KR980005394A - 반도제 제조 공정의 가스 공급 방법 - Google Patents
반도제 제조 공정의 가스 공급 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 공정의 가스 공급 방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 반도체 장치를 제조하기 위하여 WF6가스와 Ar가스를 가스 봄베로부터 MFC를 거쳐서 프로세스 챔버까지 공급하는 데 있어서, 상기 가스 봄베 및 MFC에서 WF6가스와 Ar가스가 소정의 비로 혼합된 혼합가스를 공급한다. 본 발명에 의하면, 반도체 제조시에 WF6가스 및 Ar가스 공급에 필요한 설비를 효율적으로 구성할 수 있고, 공급되는 가스의 유량을 용이하게 제어할수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 반도체 공정의 가스 공급 방법에 따라 가스를 공급하기 위한 가스 공급 라인을 개략적으로 나타낸 도면이다.
Claims (2)
- 반도체 장치를 제조하기 위하여 WF6가스와 Ar가스를 가스 봄베로부터 MFC를 거쳐서 프로세스 챔버까지 공급하는 방법에 있어서, 상기 가스 봄베 및 MFC에서 WF6가스와 Ar가스가 소정의 비로 혼합된 혼합 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 WF6가스와 Ar가스의 혼합비는 1:100∼1:500 인 것을 특징으로 하는 가스 공급 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960023957A KR980005394A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도제 제조 공정의 가스 공급 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019960023957A KR980005394A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도제 제조 공정의 가스 공급 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR980005394A true KR980005394A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019960023957A KR980005394A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도제 제조 공정의 가스 공급 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR980005394A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160021908A (ko) * | 2008-03-25 | 2016-02-26 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조 자원들을 절약하기 위한 방법들 및 장치 |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023957A patent/KR980005394A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160021908A (ko) * | 2008-03-25 | 2016-02-26 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조 자원들을 절약하기 위한 방법들 및 장치 |
US9685352B2 (en) | 2008-03-25 | 2017-06-20 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for conserving electronic device manufacturing resources including ozone |
US11049735B2 (en) | 2008-03-25 | 2021-06-29 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for conserving electronic device manufacturing resources |
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