LT7097B - Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis - Google Patents
Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis Download PDFInfo
- Publication number
- LT7097B LT7097B LT2024005A LT2024005A LT7097B LT 7097 B LT7097 B LT 7097B LT 2024005 A LT2024005 A LT 2024005A LT 2024005 A LT2024005 A LT 2024005A LT 7097 B LT7097 B LT 7097B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- plates
- stator
- piezoelectric
- motor
- piezoelectric bimorph
- Prior art date
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Išradimas skirtas sukurti pjezoelektrinį sukamojo judesio variklį, kuris didina sukamojo judesio greitį, sukimo momentą, judesio tikslumą ir išplečia variklio galimybes. Variklis sudarytas iš statoriaus (2), sudaryto iš pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14), sujungtų su cilindro formos vamzdeliu (15). Statoriaus atramos (11) neišardomai pritvirtintos prie įtvirtinimo plokštelių (4), kol frikciniai kontaktai (16) patalpinami ant statoriaus (2) viršutinės ir apatinės plokštumų. Prie frikcinių kontaktų (16) prispausti disko formos rotoriai (5, 6), sujungti ašimi (8). Sukamasis judesys gaunamas žadinant pjezoelektrines bimorfines plokšteles (14) neharmoniniu pjūklo formos signalu taip sukuriant tolygų sukamąjį judesį. Cilindro formos vamzdelio (15) įpjovos (17) užtikrina mažiausią galimą statoriaus (2) standumą, o atramų (11) geometrinės savybės parenkamos taip, kad būtų suderinti pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės (14) ir atramų (11) lenkimo ir sukimo virpesių dažniai. Variklio judesio tikslumui ir galimybėms gerinti, neharmoninis signalas keičiamas į tolygiai kylantį arba besileidžiantį, dėl ko rotoriai (5, 6) ir ašis (8) juda proporcingai pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) poslinkiams.
Description
IŠRADIMO SRITIS
Šis išradimas priskiriamas elektro-mechaninių, mechatroninių sistemų ir robototechnikos sritims. Pjezoelektrinio variklio koncepcija, konstrukcija, sudarymo ir veikimo principai gali būti taikomi kuriant mažo tūrio, aukšto tikslumo sukamojo judesio pavaras skirtas valdyti optinių įrenginius tokių kaip lęšiai, veidrodžiai ar optiniai filtrų kampinę padėtį. Pozicionavimo ar kitos aukšto tikslumo judesio pavaros, sukurtos naudojant šį pjezoelektrinį variklį, taikytinos lazerio spindulio, tiriamo bandinio pozicionavimui ar kitų objektų kampinės pozicijos valdymui, nustatymui ir derinimui nenutrūkstamame cikle.
TECHNIKOS LYGIS
Aukšto tikslumo lazerinių ir kitų optinių sistemų naudojimas įvairiose pramonės, medicinos ar mokslinių tyrimų srityse leidžia pagerinti šių veiklos sričių rezultatus, didinti įrenginių tikslumą, kokybę bei skatina tvarų vystymąsi. Tačiau sparčiai besivystant šioms sritims didėja poreikis ypač tiksliai valdyti ir derinti optinių sistemų, lęšių, veidrodžių, tiriamųjų bandinių ar kitų objektų kampinę poziciją. Siekiant patenkinti šį poreikį, naudojamos pjezoelektrinės pavaros, varikliai ir vykdikliai, kurie gali užtikrinti tinkamą objekto pozicionavimo tikslumą ir jo atkartojimą. Šiuo metu yra žinomi keli techniniai sprendimai ir patentai, kurie siūlo šių techninių problemų sprendimus.
Patente CN109861582A aprašomas inercinis, sukamojo judesio pjezoelekthnis variklis, sudarytas iš stačiakampio pagrindo su cilindrine ertme. Į ertmę, per trinties jėgą, įmontuojama variklio ašis ant kurios sumontuojamas netaisyklingos formos stačiakampis rotorius, kuris paspyruokliuotai prispaustas prie ašies. Prie rotoriaus pritvirtinamos viena arba kelios bimorfinės pjezoelektrinės plokštelės, kurių laisvuose galuose sumontuojami svarsčiai. Žadinant bimorfinės pjezoelektrines plokšteles pjūklo formos signalu, kurio dažnis yra lygus arba artimas plokštelių pirmos lenkimo deformacijų modos dažniui, gaunamas rotoriaus sukamasis judesys. Sukimosi greitis ir momentas padidinamas naudojant rotoriaus asimetriškumą ir svarsčius, kurie užtikrina smūginį - inercinį variklio veikimo principą. Keičiant svarsčių masę, rotoriaus asimetriškumą ar plokštelių skaičių, gali būti kečiamas maksimalus variklio sukimosi greitis ir momentas.
Patente CN203491927U aprašomas inercinis, sukamojo judesio variklis, sudarytas iš keturių bimorfinių pjezoelektrinių plokštelių, pritvirtintų prie variklio statoriaus, o laisvuose plokštelių galuose pritvirtinti svarsčiai. Variklio statorius įtvirtintas prie variklio pagrindo taikant Z formos įtvirtinimo konstrukcijas, o disko formos rotorius patalpinamas ant viršutinės statoriaus dalies. Rotorius, statoriaus atžvilgiu, centruojamas pasitelkiant laiptuotą veleną, kuris per trinties jėgą įtvirtinamas statoriuje, o su rotoriumi sujungiamas per riedėjimo guolį. Sukamasis disko formos rotoriaus judesys gaunamas inerciniu - smūginiu principu žadinant pjezoelektrines bimorfines plokšteles harmoniniu signalu, kurio dažnis yra lygus arba artimas pirmai plokštelių lenkimo deformacijų modai. Inercinis - smūginis variklio veikimo principas gaunamas dėl pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių montavimo vertikalios variklio ašies atžvilgiu t.y. plokštelės montuojamos pasvirusios šios ašies atžvilgiu ko pasėkoje virpesių metu užtikrinamas tangentinis smūgis į statohų, kurio jėgos amplitudė sustiprinama svarsčiais, sumontuotais šių plokštelių laisvuose galuose kol inerciniai virpesiai gaunami dėl nesimetrinio šių plokštelių įtvirtinimo statoriuje. Variklio greitis ir sukimo momentas gali būti reguliuojami keičiant trinties jėgą tarp statoriaus ir rotoriaus, didinant arba mažinant žadinimo signalo amplitudes ir keičiant svarsčių mases.
Patente CN112953297A aprašyta pjezoelektrinio inercinis sukamojo judesio variklio konstrukcija, kurią sudaro dvi aktyvios T formos bimorfines pjezoelektrines plokštelės ir dvi pasyvios T formos plokštelės, pagamintos iš tamprios medžiagos. Pasyvios ir aktyvios plokštelės sujungiamos tarpusavyje taikant jungiamąjį cilindrą paskirstant šias plokšteles tolygiai aplinkui vertikalią šio cilindro ašį sujungiant jas neišardomai su išoriniu cilindro paviršiumi. Prie viršutinių ir apatinių plokštelių galų, neišardomai, sumontuojami svarsčiai taip suformuojant variklio statorių. Statorius patalpinamas ant disko formos rotoriaus, o sukamasis rotoriaus judesys gaunamas žadinant bimorfines pjezoelektrines plokšteles neharmoniniu pjūklo formos signalu, kurio dažnis lygus arba artimas pirmai plokštelių virpesių modai. Žadinant variklį pjūklo formos elektriniu signalu, plokštelės deformuojasi nevienodu greičiu t.y. kai žadinimo įtampos signalas tolygiai didėja, statinė trinties jėga tarp statoriaus ir rotoriaus yra didesnė negu rotoriaus inercijos jėga, todėl rotorius juda kartu su statoriumi kol žadinimo signalas pasiekia savo maksimalią reikšmę. Tuomet signalo reikšmė staigiai krenta iki minimalios reikšmės ko pasėkoje plokštelių deformacijos kryptis ir greitis pasikeičia į priešingą ir plokštelių sukuriama jėga viršija statinę trinties jėgą tarp statoriaus bei rotoriaus ir taip sukuria praslydimą tarp jų. Kartojant aprašytą procesą gaunamas rotoriaus sukamasis judesys. Siekiant padidinti rotoriaus sukimosi greitį ir momentą gali būti didinamas bimorfinių pjezoelektrinių plokštelių skaičius arba žadinimo signalo amplitudė.
IŠRADIMO ESMĖ
Išradimo esmė ir tikslas yra padidinti pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio sukimosi greitį, sukimo momentą, kampinio judesio tikslumą bei išplėsti funkcines galimybes.
Išradimo tikslas pasiekiamas tuo, kad sukamojo judesio pjezoelektrinis varikis sudarytas iš statoriaus, kurį sudaro trys pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės tolygiai išdėstytos aplink tampraus cilindro formos vamzdelio vertikalią ašį, o cilindro formos vamzdelyje suformuojamos trys įpjovos, kurios patalpinamos tarp pjezoelektrinių plokštelių taip suformuojant statorių. Frikciniai kontaktai patalpinami ant viršutinės ir apatinės kiekvienos pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės plokštumų. Du disko formos rotoriai paspyruokliuotai prispaudžiami prie šių kontaktų. Vienas rotorius prispaudžiamas prie kontaktų, esančių bimorfinės plokštelės viršutiniame paviršiuje, kitas rotorius - prie apatinio paviršiaus. Rotorių prispaudimo jėga keičiama nustatant spyruoklės, kuri sumontuota ant viršutinio disko formos rotoriaus, suspaudimą. Statorius tvirtinamas korpuse naudojant cilindrines įtvirtinimo atramas, kurios sumontuojamos bimorfinių plokštelių viršutinėje ir apatinėje plokštumose.
Variklio sukimosi greitis ir sukimo momentas didinami, kai nesimetriniu periodiniu elektriniu signalu, kurio dažnis lygus arba artimas pirmam pjezoelektrinų bimorfinių plokštelių lenkimo virpesių rezonansiniam dažniui, žadinamos plokštelių lenkimo deformacijos, kurių amplitudės didinamos pasitelkiant įpjovas, kurios suformuotos cilindro formos vamzdelyje. Įpjovų geometrinės savybės parenkamos taip, kad užtikrintų mažiausią galimą viso statoriaus standumą. Variklio sukimosi greitis taip pat didinamas, kai frikciniai kontaktai patalpinami ant viršutinių ir apatinių pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių plokštumų taip, kad jų tvirtinimo vietos sutaptų su bimorfinės plokštelės lenkimo virpesių maksimalių poslinkių zona, o statoriaus cilindrinių atramų pozicijos parenkamos taip kad jų vertikalios ašys sutaptų su pirmos pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių virpesių modos mazginėmis zonomis, o jų ilgis ir skersmuo būtų tokie, kad atramų sukimo virpesių pirmosios modos rezonansinis dažnis sutaptų su pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių lenkimo virpesių pirmos modos rezonansiniu dažniu.
Variklio kampinio judesio tikslumas pagerinamas kai žadinimui naudojamas tolygiai kintantis arba nuolatinės srovės elektrinis signalas, kuris sukuria pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių virpesius, kurie per frikcinius kontaktus, perduodami į disko formos rotorius ir taip sukuriamas didelio tikslumo rotoriaus sukamasis judesys.
BRĖŽINIŲ APRAŠYMAS
Brėžinių paveikslai yra pateikti kaip nuoroda į galimą išradimo įgyvendinimą ir neturi riboti išradimo apimties. Nei vienas iš pateiktų brėžinių ir grafikų neturėtų būti laikomi ribojančiais, o tik kaip galimi išradimo įgyvendinimo pavyzdžiai.
Pav. 1 a, b Pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio principinė schema:
(a) - izometrinis pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio vaizdas;
(b) - išskleistinis pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio vaizdas;
Pav. 2 a,b Pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio statoriaus principinė schema:
(a) - izometrinis pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio statoriaus vaizdas;
(b) - išskleistinis pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio statoriaus vaizdas;
Pav. 3 Pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio žadinimo schema;
Pav. 4 Pjezoelektrinio sukamojo judesio variklio virpesių moda.
Brėžiniuose pavaizduotų elementų žymėjimas:
- standumo atrama;
- variklio statorius;
—įtvirtinimo varžtas;
—įtvirtinimo plokštelė;
- apatinis disko formos rotorius;
- viršutinis disko formos rotorius;
- prispaudimo spyruoklė;
- ašis;
- spyruoklės fiksatorius;
- fiksatoriaus įtvirtinimo varžtas;
- statoriaus atramos;
- pjezoelektrinė plokštelė;
- tampri plokštelė;
- pjezoelektrinė bimorfinė plokštelė;
- tamprus cilindro formos vamzdelis;
- frikcinis kontaktas;
- įpjova;
- signalų generatorius;
- pjezoelektrinės plokštelės poliarizacijos kryptis.
DETALUS IŠRADIMO APRAŠYMAS
Čia ir toliau pavaros aprašomos su nuorodomis į brėžinius, tačiau techninis variklio įgyvendinimas nėra ribojamas pateiktais būdais. Galimos įvairios įgyvendinimo būdų modifikacijos ir tobulinimai.
Detalus aprašymas: Pjezoelektrinį sukamojo judesio variklį sudaro variklio statorius (2), sudarytas iš trijų pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14), kurias sudaro pjezoelekthnes plokštelės (12), poliarizuotos storio kryptimi ir neišardomai pritvirtintos ant tamprių plokštelių (13). Pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės (14) sujungiamos tarpusavyje pasitelkiant tamprų cilindro formos vamzdelį (15) užtikrinant vienodą pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) radialinį išdėstymą cilindro formos vamzdelio (15) vertikalios ašies atžvilgiu, o pačiame cilindro formos vamzdelyje formuojamos įpjovos (17). Laisvuose pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) galuose neišardomai patalpinamos statoriaus atramos (11), kurių pozicija parenkama taip, kad sutaptų su pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) pirmos lenkimo virpesių modos mazginėmis zonomis. Ant viršutinės ir apatinės statoriaus (2) plokštumos neišardomai patalpinami frikciniai kontaktai (16), kurių pozicijos parenkamos taip, kad jų vertikalios ašys sutaptų su pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) pirmos lenkimo virpesių modos pūpsniais. Variklio statorius (2) įtvirtinamas naudojant statoriaus atramas (11), kurių laisvi galai neišardomai sujungiami su variklio statoriaus įtvirtinimo plokštelėmis (4). Siekiant padidinti visos konstrukcijos standumą, atramos (1) išardomai įtvirtinamos tarp statoriaus įtvirtinimo plokštelių (4) naudojant įtvirtinimo varžtus (3). Disko formos rotoriai (5, 6) patalpinami ant viršutinių ir apatinių frikcinių kontaktų (16) ir tarpusavyje sujungiami ašimi (8), kuri patalpinama per centrinę variklio statoriaus (2) ertmę taip centruojant disko formos rotorius (5,6) frikcinių kontaktų (16) atžvilgiu. Apatinis disko formos rotorius (5) sujungiamas su ašimi (8) neišardomai, o viršutinis disko formos rotorius (6) su ašimi (8) sujungiamas per trinties jėgą. Prispaudimo spyruoklė (7) patalpinama ant viršutinio disko formos rotoriaus (6), o spyruoklės fiksatorius (9) užmaunamas ant ašies (8) fiksuojant jo vertikalią poziciją fiksatoriaus įtvirtinimo varžtais (10) taip užtikrinant reikiamą prispaudimo jėgą tarp disko formos rotorių (5, 6) ir frikcinių kontaktų (16).
Pjezoelektrinio variklio veikimo aprašymas: Rotorių (5, 6) sukamasis judesys sužadinamas kai iš signalų generatoriaus (18) į pjezoelektrines bimorfines plokšteles (14) paduodamas neharmoninis asimetrinis pjūklo formos elektrinis signalas, kurio dažnis lygus arba artimas pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) pirmos lenkimo virpesių modos rezonansiniam dažniui. Tolygiai didėjant įtampos reikšmei pjezoelektrines bimorfines plokštelės (14) tolygiai deformuojasi ir tuo pačiu sugeneruoja frikcinių kontaktų poslinkį, kurie dėl statinės trinties jėgos tarp frikcinių kontaktų (16) ir disko formos rotorių (5, 6) sukuria kampinį disko formos rotorių (5, 6) ir ašies (8) poslinkį. Įtampai pasiekus maksimalią reikšmę, ji pradeda staigiai mažėti, kol pasiekia minimalią reikšmę ir tuo pačiu pjezoelektrines bimorfines plokštelės (14) deformuojasi priešinga kryptimi, tačiau didesniu greičiu, todėl trinties jėga tarp disko formos rotorių (5, 6) ir frikcinių kontaktų (16) sumažėja ir frikciniai kontaktai (16) praslysta rotorių (5,6) paviršiais ir sukamasis rotorių (5, 6) ir ašies (8) judesys nesukuriamas. Kartojant ankščiau aprašytus veiksmus sukuriamas tolygus rotorių (5,6) ir ašies (8) sukamasis judesys. Priešingos krypties sukamasis judesys gaunamas kai elektrinio neharmoninio pjūklo formos signalo fazė pakeičiama 180 laipsnių. Kai iš signalų generatoriaus (18) į pjezoelektrines bimorfines plokštelės (14) į tolygiai kylantį arba besileidžiantį elektrinį signalą, pjezoelektrines bimorfines plokštelės (14) lenkiasi pjezoelektrinių plokštelių (12) poliarizacijos kryptimi (19). Poslinkių amplitudė yra tiesiogiai proporcinga signalo amplitudei, o sukuriama pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) jėga neviršija statinės trinties jėgos tarp disko formos rotorių (5, 6) ir frikcinių kontaktų (16) to pasėkoje kampinis disko formos rotorių (5, 6) ir ašies (8) poslinkis yra tiesiogiai proporcingas pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) frikcinių kontaktų (16) poslinkiui. Siekiant gauti priešingos krypties disko formos rotorių (5, 6) ir ašies (8) kampinį poslinkį, elektrinio signalo fazė keičiama į priešingą.
Claims (5)
- IŠRADIMO APIBRĖŽTIS1. Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis, apimantis statorių (2) sudarytą iš pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14), sujungtų tarpusavyje cilindro formos vamzdeliu (15), frikcinių kontaktų (16), sumontuotų ant viršutinės ir apatinės statoriaus (2) plokštumos, statoriaus atramų (11) ir disko formos rotorių (5, 6) bei ašies (8) besiskiriantis tuo, kad cilindro formos vamzdelyje (15) suformuojamos įpjovos (17), ojų skaičius vamzdelyje parenkamas taip, kad būtų lygus pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) skaičiui.
- 2. Variklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad įpjovos (17) geometrinės charakteristikos parenkamos taip, kad užtikrintų statoriaus (2) mažiausią galimą struktūrinį standumą, bet neįtakotų tamprių plokštelių (13) storio.
- 3. Variklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad statoriaus atramų (11) ilgis ir storis parenkamas taip, kad jų sukimo virpesių pirmos modos dažnis sutaptų su pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės (14) lenkimo virpesių pirmos modos rezonansiniu dažniu.
- 4. Variklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad statoriaus atramų (11) tvirtinimo vieta ant pjezoelektrinės bimorfinės plokštelės (14) viršutinės ir apatinės plokštumos parenkama taip, kad sutaptų su jos lenkimo virpesių pirmos modos mazgine zona.
- 5. Variklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad frikcinių kontaktų (16) vieta ant pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) parenkama taip, kad sutaptų su pjezoelektrinių bimorfinių plokštelių (14) pirmos lenkimo virpesių modos pūpsniu.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2024005A LT7097B (lt) | 2024-01-29 | 2024-01-29 | Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2024005A LT7097B (lt) | 2024-01-29 | 2024-01-29 | Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2024005A LT2024005A (lt) | 2024-08-12 |
| LT7097B true LT7097B (lt) | 2024-09-25 |
Family
ID=92211369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2024005A LT7097B (lt) | 2024-01-29 | 2024-01-29 | Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT7097B (lt) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203491927U (zh) | 2013-10-16 | 2014-03-19 | 吉林大学 | 一种惯性冲击式低频压电马达 |
| CN109861582A (zh) | 2019-04-03 | 2019-06-07 | 合肥工业大学 | 一种惯性旋转压电马达 |
| CN112953297A (zh) | 2021-02-04 | 2021-06-11 | 广州大学 | 一种旋转惯性压电电机结构 |
-
2024
- 2024-01-29 LT LT2024005A patent/LT7097B/lt unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203491927U (zh) | 2013-10-16 | 2014-03-19 | 吉林大学 | 一种惯性冲击式低频压电马达 |
| CN109861582A (zh) | 2019-04-03 | 2019-06-07 | 合肥工业大学 | 一种惯性旋转压电马达 |
| CN112953297A (zh) | 2021-02-04 | 2021-06-11 | 广州大学 | 一种旋转惯性压电电机结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT2024005A (lt) | 2024-08-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5063321A (en) | Torsional vibration drive | |
| KR100878078B1 (ko) | 원자력현미경 및 원자력현미경의 작동방법 | |
| JP4860862B2 (ja) | 縦波およびたわみ波によって励振される圧電駆動装置 | |
| TWI525411B (zh) | 加速一裝置之系統及方法 | |
| US3171696A (en) | Apparatus for reducing friction | |
| CN101086555A (zh) | 振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械 | |
| US6262514B1 (en) | Bearings and supports | |
| US3123728A (en) | Vibratory apparatus with variable frequency and amplitude | |
| JPS6096183A (ja) | 振動波モータ | |
| US20200191571A1 (en) | Vibration gyroscope | |
| LT7097B (lt) | Pjezoelektrinis sukamojo judesio variklis | |
| KR20060010787A (ko) | 마이크로메카니컬 운동 센서 | |
| EP3910401B1 (en) | Optical beam intensity control system with piezoelectric actuator | |
| US7259496B2 (en) | Tunable vibratory actuator | |
| JPH11183178A (ja) | マイクロ振動体 | |
| LT7061B (lt) | Didelės galios pjezoelektrinis variklis su valdymo sistema | |
| JPS62259485A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| US4593956A (en) | Long tube bender element squeeze bearing | |
| JPH11311585A (ja) | 可変式衝撃試験装置 | |
| LT7053B (lt) | Tiesiaeigis slenkamojo judesio pjezoelektrinis variklis | |
| LT7104B (lt) | Inercinė keturių laisvės laipsnių pjezoelektrinė pavara | |
| JP4655324B2 (ja) | 振動モータ、位置決め装置および振動モータの制御方法 | |
| JP2009020219A (ja) | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 | |
| JPH03200045A (ja) | 繰返し疲労試験装置 | |
| JPH091066A (ja) | 超音波アクチュエータ用振動子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB1A | Patent application published |
Effective date: 20240812 |
|
| FG9A | Patent granted |
Effective date: 20240925 |