LU93175B1 - Sensor - Google Patents

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Publication number
LU93175B1
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Authority
LU
Luxembourg
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piezoresistive
sensor
contact
layer
substrate
Prior art date
Application number
LU93175A
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English (en)
Inventor
Alaa Abdellah
Ralf Mauer
Stefan Nester
Martin Raditsch
Janusz Schinke
Kai Sudau
Original Assignee
Innovationlab Gmbh
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Claims (8)

1. Eine piezoresistive Vorrichtung ( 10) umfassend: einen oberen Kontakt (30a) und einen unteren (30 b) Kontakt; eine obéré piezoresistive Schicht (20a) in Kontakt mit dem oberen Kontakt (30a); eine untere piezoresistive Schicht (20 b) in Kontakt mit dem unteren Kontakt (30 b); einenAbstandshalter (25), welcher die obéré piezoresistive Schicht (20a) von der unteren piezoresistive Schicht trennt.
2. Die piezoresistive Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei mindestens eine der oberen piezoresistiven Schichten (20a) oder der unteren piezoresistiven Schichten (20 b) hergestellt ist aus einer Gruppe von piezoresistiven Materialien bestehend aus Ruß, Graphen oder Kohlenstoff-Nanoröhren in einer Polymermatrix.
3. Piezoresistiver Sensor (10), umfassend: ein Substrat (15) mit einer planeren Oberflâche; eine Vielzahl von piezoresistiven Erfassungelementen (20a-d), die zwischen Kontaktschichten (30a-e) eingefugt sind, wobei eine oder mehrere der Vielzahl von piezoresistiven Erfassungelementen (20a-d) unterschiedliche Eigenschaften aufweisen und auf der ebenen Oberflâche des Substrats angeordnet (15 ) sind.
4. Der Sensor (10) nach Anspruch 3, wobei die Vielzahl von piezoresistiven Erfassungselementen (20a-d) in einem Stapel angeordnet sind (35).
5. Der Sensor (10) nach Anspruch 3 oder 4, wobei die Vielzahl von piezoresistiven Erfassungselementen (30a-3) seitlich über die ebene Fläche (15) angeordnet sind.
6. Der Sensor (10) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei das Substrat (15) ein Polymersubstrat ist.
7. Der Sensor (10) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei die piezoresistive Erfassungselemente (20a-d) aus einer Gruppe von piezoresistiven Elementen ausgewählt ist, die aus Ruß, Graphen oder Kohlenstoff-Nanoröhrchen in einer Polymermatrix besteht.
8. Der Sensor (10) nach einem der Ansprüche 3 bis 7, weiterhin umfassend wenigstens einen Abstandshalter (25), der zwischen zwei der piezoresistive Erfassungelemente (20a-d) zur Bildung eines Luftspaltes (27) angeordnet ist.
LU93175A 2016-08-12 2016-08-12 Sensor LU93175B1 (en)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110053737A1 (en) * 2009-08-31 2011-03-03 Industrial Technology Research Institute Pressure sensor and boxing machine using the same
US20110314923A1 (en) * 2010-06-24 2011-12-29 Industrial Technology Research Institute Pressure sensor with fixed deformable area
FR3019291A1 (fr) * 2014-03-31 2015-10-02 Inst Francais Des Sciences Et Technologies Des Transports De Lamenagement Et Des Reseaux Dispositif d'acquisition, procede de fabrication de celui-ci, procede de mesure de force

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Date Code Title Description
FG Patent granted

Effective date: 20180328