KR970062655A - 갑선계형 레이저 센서 - Google Patents

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KR970062655A
KR970062655A KR1019960003330A KR19960003330A KR970062655A KR 970062655 A KR970062655 A KR 970062655A KR 1019960003330 A KR1019960003330 A KR 1019960003330A KR 19960003330 A KR19960003330 A KR 19960003330A KR 970062655 A KR970062655 A KR 970062655A
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김병윤
김효상
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윤덕용
한국과학기술원
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Abstract

본 발명은 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성되어 광원과 외부 물리량의 감지수단으로서의 기능을 수행하는 레이저 공진기; 상기 2개 이상의 반사체로부터 출력되는 레이저광을 간섭시키기 위한 간섭수단; 및 간섭수단으로부터 출력된 간섭신호를 검출 및 처리하는 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서에 관한 것이다. 본 발명에 의한 센서 시스템은 편광오차가 발생하지 않아, 고가의 편광유지 광섬유 및 편광기를 필요로 하지 않으며, 좁은 선폭의 레이저를 사용함으로써 파장 의존적인 오차를 크게 줄일 수 있고, 레이저 공진기가 광원과 외부 물리량의 감지소자 역할을 수행하기 때문에, 외부 광원을 필요로 하지 않으며, 고리형 레이저에서 나타나는 서로 다른 방향으로 진행하는 빛 사이의 이득다툼으로 인한 출력 불안정이 없고, 작은 회전량을 측정하지 못하는 현상(lock-in효과)이 존재하지 않는다.

Description

간섭계형 레이저 센스
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 감섭계형 레이저 센서의 일실시형태의 개략도이다.
제4도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 다른 실시형태의 개략도이다.
제5도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 또 다른 실시 형태의 개략도이다.
제6도는 본 발명의 간섭계형 레이저 센서를 사용하여 회전량을 측정한 결과를 나타내는 그래프이다.

Claims (9)

  1. 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성된 레이저 공진기;상기 2개 이상의 반사체에서 반사하지 않고 통과된 빛을 간섭시키기 위한 간섭 수단; 및, 상기 간섭수단으로부터 출력된 간섭 신호를 검출하고 처리하기 위한 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레이저 매질로서 He-Ne 기체, Na-YAG 막대(rod), Nd : 유리막대, Nd 막대, 루비막대(rudy rod), 염료셀(dye cell), 회토류원소 첨가 광섬유 및 다이오드 증폭기 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광경로로서 진공, 대기, 유리, LiNbo₂결정 및 광섬유 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반사체로서 반사경, 광섬유 브래그격자, 광섬유 루프 반사경 및 패러데이 반사경 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기레이저 공진기가 1개의 레이저 모드를 발진시키는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  6. 제1항에 있어서, 상기 레이저 공진각 복수 개의 레이저 모드를 발진하고, 발지하는 레이저 모드의 종모드 번호가 모두 짝수 또는 홀수인 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  7. 제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 복수 개이 레이저 모드를 발진하고,공진기 외부에 레이저 모드의 종모드를 선택하는 필터를 설치하여 간섭되는 레이저 모드들의 종모드 번호를 모두 짝수 또는 홀수로 선택하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  8. 제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 광분할기, 반사경, 광섬유 방향성결합기, 집적 광학소자 및 미세 광학소자 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하거나, 또는 유동하는 유체 자체인 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  9. 제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 집적 광학소자, PZT 위상 변조기, 미세 광학소자 위상 변조기 및 주파수 변환기 중에서 선택되는 신호 변조기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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