enkele honderden kilo’s zwaar zijn en ondervinden pos i t i efouten als gevolg van bijvoorbeeld zwaartekracht, temperatuur en wind. Een actuator in een gesloten regelsysteem biedt een mogelijkheid tot het 25 corrigeren van deze positiefouten.
Gezien het potentieel groot aantal benodigde actuatoren in een telescoop, duizenden is niet ongewoon, is een oplossing tegen beperkte kosten en volume noodzakelijk. Daarnaast 30 zijn een hoge betrouwbaarheid en levensduur tot tientallen j aren vereist.
Er zijn reeds een aantal actuatoren en aandrijfmethodes die mogelijk een oplossing bieden. Een s p i n d e 1 aan dr i j v ί n g heeft 35 echter niet de benodigde resolutie, hetgeen ook geldt voor 1 n?RSQ9_ ___ 2 een tandheugel terwijl w r i j v i n g s w i e 1 e n onvoldoende draagkracht hebben. Een lineaire motor heeft binnen beperkte afmetingen niet de draagkracht, vereist een complexe, dure aansturing en zal continu zeer veel 5 vermogen dissiperen. Het toepassen van overbrengingen om de draagkracht te verhogen is een mogelijkheid, maar dit zal de slag ontoelaatbaar verhogen en vereist een groot volume. Een andere mogelijkheid is het gebruik van een passieve veer als g e w i c h t s c o m p e n s a t i e , maar deze zal een 10 onrealistisch lage stijfheid moeten hebben om te functioneren over de volle slag.
De uitvinding betreft dan ook een actuator die aan deze beperkingen tegemoet komt en wel een oplossing biedt die 15 de gewenste eigenschappen combineert.
Dit kan volgens de uitvinder door een pneumatische actuator met lage stijfheid en lage bandbreedte, welke de benodigde draagkracht over een grote slag heeft, te 20 combineren met een magnetische actuator met hoge stijfheid en hoge bandbreedte en relatief beperkte kracht, over een slag die minimaal gelijk is aan die van de pneumatische actuator, op een dusdanige wijze dat de resulterende stijfheid in de aandrij fr i chting minimaal gelijk is aan de 25 som van de stijfheden in a an d r i j f r i c h t i n g van de pneumatische actuator en de magnetische actuator.
Fig.1 een schematisch overzicht van een inrichting volgens de uitvinding, 30 Fig.2 een schematisch overzicht van een vacuüm compatibele inrichting volgens de uitvinding,
Fig.3 een schematisch overzicht van een gewijzigde inrichting volgens de uitvinding, 1026509_ 3
Fig.4 een schematisch overzicht van een mogelijke toepassing van een inrichting volgens de uitvinding,
Fig.5 een schematisch overzicht van een toepassing van 5 een inrichting volgens de uitvinding als trillingsisolator.
In figuur 1 is een dergelijke actuator weergegeven. De pneumatische actuator bestaat uit een balg die gedefinieerd 10 wordt door het elastische element 1, een wand 2 en deksel 3. Aan deze balg is een aanvoerlijn 4 bevestigd welke een gas bevat met een druk die hoger is dan de druk die maximaal gewenst is in de balg. Tevens is aan de balg een afvoerlijn 5 bevestigd welke een gas bevat met een druk die 15 lager is dan de druk die minimaal gewenst is in de balg. In de aanvoerlijn is een klep 6 geplaatst en in de afvoerlijn een klep 7. Bediening van deze kleppen maakt het mogelijk de hoeveelheid gas in de balg en daarmee de lengte dan wel de aandrij fkracht van de balg te regelen.
20
De magnetische actuator 8 is zodanig geplaatst dat de resulterende stijfheid van de actuator de som is van de stijfheden van de pneumatische actuator en magnetische actuator. De magnetische actuator wordt gebruikt om een 25 beweging met relatief kleine slag en hoge bandbreedte toe te voegen op de beweging van de pneumatische actuator. Dit vereist dat de slag van de magnetische actuator groter is dan de slag van de pneumatische actuator.
30 Het geheel wordt in een regellus geplaatst waarbij de beweging 9 gemeten wordt met een sensor. De plaatsing van de magnetische actuator in de pneumatische actuator zal de magnetische actuator afschermen van omgevingsfactoren zoals vocht, hetgeen een positieve invloed heeft op de 35 levensduur en betrouwbaarheid. Verder vertoont een balg, 1026509 4 in tegenstelling tot de in de pneumatiek doorgaans gebruikte zuiger, geen slijtage en behoeft ze geen onderhoud. Ook dit zal de levensduur en betrouwbaarheid verhogen.
5
In figuur 2 is weergegeven met welke extra voorzieningen deze actuator ook geschikt gemaakt kan worden om gebruikt te worden in een vacuümomgeving. Hiervoor dienen de deksel 1, balg 2 en wand 3 van een vacuüm compatibel 10 materiaal gemaakt te worden. Alle deelvlakken moeten vacuümdicht gelast worden of er moeten vacuümdichte afdichtingen gebruikt worden. Tevens moeten de kleppen 4 intern geplaatst worden zodat ze net als de magnetische actuator 5 niet in contact komen met het vacuüm. De 15 aanvoerlijn en afvoerlijn voor het gas dienen een flexibele buis 6 te zijn en van een vacuüm compatibel materiaal gemaakt te worden. De voeding van de magnetische actuator en de aansturing van de kleppen dient te gebeuren met vacuüm compatibele bekabeling 7 welke via een vacuüm 20 compatible connector 8 in de actuator gebracht wordt. Als alternatief kan de bekabeling ook door een flexibele buis van een vacuüm compatibel materiaal geleid worden.
In figuur 3 is een uitvoering van de actuator volgens de 25 uitvinding weergegeven waarbij de pneumatische actuator 1 dubbelzijdig is uitgevoerd. De volumes 2 en 3 zijn pneumatisch gescheiden en de druk in volume 2 kan onafhankelijk worden geregeld ten opzichte van de druk in volume 3. Hiermee is het mogelijk een beweging 4 met grote 30 kracht op te wekken die zowel naar boven als naar onder gericht kan zijn.
In figuur 4 is een schematisch overzicht gegeven van een nvo gelijke toepassing van de actuator volgens de uitvinding. 35 Een willekeurig aantal segmenten 1, welke gezamenlijk een 5 telescoop vormen en waarvan er twee zijn weergegeven, wordt elk ondersteund door minimaal één actuator 2, waarbij twee actuatoren per segment zijn weergegeven.
Door de positie van de segmenten onderling te meten met de 5 sensoren 3 wordt een regelsignaal gecreëerd voor elk van de actuatoren opdat de segmenten naar de vereiste positie geregeld worden. De gasvoorziening bestaat uit een gesloten systeem van droge lucht of bijvoorbeeld stikstof hetgeen bevriezingsprob 1 emen voorkomt bij het mogelijke 10 gebruik op grote hoogte in de open lucht. De afvoerlijnen van de actuatoren zijn verbonden met het lage druk reservoir 4, waaruit pomp 5 het gas pompt naar het hoge druk reservoir 6 dat verbonden is met de aanvoerlijnen van de actuatoren.
15
In figuur 5 is een schematisch overzicht van het gebruik van de actuator volgens de uitvinding als trillingsisolator weergegeven. Minimaal drie actuatoren 1, waarvan er twee zijn weergegeven, worden onder een object 2 geplaatst met 20 als doel om de vloertrillingen 3 wat betreft de amplitude sterk gereduceerd door te laten naar het object dat gaat trillen met amplitude 4.
Dit is mogelijk doordat de pneumatische actuator met zijn 25 lage stijfheid als een 1 aa g d o o r 1 a at f i 11 e r fungeert voor vloertrillingen. De resterende laagfrequente trillingen worden weggeregeld door de magnetische actuator. Voor dit laatste is een regelsignaal nodig dat wordt verkregen door oftewel een krachtmeting met de sensoren 5 tussen iedere 30 actuator en object, oftewel door het meten van de snelheid van het object, oftewel door het meten van de versnelling van het object, oftewel door een combinatie van deze metingen.
1026509 6
De regeling zal een dusdanige karakteristiek moeten hebben dat zij over een zo groot mogelijk frequenti egebied r e g e 11 e c h n i s c h e demping introduceert en vooral in het f r e q u e n t i e g e b i e d onder de bandbreedte van de magnetische 5 actuator. Rege1technische stijfheid is vooral vereist in het gebied onder de bandbreedte van de pneumatische actuator.
Ook deze applicatie kan in een vacuümomgeving functioneren door het toepassen van een actuator zoals 10 weergegeven in figuur 2.

Claims (21)

1. Inrichting die een slag tot enkele tientallen millimeters combineert met een resolutie in het nanometergebied bij 5 een draagkracht tot honderden kilo’s welke is opgebouwd uit een combinatie van een pneumatische actuator en een magnetische actuator met als bijzonder kenmerk dat de magnetische actuator in de drukkamer van de pneumatische actuator is geplaatst op dusdanige 10 wijze dat de magnetische actuator niet in contact komt met de buitenlucht en dat de resulterende stijfheid in aandrij frichting van de inrichting minimaal gelijk is aan de som van de stijfheden in a an d r i j f r i c ht i n g van de pneumatische actuator en de magnetische actuator. 15
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de pneumatische actuator het grootste deel van het draagvermogen verzorgt.
3. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de slag van de magnetische actuator groter is dan de slag van de pneumatische actuator.
4. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met 25 het kenmerk dat de pneumatische actuator bestaat uit een zuiger of uit een onder andere door een rubberen, plastic of metalen balg afgesloten volume welke een beweging in aandrij frichting toelaat.
5. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de pneumatische actuator verbonden is met een onder hoge druk staande aanvoerlijn van een gas en een onder lage druk staande afvoerlijn van een gas en dat het effectieve debiet door de pneumatische actuator 35 via minimaal één klep gestuurd wordt. 10265 0 9._ _______
6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk dat minimaal één klep een proportionele klep is.
7. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat een tweede pneumatische actuator toegevoegd wordt op dusdanige wijze dat deze een aandrijfkrachtkracht kan uitoefenen die tegengesteld is aan de eerste pneumatische actuator. 10
8. Inrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk dat het effectieve debiet door elke pneumatische actuator onafhankelijk van elkaar gestuurd kan worden.
9. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de beweging in a an d r i j f r i c h t i n g gemeten wordt en gebruikt wordt als regelsignaal voor de pneumatische actuator en de magnetische actuator.
10. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat 1 a a g f r e q u e n t e bewegingen met grote slag dan wel grote kracht worden uitgevoerd met de pneumatische actuator
11. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat hoogfrequente bewegingen met kleine slag dan wel kleine kracht worden uitgevoerd met de magnetische actuator en worden toegevoegd op de beweging van de pneumatische actuator. 30
12. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat alle met de omgeving in contact komende onderdelen van een vacuüm compatibel materiaal zijn, dat alle deelvlakken welke een 35 verbinding tussen het interne volume van de 1026509 pneumatische actuator en de omgeving vormen vacuümdicht gelast zijn of afgedicht met een vacuüm compatibele afdichting, dat de kleppen in de pneumatische actuator geplaatst zijn, dat de aanvoerlijn 5 en afvoerlijn uit vacuüm compatibele buis bestaan en dat vacuüm compatibele kabel wordt gebruikt welke met een vacuüm compatibele doorvoer in de pneumatische actuator gebracht wordt.
13. Systeem met het kenmerk dat deze minimaal een tweetal te verplaatsen objecten bevat welke ieder ondersteund wordt door tenminste één inrichting volgens een der voorgaande conclusies.
14. Systeem volgens conclusie 13, met het kenmerk dat de onderlinge positie tussen deze objecten gemeten wordt en dat deze positie dient als regelsignaal voor de inrichting.
15. Systeem volgens conclusie 13 of 14, met het kenmerk dat de objecten segmenten zijn welke gezamenlijk functioneel een telescoop vormen.
16. Systeem met het kenmerk dat deze een object bevat 25 welke ondersteund wordt door tenminste 3 inrichtingen volgens een der conclusies 1-12.
17. Systeem volgens conclusie 16, met het kenmerk dat oftewel een krachtmeting tussen iedere inrichting en 30 object, oftewel een s n e 1 h e i d s m e t i n g van het object in minimaal één vrijheidsgraad, oftewel een v e r s n e 11 i n g s m e t i n g van het object in minimaal één vrijheidsgraad, oftewel een combinatie van deze metingen wordt uitgevoerd. 35 _10265 0 9____ ___ 1 o
18. Systeem volgens conclusie 17, met het kenmerk dat de meetsignalen gebruikt worden om de pneumatische actuator en de magnetische actuator aan te sturen.
19. Systeem volgens conclusie 18, met het kenmerk dat de regeling van de magnetische actuator een dusdanige karakteristiek heeft dat minimaal het f r e q u e n t i e g e b i e d onder de bandbreedte van de magnetische actuator voorzien wordt van regeltechnische demping en dat 10 regeltechnische stijfheid met name voorzien wordt in het f r e q u e n t i e g e b i e d dat ligt onder de bandbreedte van de pneumatische actuator.
20. Inrichting of systeem volgens één der voorgaande 15 conclusies, met het kenmerk dat het pneumatische circuit een gesloten circuit is.
21. Inrichting of systeem volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat het gas voor de 20 pneumatische actuator wordt vervangen door een vloeistof. 1026509
NL1026509A 2004-06-28 2004-06-28 Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator. NL1026509C2 (nl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1026509A NL1026509C2 (nl) 2004-06-28 2004-06-28 Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator.
PCT/NL2005/000437 WO2006001691A1 (en) 2004-06-28 2005-06-15 Long stroke position actuator with high load capacity and manometer resolution

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1026509A NL1026509C2 (nl) 2004-06-28 2004-06-28 Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator.
NL1026509 2004-06-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1026509C2 true NL1026509C2 (nl) 2005-12-30

Family

ID=34955629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1026509A NL1026509C2 (nl) 2004-06-28 2004-06-28 Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator.

Country Status (2)

Country Link
NL (1) NL1026509C2 (nl)
WO (1) WO2006001691A1 (nl)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100495103C (zh) * 2006-07-21 2009-06-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 取样反射镜驱动平台的锁紧机构
EP3066168A4 (en) 2013-11-07 2018-01-24 3M Innovative Properties Company Fluoropolymer coatings comprising aziridine compounds
CN105745287B (zh) 2013-11-07 2018-05-29 3M创新有限公司 包含氮丙啶化合物和非氟化聚合物的含氟聚合物涂层
CN103913847B (zh) * 2014-03-19 2015-12-02 京东方科技集团股份有限公司 一种三维显示系统
CN104808309B (zh) * 2015-04-15 2017-10-20 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 用于天文望远镜镜面主动支撑的机电永磁式力促动器
CN110133820B (zh) * 2019-05-17 2021-03-05 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 大型拼接镜面光学望远镜的纳米级精密位移促动器
JP7509604B2 (ja) 2020-08-21 2024-07-02 株式会社アサヒエンタープライズ アクチュエータ
DE102023118056B3 (de) 2023-07-07 2024-10-02 IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH) Positionierungssystem mit einem Regler sowie Verfahren zu dessen Konfiguration

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3427097A (en) * 1965-08-24 1969-02-11 Dryden Hugh L Pneumatic mirror support system
US4484798A (en) * 1981-05-01 1984-11-27 U.S. Philips Corporation Method of manufacturing a multiple mirror reflector for a land based telescope
US4950063A (en) * 1989-02-28 1990-08-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Automatic compensation of optical path for gimbaled phased array telescope
WO1993001577A1 (en) * 1991-07-12 1993-01-21 Denne Developments Limited Motion imparting apparatus
DE4326561A1 (de) * 1993-08-07 1995-02-09 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Lagerung eines Spiegels sowie Spiegellagerung
DE19727344A1 (de) * 1996-07-12 1998-02-05 Smc Corp Linearstellglied
US6138458A (en) * 1998-12-02 2000-10-31 Griffin; William S. Electro-pneumatic actuator and servo-valve for use therewith
US6268667B1 (en) * 1998-02-20 2001-07-31 Advanced Motion Technologies, Llc Apparatus for producing linear motion
US20030155194A1 (en) * 2002-02-20 2003-08-21 Kienholz David A. Hybrid pneumatic-magnetic isolator-actuator
DE10244260A1 (de) * 2002-09-24 2004-04-01 Festo Ag & Co. Linearantriebsvorrichtung

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3427097A (en) * 1965-08-24 1969-02-11 Dryden Hugh L Pneumatic mirror support system
US4484798A (en) * 1981-05-01 1984-11-27 U.S. Philips Corporation Method of manufacturing a multiple mirror reflector for a land based telescope
US4950063A (en) * 1989-02-28 1990-08-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Automatic compensation of optical path for gimbaled phased array telescope
WO1993001577A1 (en) * 1991-07-12 1993-01-21 Denne Developments Limited Motion imparting apparatus
DE4326561A1 (de) * 1993-08-07 1995-02-09 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Lagerung eines Spiegels sowie Spiegellagerung
DE19727344A1 (de) * 1996-07-12 1998-02-05 Smc Corp Linearstellglied
US6268667B1 (en) * 1998-02-20 2001-07-31 Advanced Motion Technologies, Llc Apparatus for producing linear motion
US6138458A (en) * 1998-12-02 2000-10-31 Griffin; William S. Electro-pneumatic actuator and servo-valve for use therewith
US20030155194A1 (en) * 2002-02-20 2003-08-21 Kienholz David A. Hybrid pneumatic-magnetic isolator-actuator
DE10244260A1 (de) * 2002-09-24 2004-04-01 Festo Ag & Co. Linearantriebsvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006001691A1 (en) 2006-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1026509C2 (nl) Een lange slag actuator met hoog draagvermogen en nanometer resolutie welke tevens gebruikt kan worden als trillingsisolator.
CN1292138C (zh) 具有振动阻尼的大型操纵器
US5927699A (en) Damping apparatus
US7608984B2 (en) Motion amplification using piezoelectric element
CN101718327B (zh) 精密隔振系统
JP6419226B2 (ja) 負荷補償を有する加振機
JP2008525709A (ja) 反動駆動エネルギー伝達装置
JP6957227B2 (ja) 空気圧式アクチュエータ、及び能動的防振システムの動作方法
US8991169B2 (en) Method for adapting stiffness in a variable stiffness actuator
US11396980B2 (en) Low vibration cryocooled cryostat
US11260968B2 (en) Maintenance apparatus for a shock absorber of a landing gear, and method for maintaining such a shock absorber
NL8901778A (nl) Dempende steunconstructie.
KR101239167B1 (ko) 에어스프링을 이용한 진동시험용 지지장치
CN201679901U (zh) 一种精密隔振装置
JP2007024888A (ja) 流体密度を計測するための装置及び方法
US8302481B2 (en) Self-supporting and self-aligning vibration excitator
US5676353A (en) Hydraulic lever actuator
JPH04205113A (ja) 試料台駆動装置
US11079035B2 (en) Preloaded piezo actuator and gas valve employing the actuator
NL1036221C2 (nl) Een elektro-pneumatische actuator met nanometer resolutie.
CN103363180B (zh) 带有支杆的蝶阀
NL1042960B1 (en) High Dynamic Planar Motion Stage for use in low-temperature environments
CN205599488U (zh) 用于根据尺寸分离松散物料的筛分机
JP6675460B2 (ja) 計量器具の位置決め用装置
Fodor et al. Experimental verification of resistance control, semi-active damping

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20090101