KR980006655A - 레이저 다이오드의 무반사막 증착 방법 - Google Patents

레이저 다이오드의 무반사막 증착 방법 Download PDF

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film
deposited
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KR1019960026363A
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정승조
강중구
김종덕
조유리
강병권
신영근
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김주용
현대전자산업주식회사
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Abstract

본 발명은 유전 물질의 용융을 군일하게 하여 칩에 대한 무반사막의 증착을 균일하게 하여 레이저 다이오드의 무반사막의 증착 효육을 증가시킬 수 있으며, 균일한 용융의 유전 물질을 사용하여 칩이 대한 무반사막의 증착을 균일하게 하여 낮은 반사율을 가지는 레이저 다이오드의 무반사막 증착 방법을 제공하도록 비교적 낮은 귤절율을 가지는 RiO2를 전자 빔 증착기를 이용하여 칩의 표면에 증착한 후에, 비교적 높은 귤절율을 가지는 Si막을 칩의 표면에 증착된 Tio2막 위에 증착한다.

Description

레이저 다이오드의 무반사막의 증착 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (1)

  1. TiO2를 저자 빔 증착기를 이용하여 칩의 표면에 증착하는 단계와; 칩의 표면에 증착된 TiO2막 위에 Si막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 무반사막 증착 방법.
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