PROCEDIMIENTO PARA LA DETERMINACIÓN DE CAPACIDADES MUY PEQUEÑAS Y SENSOR ASI CONCEPTÜALIZADO Campo de la Invención La presente invención se refiere a un procedimiento que es adecuado para la determinación de capacidades muy pequeñas en especial para evaluar los resultados de medición en sensores micromecánicos . Antecedentes de la Invención Los sensores de medición capacitiva, como por ejemplo sensores de presión micromecánicos (EP 0 714 017 = US 5,631,428, WO 96/16319) o sensores de aceleración (WO 95/19572, EP 0 730 157), en el cual la determinación de los parámetros para partes constructivas integradas pequeñas como transistores bipolares y MOS, condensadores MIN, etc, se presenta el problema de determinar de manera confiable pequeñas capacidades con gran exactitud. Los valores medidos de las capacidades son adulteradas por perturbaciones . Perturbaciones constantes son por ejemplo las capacidades parásitas. Las perturbaciones variables pueden se por ejemplo provocadas por campos electromagnéticos variables del ambiente que rodea al aparato medidor o por medio de vibraciones mecánicas. Estas perturbaciones deben ser compensadas de una manera adecuada o por lo menos determinase para poder corregir la medición de manera correspondiente. Para determinar la magnitud de pequeñas capacidades sirven amplificadores sensibles. En un proceso de medición se excitan las capacidades por medio de tensiones alternas de alta frecuencia por tensiones en impulsos, para obtener las señales medible. Las señales de perturbación se determinan ya sea directamente con el amplificador de medición y se reduce o se compensan numéricamente de acuerdo con una transformación analógica digital . Estos procedimientos son muy expendiosos y requieren una alta precisión. La publicación de M. Tartagni, R. Guerrieri : "A 390dpi Live Fingerpint Imager Based on Feedback Capacitive Sensing Scheme" , 1997 ISSCC suplemento, páginas 154-155 y 402, se da una vista general de las diferentes posibilidades de realización de sensores de huellas dactilares . Ese tipo de sensores son adecuados para determinar de forma electrónica la huella dactilar con los surcos y las elevaciones de la superficie de la piel en la punta de dedo, y eventualmente para ser evaluada posteriormente con el fin de identificación personal . En los sensores que miden la capacidad alli presentados, se presenta igualmente el problema de que deben ser medidas capacidades muy pequeñas. La medición debe realizarse en un tiempo muy corto, mientras que se encuentre la punta del dedo sobre el sensor, y debe dar un resultado suficientemente exacto y contrastante, para que puedan diferenciarse diferentes lineas del dedo. En EP 0 457 398 Bl se describe un sensor de la huella dactilar, en el cual el dedo se coloca en una superficie no deformable se utilizan las capacidades formadas en el sensor frente a un aparato de placas metales, para determinar la huella dactilar. Para este fin a cada una de las placas metálicas se encuentran acoplados amplificadores y circuitos electrónicos. Ese tipo de circuitos son sensibles a las perturbaciones . Sumario de la Invención La tarea de la presente invención es el de proporcionar un procedimiento para la determinación de capacidades muy pequeñas . Otra tarea consiste en proporcionar un sensor que mida de forma capacitiva, en especial un sensor para la toma de huellas dactilares, que también proporcione resultados exactos aun en el caso de pequeñas modificaciones de las capacidades . Esas tareas se resuelven con el procedimiento con las características de la reivindicación 1 o con el sensor con las características de la reivindicación 3 o con el sensor para huellas dactilares con las características de la reivindicación 5. Las conformaciones se presentan en las reivindicaciones dependientes . En el procedimiento de acuerdo con la invención se determinan las capacidades a medir, al primero aplicar una tensión eléctrica en los condensadores en cuestión o en los elementos constructivo que fungen como condensadores y así se cargan los condensadores . Los condesadores se descargan hasta una capacidad mayor a la provista para el condensador, a continuación llamado condensador medidor. Este procedimiento de carga y descarga se repite varias veces debido a las capacidades a medir tan pequeñas . En el condensador medidor se acumula la carga en etapas y entonces puede evaluarse. Esto se realiza alternativamente, al medir la tensión en el condensador medidor después de un número previsto de cargas (cortes de carga) o se mide el número de cargas que se requieren para cargar al condensador medidor a una tensión, predeterminada. En el primer caso mencionado la tensión alcanzada después de un número predeterminado de cargas es proporcionar a la magnitud de la capacidad que se va a determinar. En el segundo caso, el número de cargas es inversamente proporcionar a la magnitud de la capacidad que se va a determinar. En caso de sensores, en los cuales varia la separación de dos electrodos que fungen como placas de condensador dependiendo de la magnitud de medición, la capacidad a medir es inversamente proporcionar a la distancia entre los electrodos. Aquí el número de cargas del condensador de medición (cortes de carga) es directamente proporcional a la distancia a medir, lo que facilita la evaluación del resultado de medición. El procedimiento de acuerdo con la invención por lo tanto tiene una ventaja en especial en sensores de ese tipo, que pueden ser realizados como sensores micromecánicos, de que presenta inmediatamente un resultado digital deseado, que puede ser tratado numéricamente con posterioridad. El efecto de perturbación en la medición mencionado al principio, puede reducirse o compensarse numéricamente . El procedimiento debido a la acumulación de la carga como integrador. Este tiene la propiedad de que reduce las perturbaciones de alta frecuencia. Las perturbaciones de baja frecuencia pueden determinarse y restarse con procedimientos numérico en si conocidos . El procedimiento es especialmente adecuado, para utilizarse en sensores micromecánicos de medición capacitiva, como por ejemplo sensores de presión o de aceleración. En ese tipo de sensores de presión se determina la deformación de una membrana conductora eléctrica dependiente de la presión externa (por ejemplo una membrana de polisilicico dotado semiconductor eléctrico) a través de un espacio hueco, de tal forma que se determina la capacidad modificada de esa membrana frente a un contraelectrodo colocado en el lado contrario del espacio huevo (por ejemplo una zona conductora en un material semiconductor) . Ya que aquí están involucradas pequeñas capacidades y modificaciones de capacidad, ofrece el procedimiento de acuerdo con la invención la posibilidad de mejorar la exactitud de medición de ese tipo de sensores en comparación con la exactitud hasta ahora obtenida. El procedimiento de acuerdo con la invención es especialmente adecuado para realizar un sensor de la huella dactilar con una construcción especialmente sencilla, en el cual se obtiene un buen funcionamiento. En este sensor de la huella dactilar igualmente se utiliza un procedimiento de medición capacitivo. La medición se realiza sin deformación mecánica de una parte de sensor por medio de un arreglo (array) de superficies metálicas, formando una placa de un condensador. Esas superficies metálicas están recubiertas con una capa pasívante dieléctrica, en cuya parte -superior se coloca un dedo. Los surcos y elevaciones de la superficie de la piel junto con las superficies metálicas forman diferentes capacidades . La superficie de la piel puede considerarse como conductora eléctrica suficientemente fuerte y se basa prácticamente en el potencial de masa. Si las superficies de masa se ajustan a un determinado potencial , se cargan con diferentes intensidades . Las cargas se conducen por separado a un condensador de mayor capacidad como condensador medidor. Las superficies metálicas se cargan varias veces, y las cargas se acumulan en el condensador medidor. De esta manera es posible agregar tantas cargas que es posible una medición exacta de la capacidad entre las superficies metálicas y la piel a través de la cantidad de carga o la tensión obtenida. Para poder captar una huella dactilar, se determina el estado de carga de las superficies metálicas, por ejemplo de una manera como se lee en una memoria de matriz . EN el caso de un arreglo en forma de matriz de las superficies metálicas, las superficies metálicas se cargan simultáneamente por partes al mismo potencial. Esto corresponden a precargar un arreglo de memoria de transistores a través del conducto de palabras . La descarga de las superficies metálicas cargadas se realiza por líneas en cada condensador medidor provisto para cada linea. Breve Descripción de los dibujos A continuación se presenta una descripción mas exacta del procedimiento de acuerdo con la invención y un ejemplo de realización de un sensor conceptualizado con el procedimiento, configurado en un sensor de la huella dactilar, con la ayuda de las figuras 1 a 6. Las figuras 1,2 muestran esquemas de las partes del circuito, que son adecuadas para el procedimiento de acuerdo con la invención . La figura 3 muestra un elemento constructivo de transistor, que puede utilizarse como condensador en el circuito. La figura 4 muestra el arreglo sensor esquemáticamente . La figura 5 muestra un esquema de una vista superior del arreglo sensor. La figura 6 muestra un esquema de una vista transversal del arreglo sensor. El procedimiento de acuerdo con la invención puede ser realizado con un circuito que contiene los componentes que se representan en la figura 1. Una carga almacenada en los condensadores a medir en un proceso de carta se conduce al condensador medidor 1 correspondiente, a través del circuito se aplica una tensión de carga y los condensadores de los cuales se quiere medir las capacidades se conectan con una placa del condensador medidor 1 de forma conductiva. La caída de potencial que se presenta en el condensador medidor cargado en ese condensador se indica con la flecha. Se provee un comparador 2 para comparar la tensión presente en el condensador medidor 1, con una tensión de referencia Urat, de tal forma que se puede determinar cuando en el condensador medidor se alcanza la tensión de referencia. En la figura 2 se representa una conexión alternativa, en la cual se provee un comparador para determinar después de cuantas cargas se tiene una tensión de referencia determinada en el condensador. La señal de salida del comparador 2 se conduce a la entrada de un contador 3, que es controlado por un pulso Tch. Con este contador se cuenta el número de cargas, que se requieren hasta que en el condensador l se ha alcanzado la tensión de referencia Urßf .
El número de cargas es entonces inversamente proporcional a la capacidad del condensador a medir. Los circuitos requeridos se forman preferentemente por medio de transistores . A través de esos circuitos se cargan los condensadores, cuyas capacidades deben ser determinadas simultáneamente en el ciclo de uso del procedimiento, simultáneamente a un potencial determinado de por ejemplo 5 voltios. Los circuitos se abren para desconectar la fuente de tensión. Simultáneamente se cierran otros circuitos, a través de los cuales se unen los condensadores con los condensadores medidores en cuestión. Los condensadores medidores eventualmente pueden ser precargados a una tensión previa de por ejemplo típicamente 1 voltio a través de un circuito adicional adecuado al inicio del ciclo de medición. Después de que la carga ha fluido haca los condensadores medidores, se acciona el interruptor presente, de tal forma que los condensadores a medir se vuelven a catar. La repetida conmutación permite que la carga en los condensadores medidores fluya de tal forma que las cargas se acumulan allí de esa manera. Cuando el interruptor utilizado en el circuito se realiza de transistores, en ventajoso utilizar también transistores para los condensadores medidores. La figura 3 muestra en sección transversal un elemento constructivo utilizable como condensador. Un MOSFET con una capa aislante 7, un electrodo de compuesta 8 a través de una zona de canal 11 y con las zonas difudidas de material semiconductor para la fuente y el drenaje 10, está provisto con un contacto, que une las zonas 10 de fuente y drenaje entre si de manera conductora eléctrica, esto es en cortocircuito. Este contacto 9 se muestra en la figura 3. Durante el funcionamiento el elemento construcción se forma en la zona de canal 11 de una capa de inversión. La capa aislante 7 forma un dieléctrico de un condensador, que por un lado está formado por el electrodo de compuerta 8 y por otro lado por el contacto 9 así como la capa de inversión. En un sensor de la huella dactilar realizado utilizando el procedimiento de acuerdo con la invención es en un ejemplo de realización preferido una capa de metalización estructurada, que presenta superficies metálicas colocadas en forma reticular. Esas superficies están colocadas por ejemplo en forma reticular de tipo de doble rejilla de acuerdo con la figura 4, en la cual las superficies metálicas individuales 4 se representan en vista esquemática. Una zona lateral 5 sirve para la recepción de los componentes electrónicos de conmutación necesarios . En el plano de metalización estructurado se encuentra una capa de pasívación dieléctrica, sobre el lado superior de la superficie de apoyo para la punta del dedo. El espesor de la capa de pasívación determina la magnitud de las capacidades formadas por las superficies metálicas individuales 4 junto con la piel de la punta del dedo. Las superficies metálicas pueden ser por ejemplo un plano de metalización sobre una pastilla semiconductora, en la cual están integrados los circuitos electrónicos de control u otros elementos constructivos. El esquema de conexiones representado en la figura 1 para aclarar el procedimiento de medición, se utiliza correspondiente en un sensor de la huella dactilar. En la figura 1 se representa un esquema de conexiones del arreglo de superficies metálicas 4. Un condensador medidor 1 provisto para acumular las cargas está disponible para cada linea de superficies metálicas. Las capacidades de esos condensadores medidores es entre 100 y 1000 veces mayor que aquella capacidad que se forma cuando una superficie metálica se complementa con un conductor eléctrico colocado en el plano de la superficie de apoyo (por ejemplo la superficie de la piel conductora de electricidad) para formar un condensador. En la figura 5 para cada vista representada del arreglo se indican los interruptores S u S2 correspondientes a la superficie metálica, que preferentemente están formados por transistores. A través de conductos de carga L y el interruptor cerrado S , dependiendo del tipo de conducto de palabras en se cargan a una tensión eléctrica predeterminada todas las superficies del arreglo, presentes en una columna (o linea) de una memoria de matriz, permaneciendo el interruptor S2 abierto. Correspondientemente a las diferentes capacidades presentes se cargan las superficies metálicas con diferentes intensidades . Cuando se abren los interruptores Sx y los interruptores S2 se cierra, fluyen las cargas a través de conductos de descarga R de las superficies metálicas por líneas (o por columnas) al condensador medidor 1 correspondiente a la segunda linea (o columna) y allí se acumulan. Por medio de un comparador 2 que compara la tensión presente en el condensador 1 con una tensión de referencia Urßf, se mide la tensión en el condensador medidor. Cuando solo tiene que realizarse una medición burda, puede ser suficiente cuando se determina con el comparador, cuando se excede una tensión determinada del condensador medidor 1. Entonces se obtiene un diagrama de la huella dactilar, formado por puntos negros o blancos. Cuando se desean diferentes tonos de gris, puede conducirse una salida del condensador medidor 1 a diferentes entradas de comparadores, que comparan la tensión de acuerdo con el tipo de un transformador analógico digital con diferentes tensiones de referencia de diferentes magnitudes y de esta manera pueden determinarse gradualmente diferentes estados de carga de los condensadores individuales . El número de cargas (cortes de carga, que fluyen al condensador medidor) hasta alcanzar una tensión predeterminada en el condensador medidor, es directamente proporcional a la distancia a medir entre la superficie metálica y la superficie de la piel. Así se obtiene utilizado el procedimiento de medición con un aparato de acuerdo con la figura 2 en el sensor de huellas dactilares, inmediatamente una resultado digital de la medición, que inmediatamente puede ser post-eleborada numéricamente. Efectos de perturbaciones posibles en la medición se reducen o pueden ser compensados numéricamente. También en el ejemplo de realización de acuerdo con la figura 1 puede estar presente un contador, con el cual se determina la duración, de acuerdo con el cual se interrumpen las secuencias de carga y se miden las cargas o tensiones existentes en los condensadores individuales 1. Todo el circuito en el sensor de huella dactilar puede realizarse con elementos constructivos microelectrónicos, como por ejemplo los transistores antes descritos . Para lograr que el arreglo en forma reticular de las superficies metálicas utilizadas para la medición sea lo mas compacta posible en la superficie de apoyo del dedo, esa parte de los circuitos electrónicos que no son necesarios para el control directo de las superficies metálicas y los condensadores medidores , se colocan lateralmente a ese arreglo en forma reticulada. En la figura 4 se muestra en vista esquemática el arreglo de superficies metálicas 4, que en ese ejemplo está dibujado cuadrado. Lateralmente a esto se colocan los circuitos electrónicos en una zona limítrofe 5. El circuito electrónico utilizado para la evaluación o elaboración posterior de los resultados de medición, puede estar integrado sobre una pastilla con el sensor de huella dactilar. De esto se obtienen tiempos de medición cortos y reducidas perturbaciones. Las mediciones típicas para las superficies metálicas 4 son de aproximadamente 50 µm x 50 µm hasta aproximadamente 100 µm x 100 µm. Todo el arreglo, sobre el cual se coloca la punta del dedo, tiene unas dimensiones de 13 mm c 13 mm a 15 mm x 15 mm. En la figura 6 se representa un esquema de la sección transversal del sensor de huella dactilar. Las superficies metálicas 4 se encuentran bajo una capa de pasívación, cuyo lado superior sirve como superficie de apoyo para la punta del dedo. Las superficies metálicas 4 se cargan conjuntamente a través del cargador adecuado (en esta representación simplificada se omite la mitad) a un potencial eléctrico determinado. Los interruptores S (correspondiendo al interruptor S2 de la figura 5) provistos para descargar las superficies metálicas y la acumulación de las cargas individuales en el condensador medidor 1 provisto para esto, se representan dependiendo del diagrama de conexiones esquemáticamente en la parte inferior de la figura 6. La evaluación de las cargas acumuladas en el condensador medidor 1 se realiza en los comparadores 2, de los cuales se muestran varios en una vista del arreglo. Los componentes restantes del circuito se conecta a las salidas de los comparadores . Esencialmente para el sensor de huella dactilar de acuerdo con la invención, es que correspondientemente al procedimiento de medición dado las pequeñas cargas no se amplifican directamente, sino que por medio de acumulación en un condensador se intensifica la mayor capacidad, de tal forma que pueden determinarse relativamente fácil con procedimientos de medición habituales. Una ventaja especial de esta concepción es que el procedimiento de medición produce directamente una señal de salida digital, que puede ser tratada posteriormente de manera ventajosa.