KR970060361A - 박막제조를 위한 가열장치 - Google Patents
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Abstract
박막제조를 위한 가열장치를 개시한다. 이 가열장치는 블록을 가열하기 위한 박막 제조를 위한 가열장치에 관한 것으로, 히이터 블록과, 이 히이터 블록을 감싸는 커버부재와, 상기 커버부재에 의해 감싸여진 히이터 블록을 하부에서 지지하는 지지부재와, 상기 히이터블록의 외주면으로부터 소정간격 이격되도록 감싸며 상기 지지부재가 지지된 베이스부재를 갖는 하우징을 구비하여 된 것에 그 특징이 있으며, 이는 블록의 가열에 따른 효율을 향상시킬 수 있는 이점을 가진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 박막 제조를 위한 가열장치의 일부절제 단면도.
제2도는 제1도에 도시된 가열장치의 평면도.
Claims (3)
- 블록을 가열하기 위한 박막 제조를 위한 가열장치에 있어서, 히이터 블록과, 이 히이터 블록을 감싸는 커버부재와, 상기 커버부재에 의해 감싸여진 히이터 블록을 하부에서 지지하는 지지부재와, 상기 히이터블록의 외주면으로부터 소정간격 이격되도록 감싸며 상기 지지부재가 지지된 베이스부재를 갖는 하우징을 구비하여 된 것을 박막제조를 위한 가열장치.
- 제1항에 있어서 ,상기 히이터 블록의 히이터가 세라믹 코팅된 것을 특징으로 하는 박막제조를 위한 가열장치.
- 제1항에 있어서, 상기 하우징의 개구부는 블록의 하면과 동일한 크기로 형성되어 히이터 블록에 블록의 장착시 하우징의 개구가 밀폐되도록 된 것을 특징으로 하는 박막 제조를 위한 가열장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960000635A KR970060361A (ko) | 1996-01-15 | 1996-01-15 | 박막제조를 위한 가열장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960000635A KR970060361A (ko) | 1996-01-15 | 1996-01-15 | 박막제조를 위한 가열장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970060361A true KR970060361A (ko) | 1997-08-12 |
Family
ID=66218987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960000635A KR970060361A (ko) | 1996-01-15 | 1996-01-15 | 박막제조를 위한 가열장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970060361A (ko) |
-
1996
- 1996-01-15 KR KR1019960000635A patent/KR970060361A/ko not_active Application Discontinuation
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