KR980005424A - 이온주입장치 - Google Patents

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KR980005424A
KR980005424A KR1019960022361A KR19960022361A KR980005424A KR 980005424 A KR980005424 A KR 980005424A KR 1019960022361 A KR1019960022361 A KR 1019960022361A KR 19960022361 A KR19960022361 A KR 19960022361A KR 980005424 A KR980005424 A KR 980005424A
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KR
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wafer
platen
ion implantation
chuck
end station
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KR1019960022361A
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Inventor
서상일
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체장치의 제조에 사용되는 이온주입장치의 엔드스테이션에 있는 플레이튼에 광센서를 설치하여 웨이퍼의 미끄러짐을 감지하여 플레이튼의 정상작동을 유도하는 이온주입장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 엔드스테이션부에 있는 플레이튼(1)에 척(3)에 의해서 부착된 웨이퍼(2)의 정위치여부를 검출하는 감지부를 설치하여, 상기 척(3)으로부터 웨이퍼(2)가 미끄러져서 정위치를 이탈하게 될 때 상기 플레이튼(1)이 닫히지 않게 하여 이온주입공정이 실행되지 않도록 한다.

Description

이온주입장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 이온주입장치를 설명하기 위하여 플레이튼에 설치된 광센서에 의해서 척에 부착된 웨이퍼의 정위치를 검출하는 것을 보여주고 있는 평면도.

Claims (1)

  1. 웨이퍼로 도프되는 불순물원소의 이온을 생성하는 이온주입소스부와, 이온에 필요한 에너지를 부여하는 빔라인부, 그리고 웨이퍼가공실의 진공 및 대기상태를 조절하여 웨이퍼의 장입 및 인출을 원활하게 할 수 있도록 하는 로르록부를 포함하는 엔드스테이션부를 구비한 이온주입장치에 있어서, 상기 엔드스테이션부에 있는 플레이튼(1)에 척(3)에 의해서 부착된 웨이퍼(2)의 정위치여부를 검출하는 감지부를 설치하여, 상기 척(3)으로부터 웨이퍼(2)가 미끄러져서 정위치를 이탈하게 될 때 상기 플레이튼(1)이 닫히지 않게 하여 이온주입공정이 실행되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960022361A 1996-06-19 1996-06-19 이온주입장치 KR980005424A (ko)

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