KR970077708A - 광로 조절 장치의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 종래의 절연특성이 우수한 옥사이드(Oxide)나 니트라이드(Nitrede)로 절연층을 형성하는데 있어서 변형부의 상부에서 식각 스톱 조건을 맞추기 어려운 문제점을 해결하기 위하여, 능동 소자가 매트릭스 구조로 형성된 구동 기판의 상부에 보호막, 식각 스톱층, 희생층을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 희생층의 표면을 평탄화 시킨후 소정 형상으로 패터닝하는 공정과, 상기 희생층 및 희생층의 패터닝으로 노출된 식각 스톱층의 상부에 멤브레인, 하부전극 및 변형부를 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 변형부 및 하부 전극의 일부를 각각 픽셀 형상으로 식각하여 제거하는 공정과, 상기 멤브레인, 식각 스톱층, 보호막을 순차적으로 식각시켜 소정 형상의 비아 홀을 형성하는 공정과, 상기 비아 홀의 상부에 비아 콘택층을 형성하는 공정과, 상기 비아 콘택층 및 변형부의 상부에 강유전체(Ferroelectric) 재료로 이루어진 절연층을 형성하는 공정과, 상기 절연층의 상부에 상부전극을 형성하는 공정과, 상기 상부전극, 절연층 및 멤브레인을 순차적으로 픽셀형상으로 패터닝 하는 공정과, 상기 픽셀 형상으로 패터닝된 기판의 전면에 보호막을 도포하는 공정과, 상기 희생층을 식각시켜 전체적으로 제거하는 공정과, 상기 보호막의 일부분을 제거하여 상기 상부 전극을 노출시키는 공정으로 이루어진 제조 방법으로 광로 조절 장치를 제조함으로써, 절연층을 형성하는 공정에 있어서 변형부의 상부에서의 식각 스톱 조건 등을 고려하지 않아도 되므로, 광로 조절 장치의 제조 공정을 간단히 할 수 있다.

Description

광로 조절 장치의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도 (가) 내지 (타)는 본 발명에 따른 광로 조절 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도.

Claims (12)

  1. 능동 소자가 매트릭스 구조로 형성된 구동 기판과 복수의 층으로 이루어진 액츄에이터를 포함하는 광로 조절 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 능동 소자가 매트릭스 구조로 형성된 구동 기판의 상부에 보호막, 식각 스톱층, 희생층을 순차적으로 형성하는 공정; 상기 희생층의 표면을 평탄화 시킨후 소정 형상으로 패터닝하는 공정; 상기 희생층 및 희생층의 패터닝으로 노출된 식각 스톱층의 상부에 멤브레인, 하부 전극 및 변형부를 순차적으로 형성하는 공정; 상기 변형부 및 하부 전극의 일부를 각각 픽셀 형상으로 식각하여 제거하는 공정; 상기 멤브레인, 식각 스톱층, 보호막을 순차적으로 식각시켜 소정 형상의 비아 홀을 형성하는 공정; 상기 비아홀의 상부에 비아 콘택층을 형성하는 공정; 상기 비아 콘택층 및 변형부의 상부에 강유전체(Ferroelectric Meterial) 재료로 이루어진 절연층을 형성하는 공정; 상기 절연층의 상부에 상부 전극을 형성하는 공정; 상기 상부전극, 절연층 및 멤브레인을 순차적으로 픽셀형상으로 패터닝 하는 공정; 상기 픽셀형상으로 패터닝된 엑츄에이터의 전면에 보호막을 도포하는 공정; 상기 희생층을 식각시켜 전체적으로 제거하는 공정; 상기 보호막의 일부분을 제거하여 상기 상부 전극을 노출시키는 공정으로 이루어진 광로 조절 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 희생층(530)은, 화학적 기계 연마(CMP) 공정으로 평탄화 되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 멤브레인(540)은, 저압 화학 기상 증착(LPCVD) 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 멤브레인(540)은, 가스 비율(Gas Ratio)을 시간별로 변화시켜 박막의 스트레스(Stress)를 조절하며 형성하는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 비아 홀은, 상기 구동 기판(500)에 매트릭스 구조로 형성된 능동 소자가 노출되도록 상기 능동 소자의 상부 표면까지 연장되어서 위치되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 비아 컨택층(570)은, 전기 전도성을 갖는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 비아 컨택층(570)은, 리프트 오프(Lift-Off) 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 비아 컨택층(570)은, 그 두께가 상기 구동 기판(500)에 매트릭스 구조로 형성된 능동 소자의 상부 표면으로부터 하부 전극(550)의 상부 표면까지인 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 절연층(580)은, BaTiO5, Pb(Zr, TI)O5, (Pb, La)(Zr, Ti)O5조성의 압전 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 절연층(580)은, Pb(Mg, Nb)O5조성의 전왜 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  11. 제9항 또는 10항에 있어서, 상기 절연층(580)은, 변형부(560)의 상부 전체에 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 상부 전극(590)은, 소정 부위가 수평절단(Strife)되어 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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