KR970063603A - 이온 주입기의 이상유무 경고 장치 - Google Patents

이온 주입기의 이상유무 경고 장치 Download PDF

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KR970063603A
KR970063603A KR1019960002911A KR19960002911A KR970063603A KR 970063603 A KR970063603 A KR 970063603A KR 1019960002911 A KR1019960002911 A KR 1019960002911A KR 19960002911 A KR19960002911 A KR 19960002911A KR 970063603 A KR970063603 A KR 970063603A
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이상익
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 이온주입기의 경고 장치에 관한 것으로, 이온 주입시 이상유무를 용이하게 파악할 수 있는 이온 주입기의 이상유무 경고 장치에 관한 것이다.
본 발명은 이온주입기의 이상유무 발생시 발생되는 신호에 응답하여 경보음을 울리는 경보음 발생부; 및 상기 이온주입기의 이상유무 발생시 발생되는 신호에 응답하여 경고등을 점멸하는 경고등 점멸부를 구비한 것을 특징으로 하는 이상유무 발생 신호의 파악에 청각적인 방법과 시각적인 방법이 도시에 사용되므로 장거리에서도 이상유무가 손쉽게 파악되어 에러 시간의 지연에 의한 이온 주입 손실을 줄일 수 있다.

Description

이온 주입기의 이상유무 경고 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 이온 주입기 이상유무 경고 장치의 구성을 나타낸 회로도.

Claims (2)

  1. 이온주입기의 이상유무 발생시 발생되는 신호에 응답하여 경보음을 울리는 경보음 발생부;및 상기 이온주입기의 이상유무 발생시 발생되는 신호에 응답하여 경고등을 점멸하는 경고등 점멸부를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입기의 이상유무 경고 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 경고등 점멸부는 상기 이상유무 발생 신호에 응답하여 점멸 제어 신호를 게이팅하는 게이트 수단; 상기 게이트 수단의 출력 신호에 응답하여 교류 전원의 공급을 스위칭하는 교류 스위칭 구동부; 상기 교류 스위칭 구동부의 스위칭에 의해 공급되는 고류 전력에 의해 점멸 구동되는 경고등을 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입기의 이상유무 경고 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960002911A 1996-02-07 1996-02-07 이온 주입기의 이상유무 경고 장치 KR970063603A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210153909A (ko) 2020-06-11 2021-12-20 연세대학교 원주산학협력단 신체 균형을 맞추기 위한 스마트 바디 얼라인먼트 보조 장치 및 그것의 제어 방법

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