KR980003516A - 진공 측정 시스템 - Google Patents

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KR980003516A
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염시춘
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문정환
Lg 반도체주식회사
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/02—Measuring force or stress, in general by hydraulic or pneumatic means

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Abstract

본 발명은 진공 측정 시스템에 관한 것으로 특히, 정확한 진공 측정을 위한 캐패시터 압력계의 구성에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 진공 측정 시스템은 챔버, 챔버에 각각 연결된 진공 센서와 대기압 센서, 펌프와 챔버를 연결해 주는 제1공기 밸브, 챔버와 캐패시터 압력계를 연결해 주는 제2공기 밸브, 제1공기 밸브와 제2공기 밸브를 제어하는 제1제어부, 진공 정도에 따른 압력을 전기적 신호로 변환해 주는 캐패시터 압력계, 캐패시터 압력계의 두 출력을 비교하는 비교부, 비교부의 출력을 제어하는 제2제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 측정 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 진공 측정 시스템의 구성 블럭도.
제2도는 종래의 캐패시터 압력계의 구조도.
제3도는 본 발명 일실시예의 진공 측정 시스템의 구성 블럭도.

Claims (4)

  1. 챔버에 각각 연결된 진공 센서와 대기압 센서, 펌프와 챔버를 연결해 주는 제1공기 밸브, 챔버와 캐패시터 압력계를 연결해 주는 제2공기 밸브, 제1공기 밸브와 제2공기 밸브를 제어하는 제1제어부, 진공 정도에 따른 압력을 전기적 신호로 변환해 주는 캐패시터 압력계, 캐패시터 압력계의 두 출력을 비교하는 비교부, 비교부의 출력을 제어하는 제2제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 제1, 제2공기 밸브를 제어하는 제1제어부는 두 공기 밸브에 공통으로 연결되어 같이 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 제1공기 밸브와 제2공기 밸브를 제어하는 제1제어부로써 솔레노이드를 사용함을 특징으로 하는 진공 측정 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 캐피시터 압력계는 압전 효과를 이용한 막을 중심으로 두개 이상의 진동판으로 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 측정 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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