MX2008000525A - Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico . - Google Patents

Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico .

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MX2008000525A
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Joshua Isaac Wright
William James Premerlani
John Norton Park
Edward Keith Howell
Kanakasabapathi Subramanian
Christopher Keimel
Long Que
Kuna Venkat Satya Rama Kishore
Abhijeet Dinkar Sathe
Xuefeng Wang
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Gen Electric
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Abstract

Se proporciona un sistema de control de voltaje de compuerta para activar en forma electrostática un dispositivo de sistemas micro-electromecánicos (MEMS), por ejemplo, un interruptor (14) MEMS. El dispositivo puede comprender un activador que responde en forma electrostática, que se puede mover a través de un hueco para activar el dispositivo a una condición de activación respectiva, correspondiente a una de la primera condición de activación (por ejemplo, una condición de conmutación cerrada) y una segunda condición de activación (por ejemplo, una condición de conmutación abierta). El sistema de control de voltaje de compuerta puede comprender un circuito (10) de activación acoplado en forma eléctrica con una terminal (16) de compuerta del dispositivo para aplicar un voltaje de compuerta. El sistema de control de voltaje de compuerta también puede comprender un controlador (12) acoplado en forma eléctrica con el circuito de activación para controlar el voltaje de compuerta aplicado a la terminal de compuerta de conformidad con una secuencia de control de voltaje de compuerta. La secuencia de control de voltaje de compuerta puede comprender un primer intervalo (T1) para ascender el voltaje de compuerta a un nivel de voltaje para producir una fuerza electrostática suficiente para acelerar el activador a través de una porción del hueco a ser atravesado por el activador para alcanzar una condición de activación respectiva. La secuencia de control del voltaje de compuerta también puede comprender un segundo intervalo (T2) para descender el voltaje de compuerta a un nivel suficiente para reducir la fuerza electrostática que actúa en el activador móvil. Esto permite reducir la cantidad de fuerza con la cual el activador se acopla con un contacto para establecer una primera condición de activación o evitar una posición de superación del activador, mientras alcanza una segunda condición de activación.
MX2008000525A 2007-01-12 2008-01-10 Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico . MX2008000525A (es)

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