KR0173434B1 - 간섭계형 레이저 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성되는 광원과 외부 물리량의 감지 수단으로서의 기능을 동시에 수행하는 레이저 공진기 ; 상기 2개 이상의 반사체로부터 출력되는 레이저광을 간섭시키기 위한 간섭수단 ; 및 간섭수단으로부터 출력된 간섭신호를 검출 및 처리하는 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서에 관한 것이다. 본 발명에 의한 센서 시스템은 편광오차가 발생하지 않아, 고가의 편광유지 광섬유 및 편광기를 필요로 하지 않으며, 좁은 선폭의 레이저를 사용함으로써, 파장 의존적인 오차를 크게 줄일 수 있고, 레이저 공진기가 광원과 외부 물리량의 감지소자 역할을 동시에 수행하기 때문에, 외부 광원을 필요로 하지 않으며, 고리형 레이저에서 나타나는 서로 다른 방향으로 진행하는 빛 사이의 이득다툼으로 인한 출력 불안정이 없고, 작은 회전량을 측정하지 못하는 현상(lock-in 효과)이 존재하지 않는다.

Description

간섭계형 레이저 센서
본 발명은 간섭계형 레이저 센서에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 광원과 외부 물리량 감지 수단으로서의 기능을 동시에 수행하는, 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사테로 구성된 레이저 공진기, 상기 2개 이상의 반사체에서 반사되지 않고 통과한 빛을 간섭시키기 위한 간섭수단 및 이 간섭수단으로부터 출력된 간섭신호를 검출하고 처리하기 위한 신호처리부를 포함하는, 회전, 자기장, 전류, 유체의 유속 등의 외부 물리량을 측정하기 위한 간섭계형 레이저 센서에 관한 것이다.
종래, 레이저는 여러 가지 광학 시스템의 단순한 광원으로만 사용되어 왔으나, 근래에 들어 외부 물리량의 변화에 대하여 레이저의 특성(주파수, 편광, 위상 등)이 변화하는 현상을 이용하는 센서가 제시되었다. 이러한 센서의 대표적인 것으로는 고리형 레이저 회전 센서(ring laser gyroscope)가 알려져 있다. [참조 : W. W. Chow et. Al., The Ring Laser Gyro, Rev. of Mod. Phys., 57(1) : 61(1985)]. 이 고리형 레이저 센서는 시스템의 구성이 간단하고, 광신호의 세기가 크며, 신호 처리가 간편하다는 등의 여러 가지 장점을 가지고 있어, 많은 분야에서 응용 가능성을 가지고 있다.
상기 고리형 레이저 회전 센서는 제1도에 개략적으로 나타낸 바와 같이, 레이저 이득매질(111), 반사경(112, 113, 114)으로 구성되는 고리형 레이저 공진기를 포함하고 있다.
이러한 레이저내의 이득매질이 외부 에너지에 의하여 여기되면, 이레이저 이득매질에서 빛이 발생하고 증폭되며, 공진기를 왕복함으로써 레이저광이 발생하게 된다. 그런데 이러한 공진기 내에서는 진행 방향이 다른 두 종류의 레이저광(121) 및 (122)가 존재하게 되어, 레이저광(121)은 공진기 내를 제1도에서 시계 방향으로 진행하게 되고, 레이저광(122)는 반시계 방향으로 진행하게 된다. 만약, 이 공진기가 회전하게 되면, 회전방향과 같은 방향으로 진행하는 빛과 반대방향으로 진행하는 빛이 서로 다른 길이의 광경로를 진행하게 되는 효과[새그낙(Sagnac) 효과]가 일어나게 된다. 이 효과에 의하여 서로 반대방향으로 진행하는 레이저광들의 발진 조건이 달라지게 되어, 상기 두 종류의 레이저광의 주파수가 각기 달라지게 되며, 이 주파수의 차이는 회전량에 정비례하는 관계에 있다. 이 두 종류의 레이저광의 일부는 반사경(114)에서 반사되지 않고 레이저 출력광(123) 및 (124)와 같이 진행하게 되며, 각각 반사경(115) 및 (116)에서 반사되어 광분할기(117)에서 만나 간섭을 일으키게 된다. 광분할기의 한 쪽으로 진행한 빛(125)는 상기 주파수 차이에 해당하는 신호를 가지고 있으며, 이를 광검출기로 검출하여 회전량을 측량할 수 있게 된다.
그러나, 이러한 레이저에서 발생되는 두 종류의 빛은 동일한 레이저 이득매질 내에서 증폭되므로, 한쪽 방향으로 진행하는 빛의 세기가 커지면 다른 쪽 방향으로 진행하는 빛의 세기가 작아지는 현상, 즉 이득다툼(gain competition)이 발생하여 출력광의 세기가 불안정해지는 단점이 있다. 또한, 레이저 공진기의 회전량이 작을 경우, 이 회전량에 의한 주파수 변화가 발생하지 않아 회전량을 측정할 수 없는 현상(lock-in 효과)이 존재하는 문제점이 지적되고 있다.
한편, 회전량을 측정할 수 있는 종래기술의 센서의 다른 한 예로서 수동형 광섬유 회전센서를 들 수 있다. 일반적인 수동형 광섬유 회전 센서는 제2도에 개략적으로 나타낸 바와 같이 구성된다[참조 : R. A. Bergh. h. J. Shaw, An Overview of Fiber-Optic Gyroscope, J. of Lightwave Technology, Lt-2:91(1984)]. 이 센서는 회전량 이외에 자기장, 전류 등도 측정할 수 있다. 이 센서의 동작 원리를 살펴보면, 광원(211)에서 나온 빛은 방향성 결합기(212)를 통과하고, 방향성 결합기를 따라 각각 제2도에서 시계 방향 및 반시계 방향으로 진행한 후, 방향성 결합기(213)에서 다시 만나게 된다. 이 때, 서로 다른 방향으로 진행한 빛이 겪는 위상의 차이를 Δψ라 할 때, 광검출기(215)에서 측정되는 빛의 세기는(1+cos(Δψ))에 비례하는 양이 된다. 만약, 비가역적 효과(회전, 자기장 등)가 존재하지 않는 경우에는, 두 빛이 겪은 위상의 차이는 0이 된다. 그러나 회전, 자기장 등이 존재하는 경우에는 두 빛이 세그낙 루프(Sagac loop)(214)를 진행할 때 겪는 위상이 달라지므로, 출력이 회전 및 자기장의 세기에 따라 달라지게 된다. 따라서, 출력된 빛의 세기를 측정함으로써 회전량이나 자기장의 세기를 알 수 있으며, 전류에 의하여 자기장이 발생하는 것을 고려하여 전류의 세기도 측정할 수 있다.
그런데, 일반적인 새그낙 루프는 센서의 감도를 높이기 위하여 길이가 긴 광섬유로 구성되고 있으며, 광섬유에 존재하는 복굴절에 의하여 서로 반대 방향으로 진행하는 빛의 편광상태가 서로 다르게 되면, 이에 따라 측정오차가 발생하는 문제점이 있다[참조 : The Fiber-Optic Gyroscope, H. Lefevre저, Artech House, 제73편(1993)]. 이 문제를 해결하기 위한 한 방법으로 편광유지 광섬유를 사용하여 새그낙 루프를 구성하는 방법이 제안되었다[참조 : 미합중국 특허 제5,270,791호]. 그러나, 이와 같이 편광유지 광섬유를 사용하는 경우, 편광유지 광섬유가 고가(高價)이기 때문에, 센서 시스템의 가격이 상승하는 문제가 발생하게 된다.
또한, 미합중국 특허 제4,964,131호에서는 방향성 결합기에서 발생하는 위상오차를 없애기 위하여 광원과 새그낙 루프 사이에 두 개의 방향성 결합기를 사용하였다. 이 경우, 광원(211)에서 나온 빛의 일부만이 방향성 결합기(212)를 통과하여 광검출기(215)로 검출되기 때문에, 광검출기에서 검출되는 빛의 세기는 광원에서 나온 빛의 세기의 1/4 이하로 작아지는 문제점이 있다.
이에, 본 발명자들은 상기 선행기술의 문제점들을 해결하고자 예의 연구를 거듭한 결과, 외부 물리량을 감지하는 역할과 광신호를 만들어내는 역할을 동시에 수행하는, 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성된 레이저 공진기를 이용하여, 레이저 공진기의 양쪽 끝에서 출력된 두 빛을 다시 하나의 광 경로를 지나게 하여 간섭 현상을 일어나게 한 후, 이 간섭된 빛의 출력을 측정하면, 이득 다툼이나 편광오차 없이 간단하게 레이저 센서에 가해진 회전량 등의 외부 물리량을 측정할 수 있음을 확인하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
따라서, 본 발명의 목적은 외부 광원을 필요로 하지 않고, 구성이 단순하며, 이득 다툼이나 편광오차 없이 작은 회전량까지도 측정할 수 있는, 외부 물리량을 측정하기 위한 간섭계형 레이저 센서를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
제1도는 종래의 고리형 레이저 회전 센서의 개략도이다.
제2도는 종래의 수동형 광섬유 회전 센서의 개략도이다.
제3도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 일실시형태의 개략도이다.
제4도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 다른 실시형태의 개략도이다.
제5도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 또 다른 실시형태의 개략도이다.
제6도는 본 발명의 간섭계형 레이저 센서를 사용하여 회전량을 측정한 결과를 나타내는 그래프이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
312, 412, 512 : 레이저 이득매질
313, 314, 413, 414, 417, 418 : 반사경
315, 415, 515 : 광분할기
316, 416, 516 : 광검출기
312, 322, 421, 422, 521, 522 : 레이저 출력광
323, 423, 523 : 간섭된 출력광
311, 511 : 광경로
317 : 레이저 다이오드
318 : 파장 분할기(WDM)
513, 514 : 광섬유 브래그격자
517 : 변조기
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 간섭계형 레이저 센서는, 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성된 레어저 공진기 ; 상기 2개 이상의 반사체에서 반사되지 않고 통과한 빛을 간섭시키기 위한 간섭수단 ; 및, 상기 간섭수단으로부터 출력된 간섭신호를 검출하고 처리하기 위한 신호처리부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 간섭계형 레이저 센서에 있어서, 레이저 매질로서는 He-Ne 기체, Nd-YAG 막대(rod), Nd : 유리 막대, Nd 막대, 루비 막대(ruby rod), 염료셀(dye cell), 희토류원소 첨가 광섬유 및 다이오드 증폭기 등의 통상의 레이저 매질 중 적어도 하나가 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 광경로로서는 진공, 대기, 유리, LinbO3결정 및 광섬유 등 통상의 광경로로 사용될 수 있는 것들 중 적어도 하나가 사용될 수 있는 것들 중 적어도 하나가 사용될 수 있다. 반사체로서는 반사경, 광섬유 브래그격자, 광섬유 루프 반사경(loop mirror) 및 패러데이(Frarday) 반사경 등 통상의 반사체로 사용될 수 있는 것들 중 적어도 하나가 사용될 수 있다.
본 발명의 간섭계형 레이저 센서를 이용하여 외부 물리량을 측정하는 경우, 상기 레이저 공진기는 1개의 레이저의 모드를 발진시키거나, 또는 2개 이상의 레이저의 모드를 발진시킬 수 있다. 2개 이상의 복수개의 레이저 모드를 발진시키는 경우에는 발진하는 모드의 종모드 번호가 모두 짝수 또는 홀수이어야 한다.
본 발명의 간섭계형 레이저 센서 시스템에 있어서, 반사체에서 반사하지않고 통과한 빛을 간섭시키기 위한 간섭수단으로서는 광분할기, 광섬유 방향성 결합기, 집적 광학소자, 또는 미세 광학소자 등의 통상의 간섭계 중 적어도 하나를 포함하여 구성된다. 또한, 흐르는 물 등의 유체의 유속을 측정하는 경우에는 별도의 간섭계가 필요없이 흐르는 유체 자체가 간섭수단을 구성한다.
또한 본 발명의 센서 시스템의 간섭수단은 간섭신호를 변조하기 위한 목적으로 집적 광학소자, PZT 위상 변조기 또는 미세 광학소자 위상변조기 등의 위상 변조기, 또는 주파수 변환기 등의 신호 변조기를 포함할 수 있다.
본 발명의 간섭계형 레이저 센서 시스템의 신호처리부는 간섭신호를 검출하기 위한 검출기 및 간섭신호를 전기적으로 처리하기 위한 신호처리회로를 포함하여 구성된다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세히 설명한다.
제3도는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 일실시형태를 개략적으로 나타낸 그림이다. 이 간섭계형 레이저 센서에서는 레이저 이득매질(312)로서 희토류원소 첨가 광섬유를 사용하였으며, 첨가된 희토류원소는 레이저 다이오드(317)로부터 파장분할기(WDM)(318)을 통하여 제공된 펌핑광에 의해 여기된다. 광경로(311)로서는 광섬유를 사용하였으며, 전체 광경로의 양끝에는 반사체로서 2개의 반사경(313, 314)를 부착하였다. 또한, 레이저 공진기의 양끝에서 나온 빛을 간섭시키기 위한 간섭수단은 광분할기(315)를 가지고 구성하였으며, 광검출기(316)에 의한 간섭된 신호(323)을 검출함으로써 간섭계의 신호 변화를 측정하게 된다. 광검출기(316)에 의해 검출된 간섭 신호의 변화는 신호처리부(도시하지 않음)에서 전기적으로 처리되어 레이저 공진기에서 감지된 외부 물리량을 측정하게 된다.
제3도에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서에 사용되는 레이저는 상기한 종래의 고리형 레이저와는 달리 폐회로를 이루지 않는다. 또한, 레이저 공진기가 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성되기 때문에, 레이저의 특성상 양 방향으로 진행하는 빛은 레이저의 같은 발진 모드이므로, 이득다툼의 현상이 존재하지 않게 된다. 또한, 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서에 이용되는 레이저 공진기의 공진조건에 의하여, 공진기내를 양 방향으로 진행하는 빛의 편광상태는 동일한 물리적 현상을 겪게 되는 상태로 일정하게 유지되며, 이에 따라 앞에서 언급한 바와 같은 수동형 광섬유 회전센서에서 나타나는 편광에 의한 오차가 존재하지 않는다.
이하, 제3도를 참조하여 본 발명의 간섭계형 레이저 센서의 동작 원리를 설명한다.
일반적으로, 센서 시스템에 회전, 자기장 등의 비가역적 영향이 없을 경우, 레이저의 공진 조건에 의하여 출력광(321)과 출력광(322)의 위상차 ΔψAB는 mπ가 된다. 이 때, m은 자연수로서 발진하는 레이저 모드의 종모드 번호(axial mode mumber)이다[참조 : A. E. Siegman, Laser, University Science Books, Mill Valley CA. 제436면(1986)]. 종모드 번호가 m인 레이저 모드에 대하여 레이저의 발진 파장을 λm, 공진기의 길이를 L, 공진기의 굴절률을 n이라 할 때, 종모드 번호 m 은 m=2nL/λm인 관계에 잇다.
광분하기(315)와 반사경(314) 사이의 거리가 광분할기(315)와 반사경(314) 사이의 거리와 같고, 종모드 번호가 m인 레이저 모드가 단독으로 발진하고 있으며, 출력광(321, 322)의 세기가 Io로 같다면, 간섭된 출력광(323)의 세기 Iout은 다음과 같다. :
Iout=2Io(1+cos(ΔψAB))=2Io(1+(-1)m)
만일, 시스템이 회전하게 되면, 회전 방향과 같은 방향으로 진행하는 빛과 다른 방향으로 진행하는 빛이 경험하는 공진기의 길이가 달라진다. 이 때, 레이저의 발진 파장의 변화는 무시할 수 있을 정도이나, 위치장 ΔψAB는 회전량에 대하여 다음과 같은 관계를 가진다[참조 : E. J. Post, Sagnac Effect, Rev. of Modern Phys., 39(2) : 475(1967)] :
상기 식에서,
L은 공기진의 길이이고 ;
λm은 레이저의 발진 파장이며 ;
R은 시스템의 반경이고 ;
c는 빛의 속도이다.
또한, 간섭된 출력광(323)의 세기 Iout은,
이 된다. 따라서, 출력광의 세기 Iout의 변화량을 측정함으로써 위상차 ΔψAB의 변화량과 이에 해당되는 시스템의 회전량을 알 수 있다. 또한, 회전이외에도 페러데이(Faraday) 효과 등이 동일한 효과를 줄 수 있으므로, 이센서 시스템은 자기장을 측정할 수 있게 된다[참조 : K. Bohm, Optics Lett., 7:180(1982)].
한편, 레이저의 발진 모드가 복수 개일 경우에는 발진하는 레이저의 모드들의 종모드 번호에 따라 간섭된 출력광의 세기가 달라질 수 있음을 위의 식을 통하여 알 수 있다. 종모드 번호가 m인 모드와 m+1인 모드가 동일한 세기로 발진하는 경우에는 간섭된 출력광의 세기 Iout에 회전을 포함하는 항이 서로 상쇄되어 회전량을 측정할 수 없게 되는 문제점이 발생한다. 그러나, 종모드 번호가 m인 모드가 m+2인 모드가 발진하는 경우에는 위 식의 회전량을 포함하는 항이 상쇄되지 않으므로 항상 회전량을 측정할 수 있다. 따라서, 레이저의 발진 모드가 복수 개일 경우에는 레이저의 발진 모드를 선택하여 종모드 번호가 모두 짝수이거나 모두 홀수인 모드들이 발진하도록 하여야 하며, 이를 위해 본 발명의 간섭계형 레이저 센서에서는 공진기 외부에 레이저 모드의 종모드를 선택하는 필터를 설치함으로써 간섭되는 레이저 모드들의 종모드 번호를 모두 짝수 또는 홀수로선택할 수 있다.
본 발명에 의한 간섭계형 레이저 센서 시스템에서는 매우 다양한 방법으로의 간섭된 출력광을 측정하기 위한 신호 처리를 수행할 수 있다. 기본적인 방법으로서 간섭된 출력광의 간섭 무늬의 공간적인 분포의 변화를 측정하여 위상 변화를 검출하는 방법을 사용할 수 있다.
또한, 광분할기(315)와 반사경(313) 또는 반사경(314)의 사이에 위상 변조기, 주파수 변환기 등의 신호 변조기를 설치하여, 기존의 간섭계에서 사용되는 호모다인(homodyne) 신호 처리 및 헤테로다인(heterogyne) 신호 처리 기술을 사용할 수 있다[참조 : Optical Fiber Sensors Vol. 2, B. Culshaw 및 J. Dakin저. Artechhouse, 제338편(1989)].
또한, 종래 기술인 수동형 광섬유 회전센서에서 사용되는 여러 가지 위상 변조 방법(사인파 변조, 톱니파 변조, 구형파 변조) 및 합성 헤테로다인(synthetio heterogyne) 방법 등을 사용할 수 있다[참조 : Optical Fiber Rotating Sensing, W. K. Burns저, Academio Press Inc.(뉴욕 소재), Chap. 3(1994)].
본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서는 2개 이상의 복수 개의 반사경을 가지고 구성할 수 있다. 제4도는 4개의 반사경으로 구성되는 본 발명에 따른 센서 시스템의 다른 실시형태를 개략적으로 도시한 그림이다. 제4도에서 보는 바와 같이, 이득매질(412)와 이득 매질의 양 옆에 2개의 반사경(417, 418)이 부착되고, 다시 광경로의 양 끝에2개의 반사경(413, 414)이 더 부착된다. 레이저의 양끝에서 나온 빛을 간섭시키는 간섭계는 본 발명에 따른 간섭계형 레이저 센서의 제1실시형태에서와 같이 광분할기(415)로 구성되며, 광검출기(416)에 의해 간섭된 신호(423)를 검출함으로써 간섭계의 신호 변화를 측정하게 된다. 이 실시형태에서는레이저 이득매질(412)로서 He-Ne 방전관, 루비 막대(ruby rod), Nd : YAG 막대(rod), 염료셀(dye cell) 등을 사용할 수 있다.
제5도는 본 발명에 의한 센서 시스템의 또 다른 실시형태의 구성을 개략적으로 나타낸 그림이다. 이 실시형태에서는 레이저 매질(512)로서 다이오드 증폭기를 사용하고, 광경로(511)로는 광섬유를 사용하였다. 광경로의 양 끝에 부착되는 반사체로서는 광섬유 브래그격자(513, 514)를 사용하였다. 또한, 출력광을 간섭시키는 간섭계(515)로서는 광섬유 방향성 결합기, 집적 광학소자(integrated optic device) 또는 미세 광학소자 등을 사용할 수 있다. 또한, 간섭 신호를 변조하기 위하여 집적 광학소자, PZT 위상 변조기, 주파수 변환기 등의 신호 변조기(517)를 사용할 수 있다.
이와같이 본 발명에 의한 센서시스템의 구성에는 다양한 부품 및 신호처리 선택이 가능하다.
제6도는 본 발명에 따라 제3도에 도시한 바와 같은 간섭계형 레이저 센서 시스템을 구성하여 회전량에 따른 위상 변화를 측정하고, 그 결과를 나타낸 그래프이다. 제6도에서는 보는 바와 같이, 본 발명의 센서 시스템에 의해 측정된 위상 변화량은 이론적인 값과 일치함을 알 수 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 센서 시스템은 기존의 수동형 광섬유 회전 센서에 비하여 다음과 같은 장점을 가진다 :
첫째, 기존의 수동형 광섬유 회전 센서에서 나타나는 편광오차가 존재하지 않으므로, 고가의 편광유지 광섬유 및 평광기를 필요로 하지않으며 ;
둘째, 좁은 선폭의 레이저를 사용함으로써, 넓은 선폭의 광원을 사용할 때 나타나는 파장 의존적인 오차를 크게 줄일 수 있고 ;
셋째, 레이저 공진기가 광원과 외부 물리량 감지소자 역할을 동시에 수행하기 때문에, 외부 광원을 필요로 하지 않는다.
또한, 본 발명에 의한 센서 시스템은 기존의 고리형 레이저 회전 센서에 비하여 다음과 같은 장점을 가진다 :
첫째, 고리형 레이저에서 나타나는 서로 다른 방향으로 진행하는 빛 사이의 이득다툼으로 인한 출력 불안정이 없고 ;
둘째, 작은 회전량은 측정하지 못하는 현상(lock-in 효과)이 존재하지 않는다.

Claims (9)

  1. 레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성된 레이저 공진기 ; 상기 2개 이상의 반사체에서 반사하지 않고 통과한 빛을 간섭시키기 위한 간섭 수단 ; 및, 상기 간섭수단으로부터 출력된 간섭 신호를 검출하고 처리하기 위한 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레이저 매질로서 He-Ne 기체, Nd-YAG 막대(rod), Nd ; 유리 막대, Nd 막대, 루비 막대(ruby rod), 염료셀(dye cell), 희토류원소 첨가 광섬유 및 다이오드 증폭기 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광경로로서 진공, 대기, 유리, LinbO3결정 및 광섬유 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반사체로서 반사경, 광섬유 브래그격자, 광섬유 루프 반사경 및 패러데이 반사경 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 1개의 모드를 발전시키는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  6. 제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 복수 개의 레이저 모드를 발진하고, 발진하는 레이저 모드의 종모드 번호가 모드 짝수 또는 홀수인 것을 특징으로 하는 간섭계형레이저 센서.
  7. 제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 복수 개의 레이저 모드를 발진하고, 공진기 외부에 레이저 모드의 종모드를 선택하는 필터를 설치하여 간섭되는 레이저 모드들의 조오드 번호를 모두 짝수 또는 홀수로 선택하는 것을 특징으로 하는 간섭계형레이저 센서.
  8. 제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 광분할기, 반사경, 광섬유 방향성 결합기, 집적 광학소자 및 미세 광학소자 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하거나, 또는 유동하는 유체 자체인 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
  9. 제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 집적 광학소자, PZT 위상 변조기, 미세 광학소자 위상 변조기 및 주파수 변환기 중에서 선택되는 신호 변조기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서.
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