KR987001079A - 회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device) - Google Patents

회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device)

Info

Publication number
KR987001079A
KR987001079A KR1019970704521A KR19970704521A KR987001079A KR 987001079 A KR987001079 A KR 987001079A KR 1019970704521 A KR1019970704521 A KR 1019970704521A KR 19970704521 A KR19970704521 A KR 19970704521A KR 987001079 A KR987001079 A KR 987001079A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
loop
angular velocity
rotational angular
sensor
offset
Prior art date
Application number
KR1019970704521A
Other languages
English (en)
Inventor
게오르그 파프
라이너 에르하르트
요하네스 아르츠너
볼프랑 바우어
Original Assignee
랄프 홀거 베렌스 ; 게오르그 뮐러
로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Publication of KR987001079A publication Critical patent/KR987001079A/ko
Application filed by 랄프 홀거 베렌스 ; 게오르그 뮐러, 로베르트 보쉬 게엠베하 filed Critical 랄프 홀거 베렌스 ; 게오르그 뮐러

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
    • G01C25/005—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

공명 진동 쟈이로의 방식으로 작동하여 진폭 조정된 발진기 루프를 사용해서 여기되는 회전 각속도 센서가 기재되어 있다. 이 센서는 예를들자면 차량의 요잉 속도를 검출하는 데에 사용된다. 그때 실제의 요잉 속도의 척도인 코리올리 가속도의 효과가 평가된다. 센서와 소속 전자 회로의 기능 능력의 검사 때문에 통합된 자기 테스트 함수가 사용되고 그에 의하면 테스트 입력쪽의 조작에 의한 말하자면 BITE 함수로서 소정의 저해량이 도입된다. 이 소정의 저해량은 평가가 가능한 출력 전압으로 공급되고 이 출력 전압의 발생이 오차 검출을 위해 평가된다.

Description

[발명의 명칭]
회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device)
그와 같은 회전 각속도 센서는 예를들면 미국 특허 제 4,759,220호 명세서에 기재되어 있다. 이 간행물에서는 그와 같은 센서와 소속의 평가 장치의 전형적인 구성에 대해서 상세히 설명이 되어 있다. 이 센서는 실질적으로 탄성 재료제 박벽 중공실린더이다. 이 실린더 벽에는 복수의 피에조 전기 센서 소자가 설치되어 있고 그때 각 센서 소자의 각각 2 개는 서로 마주해서 설치되어 있다. 이 각 센서 소자는 발진기 루프를 써서 일정한 기계적인 구동 속도로 변환된다. 코리올리 효과에 의해 구동 진동에 대해서 수직으로 결합된 회전속도와 함께 코리올리 가속도가 생기고 이 코리올리 가속도에 의해 구동 진동이 코리올리 방향으로 편이한다. 이 편이는 발생하는 회전 각속도의 척도이다. 형성 출력 전압은 검출기회로를 써서 검출되고 최종적으로 회전 각속도 측정에 사용된다.
미국 특허 제 4,759,220호 명세서에서 공지의 센서는 소속의 평가 장치를 포함해서 오차함수를 즉석에서 검출할 수 없는 결점을 갖고 있다. 그와 같은 센서는 안전상 중요한 계와 관련해서 차랑내에서 사용되는 경우 기계 능력을 검사할 필요가 있다.
본 발명은 특허청구의 범위 제 1 항 상위 개념 기재의 회전 각속도 검출 장치에 관한 것이다.
예를들면, 진동 쟈이로스코프 방식으로 작동하는 회전 각속도 센서를 사용하는 것은 자동차에서의주행 다이내믹 조정계와의 관련에서 공지이다. 그와같은 센서는 차량의 실제의 요잉 속도의 척도로서 사용하는 코리올리 가속도의 작용을 평가한다.
도 1 은 예를 들면 미국 특허 제 4759220호 명세서에서 공지된, 평가 회로 전체의 센서장치, 도 2 는 센서와 평가 회로자체의 기능 능력을 검사할 수가 있는 본 발명의 평가 회로의 실시예를 도시.
본 발명의 회전 각속도 검사 장치는 공지 수단에 비해서 센서의 호차함수를 높은 신뢰도로 검출할 수가 있는 이점을 갖고 있다. 그때 특히 유리하게는 약간의 부가 비용밖에 필요치 아니하고 비교적 확실한 센서 감시의 결과로서 여분의 센서의 비용을 확실하게 절감할 수가 있다.
이 이점은 평가 회로의 보상 루프내에 옵셋트 신호가 정확한 위상으로 결합되고 그에 따라 보상 루프가 조정편이 되도록 해서 달성된다. 그때 센서 내지 평가 회로의 출력쪽에는 회전 각속도와 옵셋트가 중첩해서 표시되고 그에 따라 기능 능력을 직접 검출할 수가 있다.
본 발명의 다른 이점은 각 종속 청구항에서든 각 수단에 따라 달성된다. 그때 특히 유리하게는 옵셋트는 키 입력의 조작을 거쳐서 가해지고 그와 같이 하므로써 편이가 검지된 경우 센서가 이것을 테스트 할 수가 있다. 그때 포괄적으로 테스트 할 수가 있다. 이와 같이 말하는 것은 테스트 함수는 루프 장치에 의해 평가 전자 회로의 오차 함수도 센서 소자 자체의 오차함수도 테스트하기 때문이다. BITE 함수의 고정하여 조정된 회전 각속도에 상응하는 방해량을 결합하는 것은 센서 출력측이 감도 평형 상태의 방해량에 의거해서 비의존적인 이점을 갖고 있다.
도 1 에는 센서(10)가 도시되어 있다. 센서(1)의 중공 실린더(11)에는 개별 측정 소자 A, A', B,B',C,C',D,D'를 갖추고 있다. 파선에 의해 변형상태가 도시되어 있고 이 변형 상태는 진동에 기인해서 생기는 일이 있다.
각 측정 소자 A, B, C, D는 전자 회로의 각 블록(12,13,14)과 접속되어 있고, 그 때, 도면부호 12에서는 발진기루프(드라이버 회로)가 도시되어 있고, 이 발진기 루프는 적절한 센서 소자를 기계적으로 일정하게 구동 진동 할 수가 있다. 도면부호 13에서는 감쇠 회로가 도시되어 있고, 도면부호 14에서는 검출기 회로가 도시되어 있고, 검출기 회로의 출력쪽에는 측정 신호 UM가 송출되고 이 측정 신호는 필터(15)에서 다시 적절한 방법으로 여자되고 그 결과 본래의 출력 신호 Uout가 얻어진다.
도 1 에 도시된 진동 쟈이로스코프의 원리에 의해 작동하는 회전 각속도 센서의 전자 회로부틀 포함하는 센서 장치를 써서 차량의 요잉 속도 내지 요잉 각속도를 검출할 수가 있다. 그때 코리올리 효과가 작동 진동에 대해서 수직으로 결합된 회전속도와 함께 코리올리 가속도가 생기고 이 코리올리 가속도에 의해 구동 진동이 코리올리 방향으로 편향된다. 이 편향은 결국 결합된 회전 각속도의 척도이고 측정될 것이다.
도 2 에는 본 발명의 해결수단의 평가 장치가 도시되어 있다. 이 수단에서는 센서와 소속 전자회로가 서로 접속되어 있다. 본질적으로는 도시하는 장치는 4 개의 블록을 갖추고 있다. 제 1 의 블록은 소위 BITE 블록이고 발진기 루프는 도면부호 17로 표시되어 있고 감쇠루프는 18로 표시되어 있고 출력만은 도면부호 19로 표시되어 있다.
도 2 에 포함되어 있는 블록(16~19)은 별도의 블록으로 세분된다. 개별 블록 간의 상호 작용은 상응하는 접속선에 의해, 경우에 따라서는 상응하는 화살표에 의한 작용 방향을 기재하므로서 도시되고 있다. BITE 블록(16)은 증폭도가 가변의 증폭기(20)를 갖추고 있고, 이 증폭기에는 BITE 함수가 발생된다. 이 함수는 표현 kBITE/Vs 에 의해 표시되어 있다. 이 함수는 BITE 스위치(21)를 거쳐서 BITE 장해량 UBITE로서 테스트 BITE 테스트 개시때 점(22)으로 전송된다.
이점(22)은 감쇠루프(18)의 각 블록(23,24)과 접속되어 있다. 블록(23)은 (실린더와 각 측정 소자, 즉 예를들면 각 피에조 소자와의)기계적 접속부를 표시하고 있다. 센서 소자의 전달 함수는 kZ로 표시되어 있다.
블록(24)은 AFC 로 일정 증폭도를 갖춘 위상 제어부를 갖추는 전자적 감쇠 루프를 표시한다. 전자적 감쇠 루프의 소속 전달 함수는 Ke,D로 표시되어 있다. 점(22)에서는 전기적인 제로점 조정이 행해진다. 점(22)에 생기는 전압은 Us,D로 표시되어 있다.
발진기 루프(17)에 의해 2 개의 블록(25,26)이 표시되어 있고 이 각 블록은 서로 교대로 작용한다. 블록(25)은 실린더와 각 피에조 소자 사이의 기계적인 결합부를 표시한다. 센서 소자의 전달함수는 kz로 표시되어 있다. 전압은 US,O로 표시되어 있다. 이것은 발진기 루프의 감지 전압이고 계의 여기 전압이고 곧 드라이버 전압은 UF,O로 표시되어 있고, 이 전압은 포스 또는 드라이버 전압이라고도 칭한다. 블록(26)은 위상 조정기 (AFC)와 진촉 조정기(AGC)를 갖춘 전자적 여기루프를 표시한다. 발진기 루프의 소속의 전달함수는 ke,o로 표시되어 있다.
각 블록(25, 26) 사이의 접속점에는 작동 전압 내지 포스 또는 드라이버 전압 UF,O이 부가되어 있고, 이 전압은 위상이 정확한 정류 내지 동기 복조 및 출력단(19)이 일정 증폭용의 블록(27)에 공급된다. 블록(27)에는 다시 감쇠 루프(18)에서 전압 UF,D이 공급되어있다. 블록(27)의 전달함수는 kBM, kO로 표시되어 있다. 블록(27)의 출력쪽은 점 28에 접속되어 있고 이 점 (28)에서 옵셋트 조정이 행해진다. 점 28 에는 증폭도가 가변인 증폭기(29)가 접속되어 있다. 이 증폭기의 증폭도는 VS로 표시되어 있다. 증폭기(29)의 출력쪽에는 회전 각 속도 출력신호 Urate를 끌어낼 수가 있고 이 신호는 실제로 생기는 회전 각 속도의 척도이다.
기계적인 제로점 조정은 점 30에서 행해진다. 이 제로 점 조정을 위해서는 전압 Ucor 이 코리올리 효과의 전기적 등가로서 공급된다.
도 2 에 블록 접속도로서 도시되어 있는 장치를 써서 회전 각속도 센서가 평가되고, 그와 동시에 센서와 평가 회로 자체의 정상인 기능 능력의 검사를 할 수가 있다. 진폭 조정된 발전기 루푸에 의해 중공 실린더에 설치되어 있는 적절한 센서 소자를 기계적으로 일정 구동 진동시키고 그리고 나서 코리올리 효과에 의해 구동 진동에 대해서 수직으로 결합된 회전 진동과 함께 코리올리 가속도를 일으킬 수가 있고 그에 따라 구동 진동을 코리올리 방향으로 편향할 수가 있다. 각 측정 소자로서 사용되는 각 피에조 소자가 설치되어 있는 중공 실린더의이 각 효과에 의해 부가적으로 진동된다. 중공 실린더는 도 1 에 파선으로 표시되어 있는 각 경계간의 발진기에 의한 여기 때문에 진동된다.
기술한 바와 같이 결합된 회전 각속도의 척오인 편향의 평가 때문에 보상 루프(예를들면, 서보루프)가 사용되는 경우 그 결과 얻어지는 각 조정량은 측정해야 할 회전 각속도의 척도이다. 이 보상 루프가 위상이 정확하게 결합된 옵셋트 신호를 써서 조정이 어긋난 경우, 센서의 출력쪽에는 회전 각속도와 옵셋트의 중첩이 표시된다. 이 옵셋트는 BITE 블록에서 발생된다. 옵셋트의 부가는 예를들면 BITE 스위치(21)의 작동을 거쳐 행해지고 그리고 센서는 조정편이량이 검지된 경우 테스트 할 수가 있다. 테스트 함수는 루프 장치에 의해 평가 전자 회로에도 센서 소자에도 해당하므로 양자 공히 오차 함수에 대해서 테스트 할 수가 있다.
센서의 출력쪽에 형성되는 전압 Urate의 능동적인 BITE 함수에서의 도출은 진동 쟈이로스코프에 대해서 진동 조정된 발진기 루프(그때 센서 소자는 기게적으로 일정 구동 진동되고 있음)와의 이하의 중첩을 써서 행해진다. 이 구동 진동은 VO을 갖추고 있고 이 진동은 발진기 루프 UF, 0의 구동전압에 비례하고 있다.
발진기 루프에 대해서는 아래식이 성립한다 :
진폭 조정된 구동 진동 상태이고 소정의 실제 속도를 갖추고 있는 질량요소는 각속도 Ω에 의해서 코리올리 방향으로 편향하고, 힘 Fc=2mvo X Ω이 생긴다. 코리올리력에 반작용을 하는 (주 제어)보상력 내지 보상전압(조정량 U)은 생긴 회전각속도의 척도이다. 코리올리 전압 US,D및 역기전압 UF,D의 형성의 검출은 보상 루프(감쇠 루프)내에서 행해진다.
양 루프는 센서 소자를 거쳐서 결합되고 기술한 경우에는 공명작동한다(즉, 발진기 및 감쇠 루프용의 전달 함수 kZ는 같다.)
감쇠루프에 대해서는 다음식이 성립한다 :
감쇠 루프의 주 제어는 같은 형식으로 결합된 장해 신호 BITE(built in test, 상응하는 주파수, 위상 위치 상태)에 대해서도 가능하다. 따라서, 장해량 UBITE의 결합에 의해 회전 각속도를 시뮬레이트 할 수가 있다.
결합은 발진기 루프에서 행해지고 그에 따라 부가적으로 발진기 테스트의 이점이 얻어진다.
장해 신호는 밴드 끝에 필요한 완전 센서의 감도 보정에 의존하지 아니하고, 고정 조정된 회전 각속도에 상응해야 한다. 이것은 상반적인 증폭도를 갖춘 2 개의 증폭단(1 개는 BITE/감쇠단이고, 1 개는 출력단이다)에 의해 실시된다. 이 결과 센서 출력쪽은 장해량 Urate(BITE)에 의거해서 감도 조정 vs에 의존하지 아니한다.
센서 Urate 의 출력쪽은 능동적인 BITE 의 경우 공급된 장해량에 의거해서 실제의 회전 각속도 Ω와 시뮬레이트된 회전 각속도와의 화(중첩)를 표시한다.
장해량의 능동화는 테스트 입력쪽의 조작에 의해 행해지고 그에따라 센서는 조정 편이량(Urate(BITE))이 검지된 경우 테스트가 가능하다. 이 테스트에 의해 완전한 작동, 감쇠, 출력 전자 회로도, 센서 소자도 그것의 각 단자에서 오차 함수를 검사할 수가 있다.
약어의 요약 :
kZ= : 센서 소자의 전달 함수
ke, XX = : 전자 회로의 전달 함수
US, XX = : 인출 전압
UF, XX = : 구동 전압
XX = 0 = : 발진기 루프(여기)
XX = D = : 감쇠 루프(보상)
v0= : 구동 방향에서의 질량 요소의 속도
Ω= : 회전 각속도
Ucor = : 코리올리 효과의 전기적 등가치
kC= : 코리올리 정수
UBITE = BITE 장해량
kBITE= : BITE 스케일링 팩터
kBM= : 평형 조정된 변조기 증폭도
k0= : 출력단의 일정 증폭도
Vs= : 출력단의 가변 증폭도(밴드단에서의 감도조정)
Uoff= : 제로 회전각 속도의 보상 전압
Urate= : 회전 각속도 출력전압

Claims (8)

  1. 센서와 피제어 발진기 루프와 감쇠단과 출력단을 구비하고 있으며, 상기 센서는 진동성 기체 위에 설치된 복수센서 소자를 갖추고 있고, 상기 피제어 발전기 루프는 각 센서 소장중 1 개 이상을 일정하게 진동시켜, 그에 따라 진동성 기체도 여기되고, 상기 감쇠단은 1 개 이상의 센서 소자와 접속되어 있고, 상기 출력단은 1 개 이상의 다른 센서 소자와 접속되어 있어서 검출해야 할 회전 각속도의 척도인 출력 전압을 송출하는 회전 각속도의 검출 장치에 있어서, 오차함수의 검출용 수단을 부가 접속할 수 있도록 구성되어 있고, 상기 검출용 수단은 옵셋트 신호의 발생에 따라 장치의 소정의 조정 편이를 개시해서 출력 전압에 공급하고, 입출력 전압은 회전 각속도와 옵셋트와의 중첩으로서 오차 검출을 위해 평가되는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 진동 기체는 원통형상이고, 한편의 측면이 자유 진동하고 다른편 측면이 고정되어 부착되고, 각 센서 소자는 1 트랙에서 균등하게 원통형상 표면 위에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 옵셋트 신호의 발생용 수단은 센서 전자 회로에 통합되어 있어, BITE 블록(16)을 갖추고 있고, 이 BITE 블록은 증폭도가 가변인 증폭기(20)와 스위치(21)를 갖추고 있고, 이 스위치를 거쳐서 옵셋트 신호를 전송할 수가 있는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, BITE 블록(16)의 증폭기(20)의 입력쪽은 발진기 루프(17)와 접속되어 있고, 상기 접속 부분을 거쳐서 발진기 루프의 입력쪽에 부가된 전압(US,0)이 공급되고, BITE 블록(16)은 감쇠 루프단(18)과 접속되어 있고, 이 접속부분을 거쳐서 옵셋트 전압(UBITE)이 감쇠루프(18)에 공급되는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  5. 제 1 항에 내지 제 4 항 중의 어느 한 항에 있어서, 전자적 제로점 조정, 기계적 제로점 조정 또는 옵셋트 조정을 실행할 수가 있는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 있어서, 발진기 루프(17)는 위상 조정기와 진폭 조정기를 구비한 여기루프(26)를 갖추고 있는 것을 특징으로하는 회전 각속도 검출 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6 항중의 어느 한 항에 있어서, 감쇠루프(18)는 위상 조정기 (AFC) 및 일정 증폭도로서 형성되는 위상 제어부를 갖추고 있는 저자적 감쇠루프인 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서, 출력단(19)의 입력쪽에는 위상 정류기 및 일정 증폭도를 갖춘 블록(27)이 설치되어 있고 이 블록은 발진기 루프(17) 및 감쇠루프(18)와 접속되어 있고, 그 때 이 접속부분을 거쳐서 전압(UF,0) 및 (UF,D)이 공급되고, 상기 블록(27)은 옵셋트 조정용의 점(28)을 거쳐서 증폭도가 가변의 증폭기(28)와 접속도어 있고, 이 접속부를 거쳐서 감도 조정부와 접속되어 있고, 상기 감도 조정부를 거쳐서 감도 조정을 할 수가 있고, 상기 감도 조정부의 출력쪽에서 평가해야 하는 전압(Urate)을 끌어낼 수가 있는 것을 특징으로 하는 회전 각속도 검출 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970704521A 1994-12-29 1998-12-15 회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device) KR987001079A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4447005A DE4447005A1 (de) 1994-12-29 1994-12-29 Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DEP4447005.3 1994-12-29
PCT/DE1995/001796 WO1996021138A1 (de) 1994-12-29 1995-12-15 Vorrichtung zur ermittlung einer drehrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR987001079A true KR987001079A (ko) 1998-04-30

Family

ID=6537360

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970704521A KR987001079A (ko) 1994-12-29 1998-12-15 회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device)

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5889193A (ko)
EP (1) EP0800642B1 (ko)
JP (1) JPH10512049A (ko)
KR (1) KR987001079A (ko)
CN (1) CN1079943C (ko)
AT (1) ATE215688T1 (ko)
BR (1) BR9510246A (ko)
DE (2) DE4447005A1 (ko)
PL (1) PL178921B1 (ko)
WO (1) WO1996021138A1 (ko)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19637355A1 (de) * 1996-09-13 1998-03-19 Teves Gmbh Alfred Durch Funksignale betätigter Gierratensensor für Kraftfahrzeuge
JP3603501B2 (ja) * 1996-09-25 2004-12-22 株式会社村田製作所 角速度検出装置
DE19653020A1 (de) 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE19710359B4 (de) * 1997-03-13 2006-05-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Ermittlung einer Bewegungsgröße mit automatischer Schalenfaktornachführung
DE19710837C1 (de) 1997-03-15 1998-06-18 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung und Verfahren zur Achsvermessung
DE19739903A1 (de) 1997-09-11 1999-04-01 Bosch Gmbh Robert Sensorvorrichtung
DE19835578A1 (de) 1998-08-06 2000-02-10 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
DE19845185B4 (de) * 1998-10-01 2005-05-04 Eads Deutschland Gmbh Sensor mit Resonanzstruktur sowie Vorrichtung und Verfahren zum Selbsttest eines derartigen Sensors
DE19910415B4 (de) * 1999-03-10 2010-12-09 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Abstimmen eines ersten Oszillators mit einem zweiten Oszillator
US6516651B1 (en) * 1999-07-22 2003-02-11 Analog Devices, Inc. Coriolis effect transducer
US6510737B1 (en) * 2000-09-15 2003-01-28 Bei Technologies, Inc. Inertial rate sensor and method with improved tuning fork drive
US6497146B1 (en) * 2000-09-15 2002-12-24 Bei Technologies, Inc. Inertial rate sensor and method with built-in testing
DE10059775C2 (de) * 2000-12-01 2003-11-27 Hahn Schickard Ges Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von analogen Ausgangssignalen von kapazitiven Sensoren
JP4686909B2 (ja) * 2001-06-07 2011-05-25 株式会社アドヴィックス センサの異常検出方法
DE10131760B4 (de) * 2001-06-30 2012-06-21 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Testen eines Sensors
EP1472507B1 (en) * 2002-02-06 2011-05-11 Analog Devices, Inc. Micromachined gyroscope
DE10248733B4 (de) 2002-10-18 2004-10-28 Litef Gmbh Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels
DE10248734B4 (de) 2002-10-18 2004-10-28 Litef Gmbh Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels
US6789029B2 (en) * 2002-10-18 2004-09-07 Motorola, Inc. Method and apparatus for signal extraction in an electronic sensor
DE10248735B4 (de) 2002-10-18 2004-10-28 Litef Gmbh Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels
GB0227084D0 (en) * 2002-11-20 2002-12-24 Bae Systems Plc Method and apparatus for measuring scalefactor variation in a vibrating structure gyroscope
DE10317159B4 (de) * 2003-04-14 2007-10-11 Litef Gmbh Verfahren zur Kompensation eines Nullpunktfehlers in einem Corioliskreisel
DE10317158B4 (de) * 2003-04-14 2007-05-10 Litef Gmbh Verfahren zur Ermittlung eines Nullpunktfehlers in einem Corioliskreisel
US6934665B2 (en) * 2003-10-22 2005-08-23 Motorola, Inc. Electronic sensor with signal conditioning
US20050268716A1 (en) * 2004-06-08 2005-12-08 Honeywell International Inc. Built in test for mems vibratory type inertial sensors
DE102004058183A1 (de) * 2004-12-02 2006-06-08 Robert Bosch Gmbh Messfühler mit Selbsttest
DE102005004775A1 (de) * 2005-02-01 2006-08-10 Robert Bosch Gmbh Sensor mit Selbsttest
DE102009003217A1 (de) * 2009-05-19 2010-11-25 Robert Bosch Gmbh Selbsttest für Drehratensensoren
GB201003539D0 (en) * 2010-03-03 2010-04-21 Silicon Sensing Systems Ltd Sensor
US10309782B2 (en) 2015-04-07 2019-06-04 Analog Devices, Inc. Quality factor estimation for resonators
US9709400B2 (en) * 2015-04-07 2017-07-18 Analog Devices, Inc. System, apparatus, and method for resonator and coriolis axis control in vibratory gyroscopes
US10578435B2 (en) 2018-01-12 2020-03-03 Analog Devices, Inc. Quality factor compensation in microelectromechanical system (MEMS) gyroscopes
JP7024566B2 (ja) * 2018-04-06 2022-02-24 株式会社デンソー 振動型ジャイロスコープ
US11041722B2 (en) 2018-07-23 2021-06-22 Analog Devices, Inc. Systems and methods for sensing angular motion in the presence of low-frequency noise
US11125560B2 (en) * 2019-07-30 2021-09-21 Invensense, Inc. Robust method for tuning of gyroscope demodulation phase

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4654582A (en) * 1985-07-08 1987-03-31 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Transient test of suspension electronics for gyroscope
US4759220A (en) * 1986-02-28 1988-07-26 Burdess James S Angular rate sensors
JPH0752106B2 (ja) * 1990-06-21 1995-06-05 日本航空電子工業株式会社 自己故障診断機能付光干渉角速度計
US5426970A (en) * 1993-08-02 1995-06-27 New Sd, Inc. Rotation rate sensor with built in test circuit
US5652374A (en) * 1995-07-10 1997-07-29 Delco Electronics Corp. Method and apparatus for detecting failure in vibrating sensors

Also Published As

Publication number Publication date
EP0800642A1 (de) 1997-10-15
WO1996021138A1 (de) 1996-07-11
DE59510145D1 (de) 2002-05-08
CN1171154A (zh) 1998-01-21
BR9510246A (pt) 1997-11-04
PL321013A1 (en) 1997-11-24
EP0800642B1 (de) 2002-04-03
DE4447005A1 (de) 1996-07-04
PL178921B1 (pl) 2000-06-30
US5889193A (en) 1999-03-30
JPH10512049A (ja) 1998-11-17
ATE215688T1 (de) 2002-04-15
CN1079943C (zh) 2002-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR987001079A (ko) 회전 각속도 검출 장치(Rotary Augular Velocity Detertion Device)
JP4691255B2 (ja) 共振構造を有するセンサ、特に加速度センサ又は回転速度センサ、並びに自己試験をするための装置及び方法
US10415994B2 (en) Gyroscope self test by applying rotation on Coriolis sense mass
Maenaka et al. Analysis of a highly sensitive silicon gyroscope with cantilever beam as vibrating mass
US7765869B2 (en) Combined accelerometer and gyroscope system
TWI482946B (zh) 旋轉速率感測器用的補償電路與其補償方法
US7696749B2 (en) Resonator-based magnetic field sensor
US6792792B2 (en) Diagnostic test for a resonant micro electro mechanical system
RU2400707C1 (ru) Способ калибровки масштабного коэффициента осесимметричного вибрационного гиродатчика угловой скорости
US5375336A (en) Gyro-compass
Jiancheng et al. Integrated model and compensation of thermal errors of silicon microelectromechanical gyroscope
US20060150745A1 (en) Sensor having a self-test
JP2002522753A (ja) ヨーレートの検出装置
KR102506151B1 (ko) 자이로스코프 필드-내 예측
Oropeza-Ramos et al. Inherently robust micro gyroscope actuated by parametric resonance
JPH09218040A (ja) 角速度センサの自己診断方法
JP3458732B2 (ja) 振動型センサの断線検出装置
Gianollo et al. Combining Lissajous Frequency Modulation With 250 nm Piezoresistive Sensing in MEMS Gyroscope: Theoretical Advantages and Practical Challenges
JP4697373B2 (ja) 物理量測定方法、物理量測定装置および物理量測定器への電力供給方法
Bauer et al. Self-test for resonant structure sensors applied to a tuning fork gyro and a resonant accelerometer
JPS61181912A (ja) 方位センサ
JPH0821735A (ja) 圧電振動子の駆動検出回路
JP2001296129A (ja) 角速度検出装置
JPS6139609B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid