KR970072070A - 가스 스크러버 장치 - Google Patents

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KR970072070A
KR970072070A KR1019960010624A KR19960010624A KR970072070A KR 970072070 A KR970072070 A KR 970072070A KR 1019960010624 A KR1019960010624 A KR 1019960010624A KR 19960010624 A KR19960010624 A KR 19960010624A KR 970072070 A KR970072070 A KR 970072070A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
gas scrubber
inlet
scrubber apparatus
drain pipe
Prior art date
Application number
KR1019960010624A
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English (en)
Inventor
권정환
최상국
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

가스 스크러버 장치는 산성의 독가스를 물로 희석시켜 배기되는 가스양을 최소화하기 위한 장치이다.
그러나 가스가 이동되는 경로에는 음압이 존재하여 물기가 배수관을 타고 유입되는 문제점이 발생하여 이러한 물기를 제거하는 배출부를 형성하여 가스의 완전한 배출이 이루어질 수 있으며 공정상의 신뢰성을 향상할 수 있다.

Description

가스 스크러버 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 실시예에 의한 버퍼박스의 연결을 나타낸 구성도.

Claims (6)

  1. 가스 유입구와 상기 유입구로부터 유입되는 가스가 희석되는 본체와 상기 희석된 가스가 배출되는 배기구와 상기 희석되는 가스의 이동경로를 포함하는 가스 스크러버 장치에 있어서, 상기 이동경로에 물기가 고이는 경우 상기 물기를 제거하기 위한 배출부가 형성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배출부는 본체와 상기 본체의 측면에 대향하여 설치되는 유입구 및 배기구와 상기 본체의 하부면에 설치되는 드레인 관으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 배출구는 본체와 상기 본체의 상부면에 설치되는 유입구 및 배기구와 상기 본체의 하부면에 설치되는 드레인 관으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 본체 박스의 내부에는 상기 물기의 흐름을 막기 위한 격판들이 적어도 하나 설치된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 유입구측에 상부 격판이 설치되고 상기 배기구측에 하부 격판이 설치된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 드레인 관의 소정 위치에 밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960010624A 1996-04-09 1996-04-09 가스 스크러버 장치 KR970072070A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100664805B1 (ko) * 2005-11-30 2007-01-04 동부일렉트로닉스 주식회사 가스 스크러버의 폐가스 처리장치 및 방법

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100664805B1 (ko) * 2005-11-30 2007-01-04 동부일렉트로닉스 주식회사 가스 스크러버의 폐가스 처리장치 및 방법

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