KR970062815A - 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법 - Google Patents
통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법 Download PDFInfo
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Abstract
스테퍼(Stopper)의 공정 결과를 계측 및 분석하여 스테퍼의 동작을 자동으로 제어하는 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 스테퍼와 이에 연결된 계측기를 포함하는 스테퍼 제어 장치에 상기 스테퍼에 설정되는 파라미터 데이터와 상기 스테퍼에서 웨이퍼에 형성된 패턴에 대한 선폭데이타가 입력되고, 상기 파라미터 데이터와 상기 선폭데이타를 통계적 공정관리 방식으로 비교 및 산출하여 X 및 Y축 정렬과 노광상태를 제어하기 위한 보정데이타를 상기 스테퍼로 피드백하여 공정을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성됨으로써 자동으로 통계적 공정관리 방식에 의하여 스테퍼의 피라미터 조정이 이루어진다. 따라서, 조사 및 분석 그리고 제어가 자동으로 이루어지므로 통계적 공정관리를 위하여 소요되는 시간 및 인력을 절감할 수 있고 노광된 웨이퍼의 신뢰도를 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어장치의 실시예를 나타내는 블록도이다.
Claims (3)
- 스테퍼(Stopper)와 이에 연결된 계측기를 포함하는 스테퍼 제어 장치에 있어서, 상기 스테퍼에 설정되는 파라미터 데이터와 상기 스테퍼에서 웨이퍼에 형성된 패턴에 대한 선폭데이타가 입력되고, 상기 파라미터 데이터와 상기 선폭데이타를 통계적 공정관리 방식으로 비교 및 산출하여 X 및 Y축 정렬과 노광상태를 제어하기 위한 보정데이타를 상기 스테퍼로 피드백하여 공정을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치.
- 스테퍼와 이에 연결된 계측기를 포함한 시스템의 스테퍼 제어 방법에 있어서, 상기 스테퍼에 설정되는 파라미터 데이터 및 상기 계측기에서 계측된 선폭데이타가 입력되는 단계; 상기 입력된 파라미터 데이터 및 상기 선폭데이터를 미리 설정된 제어범위와 비교하는 단계; 및 상기 비교된 결과에 따른 보정값을 산출하여 그에 따른 제어신호를 상기 스테퍼로 전송하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 스테퍼로 전송하는 단계에서 제어신호는 X 및 Y 축 정렬 그리고 노광시간 보정신호로 이루어짐을 특징으로 하는 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004822A KR970062815A (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004822A KR970062815A (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970062815A true KR970062815A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66222363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004822A KR970062815A (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 통계적 공정관리 방식의 스테퍼 제어 장치 및 그 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970062815A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100922259B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-15 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 제조 공정의 패턴 형성 방법에서 오버레이 변동에대한 관리 방법 및 장치 |
-
1996
- 1996-02-27 KR KR1019960004822A patent/KR970062815A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100922259B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-15 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 제조 공정의 패턴 형성 방법에서 오버레이 변동에대한 관리 방법 및 장치 |
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