LT5947B - Precizinis pozicionavimo įrenginys - Google Patents
Precizinis pozicionavimo įrenginys Download PDFInfo
- Publication number
- LT5947B LT5947B LT2011071A LT2011071A LT5947B LT 5947 B LT5947 B LT 5947B LT 2011071 A LT2011071 A LT 2011071A LT 2011071 A LT2011071 A LT 2011071A LT 5947 B LT5947 B LT 5947B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- optical element
- housing
- positioning device
- positioning
- piezo
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
Precizinis pozicionavimo įrenginys, priskiriamas prietaisų sričiai, konkrečiai aukštos skyros pozicionavimo ir matavimo sistemoms tame tarpe optinių elementų pozicionavimo įrenginiams. Susidedantis iš korpuso, jame įtvirtintos tiesialinijinio judesio pjezopavaros ir judamo optinio elemento laikiklio su optiniu elementu. Patildomai įvesti du pjezovykdikliai, standžiai įtvirtinti korpuse, o optinio elemento laikiklis yra disko formos rastrinė skalė, kuris sumontuotas korpuso horizontalioje plokštumoje tarp pjezovykdiklių ir pjezopavaros.
Description
Išradimas yra priskiriamas prietaisų sričiai, konkrečiai aukštos skyros pozicionavimo ir matavimo sistemoms tame tarpe optinių elementų pozicionavimo įrenginiams.
Yra žinomas pozicionavimo ir kontrolės įrenginys, kuris gali būti panaudojamas ir optinių elementų pozicionavimui, kurį sudaro korpusas su kreipiančiosiomis, kuriose judamai įtvirtinta pastūma su tiesialinijinio judesio pavara. Ant horizontaliosios pastūmos plokštumos yra pritvirtinta sukamojo judesio pavara su optiniu elementu (žiūr.JAV patentas Nr.7034489 B2, GI 1B 5/455, 2006.04.25).
Nurodytame įrenginyje pozicionavimas atliekamas dviejų pavarų pagalba kurių sinchronišką veikimą užtikrina valdymo blokas. Kadangi tiesialinijinė pavara juda kreipiančiosiose, todėl visos sistemos pozicionavimo tikslumas priklauso nuo kontaktinių paviršių pagaminimo kokybės ir sąlygoja pozicionavimo tikslumą.
Yra žinomas optinių elementų pozicionavimo įrenginys, susidedantis iš korpuso, jame įtvirtintos tiesialinijinio judesio pjezopavaros, kurios pjezoelementas su elektrodais šonuose įtvirtintas tarp slopintuvų, iš kitos pusės vienas jo šonas standžiai įremtas į trinčiai atsparų elementą, kitas - įremtas į spyruokles, o pjezoelemento elektrodai, iš kurių vienas padalinta išilgai ir skersai į porinį skaičių simetrinių dalių, kurios poromis skersai sujungtos tarp savęs, prijungti prie elektroninio sužadinimo-valdymo bloko ir nejudamo pagrindo ant kurio vienoje ašyje įtvirtintas judamas optinio elemento laikiklis, su ant vienos iš plokštumų, standžiai pritvirtintu segmentu, besiremiančiu į trinčiai atsparų elementą ir kurio kreivalinijinis kontaktinis paviršius yra apskritimo dalis, kurio spindulio centras yra nejudamo pagrindo ir judamo optinio elementų laikiklio ašies centras.
Nurodytame prototipe pozicionavimas atliekamas pjezopavaros pagalba, kurioje naudojamas pjezoelementas su elektroniniu sužadinimo-valdymo bloku . Dėl judamo
Z optinio elemento laikiklio bazavimo ant nejudamo korpuso paklaidos (guolio centravimas), negalima pasiekti reikiamo pozicionavimo tikslumo.
Tikslas - pozicionavimo tikslumo padidinimas.
Išradimo tikslas pasiekiamas tuo, kad optinių elementų pozicionavimo įrenginys, susidedantis iš korpuso, jame įtvirtintos tiesialinijinio judesio pjezopavaros, kurios pjezoelementas su elektrodais šonuose įtvirtintas tarp slopintuvų, iš kitos pusės vienas jo šonas standžiai įremtas į trinčiai atsparų elementą, kitas - įremtas į spyruokles, o pjezoelemento elektrodai, iš kurių vienas padalinta išilgai ir skersai į porinį skaičių simetrinių dalių, kurios poromis skersai sujungtos tarp savęs, prijungti prie elektroninio sužadinimo-valdymo bloko ir nejudamo pagrindo ant kurio vienoje ašyje įtvirtintas judamas optinio elemento laikiklis, su ant vienos iš plokštumų, standžiai pritvirtintu segmentu, besiremiančiu į trinčiai atsparų elementą ir kurio kreivalinijinis kontaktinis paviršius yra apskritimo dalis, kurio spindulio centras yra nejudamo pagrindo ir judamo optinio elementų laikiklio ašies centras, į įrenginį įvesta judančioji grandis optinis elementas (apvali rastrinė skalė) fiksuojama erdvėje trimis pjezoelektriniais vykdikliais, kurie kontaktuodami su optiniu elementu atlieka bazavimo funkciją.
Išradimas paaiškinamas brėžiniu.
Įrenginį sudaro nejudamas pagrindas 1 ant kurio vienoje plokštumoje tvirtinamas optinio elemento laikikilis (apvali rastrinė skalė) 2 ir trys pjezoelektriniai vykdikliai, kurių vienas yra sukamojo judesio pjezopavara 3 su prispaudimo spyruokle 5 o kiti du tiesialinijinio judesio pjezopavaros 4. Pjezoelektriniai vykdikliai prijungti prie elektroninio sužadinimo-valdymo bloko (brėž. nepavaizduotas) kontaktuoja su optinio elemento laikikliu 2 trijuose taškuose per trinčiai atsparias kaladėles 6 ir atlieka jo bazavimo funkciją. Tiesialinijinio judesio pjezopavaros 4 optinio elemento laikiklio 2 centro atžvilgiu išdėstytos taip, kad tarp jų yra 90° laipsnių kampas, o tarp sukamojo judesio pjezopavaros 3 abiejų pusių ir tiesialinijinio judesio pjezopavarų yra 135° laipsnių kampas.
Optinių elementų pozicionavimas atliekamas taip.
Iš elektroninio sužadinimo-valdymo bloko (brėž. nepavaizduotas) paduodamas elektrinis signalas į sukamojo judesio pjezopavarą 3 sužadina joje deformacijas kurios per trinčiai atsparų elementą 6 perduodamos į optinio elemento laikiklio 2 apskritiminį
S paviršių. Kontaktinėje zonoje, dėka mechaninių deformacijų, vyksta optinio elemento laikiklio 2 pasisukimas kurio kryptis priklauso nuo sužadinimo-valdymo bloko paduodamo signalo. Linijinius optinio elemento laikiklio judesius x,y plokštumoje suteikia tiesialinijinio judesio pjezopavaros 4 kuriose kryptingas deformacijas viena ir kita kryptimis sužadina signalas iš sužadinimo-valdymo bloko.. Tokiu būdu, optinio elemento laikiklis 2 plokštumoje gali būti pozicionuojamas su labai aukšta nanometrų skyra.
Palyginus su prototipu, nauja konstruktyvinių elementų visuma, dėka to, kad optinio elemento laikiklis kontaktuoja su trimis pjezoelektriniais vykdikliais vienoje plokštumoje kurie trijuose taškuose atlieka bazavimo funkciją, kas leidžia atsisakyti ašinės guolinės atramos. Tai panaikina laisvumą ir tuo pačiu užtikrina pozicionavimo tikslumą.
Claims (3)
- Išradimo apibrėžtis1. Precizinis pozicionavimo įrenginys, susidedantis iš korpuso, jame įtvirtintos tiesialinijinio judesio pjezopavaros ir judamo optinio elemento laikiklio su optiniu elementu,,besiskiriantis tuo, kad papildomai įvesti du pjezovykdikliai, standžiai įtvirtinti korpuse , o optinio elemento laikiklis yra disko formos rastrinė skalė, kuris sumontuotas korpuso horizontalioje plokštumoje tarp pjezovykdiklių ir pjezopavaros
- 2. Precizinis pozicionavimo įrenginys pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad pjezovykdikliai optinio elemento laikiklio centro atžvilgiu išdėstyti 90° kampu.
- 3. Precizinis pozicionavimo įrenginys pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad iš abiejų pusių pjezopavaros ir pjezovykdiklių yra 135° kampas
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2011071A LT5947B (lt) | 2011-08-08 | 2011-08-08 | Precizinis pozicionavimo įrenginys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2011071A LT5947B (lt) | 2011-08-08 | 2011-08-08 | Precizinis pozicionavimo įrenginys |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2011071A LT2011071A (lt) | 2013-02-25 |
| LT5947B true LT5947B (lt) | 2013-06-25 |
Family
ID=47720187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2011071A LT5947B (lt) | 2011-08-08 | 2011-08-08 | Precizinis pozicionavimo įrenginys |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT5947B (lt) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7034489B2 (en) | 2003-08-14 | 2006-04-25 | Agilent Technologies, Inc. | Positioning apparatus and controlling apparatus |
-
2011
- 2011-08-08 LT LT2011071A patent/LT5947B/lt not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7034489B2 (en) | 2003-08-14 | 2006-04-25 | Agilent Technologies, Inc. | Positioning apparatus and controlling apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT2011071A (lt) | 2013-02-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5422126B2 (ja) | 移動装置 | |
| RU2587153C1 (ru) | Устройство привода вибрационного типа, устройство двухмерного привода, устройство коррекции размытости изображения, сменный объектив, устройство захвата изображения и автоматический предметный столик | |
| ES2886439T3 (es) | Excitador de vibraciones con compensación de carga | |
| KR20160140934A (ko) | 컴팩트한 일련의 리니어 액추에이터들을 위한 방법 및 장치 | |
| JP6488073B2 (ja) | ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 | |
| JP7073350B2 (ja) | 形状記憶要素を有するアクチュエータ | |
| US8890390B2 (en) | Vibration-wave driving device, two-dimensional driving apparatus, and image-shake correcting apparatus | |
| CN106569371B (zh) | 平移驱动装置和使用该平移驱动装置的电子装置 | |
| JP2009300231A (ja) | バッテリーセルの検査装置 | |
| JP2010050114A5 (lt) | ||
| JP5791301B2 (ja) | 像振れ補正装置および光学機器 | |
| LT5947B (lt) | Precizinis pozicionavimo įrenginys | |
| US8957567B2 (en) | Mechanical design of deformation compensated flexural pivots structured for linear nanopositioning stages | |
| JPWO2017183304A1 (ja) | 静電気分布計測装置 | |
| KR101691402B1 (ko) | 두께측정장치 | |
| RU2603353C1 (ru) | Усиливающий пьезоэлектрический актюатор | |
| JP6865963B2 (ja) | プローブユニット及びプリント配線板検査装置 | |
| JP6101603B2 (ja) | ステージ装置および荷電粒子線装置 | |
| CN204757933U (zh) | 一种位移传感器 | |
| JP2014059035A (ja) | 移動機構および高さ測定器 | |
| LT5721B (lt) | Trijų laivės laipsnių pozicionavimo įrenginys | |
| JP7254997B2 (ja) | 測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 | |
| KR102746644B1 (ko) | 포고핀의 정렬 장치 | |
| US9837245B2 (en) | Micro stage for particle beam column using piezo elements as actuator | |
| LT6129B (lt) | Aukštos skyros pjezoelektrinis kampinio pozicionavimo įrenginys |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB1A | Patent application published |
Effective date: 20130225 |
|
| FG9A | Patent granted |
Effective date: 20130625 |
|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20140808 |