KR980005424A - 이온주입장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 제조에 사용되는 이온주입장치의 엔드스테이션에 있는 플레이튼에 광센서를 설치하여 웨이퍼의 미끄러짐을 감지하여 플레이튼의 정상작동을 유도하는 이온주입장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 엔드스테이션부에 있는 플레이튼(1)에 척(3)에 의해서 부착된 웨이퍼(2)의 정위치여부를 검출하는 감지부를 설치하여, 상기 척(3)으로부터 웨이퍼(2)가 미끄러져서 정위치를 이탈하게 될 때 상기 플레이튼(1)이 닫히지 않게 하여 이온주입공정이 실행되지 않도록 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 이온주입장치를 설명하기 위하여 플레이튼에 설치된 광센서에 의해서 척에 부착된 웨이퍼의 정위치를 검출하는 것을 보여주고 있는 평면도.
Claims (1)
- 웨이퍼로 도프되는 불순물원소의 이온을 생성하는 이온주입소스부와, 이온에 필요한 에너지를 부여하는 빔라인부, 그리고 웨이퍼가공실의 진공 및 대기상태를 조절하여 웨이퍼의 장입 및 인출을 원활하게 할 수 있도록 하는 로르록부를 포함하는 엔드스테이션부를 구비한 이온주입장치에 있어서, 상기 엔드스테이션부에 있는 플레이튼(1)에 척(3)에 의해서 부착된 웨이퍼(2)의 정위치여부를 검출하는 감지부를 설치하여, 상기 척(3)으로부터 웨이퍼(2)가 미끄러져서 정위치를 이탈하게 될 때 상기 플레이튼(1)이 닫히지 않게 하여 이온주입공정이 실행되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960022361A KR980005424A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 이온주입장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960022361A KR980005424A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 이온주입장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR980005424A true KR980005424A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960022361A KR980005424A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 이온주입장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR980005424A (ko) |
-
1996
- 1996-06-19 KR KR1019960022361A patent/KR980005424A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |