KR970077414A - 잔류 웨이퍼 이중 감지 시스템 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 스페이스 체이저의 웨이퍼 삽입홈을 이탈하여 웨이퍼 삽입홈 상부에 넘어져 있을 때, 이를 감지하는 잔류 웨이퍼의 이중 감지 시스템 및 방법에 관한 것이다.

본 발명의 목적은 수평 상태의 웨이퍼 검지 광섬유 센서를 웨이퍼 삽입홈과 삽입홈 사이의 이격 공간에 형성하여 스페이스 체인저의 웨이퍼 삽입홈 상부에 수평으로 넘어져 있는 웨이퍼를 감지하는 잔류 웨이퍼를 이중으로 감지하는 시스템 및 감지 방법으로 제공함에 있다.

본 발명의 효과는 웨이퍼의 수직·수평 셋팅 상태를 감지하는 이중 감지 센서를 스페이스 체인저에 형성하여 웨이퍼 상태를 상호 보완하여 웨이퍼의 파손을 막고 공정 진행을 원활하게 함에 있다.

Description

잔류 웨이퍼 이중 감지 시스템 및 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 의한 스페이스 체인저의 구조를 나타낸 사시도이다.

Claims (8)

1. 전면에 일정간격으로 웨이퍼를 삽입하는 웨이퍼 삽입홈을 갖는 스페이스 체인저에서, 상기 웨이퍼의 잔류 여부를 검사하기 위해 수직 상태로 배치된 상기 웨이퍼를 감지하는 수직 상태 감지수단, 수평 상태로 배치된 상기 웨이퍼를 감지하는 수직 상태 감지수단과, 수평 상태로 배치된 상기 웨이퍼를 감지하는 상기 수직 상태 감지수단과, 상기 수직 상태 감지수단과 수평 상태 감지 수단으로부터 입력된 신호를 받아 공정을 제어하는 제어부로 이루어진 것을 특징으로 하는 스페이스 체인저의 잔류 웨이퍼 감지시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 수평 상태 감지수단은 상기 스페이스 체인저의 상기 웨이퍼 삽입홈 사이의 이격된 공간에 형성됨을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 감지시스템.
3. 제2항에 있어서, 상기 수평 상태 감지수단은 복수개로 형성됨을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 감지시스템.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 수평 상태 감지수단은 투광부와 수광부가 동일부위에 형성되어 있는 광섬유 센서임을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 감지시스템.
5. 제1항에 있어서, 상기 제어부에 의해 제어되고 상기 수평 상태로 배치된 웨이퍼의 셋팅 상태를 표시하기 위한 공정 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 감지시스템.
6. 스페이스 체인저의 웨이퍼 삽입홈에 삽입되어 있는 웨이퍼의 셋팅 위치를 감지하는 방법에 있어서, 수직 상태 감지수단에 의해 수직 상태의 웨이퍼가 있는지를 감지하는 제1단계와, 수평 상태 감지수단에 의해 수평 상태의 웨이퍼가 있는지를 감지하는 제2단계와, 상기 제1단계에서 수직 상태의 웨이퍼를 감지하지 못하고 상기 제2단계에서 수평 상태의 웨이퍼를 감지했을 때, 공정을 중지시키는 제3단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 감지 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 감지 방법은 제어부가 공정을 정지시키는 제3단계 이후에 상기 웨이퍼의 상태를 공정 표시부의 디스플레이 하는 제4단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 이중 감지 방법.
8. 제6항에 있어서, 상기 제어부가 웨이퍼 수평 감지 수단으로부터 입력받은 입력값을 공정 표시부에 디스플레이하는 제4단계에는 웨이퍼의 셋팅 상태를 작업자에게 주지시키기 위한 경보 수단을 작동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 웨이퍼 이중 감지 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.